JP2007294809A - 多孔質成長基板クリーニング装置およびシート状基板作製方法 - Google Patents
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Abstract
多孔質成長基板表面の磨耗を抑制しながら多孔質成長基板表面に付着した酸化シリコン粉末を効率よく除去する装置、および、シート状基板の作製方法を提供する。
【解決手段】
ロールブラシと、多孔質成長基板を前記ロールブラシのブラシ毛に接触させながら移動させることができる基板移動手段と、を有し、ブラシ毛の線径が0.3mm以下であることを特徴とする多孔質成長基板クリーニング装置を用いることにより、多孔質成長基板表面の磨耗を抑制しながら多孔質成長基板表面に付着した酸化シリコン粉末を効率よく除去する。この多孔質成長基板クリーニング装置により清掃された多孔質成長基板の表面をシリコン融液に浸漬して前記多孔質成長基板の表面にシリコン状シート基板を成長させることにより、シート状基板を作製する。
【選択図】 図1
Description
本発明による多孔質成長基板クリーニング装置について、図1および図2を参照して説明する。図1は多孔質成長基板Cと、ロールブラシの回転手段としてのモーター(図示せず)に接続されたロールブラシ11と、多孔質成長基板の基板移動手段14を模式的にあらわしたものである。図1では、さらに好ましい態様として、フード12と、吸塵装置(図示せず)への接続部13とを模式的にあらわしている。なお、本発明にかかわるシート状基板作製方法、多孔質成長基板の詳細については後述する。
本発明の多孔質成長基板クリーニング装置の第2の実施態様では、図2(a)に示すように、ロールブラシ21を2台有し、それぞれのロールブラシを逆方向に回転させること以外は第1の実施態様と同様である。このようにロールブラシを2台設け、2台のロールブラシをそれぞれ逆方向に回転させることにより多孔質成長基板Cの凹凸部の斜面を好適にクリーニングすることができる。すなわち、図2(b)に模式的に示すように、凹凸を有する多孔質成長基板Cに右下から左上方向の斜面C2と左下から右上方向の斜面C3がある場合、2台のロールブラシをそれぞれ逆方向に回転させることで、斜面C2及び斜面C3のどちらも同様にクリーニングされうるからである。これら多孔質成長基板が両方のロールブラシ21によってブラッシングされている間、多孔質成長基板Cがロールブラシ21から受ける水平方向の力を打ち消すことができ、多孔質成長基板Cが基板移動手段24上をすべって位置ずれを起こすリスクを低減することができる。
ここで本発明で用いられる、多孔質成長基板及びシート状基板を製造する方法について、図3及び図4を参照して説明する。
得られるシート状シリコン基板の比抵抗が2Ω・cmになるようにホウ素濃度を調整したシリコン原料29kgを、内径40cmの円形の高純度黒鉛製坩堝1に充填し、図3に示した浸漬機構を備えた装置のチャンバ内に設置した。
図1に示す黒鉛成長基板クリーニング装置を用いて、以下のように黒鉛成長基板のクリーニングを行った。なお本実施例では、毛長20mm(回転軸中心からブラシ毛先端までの長さが25mm)で線径0.3mmのナイロン繊維からなるブラシ毛をロールブラシに用いている。
毛長20mm(回転軸中心からブラシ毛先端までの長さが25mm)で線径0.1mmのナイロン繊維からなるブラシ毛をロールブラシに用いたほかは実施例1と同様に検討を行った。その結果、黒鉛成長基板に付着した酸化シリコンからなる白色微粉末が完全になくなることが目視で確認できるまで、平均して3.4回のクリーニングを行う必要があることが分かった。実施例1と比較して少ない回数でクリーニングすることができたのは、ブラシの線径が細いためチッピング部に入り込んだ酸化シリコン粉末をも効率的に取り除くことができたためであると考えられる。
本実施例では、毛長20mm(回転軸中心からブラシ毛先端までの長さが25mm)で線径0.3mmのPFA繊維からなるブラシ毛をロールブラシに用いた。なおPFA繊維の耐熱温度が260℃程度であり、浸漬後に装置から取り出した黒鉛成長基板の温度よりも十分高い耐熱性を持つことから、本実施例では黒鉛成長基板は冷却を行わずにクリーニングを行っている。そのほかの条件は実施例1と同様に検討を行ったところ、黒鉛成長基板に付着した酸化シリコン粉末からなる白色微粉末が完全になくなることが目視で確認できるまで、平均して4.8回のクリーニングを行う必要があることが分かった。
毛長20mm(回転軸中心からブラシ毛先端までの長さが25mm)で線径0.1mmのPFA繊維からなるブラシ毛を用いたほかは実施例3と同様に検討を行った。その結果、黒鉛成長基板に付着した酸化シリコン粉末からなる白色微粉末が完全になくなることが目視で確認できるまで、平均して3.1回のクリーニングを行う必要があることが分かった。実施例3と比較して少ない回数でクリーニングすることができたのは、ブラシの線径が細いためチッピング部に入り込んだ酸化シリコン粉末を効率的に取り除くことができたからと考えられる。
図2に示す2台のロールブラシを有する黒鉛成長基板クリーニング装置を用いて、以下のように黒鉛成長基板のクリーニングを行った。なお本実施例では、毛長20mm(回転軸中心からブラシ毛先端までの長さが25mm)で線径0.1mmのPFA繊維からなるブラシ毛をロールブラシに用いている。
毛長20mm(回転軸中心からブラシ毛先端までの長さが25mm)で線径0.5mmのナイロン繊維からなるブラシ毛をロールブラシに用いたほかは実施例1と同様にして検討を行った。その結果、平均して3.2回のクリーニングで黒鉛成長基板に付着した酸化シリコン粉末からなる白色微粉末が完全になくなることが目視で確認できたが、フード中に酸化シリコンからなる白色粉末だけでなく、黒鉛成長基板がクリーニング時に削られたことによる黒鉛の粉末も飛散していた。なお実施例1と比較して少ない回数でクリーニングすることができたのは、太い線径のロールブラシにより黒鉛成長基板が削られるのと同時に酸化シリコン粉末が除去されたためと考えられる。
毛長20mmで線径0.3mmのナイロン繊維からなる手作業用のブラシを用いて、以下のように黒鉛成長基板のクリーニングを行った。
黒鉛成長基板のクリーニングの効果を確認するため、黒鉛成長基板のクリーニングを行うことなく、参考例の条件で黒鉛成長基板を100回シリコン融液に浸漬した。得られたシート状シリコン基板の重量換算板厚を測定したところ、50回目の浸漬では310μmであり、100回目の浸漬では290μmであった。また70回目の浸漬以降では、部分的な成長不良によりシート状シリコン基板に穴が生じたものが12枚確認された。
Claims (6)
- ロールブラシと、多孔質成長基板を前記ロールブラシのブラシ毛に接触させながら移動させることができる基板移動手段と、を有し、
前記ブラシ毛の線径が0.3mm以下である多孔質成長基板クリーニング装置。 - ロールブラシのブラシ毛の線径が0.05mm以上0.1mm以下であることを特徴とする請求項1に記載の多孔質成長基板クリーニング装置。
- ロールブラシのブラシ毛の材質がフッ素樹脂繊維からなることを特徴とする請求項1又は2のいずれかに記載の多孔質成長基板クリーニング装置。
- さらに前記ロールブラシを覆うフードと、前記フードに接続された吸塵手段とを有する請求項1から3のいずれかに記載の多孔質成長基板クリーニング装置。
- ロールブラシを2台有し、前記ロールブラシをそれぞれ互いに逆方向に回転させることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の多孔質成長基板クリーニング装置。
- 請求項1から5のいずれかに記載の多孔質成長基板クリーニング装置により清掃された多孔質成長基板の表面をシリコン融液に浸漬して前記多孔質成長基板の表面にシリコン状シート基板を成長させることを特徴とするシート状基板作製方法。
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