CN100522627C - 流体喷出装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种流体喷出装置。该流体喷出装置对从喷嘴喷出流体时的逆向流体流增加流体阻力，从而提高喷出效率；对从流体供给室向压力室供给流体时的顺向流体流减小流体阻力，从而提高填充效率。构成流体喷出装置的喷墨装置具有喷出墨水流体的喷嘴孔(1)、与喷嘴孔(1)连通的压力室(2)、通过供给流路(3)与压力室(2)连通并对压力室(2)内供给流体的流体供给室(4)；由促动器(6)使覆盖压力室的上部开口地安装的膜片(5)上下振动而使压力室内的压力变化。在供给流路(3)上设有流体阀(11)，使从流体供给室(4)向压力室(2)的流体供给顺利地进行，由流体阀(11)抑制与其相反的逆向流体流。

Description

流体喷出装置

技术领域

本发明涉及用于打印机的喷墨装置等的流体喷出装置。

背景技术

例如，如图13所示，用于打印机装置的喷墨装置通过光刻等方法在头体200上形成喷出流体(液状墨水)的喷嘴孔201、压力室202、供给流路203、流体供给室204，覆盖压力室202的上部开口地安装膜片205，同时设有由使膜片205上下动的压电元件等构成的促动器206。从供给孔204a对流体供给室204内供给液状墨水，该墨水通过供给流路203供给到压力室202，使压力室202和喷嘴孔201内成为充满液状墨水的状态。

在由该喷墨装置进行打印时，例如，在压电元件上施加规定的电流，使促动器206上下振动而使膜片205上下动。由此，压力室202内的流体的压力产生变动，当膜片205向下动而使压力室202内的压力变高时，内部流体即液状墨水从喷嘴孔201的前端开口201a喷出。在压力室202内的压力变高时，内部流体不仅从喷嘴孔201喷出，同时也向供给侧即流体供给室204侧逆流(这时，供给流路203内的流体流称为逆向流体流)。因此，在喷墨装置中，将连通压力室202和流体供给室204的供给流路203的流路截面积做得较小(节流)，对上述逆流给予流体阻力。通常，供给流路203的流体阻力被设定成与喷嘴孔201的流体阻力程度相同，在膜片205向下动时，从喷嘴孔201喷出的流体的量与通过流体通路203逆流到流体供给室204的流体的量大致相等。

接着，当由促动器206使膜片205向上动时，膜片205进行动作而使得压力室202内的体积变大，从而压力室202的内部压力变低。这时，喷嘴孔201内的流体被吸引到压力室202侧，但因前端开口201a处的流体的表面张力而形成弯液面，从而抑制大气被吸入到压力室202内。与此同时，通过供给流路203吸引流体供给室204内的流体而将其供给到压力室202内(这时，供给流路203内的流体流称为顺向流体流)。另外，这样的喷墨装置已被例如日本特开2005—47165号公报、日本特开2005—67047号公报公开。

发明内容

但如上所述，在由促动器206使膜片205向上振动而将流体供给室204内的流体供给到压力室202内时，如上述那样，由于供给流路203被构成为对上述逆向流体流给予流体阻力，因此由该流体阻力限制流体从流体供给室204向压力室202供给(顺向流体流)。即，在喷出流体时，为了防止逆向流体流，具有不可缺少的流体阻力的供给流路203起到阻碍向压力室202供给(填充)流体时的顺向流体流的作用。因此，存在这样的问题，即向压力室202内填充流体要花费较长的时间，到下一次喷出之前所需的时间变长，由使用了该喷墨装置的打印机装置进行的打印时间变长。

为了解决该问题，只要是在从喷嘴孔201的前端开口201a喷出流体时，供给流路203对逆向流体流的流体阻力大；在从流体供给室204对压力室202供给流体时，供给流路203对顺向流体流的流体阻力小即可。这样，作为对逆向流体流具有较大流体阻力且对顺向流体流具有较小流体阻力的装置，有机械式的被动阀。

可是，在用于打印机的喷墨装置等的流体喷出装置中，促动器206的振动频率即压力室202的压力变动周期是几KHz以上，用机械式的阀难以紧随着这样快的压力变动而变动，即使可以紧随着这样快的压力变动而变动，但能预测到寿命会因强度问题而变短。另外，根据流体即液状墨水的种类，也有分散含有固体物质的流体，该固体物质附着在阀的密封部上，存在可能使阀的功能降低的问题。

而且，通常，喷墨喷嘴以例如0.1mm左右的较小的间距排列而形成，压力室202和供给流路203被形成得非常小，在这样小的装置上装入机械式阀体是非常困难的。另外，也可以考虑使用由促动器等使之与流体的喷出和吸引相应地快速地使供给流路203的截面积变化的机构，但其构成价格高且结构复杂，在成本和可靠性方面不现实。

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种有如下结构的流体喷出装置，该流体喷出装置可以对从喷嘴孔喷出流体时的逆向流体流增大流体阻力而提高喷出效率，对从流体供给室向压力室进行流体供给的顺向流体流减小流体阻力而提高填充效率，并且结构简单、制造容易。

本发明的流体喷出装置，其特征在于：具有喷出流体的喷嘴孔、由与上述喷嘴孔连通的空间构成的压力室、对上述压力室内供给流体的流体供给源；使上述压力室内的压力变化而使从上述流体供给室供给到上述压力室内的流体从上述喷嘴孔喷出；在从上述喷嘴孔至流体供给源之间配设了至少一个由主流路和副流路构成的流体阀；上述主流路使顺向流体流和逆向流体流顺利地流动；上述副流路相对于上述逆向流体流在流入侧规定位置处平滑地从上述主流路分支，并且与上述主流路的上述流入侧规定位置的下游侧的流出侧规定位置连通，上述副流路的从上述流入侧规定位置分支流入的流体从上述流出侧规定位置流入到上述主流路内，以妨碍通过上述主流路的流体的流动，上述顺向流体流为沿流体喷出方向流动的流体流，上述逆向流体流为沿上述流体喷出方向的相反方向流动的流体流。

在该流体喷出装置中，最好，在从上述压力室至上述流体供给源的供给流体内配设有上述流体阀；上述流体阀具有这样的结构，该结构使对从上述压力室朝向上述流体供给源的逆向流体流的逆向流体阻力大于对从上述流体供给源朝向上述压力室的顺向流体流的顺向流体阻力。

此时，在上述供给流路内，既可串联配置多个上述流体阀，也可以并列配置多个上述流体阀。

在上述流体喷出装置中，也可以在上述压力室中的供给来自流体供给源的流体的入口部设置上述流体阀。

在上述流体喷出装置中，也可以在从上述压力室至上述喷嘴孔的前端开口部的喷出流路内配设上述流体阀，上述流体阀具有这样的结构，该结构使对从上述前端开口部朝向上述压力室的逆向流体流的逆向流体阻力大于对从上述压力室朝向上述前端开口部的顺向流体流的顺向流体阻力。

在上述流体喷出装置中，最好，上述流入侧规定位置处的上述副流路的流路截面积A1、上述流入侧规定位置处的上述主流路的流路截面积A2、上述流出侧规定位置处的上述副流路的流路截面积A3被构成为满足条件式A1>A2>A3、A1>A2、A2>A3和A1>A3的至少一个。

另外，在上述流体喷出装置中，在向下方开口地配置上述喷嘴孔，在上述喷嘴孔的上方与之相连通地配置上述压力室，在上述压力室的上方与之相连通地配置上述流体供给源的状态下，上述主流路和副流路是在从上述压力室到上述流体供给源的整个范围内向上方或斜上方延伸而形成的，该结构使气泡不会停留在上述主流路和副流路内部。

在上述流体喷出装置中，最好，具有用于与上述流入侧规定位置相连接而使上述逆向流体流顺利地流入到上述主流路和上述副流路的第1整流流路、和用于与上述流出侧规定位置相连接而使上述顺向流体流顺利地流入到上述主流路的第2整流流路。

另外，可以由电铸造法制造上述流体阀。另外，最好由玻璃材料制造上述流体阀。

采用本发明的流体喷出装置，在从喷嘴孔至流体供给源之间配设至少一个流体阀，由该流体阀可以增大对从喷嘴孔喷出流体时的逆向流体流的流体阻力，从而可以提高喷出效率；由该流体阀减小对从流体供给出室向压入室供给流体时的顺向流体流的流体阻力，从而可以提高填充效率。流体阀没有如以往通常使用的阀那样需要机械运动的部分，而是利用流体的流动在顺向和逆向上使流体阻力变化的阀体。该流体阀具有以下优点，即因没有可动部分而可靠性高且比较容易制造，并且即使产生高速的压力变动也可以确保随动性。

附图说明

图1是构成本发明的第1实施方式的流体喷出装置的喷墨装置的主视截面图。

图2是上述喷墨装置的俯视截面图。

图3是表示用于上述喷墨装置的流体阀的放大俯视截面图。

图4是用于说明上述喷墨装置的动作的、流体阀的俯视放大截面图。

图5是用于说明上述喷墨装置的动作的、流体阀的俯视放大截面图。

图6是用于说明上述流体阀的动作的主视截面图。

图7是用于说明上述流体阀的动作的主视截面图。

图8是本发明的第2实施方式的喷墨装置的俯视截面图。

图9是本发明的第3实施方式的喷墨装置的俯视截面图。

图10(A)(B)是本发明的第4实施方式的喷墨装置的俯视截面图。

图11是本发明的第5实施方式的喷墨装置的俯视截面图。

图12是本发明的第6实施方式的喷墨装置的主视截面图。

图13是以往的喷墨装置的主视截面图。

图14(A)(B)是本发明其他实施方式的喷墨装置的俯视截面图。

具体实施方式

下面，参照附图说明本发明的较佳实施方式。另外，由于本发明的流体喷出装置是应用于打印机装置的喷墨装置的流体喷出装置，因此下面是以应用于喷墨装置作为前提进行说明的。但是本发明的流体喷出装置不限于喷墨装置，当然也可以用于其他的流体喷出用途。

第1实施方式

作为本发明的第1实施方式，参照图1～图7说明使用了本发明的流体喷出装置的喷墨装置。该喷墨装置具有类似于图13所示的以往的喷墨装置的结构，在头体10上形成有喷嘴孔1、压力室2、供给流路3和流体供给室4，覆盖压力室2的上部开口地安装膜片5，并且设有由使膜片5上下动的压电元件等构成的促动器6。

如图2所示，沿横向排列多个这种结构的喷墨装置而构成打印机头，多个喷嘴孔1在头体10的端部上并列地开口。流体供给室4是由对于该多个喷墨装置共同的一个空间构成的。

另外，在供给流路3内设有流体阀11，图3放大地表示该流体阀11的结构，下面说明该结构。流体阀11由主流路12和副流路13构成。上述主流路12大致笔直地(或者如图那样具有钝角的弯曲部地)连通压力室2和流体供给室4；上述副流路13相对于逆向流体流即从压力室2朝向流体供给室4的流体流，在流入侧规定位置12a处从主流路12分流，并且在主流路12的流入侧规定位置12a的下游侧的流出侧规定位置12b处与主流路12连通。该副流路13在流入侧规定位置12a处平滑地从主流路12分支，使得逆向的流体流容易流入到主流路12和副流路13双方，但通过副流路13的流体流与主流路12的流体流在流出侧规定位置12b处大致相垂直地碰撞而合流。

因此，图5中箭头所示的从流体供给室4流向压力室2的顺向流体流主要是如箭头C4、C5、C3所示那样地通过主流路12地流动，而从流出侧规定位置12b流入到副流路13内的、箭头C6、C7所示的流体流较少。另一方面，图4中箭头所示的、从压力室2流到流体供给室4的逆向流体流如箭头B4、B5、B6所示那样地在流入侧规定位置12a处分别流入到主流路12和副流路13中，但箭头B6、B7所示的通过副流路13的流体流在流出侧规定位置12b处与箭头B5所示的通过主流路12的流体流碰撞而妨碍该主流路12的液体的流动，对主流路12的逆向流体流给予流体阻力。由此可知，通过在供给流路3内设置流体阀11，由于使顺向流体流顺利地流过主流路12，因此阻碍顺向流体流的流体阻力比较小；但如上所述，在逆向流动时，由于副流路13的流体流妨碍通过主流路12的流体流，因此对逆向流体流的流体阻力变大。

另外，在流出侧规定位置12b处，从副流路13流入到主流路12的流体的势头越强，流体阀11对逆向流体流的流体阻力就越大。因此，最好是流入侧规定位置12a处的副流路13的流路截面积A1、流入侧规定位置12a处的主流路12的流路截面积A2、流出侧规定位置12b处的副流路13的流路截面积A3满足条件式A1>A2>A3、A1>A2、A2>A3和A1>A3中的至少一个。

另外，也可以设定成副流路13的流路截面积从流入侧规定位置12a向流出侧规定位置12b慢慢变小。另外，若将副流路13在流出侧规定位置12b处向主流路12合流的合流方向设定成不是图示那样的直角而是朝向流入侧规定位置12a(即，朝着与主流路12中的流体流逆行的方向)流入到主流路12，则可以进一步增大流体阻力。

在由具有上述结构的喷墨装置进行打印时，在压电元件上施加规定电流而使促动器6上下振动，使膜片5上下动。首先，如图6中箭头B1所示，当由促动器6使膜片5向下动时，压力室2内的压力变高，其内部流体即液状墨水成为粒状，如箭头B2所示那样地从喷嘴孔1的前端开口1a喷出。由此，将液状墨水喷到与喷嘴孔1相对配置的印刷对象物上而进行打印。

这样，当压力室2内的压力变高了时，内部流体不仅从喷嘴孔1喷出，同时如箭头B3所示那样地通过供给流路3向供给侧即流体供给室4侧逆流(在供给流路3内产生逆向流体流)。但如上所述，在供给流路3上设有流体阀11，由流体阀11对逆向流体流给予较大的流体阻力，逆流量受到限制。因此，在由促动器6使膜片5向下动而使压力室2内的压力增高了时，压力室2内的内部流体(液状墨水)从喷嘴孔1喷出，而逆流到流体供给室4的量受到抑制，从而可以高效率地进行打印。特别在要增大从喷嘴孔1喷出的墨水的量时，即在要增大喷出墨水粒径时是有效的。

下面，如图7的箭头C1所示，当由促动器6使膜片5向上动时，膜片5进行动作，使压力室2内的体积变大而使压力室2的内部压力变低。这时，如箭头C2所示，喷嘴孔1内的流体被吸引到压力室2侧，但由于前端部开口1a处的流体的表面张力而形成弯液面M，从而抑制吸入大气。与此同时，通过供给流路3吸引流体供给室4内的流体，然后如箭头C3所示那样使其供给到压力室2内(在供给流路3内产生顺向流体流)。这时，由于配设于供给流路3内的流体阀11是对这种顺向流体流的流体阻力小的结构，因此可顺利地供给箭头C3所示的流体。

若进行以上处理，当由促动器6使膜片5向下动而使压力室2的内压变高时，由于供给流路3的逆流被流体阀11抑制，因此该内压高效率地作用于来自喷嘴孔1的流体喷出，提高了喷出效率，可以从喷嘴孔1喷出较多的流体。另外，在将来自喷嘴孔的喷出量设定成与以往相同的情况下，可以减小由促动器6引起的膜片5的向下的运动量，可以进一步使该部分的结构小型化和简单化。

另一方面，当由促动器6使膜片5向上动而使压力室2的内压变低时，由于由流体阀11使流体在供给流路3中顺利地沿顺向流动，因此提高了填充效率，可以使由促动器6引起的膜片5的上下动作高速化，容易实现高速打印。另外，当流体这样顺利地流到压力室2中时，压力室2的内部压力的降低变缓，也增加了弯液面变化的稳定性。

第2实施方式

下面，参照图8说明本发明的第2实施方式。另外，在该实施方式中，对与上述第1实施方式的喷墨装置相同的结构部分标记相同的附图标记，并省略其详细说明。第2实施方式的喷墨装置也在头体10上形成有喷嘴孔1、压力室2、供给流路3和流体供给室4，由促动器使覆盖压力室2的上部开口地安装的膜片上下动(但是，膜片及促动器未图示)。

但是，在该喷墨装置中，在压力室2中的与供给流路3连通的入口部分设有流体阀21。该流体阀21由主流路22和副流路23构成，与上述的流体阀11一样，顺向流体流顺利地流动，但对逆向流体流给予较大的流体阻力。由于其功能和动作与第1实施方式相同，因此省略其说明。

第3实施方式

参照附图9说明本发明的第3实施方式，在此，也对于与上述的第1实施方式的喷墨装置相同的结构部分标记相同的附图标记，并省略其详细说明。第3实施方式的喷墨装置也在头体10上形成有喷嘴孔1、压力室2、供给流路3和流体供给室4，由促动器使覆盖压力室2的上部开口地安装的膜片上下动(但是，膜片及促动器未图示)。

在该喷墨装置中，在喷嘴孔1内或者在从压力室2至喷嘴孔1的前端开口1a的喷出流路内设有流体阀31。该流体阀31由主流路32和副流路33构成，从图9所示的形状可知：从压力室2朝向前端开口1a的顺向流体流顺利地流动，对于从前端开口1a将流体吸引到压力室2内的逆向流体流给予较大的流体阻力。

通过采用这样的结构，在压力室2的内压变高时，可顺利地从喷嘴孔1喷出流体；在该内压变低了时，能得到这样的效果，即可以对朝向喷嘴孔1内的流体吸引力产生阻力来抑制在喷嘴孔1前端部产生的弯液面的后退量。由此可知，通过设置流体阀31，即使使压力室2的内压比以往低得多，仍可维持喷嘴孔1的弯液面，与此相伴，能得到这样的效果，即可以使从流体供给室4通过供给流路3而流动的流体的供给量增加。由此，可以使由促动器引起的膜片的上下动作高速化，容易实现高速打印。另外，由于可以由流体阀31抑制喷嘴孔1的逆流，因此，即使加大喷嘴孔1也可以维持弯液面，可以防止吸入大气，从而容易从喷嘴孔1喷出大量的流体。

第4实施方式

参照图10说明本发明的第4实施方式。在该实施方式中，将具有与第1实施方式大致相同结构的喷墨装置的打印机头配置成喷嘴孔1的前端开口1a朝向下方，在这样配设时，表示了设有由图10(A)所示形状的主流路42和副流路43构成的流体阀41的例子和设有由图10(B)所示形状的主流路52和副流路53构成的流体阀51的例子。

首先，如图10(A)所示，副流路43在中途设有向上方弯曲的形状的流体阀41的情况下，存在气泡容易滞留在副流路43中的弯曲部43a处这样的问题。这样，当在弯曲部43a内存在气泡时，随着压力室2内的压力变动，气泡体积产生变化，从而使该压力变化变缓慢，或者使压力变动对弯液面的动作的响应变迟缓，存在有时不能正常地或者按照希望控制液体喷出的问题。

因此，在将喷嘴孔1的前端开口1a配置成朝向下方的情况下，如图10(B)所示，希望使用主流路52和副流路53一起向上方或者斜上方延伸地形成的流体阀51，做成不会在内部滞留气泡的结构。

第5实施方式

参照图11说明本发明的第5实施方式。该实施方式的喷墨装置与上述第4实施方式的喷墨装置结构大致相同，设有与图10(B)所示的流体阀相同的流体阀51，但结构不同之处在于还设置了连通压力室2和流体阀51的较长的第1整流流路3a、和连通流体供给室4和流体阀51的较长的第2整流流路3b。当这样设置第1和第2整流流路3a、3b时，在产生顺向流体流时，从流体供给室4流入的流体流由第2整流流路3b整流而使流经主流路52的顺向流体流成为顺利流动的流体流；在产生逆向流体流时，也可以使从压力室2流入的流体流顺利地导入到主流路52和副流路53中。

第6实施方式

参照图12说明本发明的第6实施方式。该实施方式的喷墨装置也在头体70上形成有喷嘴孔71、压力室72、供给流路73和流体供给室74，由促动器76使覆盖压力室72的上部开口地安装的膜片75上下动。但是，在上述的从第1到第5实施方式的喷墨装置中，流体阀形成在与促动器的上下振动方向垂直地延伸的面上(即，与图1的纸面垂直的面)上，但在该第6实施方式中，如图12所示，在与促动器76的振动方向相同的平面上形成有流体阀61。但是，该流体阀61也由主流路62和副流路63构成，发挥与上述的流体阀相同的作用。另外，用将在规定的位置形成有孔的薄板层叠起来的方式可容易形成该结构。

如图14(A)(B)所示，分别例举了在上述供给流路内串联地配设有2个流体阀的情况和并列地配设有2个流体阀的情况，但本发明不限于配设有2个流体阀，可以在上述供给流路内串联地配设有多个上述流体阀，也可以在上述供给流路内并联地配设有多个流体阀。

如上所述，当在流体喷出装置(在以上的实施方式中是喷墨装置)上形成流体阀时，要求高精度的加工，但在以往的喷墨装置的制造上使用的由硅的湿式蚀刻进行的加工中，由于硅的结晶轴使蚀刻速度变化而难以形成圆滑曲面的流路，因此不太合适。

作为形成圆滑曲面的流路的方法，可以考虑利用了电镀技术的电铸造。它是由照相化学腐蚀制造法形成由树脂做成的掩膜的方法，通过光掩膜的绘制可以自由地形成曲面。

另外，由于可用照相化学腐蚀制造法形成蚀刻区域，所以使用感光性玻璃也能得到同样的效果。

Claims (11)

1.一种流体喷出装置，该流体喷出装置具有喷出流体的喷嘴孔、由与上述喷嘴孔连通的空间构成的压力室、对上述压力室内供给流体的流体供给源；使上述压力室内的压力变化而使从上述流体供给室供给到上述压力室内的流体从上述喷嘴孔喷出，其特征在于，

在从上述喷嘴孔至流体供给源之间配设至少一个由主流路和副流路构成的流体阀；

上述主流路使顺向流体流和逆向流体流顺利地流动；

上述副流路相对于上述逆向流体流在流入侧规定位置处平滑地从上述主流路分支，并且与上述主流路的上述流入侧规定位置的下游侧的流出侧规定位置连通，上述副流路的从上述流入侧规定位置分支流入的流体从上述流出侧规定位置流入到上述主流路内，以妨碍通过上述主流路的流体的流动，

上述顺向流体流为沿流体喷出方向流动的流体流，上述逆向流体流为沿上述流体喷出方向的相反方向流动的流体流。

2.根据权利要求1所述的流体喷出装置，其特征在于，

在从上述压力室至上述流体供给源的供给流路内配设有上述流体阀；

上述流体阀具有这样的结构，该结构使对从上述压力室朝向上述流体供给源的逆向流体流的逆向流体阻力大于对从上述流体供给源朝向上述压力室的顺向流体流的顺向流体阻力。

3.根据权利要求1或者2所述的流体喷出装置，其特征在于，

在上述供给流路内串联地配设有多个上述流体阀。

4.根据权利要求1或者2所述的流体喷出装置，其特征在于，

在上述供给流路内并列地配设有多个上述流体阀。

5.根据权利要求1或2所述的流体喷出装置，其特征在于，

在上述压力室的、供给来自上述流体供给源的流体的入口部设有上述流体阀。

6.根据权利要求1所述的流体喷出装置，其特征在于，

在从上述压力室至上述喷嘴孔的前端开口部的喷出流路内配设有上述流体阀；

上述流体阀具有这样的结构，该结构使对从上述前端开口部朝向上述压力室的逆向流体流的逆向流体阻力大于对从上述压力室朝向上述前端开口部的顺向流体流的顺向流体阻力。

7.根据权利要求1所述的流体喷出装置，其特征在于，

上述流入侧规定位置处的上述副流路的流路截面积A1、上述流入侧规定位置处的上述主流路的流路截面积A2、上述流出侧规定位置处的上述副流路的流路截面积A3被构成为满足条件式A1>A2>A3、A1>A2、A2>A3和A1>A3中的至少一个。

8.根据权利要求1所述的流体喷出装置，其特征在于，

在向下方开口地配置上述喷嘴孔，在上述喷嘴孔的上方与之相连通地配置有上述压力室，在上述压力室的上方与之相连通地配置有上述流体供给源的状态下，上述主流路和上述副流路是在从上述压力室到上述流体供给源的整个范围内向上方或斜上方延伸而形成的，气泡不会停留在该主流路和副流路内部。

9.根据权利要求1所述的流体喷出装置，其特征在于，

具有与上述流入侧规定位置连通而使上述逆向流体流顺利地流入到上述主流路和上述副流路的第1整流流路、和与上述流出侧规定位置连通而使上述顺向流体流顺利地流入到上述主流路的第2整流流路，所述第1整流流路是设置在上述流入侧规定位置侧的较长的流路，所述第2整流流路是设置在上述流出侧规定位置侧的较长的流路。

10.根据权利要求1～2、6～9中任一项所述的流体喷出装置，其特征在于，

通过电铸造法制造上述流体阀。

11.根据权利要求1～2、6～9中任一项所述的流体喷出装置，其特征在于，

由玻璃材料制造上述流体阀。

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