JP2007290350A - 情報記録媒体 - Google Patents

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Abstract

【課題】 記録データの信頼性が高く、且つデータの繰返し記録に対する耐久性に優れた2層情報記録媒体を提供する。
【解決手段】 Bi、Ge及びTeを含む相変化材料で形成された記録層を2層備え、2つの記録層中のBi、Ge及びTeの組成が、Bi、Ge及びTeの三角組成図上の組成点B2,C2,D2,D8,C8,B8に囲まれた組成範囲にあり、且つ、該2層の記録層のうちレーザビームの入射側に近い方に配置されている記録層中のBiの組成がレーザビームの入射側から遠い方に配置されている記録層中のBiの組成より1.0at%以上大きい2層情報記録媒体を提供する。
【選択図】 図8

Description

本発明は、エネルギービームの照射により情報の記録が行われる情報記録媒体に関し、特に、相変化記録層を2層有する青色レーザ対応の相変化型光ディスクに関する。
近年、DVD−ROM、DVD−Video等の再生専用型光ディスクの市場が拡大している。それに続き、DVD−RAM、DVD−RW、DVD+RW等の書換え可能なDVD(以下、記録型DVDともいう)がコンピュータ用バックアップ媒体及びVTRに代わる映像記録媒体として、その市場を急速に拡大しつつある。この市場の拡大に伴い、ここ数年、記録型DVDに対する転送レート及びアクセススピードの向上並びに大容量化への要望が増大している。
DVD−RAM、DVD−RW等の記録消去可能な記録型DVDでは、情報が記録される記録層に相変化材料を用いる相変化記録方式が採用されている。相変化記録方式では、基本的に「0」及び「1」の情報をそれぞれ相変化材料の結晶状態及びアモルファス状態に対応させて記録している。また、相変化材料の結晶状態とアモルファス状態の屈折率が異なるため、結晶に変化させた部分とアモルファスに変化させた部分の反射率の差が最大になるように、記録型DVDを構成する各層の屈折率、膜厚等を設計している。この結晶化した部分とアモルファス化した部分にレーザ光を照射し、光ディスクの各部分からの反射光量の違いを検出して記録層内に記録された情報「0」及び「1」を検出する。
また、所定の位置をアモルファスにする(通常、この動作を「記録」と呼ぶ)ためには、比較的高パワーのレーザ光を照射して、記録層の温度が記録層材料の融点以上になるように加熱する。一方、所定の位置を結晶にする(通常、この動作を「消去」と呼ぶ)ためには、比較的低パワーのレーザ光を照射して、記録層の温度が記録層材料の融点以下の結晶化温度付近になるように加熱する。このように、記録層の所定部分に照射するレーザ光のパワーを調整することにより、所定部分の状態をアモルファス状態と結晶状態との間で可逆的に変化させることができる。
上述のような記録型DVDで転送レート向上させるための方法として、媒体の回転数を上げ、短時間で記録消去を行う方法が一般的である。しかしながら、この際、媒体に情報をオーバーライトする際の記録消去特性が問題となる。この問題を以下に詳細に説明する。
媒体の所定の位置をアモルファスから結晶に変化させる場合を考える。媒体の回転数を上げると、レーザビームが媒体の所定の位置を通過する時間が短くなり、同時に、所定の位置が結晶化温度に保持される時間も短くなる。結晶化温度に保持される時間が短すぎると、十分に結晶成長することができないため、アモルファスが残ってしまう。この残存したアモルファスが、再生信号に反映され、再生信号品質が劣化する。
上記問題を解決するための方法として、従来、記録型DVDの記録層に一般的に使用されているGe−Sb−Te系相変化記録材料にSnを添加する方法が知られている。それ以外としては、例えば、特開2001−322357号公報では、記録層材料としてGe−Sn−Sb−Te系材料に、Ag、Al、Cr、Mn等の金属を添加した材料を使用することにより、高密度記録が可能で、繰り返し書換え性能に優れ、結晶化感度の経時劣化が少ない情報記録媒体が得られることが開示されている。特開平2−14289号公報にも、Ge−Sb−Sn−Te系の記録層材料が開示されている。
また、従来、Bi−Ge−Te系相変化材料を記録層材料に用い、その実用的な組成範囲も提案されている(例えば、特許文献1を参照)。さらに、DVD−RAMで2倍速及び5倍速に対応できるBi−Ge−Te系相変化材料の実用的な組成範囲も従来提案されている(例えば、特許文献2を参照)。
また、特開昭62−73439号公報及び特開平1−220236号公報にはBi−Ge−Se−Te系相変化記録材料が開示されており、さらに、特開平1−287836号公報にはBi−Ge−Sb−Te系相変化記録材料の実用的な範囲が規定されている。
さらに、PCOS2001ではDVD−RAMの2倍速から4倍速に対応できる記録材料としてGe−Sn−Sb−Te系材料が報告されている。ISOM/ODS2002ではDVD−RAMの2倍速及び5倍速に対応できる情報記録媒体が報告されており、この5倍速媒体は、新たに核生成層を付加して8層構造にすることによって5倍速への対応を可能にしている。
また、記録型DVDを大容量化する技術としては、レーザ光の波長を405nmと短波長化し且つ対物レンズNAを0.85と大きくすることにより、レーザスポット径を小さくし、より高密度の情報を記録する方法が良く知られている(Jpn.J.Appl.Phys.Vol.39(2000)pp.756−761、Part1,No.2B,Feb.2000)。この方法は、通称Blu−ray Discの主要技術として利用されており、従来のDVDより薄い0.1mm厚の基板を採用することによって、ディスクのチルトに対する影響を小さくしている。また、この0.1mm厚の基板は記録層の機械的保護、電気化学的保護(腐食防止)等の重要な役割を果たす。
従来のDVD−RAM、DVD−RW等の書換え型の光ディスクの基本構造は、0.6mm厚のポリカーボネート(PC)製基板上に第1誘電体層、相変化記録層、第2誘電体層及び反射層を順次積層した4層構造であり、さらに反射層側から0.6mm厚の基板を貼り合せることによって作製される。しかしながら、上述のBlu−ray Discでは、従来の光ディスクと同様の積層構造で作製すると、基板の厚さが0.1mmと薄いため、基板の剛性を保つことが難しくなる。それゆえ、Blu−ray Discでは、厚い基板、例えば1.1mm厚のPC基板上に反射層、第2誘電体層、相変化記録層及び第1誘電体層を順次積層し(従来の書換え型光ディスクと逆の順序に積層)、最後に第1誘電体層側から0.1mm厚の基板をカバー層(保護層)として形成し作製される。Blu−ray Discのカバー層の形成方法としては、第1誘電体層上に0.1mm厚のシートを紫外線硬化樹脂接着剤で貼り付ける方法と、第1誘電体層上に紫外線硬化樹脂をスピンコート法により均一に塗布し、紫外線照射により紫外線硬化樹脂を硬化させてカバー層を形成する方法とが提案されている。
Blu−ray Discの記録材料としては、例えば特許2941848号に開示されているAg−In−Sb−Te系記録材料を用いることができる。また、この特許にはAg−In−Sb−Te系記録材料に第5元素及び第6元素を添加した記録材料の組成についても詳細に開示されている。
また、記録型DVDを大容量化する別の方法として、0.6mm厚の基板上に従来と同様の順序で各層を積層した光ディスクを作製し、レーザ光の波長405nm、対物レンズNAを0.65として情報を記録する方法も提案されている。この方法は、通称HD DVD(High Density DVD)で使用されおり、上述のBlu−ray Discのような0.1mm厚のカバー層を用いる方法と比べて、対物レンズNAが小さいためにレーザスポット径が大きく、記録密度は低くなる。しかしながら、基板の剛性を保つことが容易であり、記録層の多層化が容易になるという利点がある。また、媒体上の埃や傷の影響を小さくすることができるという利点もある。
なお、上述のDVD−RAM、DVD−RW、DVD+RW、Blu−ray Disc、HD DVD等の技術では、記録トラックを蛇行させるいわゆるウォブルトラックが採用されている。このウォブルにはアドレス情報、同期信号等が記録されており、記録信号は和信号で再生し、ウォブル信号は差信号で再生することによってフォーマットの高効率化を図っている。また、ウォブル信号からも同期信号を取ることができるためアドレス情報や記録情報の信頼性向上等に極めて有効な手段であることが知られている。
また、上述したHD DVDではDVDよりさらに高密度に記録された情報を正確に記録再生するためにPRML(Partial Response and Maximum Likelihood)信号処理方式を採用している。これらの技術は、例えば、特許第3565365号、特開2001−319430号公報、特開2002−32961号公報及び特開2003−151220号公報等に開示されている。ここで、このPRML信号処理方式について説明する。
まず、例えば、現行のDVDと同じ光ヘッドを用いて、現行のDVDよりもさらに高密度化した記録情報を再生する場合について考える。トラック密度が高くなると、再生信号には隣接トラックに記録された信号からの漏れこみ成分(クロストーク成分)が多く含まれる。一方、線密度が高くなると各データ間(記録マーク間)で波形干渉を受けやすくなり、再生波形はより歪んだ形となる。そのような場合、通常、再生信号は等化器で高周波成分を増幅させて再生波形の歪みを是正し、波形等化を行うが、入力する再生波形がより歪んでいる場合には、高周波成分を現行のDVDの時よりも増幅する必要が出てくる。その結果、等化器は上述のような再生信号の劣化成分までも増幅させることとなる。現行のDVDでは信号検出方式として波形スライス方式を用いているが、上述のように再生信号の劣化成分が増加すると、この方式ではデータの復号は難しくなる。このような問題を解決するための方式として、PRML信号処理方式が提案されている。
PRML信号処理方式の原理について、図19及び20を参照しながら、詳細に説明する。PRML信号処理方式は、再生信号をPR特性へ補正する等化技術と、符号間干渉を利用して信号を識別するML復号技術とを複合した処理方式である。一般に、1ビットの記録信号に対するPR特性は、インパルス応答列を並べて表現され、例えば、PR(a0、a1、a2、a3、a4)のように表現される。これは、1ビットの記録信号に対する再生信号がa0、a1、a2、a3、a4の信号レベル(電圧レベル)を持つ系列として現れることを示している。その一例を示したのが、図19である。図19は、1ビットの孤立波形に対するPR特性がPR(1,2,2,2,1)である場合を示している。これは、HD DVDの再生信号特性に近いPR特性である。
図19(a)は、チャンネルビット長T(チャンネルクロック)の1ビットの孤立波形(1ビットの記録信号)であり、図19(b)は、その孤立波形に対するインパルス応答を示している。この場合、1ビットの記録信号に対して、再生信号は、図19(b)に示すように、チャンネルクロック周期Tの間隔で信号電圧レベル(サンプル点の電圧レベル)が[1,2,2,2,1]となる系列の波形として現れる。そして、記録される記録信号(変調符号)には、長さの異なる信号(チャンネルクロック周期Tの整数倍の信号)が含まれるので、その記録信号に対する再生信号系列は、図20に示すように、各記録ビットに対するインパルス応答の加算で表現される(重ね合わせの原理)。インパルス応答の加算された再生信号系列(図20中の破線の波形)はパスと呼ばれる。なお、PR特性にPR(1,2,2,2,1)を採用した場合、図20に示すように、等化後の再生信号系列は9つの信号レベルを有する信号系列に変換される。
PRML信号処理方式における等化器では、光ディスクの再生信号を使用するPR特性に合わせ込む処理が行われる。この際、光ディスクの再生信号特性と似通ったPR特性を選択することにより、等化による雑音成分の増加が抑制される。
一方、ML復号技術を用いて再生信号系列を識別する際には、実際に得られた再生信号波形と、想定されるすべてのパスとを比較して再生信号を識別する。しかしながら、実際の再生信号系列は、雑音などを含んでいるため、いかなるパスとも完全には一致しない。そこで、通常、ML復号技術では、検出された再生信号波形と想定されるすべてのパスとの各サンプル点における誤差を算出し、誤差の累積値がもっとも小さいパスを選択する。そして、選択したパスと1対1に対応するビット系列を再生情報として出力する。
上述のように、ML復号技術では、検出された再生信号波形のあるサンプル点のレベルに基づいて信号識別をする方式(波形スライス方式)のではなく、PR特性の持つ再生信号の既知の相関(符号間干渉)を積極的に利用して識別する方式であるので、雑音に強いという特徴がある。ただし、上述のように検出された再生信号波形と想定されるすべてのパスとの誤差を算出する必要があるので、その計算量が膨大となる。それゆえ、ML復号技術では、再生信号系列の識別を効率的に実行するために、ビタビ復号器が用いられる。
また、従来、情報の記録容量を増大するために、2つの記録層を備え、記録容量が2倍になる情報記録媒体(以下、2層情報記録媒体ともいう)が提案されている(例えば、特許文献3及び4を参照)。このような2層情報記録媒体では、レーザビームを一方の側から入射して2つの記録層に情報を記録再生する。
上述のように、2層情報記録媒体では、通常、レーザビームの入射側に近い記録層(以下、第1記録層ともいう)及び第1記録層の情報を記録再生する際にレーザビームを反射する金属反射膜とを含む第1情報記録部と、レーザビームの入射側から遠い側の記録層(以下、第2記録層ともいう)を含む第2情報記録部とから構成される。このような2層情報記録媒体では、上述のように片側からレーザビームを照射して2つの記録層に情報を記録及び再生するので、第1情報記録部を透過したレーザビームにより第2情報記録部に情報を記録再生する。それゆえ、第1情報記録部の第1記録層及び金属反射層の膜厚を極めて薄くして透過率を高める必要がある。また、第2情報記録部に記録された情報を再生する際には、第2情報記録部からの反射光は第1情報記録部を通過して検出されるので、第2情報記録部自身の反射率も高める必要がある。
特開昭62−209741号公報 特開2004−155177号公報 特開2000−36130号公報 特開2002−144736号公報
上述のように、情報記録媒体の大容量化を図るために青色レーザ(波長400〜410nm)を用いることは必須であり、様々な記録層材料が提案されている。また、高密度化された記録情報を正確に記録再生するために、次世代光ディスク・HD DVDでは、従来の検出方式(波形スライス方式)ではなく、上述したようなPRML信号処理方式が導入されている。さらに、大容量化のために記録層を2層有する2層情報記録媒体も提案されている。そこで、PRML信号処理方式を用いた2層情報記録媒体に適した記録層が求められている。
本発明の目的は、記録層を2層有し、各記録層としてBi−Ge−Te系相変化材料を用いた青色レーザ対応の2層情報記録媒体の構造の最適化を図ることにより、PRML信号処理技術に適合し、記録データの信頼性が高く、且つデータの繰返し記録に対する耐久性に優れた2層情報記録媒体を提供することである。
本発明の第1の態様に従えば、レーザビームの波長をλnm、該レーザビームを集光するための対物レンズの開口数をNA及び記録線速をVm/secとしたときに、46.5nsec≦(λ/NA)/V≦116.0nsecであり且つλ=400〜410nmの条件で上記レーザビームを照射して情報を複数回書換え可能な情報記録媒体であって、Bi、Ge及びTeを含む相変化材料で形成された第1の記録層と、Bi、Ge及びTeを含む相変化材料で形成された第2の記録層とを備え、第1の記録層が第2の記録層より上記レーザビームの入射側に近い方に配置されており、第1及び第2記録層中のBi、Ge及びTeの組成が、Bi、Ge及びTeの三角組成図上の以下の各点に囲まれた組成範囲にあり、
B3(Bi2.5,Ge47.0,Te50.5
C3(Bi2.5,Ge48.5,Te49.0
D3(Bi3.0,Ge50.0,Te47.0
D5(Bi12.0,Ge50.0,Te38.0
C5(Bi15.0,Ge41.0,Te44.0
B5(Bi8.0,Ge40.5,Te51.5
且つ、第1の記録層中のBiの組成が第2の記録層中のBiの組成より1.0at%以上大きいことを特徴とする情報記録媒体が提供される。
また、本発明の第2の様態に従えば、レーザビームの波長をλnm、該レーザビームを集光するための対物レンズの開口数をNA及び記録線速をVm/secとしたときに、46.5nsec≦(λ/NA)/V≦116.0nsecであり且つλ=400〜410nmの条件で上記レーザビームを照射して情報を複数回書換え可能な情報記録媒体であって、Bi、Ge及びTeを含む相変化材料で形成された第1の記録層と、Bi、Ge及びTeを含む相変化材料で形成された第2の記録層とを備え、第1の記録層が第2の記録層より上記レーザビームの入射側に近い方に配置されており、第1及び第2記録層中のBi、Ge及びTeの組成が、Bi、Ge及びTeの三角組成図上の以下の各点に囲まれた組成範囲にあり、
B2(Bi1.0,Ge49.0,Te50.0
C2(Bi1.5,Ge49.0,Te49.5
D2(Bi2.0,Ge50.0,Te48.0
D8(Bi20.0,Ge50.0,Te30.0
C8(Bi25.0,Ge35.0,Te40.0
B8(Bi18.0,Ge28.0,Te54.0
且つ、第1の記録層中のBiの組成が第2の記録層中のBiの組成より1.0at%以上大きいことを特徴とする情報記録媒体が提供される。
本発明者らは、従来の技術で説明したGe−Sb−Te系材料、Ge−Sn−Sb−Te系材料、Bi−Ge−Sb−Te系材料、Ag−In−Sb−Te系材料を2層情報記録媒体の各記録層の形成材料として用い、HD DVDの標準条件(レーザ波長405nm、対物レンズ開口数NA0.65、記録線速5.6m/sec)で記録再生を行ったところ、以下の問題が生じることが分かった。
(課題1)
PR(1,2,2,2,1)特性を採用したPRML信号処理方式を使っても情報の記録再生が正確に行うことができなかった。この課題について、本発明者らが鋭意検討したところ、次のような知見を得た。
上述したようにPR(1,2,2,2,1)特性では、図20に示すように、再生信号系列は9レベルにも分布するため、実際に検出された再生信号の特性が劣化した場合、等化が正しくできず、識別誤りを引き起こす。nT(Tはチャネルクロック周期、nは2,3,4,5,6,7,8,9,10及び11のいずれか)の長さの信号を含むランダムパターン情報を情報記録媒体に記録した場合、PR特性の等化処理(以下、PR等化ともいう)が正しく行われるために実際に検出された再生信号に求められる条件は、次の2点である。
(1)最短マーク長2Tの記録マークが正しい長さで記録再生されている。
(2)各マーク長の再生信号の振幅間に線形性が保たれている。
条件(1)について、一般に、ランダムパターン情報の信号中に一番多く含まれる信号は最短マーク長2Tの信号である。従って、2T長さの信号レベルが不安定である(2Tマークの長さがばらついている)と、正しいPR等化ができず、識別誤りが生じ、エラーレートを増加させる結果となる。
また、条件(2)については、各マーク長の再生信号の振幅に線形性が保たれていなければ、各マーク長に対応した所定の大きさの振幅が得られず、識別誤りを増加させることになる。例えば、マーク長の再生信号の振幅に線形性が保たれていれば、3T信号の振幅が1であるとすれば、4T信号振幅は1.33、5T信号振幅は1.66、6T信号の振幅は2という関係が得られるが、線形性が保たれていなければ、このような線形関係の振幅を有する再生信号が得られず、識別誤りが増大する。
また、HD DVDの標準条件(レーザ波長405nm、対物レンズ開口数NA0.65、記録線速5.6m/sec)で記録再生を行う場合、記録ストラテジー、記録パワーの調整により、上記(1)の条件を満足する、すなわち、最短マーク2Tの信号を正しい長さで記録することが可能であることが分かったが、上記(2)の条件、すなわち、各マーク長の再生信号の振幅間に線形性を保つこが難しいことがわかった。
この原因は、本発明者らの実験データの解析によると、記録マークの再結晶化によるものと推定される。再結晶化とはレーザビームを記録層の所定位置に照射して記録層材料を融点以上に加熱した(アモルファス化する)直後の冷却過程で、溶融領域外縁から結晶化が起こり、記録マークのサイズを小さくしてしまう現象(シュリンク)である。記録マークのシュリンクが起こると、記録マークのサイズが小さくなるので再生信号振幅が低下する。
通常、レーザビームを情報記録媒体に照射して、nT(Tはチャネルクロック、nは2,3,4,5,6,7,8,9,10,11)の長さの信号を記録する場合、2T信号は1パルス照射で記録を行い、3T以上の信号は複数パルスの照射で記録が行われる(HD DVDでは2Tは1パルス、3Tは2パルス、4Tは3パルス・・・といった(n−1)型の記録パルスで記録を行っている)。この記録方法では、例えば、2T信号を記録するために1パルス照射した後、直ちに冷却パルス照射(記録パワーより低パワーのパルスを照射:例えば、記録パワーを6mWとし、冷却パルス照射時のパワーを0.1mWとする)という過程となる。従って、短いマーク2Tを記録する際にはパルス照射時間が短くて済むため、記録層のパルス照射部分の冷却速度が記録層の結晶化速度を上回り、再結晶化は少なく、トラック幅一杯にマーク長2Tの記録マークの形成が可能である。しかしながら、マーク長11Tの記録マークなどのロングマークを記録する際には、最初のトップパルスを照射し、次いで、短時間冷却パルス照射した後、トップパルス照射部分が十分に冷却しきれないうちに、次のマルチパルスが順次、照射される。そのため、最初のトップパルスが照射された部分の冷却速度は、2Tマークを記録する際の1パルス照射で記録する場合に比べて遅くなる。その結果、ロングマーク記録時には、記録層のパルス照射部分の冷却速度が記録層の結晶化速度より遅くなる領域(例えば、溶融領域外縁)が存在し、その領域では再結晶化が起こる。それゆえ、ロングマーク記録時には記録マークの一部はトラック幅一杯にまで記録できず、マーク幅が狭くなることになる。また、マーク長が長くなるほど、マーク幅が狭くなることが分かった。
上述のように、記録マーク長によって、記録マークの幅が異なる現象が起こると、記録マーク長は線形性を保って記録が行われたとしても、マーク長が長くなるほど記録マークの幅が狭くなるので、再生信号の振幅はマーク長が長くなるほど所望の信号振幅が得られなくなる。この結果、各マーク長に対する再生信号の振幅の線形性が損なわれることになる。
また、記録マークのシュリンクが起こると、再結晶化した部分の結晶サイズは正常に結晶化された部分と結晶粒径が異なるので、これに起因する反射率分散が生じ、ノイズを発生させる。それゆえ、再結晶化による記録マークのシュリンクが大きすぎる場合には、上述のような原因により再生信号が劣化する。上述した記録マークのシュリンクによる課題は、記録層材料の結晶化速度を低下させることにより解決することができる。
(課題2)
再結晶化の大きい記録層に対して、幅広の記録マークを記録して再生信号振幅を大きくするために、より高いパワーのレーザビームを照射すると、隣接トラックに記録されていた記録マークが消去され(クロスイレーズ)、隣接トラックの信号品質が大幅に劣化する。
また、上述の課題1(記録マークのシュリンク)及び課題2(クロスイレーズ)が生じると高密度化のためにトラックピッチを狭くすることができなくなるので、青色レーザによってビーム径を小さくした効果を十分に活かすことができなくなってしまう。
(課題3)
幅広の記録マークを記録して再生信号振幅を大きくするために、より高いパワーのレーザビームを照射すると、多数回書換えによる記録層へのダメージが大きくなり、書換回数が減少する。
(課題4)
記録層を2層備える2層情報記録媒体では、さらに、次のような課題が生じることが分かった。本発明者らの検証実験によると、2つの記録層の組成を同一にすると、2つの記録層のうちレーザビームの入射側に近い方に配置されている記録層(第1の記録層)で情報の書換えが難しくなることが明らかになった。これは、以下の原因によるものと考えられる。
情報の記録容量を2倍にするために記録層を2層備える2層情報記録媒体では、上述のように、レーザビームの入射側から遠い方に配置されている記録層(第2の記録層)に情報を記録再生する場合には、レーザビームの入射側に近い方に配置されている第1の記録層を透過したレーザビームを用いて記録再生を行なう。それゆえ、2層情報記録媒体では、第1の記録層の膜厚および金属反射膜の膜厚を極めて薄くする必要がある。しかしながら、記録層が薄くなると、記録層が結晶化する際に、形成される結晶核が減少し、また、原子の移動可能な距離が短くなる。このため、記録層の膜厚が薄いほど結晶相が形成され難くなり、結晶化速度が低下する。このため、2層情報記録媒体で2つの記録層の組成を同一にすると、2つの記録層のうちレーザビームの入射側に近い方に配置されている第1の記録層における情報の書換えが困難になったものと考えられる。
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、本発明では、特に2層情報記録媒体に対して、nT(Tはチャネルクロック、nは2,3,4,5,6,7,8,9,10,11)の長さの信号を記録し、PRML信号処理技術を用いて、HD DVDの再生条件で情報再生を行った場合でも、上記課題1〜4をすべて解決することが可能になる2層情報記録媒体を提供することを目的とする。
本発明者らは検証実験により、Bi−Ge−Te系相変化材料で形成された記録層を2層備える2層情報記録媒体において、2つの記録層(第1及び第2の記録層)中のBi、Ge及びTeの組成を、Bi、Ge及びTeの三角組成図上の以下の各組成点に囲まれた組成範囲にすることにより、例えば、HD DVDの1倍速〜2倍速の条件で記録再生を行った場合でも、上記課題1〜3をすべて解決することができることを見出した。
B2(Bi1.0,Ge49.0,Te50.0
C2(Bi1.5,Ge49.0,Te49.5
D2(Bi2.0,Ge50.0,Te48.0
D8(Bi20.0,Ge50.0,Te30.0
C8(Bi25.0,Ge35.0,Te40.0
B8(Bi18.0,Ge28.0,Te54.0
より詳細には、レーザビームの波長をλ(nm)、該レーザビームを集光するための対物レンズの開口数をNA及び記録線速をV(m/sec)としたときに、情報記録媒体上のある地点をレーザビームのスポットが通過する時間を表わすパラメータ(λ/NA)/Vが46.5〜116.0nsec(但し、λ=400〜410nm)の範囲となるような記録再生条件において、第1及び第2の記録層中のBi、Ge及びTeの組成を上記の各組成点に囲まれた組成範囲にすることにより、上記課題1〜3をすべて解決することができ、記録データの信頼性が高く且つデータの繰返し記録に対する耐久性に優れた2層情報記録媒体を提供することができることを本発明者らは検証実験により見出した。
第1及び第2の記録層中のBi、Ge及びTeの組成を、Bi、Ge及びTeの三角組成図上の上記各組成点に囲まれた組成範囲にすることにより、上記課題1〜3をすべて解決することができた理由は以下に述べる理由によるものと考えられる。
まず、記録層の再結晶化(課題1)抑制の原理について説明する。再結晶化抑制の原理としては、上記特許文献2で、次のような仮説が述べられている。
本発明の情報記録媒体においても同様の原理で再結晶化が抑制されているものと考えられる。Bi−Ge−Te系相変化材料には、現在までに明らかになっている範囲では、GeTe、BiTe、BiGeTe、BiGeTe及びBiGeTeの化合物が存在する。記録層の所定部分に情報を記録する(アモルファス化する)ためにレーザビームを照射して溶融した直後に、溶融領域の一部が再結晶化が起こるような場合、記録層の組成によって異なるが、以上に挙げた化合物、Bi、Ge及びTeのうち融点が高い物質から順に溶融領域外縁部から再結晶化するものと考えられる。これらの物質を融点が高い順に並べると以下のようになる。
Ge:約937℃
GeTe:約725℃
BiGeTe:約650℃
BiTe:約590℃
BiGeTe:約584℃
BiGeTe:約564℃
Te:約450℃
Bi:約271℃
上述のようにGeの融点が最も高いため、Bi、Ge及びTeを頂点とする三角組成図上のGeTeとBiTeを結ぶ線上の組成材料より、Geを過剰に添加した相変化材料を記録層として用いた情報記録媒体では、溶融領域の外縁部にGeが偏析し易くなるものと考えられる。溶融領域の外縁部にGeが過剰に存在すると、溶融領域の外縁部の結晶化速度が遅くなり外縁部からの再結晶化を抑制できる。それゆえ、多数回書換えにより生じる再結晶化の「帯」の発生を抑制することができる。
上述のように溶融領域の外縁部からの再結晶化を抑制できれば、再生信号振幅を向上させるためにレーザパワーを高めて、幅広い領域を溶融させる必要がなくなり、隣接トラックに記録されていた記録マークを消去してしまう問題(課題2:クロスイレーズ)も解消できる。
さらに、上述のように溶融領域の外縁部からの再結晶化を抑制できれば、記録1回当たりに照射する記録パワーを低くすることができるので、多数回書換えによる記録層へのダメージ(課題3)を抑制することができる。すなわち、書換え耐久性を向上させることができる。こうして、本発明の2層情報記録媒体では、上記課題1〜3を全て解決することができる。
さらに、本発明者らは検証実験により、2層情報記録媒体において、2つの記録層の組成を上記組成範囲内にし、且つ、レーザビームの入射側に近い方に配置されている第1の記録層中のBiの組成を、レーザビームの入射側から遠い方に配置されている第2の記録層中のBiの組成より1.0at%以上大きくすることにより、上記課題4で説明した第1の記録層の結晶化速度の低下を抑制することができ、情報の書き換えが十分に行えることを見出した。
この原因は、本発明者らの実験データの解析によると、記録層中のBi量を多くすることにより、BiTeなどのBi化合物が結晶核としてより多く生成され、結晶化速度が速くなったためであると考えられる。また、本発明者らは、Bi量を増加しても、同時にGe量を過剰に増加させると、Bi量増加による効果(結晶化速度上昇)とGe量増加による効果(結晶化速度減少)が相殺してしまい、結晶化速度が速くならないことを見出し、Bi量を増加した際に結晶化速度上昇の効果がより発揮されるGe量の好適な範囲も見出した。
上述のように、本発明者らは検証実験により、Bi−Ge−Te系相変化材料で形成された記録層を2層備える2層情報記録媒体において、2つの記録層(第1及び第2の記録層)中のBi、Ge及びTeの組成を、Bi、Ge及びTeの三角組成図上の以下の各組成点に囲まれた組成範囲にし、且つ、レーザビームの入射側に近い方に配置されている第1の記録層中のBiの組成を、レーザビームの入射側から遠い方に配置されている第2の記録層中のBiの組成より1.0at%以上大きくすることにより、例えば、HD DVDの1倍速〜2倍速の条件で記録再生を行った場合でも、上記課題1〜4を全て解決することができることを見出した。
B2(Bi1.0,Ge49.0,Te50.0
C2(Bi1.5,Ge49.0,Te49.5
D2(Bi2.0,Ge50.0,Te48.0
D8(Bi20.0,Ge50.0,Te30.0
C8(Bi25.0,Ge35.0,Te40.0
B8(Bi18.0,Ge28.0,Te54.0
また、本発明者らは、実用化の観点から検討した結果、2つの記録層(第1及び第2の記録層)中のBi、Ge及びTeの組成を、Bi、Ge及びTeの三角組成図上の以下の各組成点に囲まれた組成範囲にし、且つ、レーザビームの入射側に近い方に配置されている第1の記録層中のBiの組成を、レーザビームの入射側から遠い方に配置されている第2の記録層中のBiの組成より1.0at%以上大きくすることがより好ましいことが分かった。
B3(Bi2.5,Ge47.0,Te50.5
C3(Bi2.5,Ge48.5,Te49.0
D3(Bi3.0,Ge50.0,Te47.0
D5(Bi12.0,Ge50.0,Te38.0
C5(Bi15.0,Ge41.0,Te44.0
B5(Bi8.0,Ge40.5,Te51.5
なお、上記説明では、2層情報記録媒体を例にとり説明したが、本発明はこれに限定されず、記録層を3層以上有する多層情報記録媒体に対しても適用可能であり、3層以上の記録層のうち、2つの記録層間で上記組成範囲の条件が満たされていれば、同様の効果が得られる。
また、本発明の情報記録媒体に対して、PRML信号処理方式を用いて情報再生した際には、最短マーク長の記録マークがレーザビームのスポット内に2個存在するような状態であっても、正確な情報の記録再生が可能になる。すなわち、本発明の情報記録媒体では、上記情報記録媒体に記録される最短記録マークの長さをLとしたとき、上記レーザビームの波長λと、上記対物レンズの開口数NAと、上記最短マーク長Lとの間に、
0.25≦L/(λ/NA)≦0.40
の関係が成立するような場合でも、情報の記録再生を正確に行うことができる。
また、本発明の情報記録媒体では、チャンネルクロック周期がTであり、長さ2T〜11Tの信号を含むランダムパターン情報を上記情報記録媒体に記録した際に、11T信号の再生信号の高レベル値及び低レベル値をそれぞれI11H及びI11Lとし、2T信号の再生信号の高レベル値及び低レベル値をそれぞれI2H及びI2Lとしたとき、
−0.10≦[(I11H+I11L)/2−(I2H+I2L)/2]/(I11H−I11L)≦0.10
の関係が成立する再生信号波形が得られる。
パラメータ[(I11H+I11L)/2−(I2H+I2L)/2]/(I11H−I11L)は、再生信号のアシンメトリであり、11Tマーク長に対する2Tマーク長のバランスを表したパラメータであり、このパラメータの絶対値が0に近くなるほど、2T信号レベルの検出が容易になる。すなわち、上記パラメータは最短マーク長2Tの信号品質を表すパラメータであり、このパラメータの絶対値が小さいほど最短マーク長2Tの信号品質が良好となる。また、このパラメータの絶対値が小さいほど、マーク長と再生信号の振幅との線形性が保ち易くなる。
本発明の情報記録媒体では、上記情報記録媒体が、さらに、第1及び第2の基板を備え、第1及び第2の記録層がそれぞれ第1及び第2の基板上に設けられており、上記情報記録媒体が円板状の形状を有し、第1及び第2の基板には、同心円状またはスパイラル状の溝が形成されており、該溝及び溝間の少なくとも一方が記録トラックとして用いられ、該溝及び溝間の少なくとも一方が蛇行していることが好ましい。また、この場合、上記記録トラックのトラックピッチTPが、0.6×(λ/NA)〜0.8×(λ/NA)の範囲であることが好ましく、特に、本発明の情報記録媒体に用いられるレーザビームの波長λがλ=400〜410nmの場合には、上記対物レンズの開口数NAがNA=0.6〜0.65であり、且つ、上記トラックピッチTPが0.4μm以下であることが好ましい。本発明者の検証実験によると、このような構造においても良好な記録再生特性が得られることが分かった。
本発明の情報記録媒体では、上記情報記録媒体が、さらに、第1及び第2の基板を備え、第1及び第2の記録層がそれぞれ第1及び第2の基板上に設けられており、上記情報記録媒体が円板状の形状を有し、第1及び第2の基板には、同心円状またはスパイラル状の溝が形成されており、該溝及び溝間の両方を記録トラックとして用いることが好ましい。また、この場合、上記記録トラックのトラックピッチTPが、0.5×(λ/NA)〜0.6×(λ/NA)の範囲であることが好ましく、特に、本発明の情報記録媒体に用いられるレーザビームの波長λがλ=400〜410nmの場合には、上記対物レンズの開口数NAがNA=0.6〜0.65であり、且つ、上記トラックピッチTPが0.34μm以下であることが好ましい。
本発明者らの検証実験によると、本発明の情報記録媒体をこのような構造にした場合においても、良好な記録再生特性が得られることが分かった。具体的には、本発明者らは、検証実験により、記録トラックのトラックピッチTPが、0.5×(λ/NA)〜0.6×(λ/NA)の範囲の本発明の情報記録媒体に対して、良好な記録再生特性が得られることを見出した。特に、レーザビームの波長λがλ=400nm〜410nmであり、対物レンズの開口数NAがNA=0.6〜0.65であり、且つ、トラックピッチTPが0.34μm以下となる条件下では、一層良好な記録再生特性が得られることを見出した。
本発明の情報記録媒体では、さらに、第1及び第2の記録層の上記レーザビームの入射側とは反対側にそれぞれ設けられた第1及び第2の熱拡散層を備えることが好ましい。本発明の情報記録媒体では、各記録層のレーザビームの入射側とは反対側に熱拡散層を設けることにより、多数回書換えに対する信頼性が向上する。
本発明の情報記録媒体では、第1の記録層の膜厚が、5〜10nmであり、第1の熱拡散層の膜厚が7〜12nmであることが好ましい。
本発明者らは、検証実験により、第1の記録層の膜厚を10nm以下とすることにより、第1の記録層の透過率を50%以上にすることができ、第2の記録層に対して問題なく記録できることを見出した。また、第1の記録層の膜厚が5nmより薄くすると、第1の記録層中の結晶−アモルファスのコントラストが小さくなり記録再生特性が劣化することを見出した。
また、本発明者らは第1の熱拡散層の膜厚を12nm以下とすることにより、第1の記録層の透過率を50%以上にすることができ、第2の記録層に対しても問題なく記録できることを見出した。また、第1の熱拡散層を7nmより薄くすると、情報記録時に第1の記録層に蓄積された熱を第1の熱拡散層を介して速やかに逃がすことができなくなり、記録マーク形状が歪み、記録再生特性が大きく劣化することを確認した。
本発明の情報記録媒体では、第2の記録層の膜厚が、7〜12nmであることが好ましい。本発明者らは、検証実験により、第2の記録層の膜厚を12nm以下とすることにより、情報記録媒体の多数回書換えに対する信頼性が向上することを見出した。これは、記録層の膜厚を薄くすることにより、多数回書換え時に起こる記録層材料の流動、組成変動、偏析等の現象を抑制することができたためであると考えられる。また、第2の記録層の膜厚が7nmより薄くすると、第2の記録層中の結晶−アモルファスのコントラストが小さくなり記録再生特性が劣化することを見出した。
本発明の情報記録媒体では、さらに、第1の記録層の少なくとも一方の表面に接して設けられた第1の界面層と、第2の記録層の少なくとも一方の表面に接して設けられた第2の界面層とを備えることが好ましい。本発明者らは、各記録層の少なくとも一方の表面に界面層を接して設けても多数回書換えに対する信頼性を向上させることができることを見出した。
また、本発明の情報記録媒体で使用されるBi−Ge−Te系相変化材料では、Geの代わりに同族元素であるSi、Sn、Pb等を使用しても良く、また、適当な量のSi、Sn、Pb等を添加しても良い。適当な量のSi、Sn、Pb等を添加することにより、容易に、対応可能な線速度範囲を調整することができる。すなわち、記録層材料の組成が、Bi、Ge及びTeを頂点とする三角組成図上の上記各点[B2,C2,D2,D8,C8,B8]により囲まれた範囲のBi−Ge−Te系相変化材料を母材とし、Geの一部がSi、Sn及びPbのうち、少なくとも一つの元素により置換された組成である材料を記録層材料として用いてもよい。
本発明の情報記録媒体に使用されるBi−Ge−Te系記録層材料では、Biの代わりに同族元素であるSbを使用しても良く、また、適当な量のSbを添加しても良い。適当な量のSbを添加することにより、容易に、対応可能な線速度範囲を調整することができる。すなわち、Bi−Ge−Te系記録層材料の組成が、Bi、Ge及びTeを頂点とする三角組成図上の上記各点[B2,C2,D2,D8,C8,B8]により囲まれた範囲のBi−Ge−Te系相変化材料を母材とし、Biの一部がSbにより置換された組成である記録層材料を用いても良い。
本発明の情報記録媒体に使用されるBi−Ge−Te系記録層材料では、Bi、Ge及びTeを頂点とする三角組成図上の上記各点[B2,C2,D2,D8,C8,B8]により囲まれた範囲のBi−Ge−Te系相変化材料を母材とし、Geの一部がSi、Sn及びPbのうち、少なくとも一つの元素により置換され、かつBiの一部がSbにより置換された組成である記録層材料を用いても良い。
さらに、本発明の情報記録媒体に使用されるBi−Ge−Te系記録層材料にBを添加しても良い。Bを添加すると、再結晶化がより一層抑制され優れた性能を示す情報記録媒体が得られる。
本発明の情報記録媒体では、さらに、第1の記録層の少なくとも一方の表面に接して設けられた第1の界面層と、第2の記録層の少なくとも一方の表面に接して設けられた第2の界面層とを備えることが好ましい。本発明者らは、各記録層の少なくとも一方の表面に界面層を接して設けても多数回書換えに対する信頼性を向上させることができることを見出した。
本発明の情報記録媒体では、各記録層に隣接してBiTe、SnTe、PbTe等を含有した核生成層を設けても良い。この場合には、再結晶化を抑制する効果がさらに向上する。
なお、本発明の情報記録媒体では、第1及び第2の記録層の組成が上述の組成範囲(B2,C2,D2,D8,C8,B8またはB3,C3,D3,D5,C5,B5で囲まれた範囲)であり、且つ、第1の記録層中のBiの組成が第2の記録層中のBiの組成より1.0at%以上大きい組成である関係を維持していれば、たとえ、不純物が混入していたとしても、不純物の原子%が1%以内であれば、本発明の効果は失われない。
また、本明細書では、本発明の情報記録媒体を相変化光ディスク、あるいは単に光ディスクと表現することがあるが、本発明の情報記録媒体としては、エネルギービームの照射により熱が発生し、この熱により原子配列の変化が起こり、これにより情報の記録が行われるような情報記録媒体であれば適用可能である。それゆえ、本発明の情報記録媒体は、特にその形状によらず、例えば、光カード等の情報記録媒体にも適用できる。
また、本明細書中では上記したエネルギービームをレーザビーム、または単にレーザ光あるいは光と表現することがあるが、上述したように本発明の情報記録媒体上に熱を発生させることが可能なエネルギービームであれば効果が得られるので、電子ビーム等のエネルギービームを使用してもよい。
また、本発明の情報記録媒体では、第1の記録層の光入射側に第1の基板が配置されるような構成を前提としているが、第1の記録層の光入射側とは反対側に第1の基板を配置し、光入射側には、第1の基板よりも薄い保護シート等の保護材を配置しても良い。
本発明の情報記録媒体によれば、第1及び第2の記録層としてBi−Ge−Te系相変化材料を用い、第1及び第2の記録層中のBi、Ge及びTeの組成が、Bi、Ge及びTeの三角組成図上の以下の各点に囲まれた組成範囲になるように設定し、且つ、第1の記録層中のBiの組成が第2の記録層中のBiの組成より1.0at%以上大きくなるように設定されている。それゆえ、レーザビームの波長をλ(nm)、該レーザビームを集光するための対物レンズの開口数をNA及び記録線速をV(m/sec)としたときに、46.5nsec≦(λ/NA)/V≦116.0nsec(但し、λ=410nm〜420nm)の条件で情報が記録再生されるような場合(例えば、HD DVDに標準速(1倍速)〜2倍速で記録再生するような場合)でも、上述した課題1〜4(記録マークのシュリンク、クロスイレーズ、熱によるダメージ及び第1の記録層の書き換えの問題)をすべて解決することができ、記録データの信頼性が高く、且つデータの繰返し記録に対する耐久性に優れた情報記録媒体を提供することができる。
B2(Bi1.0,Ge49.0,Te50.0
C2(Bi1.5,Ge49.0,Te49.5
D2(Bi2.0,Ge50.0,Te48.0
D8(Bi20.0,Ge50.0,Te30.0
C8(Bi25.0,Ge35.0,Te40.0
B8(Bi18.0,Ge28.0,Te54.0
以下、本発明の情報記録媒体の実施例を説明するが、本発明はこれに限定されない。
[情報記録媒体及びその製造方法]
実施例1で作製した情報記録媒体は記録層を2層備えた相変化型の光ディスクであり、その概略断面図を図1に示した。この例で作製した光ディスク100は、図1に示すように、第1情報部10と、第2情報部20と、紫外線硬化性保護層30とからなり、紫外線硬化性保護層30を介して第1情報部10と第2情報部20とが貼り合わされた構造を有する。また、この例の光ディスク100では、図1に示すように、第1情報部10側からレーザ光41が入射される。
第1情報部10は、図1に示すように、第1基板11上に第1保護層12、第1界面層13、第1記録層14、第2界面層15、第2保護層16、第1遮断層17、第1熱拡散層18、第2遮断層19及び透過率補正層40が順次積層された構造を有する。また、第2情報部20は、第2基板21上に第2熱拡散層22、第4保護層23、第4界面層24、第2記録層25、第3界面層26及び第3保護層27が順次積層された構造を有する。そして、紫外線硬化性保護層30を介して、第1情報部10の透過率補正層40と、第2情報部20の第3保護層27とが対向するように、第1情報部10と第2情報部20とが貼り合わされている。
この例の光ディスク100では、グルーブのみに情報を記録する、いわゆる、グルーブ記録方式を採用した。なお、ここでいうグルーブとは、基板の溝が形成されている領域で、レーザ光41の入射側から見て、凸部となる部分を意味する。
次に、この例の光ディスク100の作製方法を説明する。まず、第1情報部10の作製方法を説明する。
まず、第1基板11には、直径120mm、厚さ0.6mmのポリカーボネート製基板を用いた。第1基板11は射出成形により作製し、第1基板11の半径23.8mmから58.6mmの情報の記録領域には、トラックピッチが0.40μmとなるような溝を形成した。なお、この例では、グルーブ記録方式を採用しているので、この例でいうトラックピッチとは、所定のグルーブトラックの中央からそのグルーブトラックに隣接するグルーブトラックの中央までの距離とする。また、この例では、トラックに93チャネルビットの周期でウォブルを施した。
次に、第1基板11上に、第1保護層12として(ZnS)80(SiO20をスパッタリングにより45nmの膜厚で形成した。次いで、第1保護層12上に、第1界面層13として(Ta60(Cr40(mol%)をスパッタリングにより7nmの膜厚で形成した。
次に、第1界面層13上に、第1記録層14としてスパッタリングにより膜厚6nmのBi−Ge−Te相変化膜を形成した。この例では、Bi、Ge及びTeを頂点とする三角組成図上のGe50Te50とBiTeを結ぶ線上の組成よりGeが過剰に添加された組成を有する第1記録層14を形成した。具体的には、スパッタターゲットにはGe50Te50とBi29.0Ge32.5Te38.5のターゲットを用い、同時スパッタリングで第1記録層14を形成した。なお、この際、第1記録層14の組成がBi21.5Ge37.0Te41.5となるように、各々のターゲットに印加するスパッタリングパワーを調整した。なお、この例の第1記録層14の組成は後述するサンプルC7(実施例2)の第2記録層及びサンプルH7(実施例6)の第1記録層の組成と同じである。
上記方法で形成された第1記録層14上に、第2界面層15として(Ta20(Cr80(mol%)をスパッタリングにより2nmの膜厚で形成した。次いで、第2界面層15上に、第2保護層16として(ZnS)80(SiO20をスパッタリングにより8nmの膜厚で形成した。次いで、第2保護層16上に、第1遮断層17として(Ta20(Cr80(mol%)をスパッタリングにより1nmの膜厚で形成した。次いで、第1遮断層17上に、第1熱拡散層18としてAg−Ca−Cuをスパッタリングにより8nmの膜厚で形成した。次いで、第1熱拡散層18上に、第2遮断層19として(Ta20(Cr80(mol%)をスパッタリングにより1nmの膜厚で形成した。さらに、第2遮断層19上に、透過率補正層40として(ZnS)80(SiO20をスパッタリングにより22nmの膜厚で形成した。
次に、第2情報部20の作製方法を説明する。まず、第2基板21には、第1基板11と同様の寸法のポリカーボネート製基板を用いた。また、第2基板21は、第1基板11と同様の方法で作製し、第2基板21の半径23.8mmから58.6mmの情報の記録領域には、トラックピッチ0.40μmの溝を形成し、トラックに93チャネルビットの周期でウォブルを施した。
次に、第2基板21上に、第2熱拡散層22としてAg−Ca−Cuをスパッタリングにより100nmの膜厚で形成した。次いで、第2熱拡散層22上に、第4保護層23として(ZnS)80(SiO20をスパッタリングにより20nmの膜厚で形成した。次いで、第4保護層23上に、第4界面層24として(Ta60(Cr40(mol%)をスパッタリングにより2nmの膜厚で形成した。
次に、第4界面層24上に、第2記録層25としてスパッタリングにより膜厚
10nmのBi−Ge−Te相変化膜を形成した。この例では、Bi、Ge及びTeを頂点とする三角組成図上のGe50Te50とBiTeを結ぶ線上の組成よりGeが過剰に含まれる種々の組成を有する第2記録層25を形成した(B系列の光ディスク)。この際、スパッタターゲットにはGe50Te50とBi21.0Ge24.5Te54.5のターゲットを用い、同時スパッタリングで形成した。また、第2記録層25の組成が、所望の組成となるように、各々のターゲットに印加するスパッタリングパワーを調整した。
具体的には、第2記録層25の組成が、Bi1.0Ge49.0Te50.0(サンプル番号B2)、Bi2.5Ge47.0Te50.5(サンプル番号B3)、Bi6.5Ge42.0Te51.5(サンプル番号B4)、Bi8.0Ge40.5Te51.5(サンプル番号B5)、Bi11.0Ge36.5Te52.5(サンプル番号B6)、Bi14.0Ge33.0Te53.0(サンプル番号B7)、及び、Bi18.0Ge28.0Te54.0(サンプル番号B8)となる光ディスク100を作製した。なお、この例では、比較のため、第2記録層25の組成が、Bi0.5Ge49.5Te50.0(サンプル番号B1)及びBi21.0Ge24.5Te54.5(サンプル番号B9)となる光ディスク100も作製した。
上記方法で形成された第2記録層25上に、第3界面層26として(Ta60(Cr40(mol%)をスパッタリングにより7nmの膜厚で形成した。次いで、第3界面層26上に、第3保護層27として(ZnS)80(SiO20をスパッタリングにより60nmの膜厚で形成した。
次に、上記方法で作製された第1情報部10と第2情報部20の貼り合わせ方法について説明する。まず、第1情報部10の透過率補正層40上に、紫外線硬化性保護層30としてUV樹脂を塗布し、その上に、第2情報部20の第3保護層27側が第1情報部10の透過率補正層40と対向するように、第2情報部20を載置した。次いで、透明基板越しにUV照射を行い、UV樹脂を硬化させることにより第1情報部10と第2情報部20とを貼り合わせた。以上の製造方法により、図1に示した光ディスク100を得た。
上記の作製方法で得られた種々の光ディスク100に対して、初期化装置(不図示)を用いて、波長810nm、ビームスポットの長径が96μm、短径が1μmである楕円ビームのレーザ光を照射して第1及び第2記録層の初期化を行った。
この例では、上記の作製方法で得られた第2記録層25の組成の異なる種々の光ディスク100に対して情報の記録再生試験を行い第2記録層25の特性評価を行った。
[情報記録再生装置]
ここで、この例で作製した種々の光ディスクに対して情報の記録及び再生を行うための情報記録再生装置について説明する。この例で用いた情報記録再生装置の概略構成図を図2に示した。この例で用いた情報記録再生装置200は、図2に示すように、主に、この例で作製した光ディスク100を回転させるためのモーター51と、光ディスク100にレーザ光を照射する光ヘッド52と、トラッキング制御のためのL/Gサーボ回路53と、再生信号処理系54と、記録信号処理系64とから構成される。
再生信号処理系54は、図2に示すように、再生信号を増幅する増幅器55、増幅された再生信号を2値化するためのアナログデジタル変換器56、再生信号波形に対して等化処理を行うための等化器57、波形等化された信号に対応する情報を復号するためのビタビ復号器58、及び、ビットエラーレートを計算するための評価値算出器53から構成される。
評価値算出器53は、図2に示すように、遅延回路59、状態判定器61、参照テーブル62及び評価値計算器60からなる。遅延回路59は、等化器57から入力されたデータを時間調整するための遅延器である。状態判定器61はビタビ復号器58からの出力データと、参照テーブル62に記憶されている誤パターンとを比較し、その比較結果を評価値計算器60に入力する。評価値計算器60は、等化器57からの入力データと、状態判定器61からの入力データを用いてビットエラーレートを計算する。
記録信号処理系64は、図2に示すように、入力信号を所定の変調方式で変調する1−10変調器68と、復号時のデータ誤り伝播を阻止するためのプリコーダ67と記録信号波形を生成する記録波形発生回路66と、レーザ光の発光を制御するレーザ駆動回路65とから構成される。
この例で用いた光ヘッド52は、波長405nmの半導体レーザと、開口数NAが0.65の対物レンズを備えている(不図示)。一般的に、波長λのレーザ光を開口数NAの対物レンズにより集光した場合、レーザ光のスポット径はおよそ0.9×λ/NAとなるので、この例の場合、レーザ光のスポット径は約0.6μmとなる。ただし、この例では、レーザ光の偏光を円偏光とした。また、この例では、トラックピッチTPを0.40μmとしたので、トラックピッチTPと、波長λと、開口数NAとの間には、TP=0.64×(λ/NA)の関係が成立する。
また、この例で作製した光ディスク100はグルーブ記録方式の光ディスクであるので、図2に示した情報記録再生装置200もグルーブ記録方式に対応している。なお、この例の情報記録再生装置200では、図2中のL/Gサーボ回路53により、ランドとグルーブに対するトラッキングを任意に選択することができる。
以下に、情報記録再生装置200の動作を図2を用いて説明する。なお、記録再生を行う際のモーター制御方法としては、記録再生を行うゾーン毎にディスクの回転数を変化させるZCLV方式を採用した。また、この例では、情報記録の際に、マークエッジ方式を用い、ETM,RLL(1、10)変調方式で光ディスク100上に情報を記録した。この変調方式では、情報は2T〜11Tのマーク長で記録される。ここで、Tとは情報記録時のクロックの周期を表しており、この例ではT=15.4nsとした。すなわち、この例では、最短2Tのマーク長はおよそ0.20μm、最長11Tのマーク長は約1.12μmとなる。すなわち、この例では、最短マーク長2Tが、レーザ光のスポット径(約0.6μm)の約1/3になるようにした。また、この例では、記録線速6.61m/secを1倍速とし、2倍速の記録速度は13.22m/secとした。
まず、情報記録に必要な信号が記録装置外部から1−10変調器68に入力される。次いで、1−10変調器68に入力された信号は上述の変調方式で変調され、2T〜11Tのデジタル信号が出力される。次いで、プリコーダ67でNRZI符号に変換され、1−10変調器68から出力された2T〜11Tのデジタル信号は記録波形発生回路66に入力される。
記録波形発生回路66では、入力された2T〜11Tのデジタル信号に基づいて、情報記録時のレーザ光照射に必要なマルチパルス記録波形が生成される。この例では、マルチパルス記録波形の高パワーレベル領域を、幅を約T/2の高パワーパルスと、高パワーパルス間に形成された幅が約T/2の低パワーパルスとで構成された一連のパルス列で形成した。また、マルチパルス記録波形の上記一連のパルス列の間の領域は中間パワーレベルのパルスで構成した。この際、記録層に記録マークを形成(アモルファス化)するための高パワーレベルのパルス強度と、記録マークを結晶化させるための中間パワーレベルのパルス強度を、記録再生を行う光ディスク毎に最適な値に調整した。
また、記録波形発生回路66内では、2T〜11Tのデジタル信号波形を時系列的に交互に「0」と「1」に対応させ、「0」の場合には、中間パワーレベルのレーザパルスを照射し、「1」の場合には、上述の高パワーパルスと低パワーパルスで構成された一連のパルス列を照射するようにした。この際、中間パワーレベルのレーザパルスが照射された光ディスク100上の部分は結晶となり、上述の高パワーパルスと低パワーパルスで構成された一連のパルス列が照射された部分はアモルファス(マーク部)に変化する。さらに、記録波形発生回路66は、上述の高パワーパルスと低パワーパルスで構成された一連のパルス列を形成する際に、マーク部の前後のスペース長に応じてマルチパルス波形の先頭パルス幅と最後尾のパルス幅を変化させる方式(適応型記録波形制御)に対応したマルチパルス波形テーブルを有しており、これによりマーク間に発生するマーク間熱干渉の影響を極力排除できるマルチパルス記録波形を発生している。
次に、上述の記録波形発生回路66で生成されたマルチパルス記録波形は、レーザ駆動回路65に転送され、レーザ駆動回路65は、入力されたマルチパルス記録波形に基づいて、光ヘッド52内の半導体レーザの発光を制御する。そして、半導体レーザから出射されたレーザ光を光ヘッド52内の対物レンズにより光ディスク100の記録層上に絞り込み、マルチパルス記録波形に対応したタイミングでレーザ光を照射することにより、情報の記録を行った。
上述のように記録された情報の再生動作を次に説明する。まず、光ヘッド52からレーザ光を光ディスク100の記録マーク上に照射し、記録マークと記録マーク以外の部分(未記録部分)からの反射光を光ヘッド52で検出して再生信号を得る。この再生信号の振幅を増幅器55により所定のゲインで増幅される。増幅された再生信号はAD変換器56でデジタル再生信号に変換される。デジタル再生信号は等化器57によって使用するPR特性に応じた波形(再生信号系列)へと等化され、ビタビ復号器58及び評価値算出器53へ送られる。
ビタビ復号器58では、等化器57から入力されたPR特性に応じた波形を二値の識別データに復号する。識別データは、必要に応じて復調、誤り訂正等の処置を施された後、記録情報の再生が完了する。また、ビタビ復号器58から出力された識別データも、評価値算出器53へ送られる。一方、等化器57から評価値算出器53へ送られたPR特性に応じた波形は、遅延回路59を介して評価値計算器60に入力される。
評価値算出器53では、等化器57から入力されたPR特性に応じた波形と、ビタビ復号器58から入力された識別データとを用いてビットエラーレートを計算する。評価値算出器53内におけるビットエラーレートの計算方法は、以下に詳細に説明する。
[ビットエラーレート計算方法]
まず、状態判定器61において、予め用意した参照テーブル62のパターンを参照して、ビタビ復号器68から入力された識別データと比較する。参照テーブル62には、ビタビ復号器68から入力された識別データの各パターンに対して想定される正パターンとその理想信号、誤りパターンとその理想信号、並びに、正パターンと誤パターンとのユークリット距離(以下ET,Fとする)が用意されている。
状態判定器61に入力された識別データに対し、これと同じパターンが参照テーブル62内の正パターンにある場合は、参照テーブル62に予め用意された正パターンとその理想信号、誤りパターンとその理想信号、並びに、正パターンと誤パターンとのユークリット距離ET,Fが、状態判定器61を介して評価値計算器60に入力される。また、状態判定器61に入力された識別データに対し、これと同じパターンが参照テーブル62内にない場合は、次の入力データについて同様の処理を行う。
なお、ユークリッド距離とは、2つの信号間の距離を示すものであり、2つの信号をS及びSとすると、ユークリッド距離E=Σ(S−Sで定義される。ここで、ユークリッド距離について、具体的に数式を用いて説明する。PR等化された信号系列S及びSが下記のような振幅系列で表されるとする。
=[5.9, 6.0, 6.1, 4.9, 3.0, 0.9, 0.1, 0.0, 0.1]
=[6.0, 5.9, 6.0, 5.0, 3.1, 1.0, 0.0, 0.0, 0.0]
上記2つの再生信号間のユークリット距離Eを上記定義に従って、計算すると、
E=(6.0−5.9)+(6.0−5.9)+(6.1−6.0)+(5.0−4.9)+(3.1−3.0)+(1.1−1.0)+(0.1−0)+(0.1−0)=0.08
となる。上述のように、ユークリット距離Eを計算するということは、2つの再生信号間の誤差を算出していることになる。
次いで、評価値計算器60では、状態判定器61を介して参照テーブル62から入力された正パターンの理想信号と、遅延回路59を介して等化器57から入力された再生信号とのユークリット距離(誤差)ETS、並びに、誤パターンの理想信号と再生信号とのユークリッド距離(誤差)EFSの計算を行う。そして、実際に検出された再生信号と、その再生信号に対して想定されるすべてのパスとの誤差(ユークリット距離)を計算し、その中で算出誤差が最も小さいパスを選択して、情報を復号する。
次いで、評価値計算器60で算出されたユークリッド距離EFS及びETS並びに状態判定器61を介して参照テーブル62から入力された正パターンと誤パターンとのユークリット距離ET,Fを用いて、ビットエラーレートを計算する。なお、この例では、ビットエラーレートは|EFS−ETS|/ET,Fの分布を用いて、HD DVD−Rewitable規格に準拠した方法で算出する。
まず、|EFS−ETS|/Ejの分布(Ej:正パターンと誤パターンのユークリッド距離)が統計における正規分布であることを利用し、|EFS−ETS|/ET,Fの平均値μおよび分散の平方根(標準偏差)σと正規分布の確率密度関数を用い、|EFS−ETS|/ET,Fの分布を確率密度関数で近似した特性を求める。次いで、求められた特性のETS>EFSとなる部分(その特性におけるX軸の0以下の部分)を積分する。具体的には、その積分値Erf(0)は、下記式(1)を用いて計算する。なお、|EFS−ETS|/ET,Fの分布を確率密度関数で近似した特性におけるETS>EFSとなる部分では、ビタビ復号器58が誤パターンを選択している。
Figure 2007290350
次いで、上記(1)式で求められたErf(0)を累積して、下記式(2)によりビットエラーレートSbERを算出する。
Figure 2007290350
上記(2)式内のCは各状態遷移における正パターンの生起確率である。Cは、(ある状態遷移における正パターンの数)/(ある状態遷移における考え得る全てのパターンの数)である。
また、上記(2)式内のHT,Fは正パターンと誤パターンのハミング距離である。ハミング距離とは対象となる符号間の距離を表しており、例えば、正パターンが[1,1,1,1,1,1,0,0,0,0,0,0]であり、誤パターンが[1,1,1,1,1,1,1,0,0,0,0,0]である場合、両符号間のハミング距離HT,Fは、
T,F=(1−1)+(1−1)+(1−1)+(1−1)+(1−1)+(1−1)+(1−0)+(0−0)+(0−0)+(0−0)+(0−0)+(0−0)=1
となる。
この例では、上記の方法によりビットエラーレートSbERを算出した。なお、この例におけるビットエラーレート測定の際には、HD DVD−Rewitable規格に準拠した2T〜11Tを含むランダムパターンを記録した。なお、本実施例ではPR特性はPR(1,2,2,2,1)特性を使用した。
[第2記録層の評価]
この例で作製した組成の異なる第2記録層を備える種々の光ディスク100における第2記録層の記録消去性能を評価するために、光ディスク100を図2の情報記録再生装置200に装着して、第2記録層のHD DVDの1倍速記録及び2倍速記録におけるビットエラーレート(ランダムパターンを10回書換えた後のエラーレート)を測定した。具体的には、連続する5トラックの内周から外周方向に順番にランダムパターンを記録した後に、5トラックの中心トラックでビットエラーレートを測定した。
また、最短マーク長2Tに対応する記録マークの信号品質を評価するために、以下の式に従って、再生信号のアシンメトリを測定した。
アシンメトリ=[(I11H+I11L)/2−(I2H+I2L)/2]/(I11H−I11L
11H:マーク長11Tの記録マークの再生信号のhighレベル(最大値)
11L:マーク長11Tの記録マークの再生信号のlowレベル(最小値)
2H:マーク長2Tの記録マークの再生信号のhighレベル(最大値)
2L:マーク長2Tの記録マークの再生信号のlowレベル(最小値)
さらに、この例では、第2記録層の書換寿命の試験を行うため、1倍速記録及び2倍速記録で第2記録層を1000回書換えた後にビットエラーレートを測定した。さらに、この例では、記録マーク内の再結晶化の影響を評価するため、HD DVDの1倍速相当の記録線速度(6.61m/sec)と、HD DVDの2倍速相当の記録線速度(13.22m/sec)において8Tの単一周波数信号を記録し、各記録線速度で記録された情報の再生信号の振幅比(1倍速記録時の振幅/2倍速記録時の振幅)を測定した。この際、レーザパワー設定の誤差による影響を排除するため、最適パワーを記録開始パワーの1.7倍として記録を行った。
この例における上記評価結果を図3にまとめた。図3中の各評価項目の目標値は、以下の通りとした。
(1)1倍速記録のビットエラーレート:5×10−5以下
(2)2倍速記録のビットエラーレート:5×10−5以下
(3)アシンメトリ:−0.10〜0.10
(4)1000回書換後のビットエラーレート:1×10−4以下
(5)振幅比:0.85以上
また、図3では評価結果を◎、○及び×で表わしたが、これらの評価基準は以下の通りとした。
(1)ビットエラーレート
◎:1.0×10−5以下、○:5.0×10−5以下、×:5.0×10−5より大きい
(2)アシンメトリ
◎:−0.05〜0.05、○:−0.10〜0.10、×:−0.10より小さい、または0.10より大きい
(3)1000回書換後ビットエラーレート
◎:5.0×10−5以下、○:1.0×10−4以下、×:1.0×10−4より大きい
(4)振幅比
◎:0.9以上、○:0.85以上、×:0.85より小さい
(5)総合評価
◎:上記評価項目すべてが◎の場合
○:上記評価項目中に×がなく、一つでも○がある場合
×:上記評価項目中に一つでも×の項目がある場合
図3から明らかなように、サンプルB1(Bi0.5Ge49.5Te50.0)では、2倍速記録ビットエラーレート、2倍速記録アシンメトリ及び2倍速記録1000回書換後ビットエラーレートの項目が目標未達であった。このため、総合評価は×であった。
サンプルB2(Bi1.0Ge49.0Te50.0)では、図3に示すように、すべての項目で目標値が達成され、1倍速記録ビットエラーレート、1倍速記録アシンメトリ、1倍速記録1000回書換後ビットエラーレート及び振幅比の項目が◎評価であり、それ以外の項目は○評価であった。それゆえ、サンプルB2では総合評価は○であった。
サンプルB3(Bi2.5Ge47.0Te50.5)、サンプルB4(Bi6.5Ge42.0Te51.5)及びサンプルB5(Bi8.0Ge40.5Te51.5)では、図3に示すように、すべての項目が◎評価であり、総合評価は◎であった。
サンプルB6(Bi11.0Ge36.5Te52.5)、サンプルB7(Bi14.0Ge33.0Te53.0)及びサンプルB8(Bi18.0Ge28.0Te54.0)では、図3に示すように、すべての項目で目標値が達成され、2倍速記録ビットエラーレート及び2倍速記録アシンメトリの項目が◎評価であり、それ以外の項目は○評価であった。それゆえ、総合評価は○であった。
サンプルB9(Bi21.0Ge24.5Te54.5)では、図3に示すように、1倍速記録ビットエラーレート、1倍速記録アシンメトリ、1倍速記録1000回書換後ビットエラーレート及び振幅比の項目が目標未達であった。このため、総合評価は×であった。
なお、この例の光ディスクの第1記録層(組成:Bi21.5Ge37.0Te41.5)に対しても、上記第2記録層と同様に上記評価を実施した。その結果、後述するサンプルC7及びH7と同様の結果が得られ、総合評価は○であった。
以上の測定結果から、B系列の光ディスクでは、第2記録層の形成材料として、Ge量が28〜49at%、Bi量が1.0〜18.0at%(サンプルB2〜B8の組成)となるBi−Ge−Te系相変化材料を用いた場合に、上記評価項目のすべてで目標値が達成されることが分かった。特に、Ge量が40.5〜47.0at%、Bi量が2.5〜8.0at%(サンプルB3〜B5の組成)となるBi−Ge−Te系相変化材料を用いた場合には、全ての評価項目で◎評価となり、より優れた性能を有する光ディスクが得られることが分かった。
実施例2では、第2記録層の組成がBi,Ge及びTeを頂点とする三角組成図上でB系列の光ディスク(実施例1)の第2記録層の組成線上よりさらに過剰にGeが添加された組成となるように第2記録層を形成した。また、この例では、第1記録層の組成をBi25.0Ge35.0Te40.0とした。なお、この例の第1記録層の組成は後述するサンプルC8の第2記録層及びサンプルH8(実施例6)の第1記録層の組成と同じである。実施例2では、第1記録層及び第2記録層の組成を変えたこと以外は、実施例1と同様にして、光ディスクを作製した。また、この例においても、実施例1と同様に、組成の異なる種々の第2記録層を有する光ディスク(C系列の光ディスク)を作製した。
この例では、スパッタターゲットとしてGe50Te50とBi29.0Ge32.5Te38.5のターゲットを用い、同時スパッタリングで第2記録層を形成した。この際、第2記録層の組成が、所望の組成となるように、各々のターゲットに印加するスパッタリングパワーを調整した。具体的には、第2記録層の組成が、Bi1.5Ge49.0Te49.5(サンプル番号C2)、Bi2.5Ge48.5Te49.0(サンプル番号C3)、Bi10.5Ge43.5Te46.0(サンプル番号C4)、Bi15.0Ge41.0Te44.0(サンプル番号C5)、Bi18.5Ge39.0Te42.5(サンプル番号C6)、及びBi21.5Ge37.0Te41.5(サンプル番号C7)となる光ディスクを作製した。なお、この例では、比較のため、第2記録層の組成が、Bi1.0Ge49.5Te49.5(サンプル番号C1)、Bi25.0Ge35.0Te40.0(サンプル番号C8)及びBi29.0Ge32.5Te38.5(サンプル番号C9)となる光ディスクも作製した。
この例で作製したC系列の光ディスクの第2記録層に対しても、実施例1と同様の評価を行った。その結果を図4に示した。なお、各評価項目の目標値及び図4中の◎、○及び×の評価基準は実施例1と同様である。
図4から明らかなように、サンプルC1(Bi1.0Ge49.5Te49.5)では
、2倍速記録ビットエラーレート、2倍速記録アシンメトリ、及び、2倍速記録1000回書換後ビットエラーレートの項目が目標未達となり、総合評価は×であった。
サンプルC2(Bi1.5Ge49.0Te49.5)は、図4に示すように、すべての評価項目で目標値が達成され、1倍速記録ビットエラーレート、1倍速記録アシンメトリ及び振幅比の項目が◎評価であり、それ以外の項目が○であった。それゆえ、サンプルC2では総合評価は○であった。
サンプルC3(Bi2.5Ge48.5Te49.0)、サンプルC4(Bi10.5Ge43.5Te46.0)及びサンプルC5(Bi15.0Ge41.0Te44.0)では、図4に示すように、すべての評価項目で◎評価であり、総合評価は◎であった。
サンプルC6(Bi18.5Ge39.0Te42.5)及びサンプルC7(Bi21.5Ge37.0Te41.5)では、図4に示すように、すべての評価項目で目標値が達成され、2倍速記録ビットエラーレート及び2倍速記録アシンメトリの項目が◎評価であり、それ以外の項目が○であった。それゆえ、総合評価は○であった。
サンプルC8(Bi25.0Ge35.0Te40.0)及びサンプルC9(Bi29.0Ge32.5Te38.5)では、図4から明らかなように、1倍速記録ビットエラーレート、1倍速記録アシンメトリ、1倍速記録1000回書換後ビットエラーレート及び振幅比の項目が目標未達となり、総合評価は×であった。
なお、この例の光ディスクの第1記録層(組成:Bi25.0Ge35.0Te40.0)に対しても、上記第2記録層と同様に上記評価を実施した。その結果、実施例1と同様に総合評価は○であった。
上記測定結果から、C系列の光ディスクでは、第2記録層の形成材料として、Ge量が37.0〜49.0at%、Bi量が1.5〜21.5at%(サンプルC2〜C7の組成)となるBi−Ge−Te系相変化材料を用いた場合に、上記評価項目のすべてで目標値が達成され、特に、Ge量が41.0〜48.5at%、Bi量が2.5〜15.0at%(サンプルC3〜C5の組成)となるBi−Ge−Te系相変化材料を用いた場合には、全ての評価項目で◎評価となり、より優れた性能を有する光ディスクが得られることが分かった。また、サンプルC8及びC9の評価結果から、第2記録層のBi量が第1記録層のBi量より小さくすることにより、良好な特性が得られることが分かった。以上の評価結果を総合すると、この例では、第2記録層のBi量を1.5〜25.0at%(サンプルC2〜C8の組成)の範囲とし且つ第1記録層のBi層より小さくすることにより良好な性能を有する光ディスクが得られることが分かった。
実施例3では、第2記録層の組成が、Bi、Ge及びTeを頂点とする三角組成図上でC系列の光ディスク(実施例2)の第2記録層の組成線上よりさらに過剰にGeが添加された組成となるように第2記録層を形成した。実施例3では、第2記録層の組成を変えたこと以外は、実施例1と同様にして、光ディスクを作製した。第1記録層の組成も実施例1と同様にBi21.5Ge37.0Te41.5とした。また、この例においても、組成の異なる種々の第2記録層を有する光ディスク(D系列の光ディスク)を作製した。
この例では、スパッタターゲットとしてGe50.0Te50.0とBi23.0Ge50.0Te27.0のターゲットを用い、同時スパッタリングで第2記録層を形成した。この際、第2記録層の組成が、所望の組成となるように、各々のターゲットに印加するスパッタリングパワーを調整した。具体的には、第2記録層の組成が、Bi2.0Ge50.0Te48.0(サンプル番号D2)、Bi3.0Ge50.0Te47.0(サンプル番号D3)、Bi9.0Ge50.0Te41.0(サンプル番号D4)、Bi12.0Ge50.0Te38.0(サンプル番号D5)、Bi15.0Ge50.0Te35.0(サンプル番号D6)、Bi17.5Ge50.0Te32.5(サンプル番号D7)、及び、Bi20.0Ge50.0Te30.0(サンプル番号D8)となる光ディスクを作製した。なお、この例では、比較のため、記録層の組成が、Bi1.5Ge50.0Te48.5(サンプル番号D1)及びBi23.0Ge50.0Te27.0(サンプル番号D9)となる光ディスクも作製した。
この例で作製したD系列の光ディスクの第2記録層に対しても、実施例1と同様の評価を行った。その結果を図5に示した。なお、各評価項目の目標値及び図5中の◎、○及び×の評価基準は実施例1と同様である。
図5から明らかなように、サンプルD1(Bi1.5Ge50.0Te48.5)では、2倍速記録ビットエラーレート、2倍速記録アシンメトリ及び2倍速記録1000回書換後ビットエラーレートの項目が目標未達となり、総合評価は×であった。
サンプルD2(Bi2.0Ge50.0Te48.0)では、図5に示すように、すべての項目で目標値が達成された。1倍速記録ビットエラーレート、1倍速記録アシンメトリ、1倍速記録1000回書換後ビットエラーレート及び振幅比の項目が◎評価であり、それ以外の項目は○評価であった。それゆえ、サンプルD2では総合評価は○であった。
サンプルD3(Bi3.0Ge50.0Te47.0)、サンプルD4(Bi9.0Ge50.0Te41.0)及びサンプルD5(Bi12.0Ge50.0Te38.0)では、図5に示すように、すべての評価項目で◎評価であり、総合評価は◎であった。
サンプルD6(Bi15.0Ge50.0Te35.0)、サンプルD7(Bi17.5Ge50.0Te32.5)及びサンプルD8(Bi20.0Ge50.0Te30.0)では、図5に示すように、すべての項目で目標値が達成された。2倍速記録ビットエラーレート、2倍速記録アシンメトリ及び2倍速記録1000回書換後ビットエラーレートの項目が◎評価であり、それ以外の項目は○評価であった。それゆえ、サンプルD6〜8では総合評価は○であった。
サンプルD9(Bi23.0Ge50.0Te27.0)では、図5から明らかなように、1倍速記録ビットエラーレート、1倍速記録アシンメトリ、1倍速記録1000回書換後ビットエラーレート及び振幅比の項目が目標未達であり、総合評価は×であった。
なお、この例の光ディスクの第1記録層(組成:Bi21.5Ge37.0Te41.5)に対しても、上記第2記録層と同様に上記評価を実施した。その結果、実施例1と同様に総合評価は○であった。
以上の測定結果から、D系列の光ディスクでは、第2記録層の形成材料として、Ge量が50at%、Bi量2.0〜20.0at%(サンプルD2〜D8の組成)となるBi−Ge−Te系相変化材料を用いた場合に上記評価項目のすべてで目標値が達成されることが分かった。特に、Ge量が50at%、Bi量3.0〜12.0at%(サンプルD3〜D5の組成)となるBi−Ge−Te系相変化材料を用いた場合には、全ての評価項目で◎評価となり、より優れた性能を有する光ディスクが得られることが分かった。
[比較例1]
比較例1では、第2記録層の組成がBi、Ge及びTeを頂点とする三角組成図上のGe50Te50とBiTeを結ぶ線上の組成より過剰にTeが添加された組成となるように第2記録層を形成した。また、第1記録層の組成をBi15.0Ge41.0Te44.0とした。なお、この例の第1記録層の組成は上述したサンプルC5(実施例2)の第2記録層の組成と同じである。比較例1では、第1及び第2記録層の組成を変えたこと以外は、実施例1と同様にして、光ディスクを作製した。また、この例においても、組成の異なる種々の第2記録層を有する光ディスク(A系列の光ディスク)を作製した。
この例では、スパッタターゲットとしてGe50Te50とBi16.0Ge26.0Te58.0のターゲットを用い、同時スパッタリングで第2記録層を形成した。この際、第2記録層の組成が、所望の組成となるように、各々のターゲットに印加するスパッタリングパワーを調整した。具体的には、第2記録層の組成が、Bi2.0Ge47.0Te51.0(サンプル番号A1)、Bi4.0Ge44.0Te52.0(サンプル番号A2)、Bi8.0Ge38.0Te54.0(サンプル番号A3)及びBi12.0Ge32.0Te56.0(サンプル番号A4)となる光ディスクを作製した。
この例で作製したA系列の光ディスクの第2記録層に対しても、実施例1と同様の評価を行った。その結果を図6に示した。なお、各評価項目の目標値及び図6中の◎、○及び×の評価基準は実施例1と同様である。
図6から明らかなように、サンプルA1〜A4のすべてにおいて、1倍速記録1000回書換後ビットエラーレート及び振幅比の項目が目標未達となり、総合評価は×であった。すなわち、A系列の光ディスクは1〜2倍速記録用の2層情報記録媒体として実用的でないことが分かった。
[比較例2]
比較例2では、第2記録層の組成が、Bi、Ge及びTeを頂点とする三角組成図上でD系列の光ディスク(実施例3)の第2記録層の組成線上よりさらに過剰にGeが添加された組成となるように第2記録層を形成した。比較例2では、記録層の組成を変えたこと以外は、比較例1と同様にして、光ディスクを作製した。第1記録層の組成も実施例1と同様にBi15.0Ge41.0Te44.0とした。また、この例においても、組成の異なる種々の第2記録層を有する光ディスク(E系列の光ディスク)を作製した。
この例では、スパッタターゲットにはGe50.0Te50.0とBi14.0Ge52.0Te34.0のターゲットを用い、同時スパッタリングで第2記録層を形成した。この際、第2記録層の組成が、所望の組成となるように、各々のターゲットに印加するスパッタリングパワーを調整した。具体的には、第2記録層の組成が、Bi3.0Ge50.5Te46.5(サンプル番号E1)、Bi7.0Ge51.0Te42.0(サンプル番号E2)及びBi10.5Ge51.5Te38.0(サンプル番号E3)となる光ディスクを作製した。
この例で作製したE系列の光ディスクの第2記録層に対しても、実施例1と同様の評価を行った。その結果を図7に示した。なお、各評価項目の目標値及び図7中の◎、○及び×の評価基準は実施例1と同様である。
図7から明らかなように、サンプルE1〜E3では、1倍速記録1000回書換後ビットエラーレート及び2倍速記録1000回書換後ビットエラーレートの項目が目標未達となり、総合評価は×であった。E系列の光ディスクは1〜2倍速記録用の2層情報記録媒体として実用的でないことが分かった。
[最適な第2記録層の組成範囲]
上述した実施例1〜3、比較例1及び比較例2の評価結果から、HD DVD1〜2倍速の記録速度で情報が記録可能な2層情報記録媒体として実用的な第2記録層の組成条件は、以下の組成点に囲まれた組成範囲内の組成であり且つ第2記録層のBi量が第1記録層のBi量より小さいことであることが分かった。下記組成範囲をより具体的に表わしたのが、図8である。図8中の太線で囲まれた範囲(線上の組成も含む)が最適な組成範囲である。
B2(Bi1.0,Ge49.0,Te50.0
C2(Bi1.5,Ge49.0,Te49.5
D2(Bi2.0,Ge50.0,Te48.0
D8(Bi20.0,Ge50.0,Te30.0
C8(Bi25.0,Ge35.0,Te40.0
B8(Bi18.0,Ge28.0,Te54.0
上記組成点で囲まれた組成範囲[B2,C2,D2,D8,C8,B8]内で、さらに好ましい組成範囲(評価項目すべてが◎評価の組成範囲)は以下の各点で囲まれた範囲である。その組成範囲をより具体的に表わしたのが、図9である。図9中の太線で囲まれた範囲(線上の組成も含む)が最適な組成範囲である。
B3(Bi2.5,Ge47.0,Te50.5
C3(Bi2.5,Ge48.5,Te49.0
D3(Bi3.0,Ge50.0,Te47.0
D5(Bi12.0,Ge50.0,Te38.0
C5(Bi15.0,Ge41.0,Te44.0
B5(Bi8.0,Ge40.5,Te51.5
また、図9の三角組成図上に表された組成点B3、C3、D3、D5、C5及びB5の第2記録層を有する光ディスクをそれぞれ100枚作製し、各組成の光ディスクに対して総合評価が○以上(○または◎)となる光ディスクが何枚存在するか(合格率)を調べた。その結果、組成点B3、C3、D3、D5、C5及びB5のすべての光ディスクにおいて、100枚中90枚以上の光ディスクで総合評価が○以上となり、生産性においても優れていることが分かった。
さらに、本発明者らは、上記実施例1〜3、比較例1及び比較例2の第1記録層の組成以外に、第1記録層の組成を図9の三角組成図上に表された組成点B3、C3、D3、D5、C5及びB5で囲まれた範囲内で種々変更し、該第1記録層の各組成に対して上記実施例1〜3、比較例1及び比較例2と同様に第2記録層の組成を変化させて上記評価を行った。その結果、第2記録層の組成が上記組成範囲[B2,C2,D2,D8,C8.B8]に含まれ且つ第1記録層のBiの組成が第2記録層のBiの組成より1.0at%以上大きい場合に、上述した評価項目全てにおいて目標値が達成された。
実施例4では、上記組成範囲の第2記録層を有する光ディスクに対して記録線速を変化させて第2記録層に情報を記録し、ビットエラーレートを測定した。その結果から、本発明の光ディスクの第2記録層における最適な記録線速の範囲を調べた。この例では、第2記録層に対する記録線速を4.4m/sec〜15.0m/secの範囲で変化させた。なお、レーザ光の波長λは405nmであり、対物レンズの開口数NAは0.65であるので、光ディスク上のある地点をレーザ光のスポットが通過する時間を表わすパラメータ(λ/NA)/Vは、41.5≦(λ/NA)/V≦141.6の範囲で変化させたことになる。
この例では、第2記録層の組成がBi2.0Ge47.5Te50.5(サンプルB3の組成)である光ディスクに対して、上記測定を行った。その結果を図10に示した。図10では、横軸にパラメータ(λ/NA)/Vを取り、縦軸にビットエラーレートを取った。なお、ここでは、ビットエラーレートの目標レベル(図10中の一点鎖線)は5.0×10−5とした。また、第1記録層の組成は実施例1と同様にBi21.5Ge37.0Te41.5とした。
図10から明らかなように、パラメータ(λ/NA)/Vが46.5〜116.0の範囲、すなわち記録線速が5.37m/sec〜13.4m/secの範囲でビットエラーレートが5.0×10−5以下となり、目標レベルにあった。しかしながら、記録線速15.0m/sec((λ/NA)/V=41.5)の場合はビットエラーレートが5.3×10−5となり、目標未達となった。また、記録線速5.0m/sec((λ/NA)/V=124.6)及び4.4m/sec((λ/NA)/V=141.6)の場合には、それぞれビットエラーレートが5.5×10−5及び3.0×10−4となり、目標未達となった。
また、図9中の組成点C3、D3、D5、C5及びB5の組成の第2記録層を有する光ディスクに対しても、同様に上記測定を行った。その結果、すべての光ディスクにおいて、記録線速5.37m/sec〜13.4m/secの範囲(46.5≦(λ/NA)/V≦116.0)でビットエラーレートが5.0×10−5以下となり、それ以外の線速範囲では目標未達となった。以上の結果から、組成点B3、C3、D3、D5、C5及びB5で囲まれる組成範囲の第2記録層を有する光ディスクでは、図10に示すように、HD DVDの1〜2倍速記録(6.61〜13.22m/sec)の記録線速の範囲(図10中の破線間の範囲)で第2記録層に情報記録を行っても、ビットエラーレートが5.0×10−5以下となり、十分良好なエラーレート特性が得られることが分かった。
上記実施例1〜3、比較例1及び比較例2では、第1記録層の組成を固定し、第2記録層の組成を種々変化させた光ディスクを説明したが、実施例5では、第2記録層の組成を固定し、第1記録層の組成を種々変化させた光ディスクを作製した。なお、実施例5では、第1及び第2記録層の組成を変えたこと以外は、実施例1と同様にして、光ディスクを作製した。
実施例5では、第2記録層の組成をBi2.0Ge47.5Te50.5とした。なお、この例の第2記録層の組成はサンプルB3(実施例1)の第2記録層及び後述するサンプルG2の第1記録層の組成と同じである。また、この例では、Bi、Ge及びTeを頂点とする三角組成図上のGe50Te50とBiTeを結ぶ線上の組成よりGeが過剰に含まれる種々の組成を有する第1記録層を形成した(G系列の光ディスク)。この際、スパッタターゲットにはGe50Te50とBi21.0Ge24.5Te54.5のターゲットを用い、同時スパッタリングで形成した。また、第1記録層の組成が、所望の組成となるように、各々のターゲットに印加するスパッタリングパワーを調整した。なお、この例で形成した第1記録層の組成(G系列の組成)は実施例1で形成した第2記録層(B系列)と同じ系列の組成である。すなわち、この例で形成した第1記録層の組成は、図8中の破線B上の組成である。
この例では、具体的には、第1記録層の組成が、Bi3.0Ge46.0Te51.0(サンプル番号G3)、Bi6.0Ge42.5Te51.5(サンプル番号G4)、Bi8.0Ge40.5Te51.5(サンプル番号G5)、Bi11.0Ge36.5Te52.5(サンプル番号G6)、Bi14.0Ge33.0Te53.0(サンプル番号G7)、及び、Bi18.0Ge28.0Te54.0(サンプル番号G8)となる光ディスクを作製した。なお、この例では、比較のため、第1記録層の組成が、Bi1.0Ge49.0Te50.0(サンプル番号G1)、Bi2.0Ge47.5Te50.5(サンプル番号G2)及びBi21.0Ge24.5Te54.5(サンプル番号G9)となる光ディスクも作製した。
この例で作製したG系列の光ディスクの第1記録層に対しても、実施例1と同様の評価を行った。その結果を図11に示した。なお、各評価項目の目標値及び図11中の◎、○及び×の評価基準は実施例1と同様である。
図11から明らかなように、サンプルG1(Bi1.0Ge49.0Te50.0)では、2倍速記録アシンメトリ及び2倍速記録1000回書換後ビットエラーレートの項目が目標未達となり、総合評価は×であった。また、サンプルG2(Bi2.0Ge47.5Te50.5)では、図11に示すように、2倍速記録1000回書換後ビットエラーレートの項目が目標未達となり、総合評価は×であった。
サンプルG3(Bi3.0Ge46.0Te51.0)、サンプルG4(Bi6.0Ge42.5Te51.5)、及びサンプルG5(Bi8.0Ge40.5Te51.5)では、図11に示すように、すべての項目が◎評価であり、総合評価は◎であった。
サンプルG6(Bi11.0Ge36.5Te52.5)では、図11に示すように、すべての項目で目標値が達成された。2倍速記録ビットエラーレート、2倍速記録アシンメトリ、1倍速記録1000回書換後ビットエラーレート及び2倍速記録1000回書換後ビットエラーレートの項目が◎評価であり、それ以外の項目は○評価であった。それゆえ、サンプルG6では総合評価は○であった。
サンプルG7(Bi14.0Ge33.0Te53.0)及びサンプルG8(Bi18.0Ge28.0Te54.0)では、図11に示すように、すべての項目で目標値が達成された。2倍速記録ビットエラーレート、2倍速記録アシンメトリ及び2倍速記録1000回書換後ビットエラーレートの項目が◎評価であり、それ以外の項目は○評価であった。それゆえ、サンプルG8では総合評価は○であった。
サンプルG9(Bi21.0Ge24.5Te54.5)では、図11に示すように、1倍速記録ビットエラーレート、1倍速記録アシンメトリ、1倍速記録1000回書換後ビットエラーレート及び振幅比の項目が目標未達となり、総合評価は×であった。
また、この例の光ディスクの第2記録層(組成:Bi2.0Ge47.5Te50.5(実施例1のサンプルB3の第2記録層と同じ組成))に対しても、上記第1記録層と同様に上記評価を実施した。その結果、総合評価は◎であった。
以上の測定結果から、G系列の光ディスクでは、第1記録層の形成材料として、Ge量が28.0〜46.0at%、Bi量3.0〜18.0at%(サンプルG3〜G8の組成)となるBi−Ge−Te系相変化材料を用いた場合に上記評価項目のすべてで目標値が達成されることが分かった。特に、Ge量が40.5〜46.0at%、Bi量3.0〜8.0at%(サンプルG3〜G5の組成)となるBi−Ge−Te系相変化材料を用いた場合には、全ての評価項目で◎評価となり、より優れた性能を有する光ディスクが得られることが分かった。また、上記結果から、第1記録層中のBiの組成を第2記録層中のBiの組成(この例では、2.0at%)より1.0at%以上大きくすることにより、上記評価項目のすべてで目標値が達成されることが分かった。
実施例6では、第1記録層の組成がBi,Ge及びTeを頂点とする三角組成図上でG系列の光ディスク(実施例5)の第1記録層の組成線上よりさらに過剰にGeが添加された組成となるように第1記録層を形成した。また、この例では、第2記録層の組成をBi2.5Ge48.5Te49.0とした。なお、この例の第2記録層の組成はサンプルC3(実施例2)の第2記録層及び後述するサンプルH2の第1記録層の組成と同じである。実施例6では、第1及び第2記録層の組成を変えたこと以外は、実施例5と同様にして、光ディスクを作製した。また、この例においても、組成の異なる種々の第1記録層を有する光ディスク(H系列の光ディスク)を作製した。
この例では、スパッタターゲットとしてGe50Te50とBi29.0Ge32.5Te38.5のターゲットを用い、同時スパッタリングで第1記録層を形成した。この際、第1記録層の組成が、所望の組成となるように、各々のターゲットに印加するスパッタリングパワーを調整した。なお、この例で形成した第1記録層の組成(H系列の組成)は実施例2で形成した第2記録層(C系列)と同じ系列の組成である。すなわち、この例で形成した第1記録層の組成は、図8中の破線C上の組成である。
具体的には、第1記録層の組成が、Bi3.5Ge48.0Te48.5(サンプル番号H3)、Bi10.5Ge43.5Te46.0(サンプル番号H4)、Bi15.0Ge41.0Te44.0(サンプル番号H5)、Bi18.5Ge39.0Te42.5(サンプル番号H6)、Bi21.5Ge37.0Te41.5(サンプル番号H7)、及び、Bi25.0Ge35.0Te40.0(サンプル番号H8)となる光ディスクを作製した。なお、この例では、比較のため、第1記録層の組成が、Bi1.5Ge49.0Te49.5(サンプル番号H1)、Bi2.5Ge48.5Te49.0(サンプル番号H2)及びBi29.0Ge32.5Te38.5(サンプル番号H9)となる光ディスクも作製した。
この例で作製したH系列の光ディスクの第1記録層に対しても、実施例1と同様の評価を行った。その結果を図12に示した。なお、各評価項目の目標値及び図12中の◎、○及び×の評価基準は実施例1と同様である。
図12から明らかなように、サンプルH1(Bi1.5Ge49.0Te49.5)では、2倍速記録アシンメトリ及び2倍速記録1000回書換後ビットエラーレートの項目が目標未達となり、総合評価は×であった。また、サンプルH2(Bi2.5Ge48.5Te49.0)では、図12に示すように、2倍速記録1000回書換後ビットエラーレートの項目が目標未達となり、総合評価は×であった。
サンプルH3(Bi3.5Ge48.0Te48.5)、サンプルH4(Bi10.5Ge43.5Te46.0)及びサンプルH5(Bi15.0Ge41.0Te44.0)では、図12に示すように、すべての項目が◎評価であり、総合評価は◎であった。
サンプルH6(Bi18.5Ge39.0Te42.5)では、図12に示すように、すべての項目で目標値が達成された。2倍速記録ビットエラーレート、2倍速記録アシンメトリ、1倍速記録1000回書換後ビットエラーレート及び2倍速記録1000回書換後ビットエラーレートの項目が◎評価であり、それ以外の項目は○評価であった。それゆえ、サンプルH6では総合評価は○であった。
サンプルH7(Bi21.5Ge37.0Te41.5)及びサンプルH8(Bi25.0Ge35.0Te40.0)では、図12に示すように、すべての項目で目標値が達成された。2倍速記録ビットエラーレート、2倍速記録アシンメトリ及び2倍速記録1000回書換後ビットエラーレートの項目が◎評価であり、それ以外の項目は○評価であった。それゆえ、サンプルH7及びH8では総合評価は○であった。
サンプルH9(Bi29.0Ge32.5Te38.5)では、図12に示すように、1倍速記録ビットエラーレート、1倍速記録アシンメトリ、1倍速記録1000回書換後ビットエラーレート及び振幅比の項目が目標未達となり、総合評価は×であった。
また、この例の光ディスクの第2記録層(組成:Bi2.5Ge48.5Te49.0)に対しても、上記第1記録層と同様に上記評価を実施した。その結果、総合評価は◎であった。
以上の測定結果から、H系列の光ディスクでは、第1記録層の形成材料として、Ge量が35.0〜48.0at%、Bi量3.5〜25.0at%(サンプルH3〜H8の組成)となるBi−Ge−Te系相変化材料を用いた場合に上記評価項目のすべてで目標値が達成されることが分かった。特に、Ge量が41.0〜48.0at%、Bi量3.5〜15.0at%(サンプルH3〜H5の組成)となるBi−Ge−Te系相変化材料を用いた場合には、全ての評価項目で◎評価となり、より優れた性能を有する光ディスクが得られることが分かった。また、上記結果から、第1記録層中のBiの組成を第2記録層中のBiの組成(この例では、1.0at%)より1.0at%以上大きくすることにより、上記評価項目のすべてで目標値が達成されることが分かった。
実施例7では、第1記録層の組成がBi,Ge及びTeを頂点とする三角組成図上でH系列の光ディスク(実施例6)の第1記録層の組成線上よりさらに過剰にGeが添加された組成となるように第1記録層を形成した。また、第2記録層の組成をBi3.0Ge50.0Te47.0とした。なお、この例の第2記録層の組成はサンプルD3(実施例3)の第2記録層及び後述するサンプルI2の第1記録層の組成と同じである。この例では、第1及び第2記録層の組成を変えたこと以外は、実施例5と同様にして、光ディスクを作製した。また、この例においても、組成の異なる種々の第1記録層を有する光ディスク(I系列の光ディスク)を作製した。
この例では、スパッタターゲットとしてGe50.0Te50.0とBi23.0Ge50.0Te27.0を用い、同時スパッタリングで第1記録層を形成した。この際、第1記録層の組成が、所望の組成となるように、各々のターゲットに印加するスパッタリングパワーを調整した。なお、この例で形成した第1記録層の組成(I系列の組成)は実施例3で形成した第2記録層(D系列)と同じ系列の組成である。すなわち、この例で形成した第1記録層の組成は、図8中の破線D上の組成である。
具体的には、第1記録層の組成が、Bi4.0Ge50.0Te46.0(サンプル番号I3)、Bi9.0Ge50.0Te41.0(サンプル番号I4)、Bi12.0Ge50.0Te38.0(サンプル番号I5)、Bi15.0Ge50.0Te35.0(サンプル番号I6)、Bi17.5Ge50.0Te32.5(サンプル番号I7)、及び、Bi20.0Ge50.0Te30.0(サンプル番号I8)となる光ディスクを作製した。なお、この例では、比較のため、第1記録層の組成が、Bi2.0Ge50.0Te48.0(サンプル番号I1)、Bi3.0Ge50.0Te47.0(サンプル番号I2)及びBi23.0Ge50.0Te27.0(サンプル番号I9)となる光ディスクも作製した。
この例で作製したI系列の光ディスクの第1記録層に対しても、実施例1と同様の評価を行った。その結果を図13に示した。なお、各評価項目の目標値及び図13中の◎、○及び×の評価基準は実施例1と同様である。
図13から明らかなように、サンプルI1(Bi2.0Ge50.0Te48.0)では、2倍速記録アシンメトリ及び2倍速記録1000回書換後ビットエラーレートの項目が目標未達となり、総合評価は×であった。また、サンプルI2(Bi3.0Ge50.0Te47.0)では、図13に示すように、2倍速記録1000回書換後ビットエラーレートの項目が目標未達となり、総合評価は×であった。
サンプルI3(Bi4.0Ge50.0Te46.0)、サンプルI4(Bi9.0Ge50.0Te41.0)及びサンプルI5(Bi12.0Ge50.0Te38.0)では、図13に示すように、すべての項目が◎評価であり、総合評価は◎であった。
サンプルI6(Bi15.0Ge50.0Te35.0)では、図13に示すように、すべての項目で目標値が達成された。2倍速記録ビットエラーレート、2倍速記録アシンメトリ、2倍速記録1000回書換後ビットエラーレート及び振幅比の項目が◎評価であり、それ以外の項目は○評価であった。それゆえ、サンプルH6では総合評価は○であった。
サンプルI7(Bi17.5Ge50.0Te32.5)及びサンプルI8(Bi20.0Ge50.0Te30.0)では、図13に示すように、すべての項目で目標値が達成された。2倍速記録ビットエラーレート及び2倍速記録アシンメトリの項目が◎評価であり、それ以外の項目は○評価であった。それゆえ、サンプルI7及びI8では総合評価は○であった。
サンプルI9(Bi23.0Ge50.0Te27.0)では、図13に示すように、1倍速記録ビットエラーレート、1倍速記録アシンメトリ、1倍速記録1000回書換後ビットエラーレート及び振幅比の項目が目標未達となり、総合評価は×であった。
また、この例の光ディスクの第2記録層(組成:Bi3.0Ge50.0Te47.0)に対しても、上記第1記録層と同様に上記評価を実施した。その結果、総合評価は◎であった。
以上の測定結果から、I系列の光ディスクでは、第1記録層の形成材料として、Ge量が50.0at%、Bi量4.0〜20.0at%(サンプルI3〜I8の組成)となるBi−Ge−Te系相変化材料を用いた場合に上記評価項目のすべてで目標値が達成されることが分かった。特に、Ge量が50at%、Bi量4.0〜12.0at%(サンプルI3〜I5の組成)となるBi−Ge−Te系相変化材料を用いた場合には、全ての評価項目で◎評価となり、より優れた性能を有する光ディスクが得られることが分かった。また、上記結果から、第1記録層中のBiの組成を第2記録層中のBiの組成(この例では、1.0at%)より1.0at%以上大きくすることにより、上記評価項目のすべてで目標値が達成されることが分かった。
[比較例3]
比較例3では、第1記録層の組成がBi、Ge及びTeを頂点とする三角組成図上のGe50Te50とBiTeを結ぶ線上の組成より過剰にTeが添加された組成となるように第1記録層を形成した。比較例3では、第1記録層の組成を変えたこと以外は、実施例5と同様にして、光ディスクを作製した。第2記録層の組成も実施例5と同様にBi2.0Ge47.5Te50.5とした。また、この例においても、組成の異なる種々の第1記録層を有する光ディスク(J系列の光ディスク)を作製した。
この例では、スパッタターゲットにはGe50Te50とBi16.0Ge26.0Te58.0のターゲットを用い、同時スパッタリングで第1記録層を形成した。この際、第1記録層の組成が、所望の組成となるように、各々のターゲットに印加するスパッタリングパワーを調整した。なお、この例で形成した第1記録層の組成(J系列の組成)は上記比較例1で形成した第2記録層(A系列)と同じ系列の組成である。すなわち、この例で形成した第1記録層の組成は、図8中の破線A上の組成である。具体的には、第1記録層の組成が、Bi2.0Ge47.0Te51.0(サンプル番号J1)、Bi4.0Ge44.0Te52.0(サンプル番号J2)、Bi8.0Ge38.0Te54.0(サンプル番号J3)及びBi12.0Ge32.0Te56.0(サンプル番号J4)となる光ディスクを作製した。
この例で作製したJ系列の光ディスクの第1記録層に対しても、実施例1と同様の評価を行った。その結果を図14に示した。なお、各評価項目の目標値及び図14中の◎、○及び×の評価基準は実施例1と同様である。
図14から明らかなように、サンプルJ1〜J4のすべてにおいて、1倍速記録ビットエラーレート、2倍速記録ビットエラーレート、1倍速記録1000回書換後ビットエラーレート及び振幅比の項目が目標未達となり、総合評価は×であった。また、この例では、上記サンプルJ1〜J4の第1記録層に対して第2記録層の組成を種々変更し、同様の評価を行ったところ、同様の結果が得られた。すなわち、J系列の光ディスクは1〜2倍速記録用の2層情報記録媒体として実用的でないことが分かった。
[比較例4]
比較例4では、第1記録層の組成が、Bi、Ge及びTeを頂点とする三角組成図上でI系列の光ディスク(実施例7)の第1記録層の組成線上よりさらに過剰にGeが添加された組成となるように第1記録層を形成した。また、この例では、第2記録層の組成をBi5.0Ge43.5Te51.5(B系列の組成であり、且つ上記組成範囲[B3,C3,D3,D5,C5,B5]に含まれる組成)とした。比較例4では、第1及び第2記録層の組成を変えたこと以外は、実施例5と同様にして、光ディスクを作製した。また、この例においても、組成の異なる種々の第1記録層を有する光ディスク(K系列の光ディスク)を作製した。
この例では、スパッタターゲットにはGe50.0Te50.0とBi14.0Ge52.0Te34.0のターゲットを用い、同時スパッタリングで第1記録層を形成した。この際、第1記録層の組成が、所望の組成となるように、各々のターゲットに印加するスパッタリングパワーを調整した。なお、この例で形成した第1記録層の組成(K系列の組成)は上記比較例2で形成した第2記録層(E系列)と同じ系列の組成である。すなわち、この例で形成した第1記録層の組成は、図8中の破線E上の組成である。具体的には、第1記録層の組成が、Bi3.0Ge50.5Te46.5(サンプル番号K1)、Bi7.0Ge51.0Te42.0(サンプル番号K2)及びBi10.5Ge51.5Te38.0(サンプル番号K3)となる光ディクを作製した。
この例で作製したE系列の光ディスクの第1記録層に対しても、実施例1と同様の評価を行った。その結果を図15に示した。なお、各評価項目の目標値及び図15中の◎、○及び×の評価基準は実施例1と同様である。
図15から明らかなように、サンプルK1〜K3では、2倍速記録ビットエラーレート、2倍速記録アシンメトリ、1倍速記録1000回書換後ビットエラーレート及び2倍速記録1000回書換後ビットエラーレートの項目が目標未達となり、総合評価は×であった。すなわち、K系列の光ディスクは1〜2倍速記録用の2層情報記録媒体として実用的でないことが分かった。
[最適な第1記録層の組成範囲]
上述した実施例5〜7、比較例3及び比較例4の評価結果から、HD DVD1〜2倍速の記録速度で情報が記録可能な2層情報記録媒体として実用的な第1記録層の組成範囲は、以下の組成点に囲まれた組成範囲であり、上記評価項目のすべてで目標値が達成されることが分かった。その組成範囲をより具体的に表わしたのが、図16である。図16中の太線で囲まれた範囲(線上の組成も含む)が第1記録層の最適な組成範囲である。
G3(Bi3.0,Ge46.0,Te51.0
H3(Bi3.5,Ge48.0,Te48.5
I3(Bi4.0,Ge50.0,Te46.0
I8(Bi20.0,Ge50.0,Te30.0
H8(Bi25.0,Ge35.0,Te40.0
G8(Bi18.0,Ge28.0,Te54.0
上記組成点で囲まれた組成範囲[G3,H3,I3,I8,H8,G8]内で、さらに好ましい組成範囲(評価項目すべてが◎評価の組成範囲)は以下の各点で囲まれた範囲である。その組成範囲をより具体的に表わしたのが、図17である。図17中の太線で囲まれた範囲(線上の組成も含む)が最適な組成範囲である。
G3(Bi3.0,Ge46.0,Te51.0
H3(Bi3.5,Ge48.0,Te48.5
I3(Bi4.0,Ge50.0,Te46.0
I5(Bi12.0,Ge50.0,Te38.0
H5(Bi15.0,Ge41.0,Te44.0
G5(Bi8.0,Ge40.5,Te51.5
また、上述した実施例5〜7の評価結果から、第1記録層中のBiの組成を第2記録層中のBiの組成より1.0at%以上大きくすることにより、上記評価項目のすべてで目標値が達成されることが分かった。
なお、実施例5〜7で得られた第1記録層の好適な上記組成範囲[G3,H3,I3,I8,H8,G8]は、実施例1〜3で得られた第2記録層の好適な上記組成範囲[B2,C2,D2,D8,C8,B8]に含まれた組成範囲である。従って、上記実施例1〜3及び5〜7の評価結果から、2層情報記録媒体においては、第1及び第2記録層に含まれるBi、Ge及びTeの組成が、Bi、Ge及びTeの三角組成図上の以下の各点に囲まれた組成範囲にあり、
B2(Bi1.0,Ge49.0,Te50.0
C2(Bi1.5,Ge49.0,Te49.5
D2(Bi2.0,Ge50.0,Te48.0
D8(Bi20.0,Ge50.0,Te30.0
C8(Bi25.0,Ge35.0,Te40.0
B8(Bi18.0,Ge28.0,Te54.0
且つ、第1記録層中のBiの組成を第2記録層中のBiの組成より1.0at%以上大きくすることにより、記録データの信頼性が高く、且つデータの繰返し記録に対する耐久性に優れた2層情報記録媒体を提供することができることが分かった。
また、実施例5〜7で得られた第1記録層の好適な上記組成範囲[G3,H3,I3,I5,H5,G5](総合評価が◎の範囲)は、実施例1〜3で得られた第2記録層の好適な上記組成範囲[B3,C3,D3,D5,C5,B5](総合評価が◎の範囲)に含まれた組成範囲である。従って、第1及び第2記録層に含まれるBi、Ge及びTeの組成が、Bi、Ge及びTeの三角組成図上の以下の各点に囲まれた組成範囲にあり、
B3(Bi2.5,Ge47.0,Te50.5
C3(Bi2.5,Ge48.5,Te49.0
D3(Bi3.0,Ge50.0,Te47.0
D5(Bi12.0,Ge50.0,Te38.0
C5(Bi15.0,Ge41.0,Te44.0
B5(Bi8.0,Ge40.5,Te51.5
且つ、第1記録層中のBiの組成を第2記録層中のBiの組成より1.0at%以上大きくした場合には、より一層記録データの信頼性が高く、且つデータの繰返し記録に対する耐久性に優れた2層情報記録媒体を提供することができることが分かった。
実施例8では、上記組成範囲[G3,H3,I3,I8,H8,G8](図16の三角組成図上の太線で囲まれた組成範囲)の第1記録層を有する光ディスクに対して記録線速を変化させて第1記録層に情報を記録し、ビットエラーレートを測定した。その結果から、本発明の光ディスクの第1記録層における最適な記録線速の範囲を調べた。この例では、第1記録層に対する記録線速を4.4m/sec〜15.0m/secの範囲で変化させた。なお、レーザ光の波長λは405nmであり、対物レンズの開口数NAは0.65であるので、光ディスク上のある地点をレーザ光のスポットが通過する時間を表わすパラメータ(λ/NA)/Vは、41.5≦(λ/NA)/V≦141.6の範囲で変化させたことになる。
この例では、第1記録層の組成がBi6.0Ge42.5Te51.5(サンプルG4の組成)であり、第2記録層の組成がBi5.0Ge43.5Te51.5(B系列の組成であり、且つ上記組成範囲[B3,C3,D3,D5,C5,B5]に含まれる組成)である光ディスクに対して、上記測定を行った。その結果を図18に示した。図18では、横軸にパラメータ(λ/NA)/Vを取り、縦軸にビットエラーレートを取った。なお、ここでは、ビットエラーレートの目標レベル(図18中の一点鎖線)は5.0×10−5とした。
図18から明らかなように、パラメータ(λ/NA)/Vが46.5〜116.0の範囲、すなわち記録線速が5.37m/sec〜13.4m/secの範囲でビットエラーレートが5.0×10−5以下となり、目標レベルにあった。しかしながら、記録線速15.0m/sec((λ/NA)/V=41.5)の場合はビットエラーレートが7.0×10−5となり、目標未達となった。また、記録線速5.0m/sec((λ/NA)/V=124.6)及び4.4m/sec((λ/NA)/V=141.6)の場合には、それぞれビットエラーレートが6.0×10−5及び5.0×10−4となり、目標未達となった。
また、図16中の組成点G3、H3、I3、G8、H8及びI8の組成の第1記録層を有する光ディスクに対しても、同様に上記測定を行った。その結果、すべての光ディスクにおいて、記録線速5.37m/sec〜13.4m/secの範囲(46.5≦(λ/NA)/V≦116.0)でビットエラーレートが5.0×10−5以下となり、それ以外の線速範囲では目標未達となった。以上の結果から、組成点G3、H3、I3、I8、H8及びG8で囲まれる組成範囲の第1記録層を有する光ディスクでは、図17に示すように、HD DVDの1〜2倍速記録(6.61〜13.22m/sec)の記録線速の範囲(図18中の破線間の範囲)で第1記録層に情報記録を行っても、ビットエラーレートが5.0×10−5以下となり、十分良好なエラーレート特性が得られることが分かった。
[最適構成]
以下に、本発明の2層情報記録媒体を構成する各層の最適組成及び最適膜厚について説明する(各層の名称は図1を参照)。
(第1及び第3保護層)
第1及び第3保護層の光入射側に存在する物質はポリカーボネート等のプラスチック基板、あるいは、紫外線硬化樹脂等の有機物である。また、これらの屈折率は1.4〜1.6程度である。上記有機物と第1及び第3保護層との間で反射を効果的に起こすためには、第1及び第3保護層の屈折率は2.0以上であることが望ましい。第1及び第3保護層の屈折率は光学的には光入射側に存在する物質の屈折率以上の値であり、光の吸収が発生しない範囲で第1及び第3保護層の屈折率が大きいほうが良い。具体的には、第1及び第3保護層は、屈折率nが2.0〜3.0の間であり、光を吸収しない材料で形成され、特に金属の酸化物、炭化物、窒化物、硫化物、セレン化物等を含有することが望ましい。
また、第1及び第3保護層の熱伝導率は少なくとも2W/m・K以下であることが望ましい。特に、ZnS−SiO系の化合物は熱伝導率が低いので、第1及び第3保護層として最適である。さらに、SnO、あるいはSnOにZnS、CdS、SnS、GeS、PbS等の硫化物を添加した材料、あるいはSnOにCr、Mo等の遷移金属酸化物を添加した材料は、熱伝導率が低いだけでなく、ZnS−SiO系材料よりも熱的に安定であるので、第1及び第3保護層と記録層との間に設けられる第1及び第3界面層の膜厚が2nm以下となった場合にも、記録層への溶け込みが発生しないため、特に第1及び第3保護層として優れた特性を示す。
また、レーザ光の波長が405nm程度の場合、基板と記録層との間の光学干渉を有効に利用するために、第1及び第3保護層の最適膜厚は50nm〜90nmである。
(第1及び第3界面層)
本発明の2層情報記録媒体の記録層に用いる相変化材料の融点は650℃以上と高温であるため、第1及び第3保護層と記録層の間に熱的に極めて安定な第1及び第3界面層をそれぞれ設けることが望ましい。具体的には、第1及び第3界面層の形成材料としては、Cr、Ge、SiC等の高融点酸化物、高融点窒化物、高融点炭化物が望ましく、これらの材料は熱的に安定であり、長期保存後も膜はがれによる劣化が発生しない。
また、第1及び第3界面層にはBi、Sn、Pb等の記録層の結晶化を促進する材料が含有されていると、記録層の再結晶化を抑制する効果が得られるのでさらに望ましい。特に、Bi、Sn、PbのTe化物、酸化物、あるいはBi、Sn、PbのTe化物、酸化物と窒化ゲルマニウムとの混合物、あるいはBi、Sn、PbのTe化物、酸化物と遷移金属酸化物、遷移金属窒化物との混合物が望ましい。遷移金属は価数を容易に変化させるため、たとえBi、Sn、Pb、Te等の元素が遊離しても、上記遷移金属が価数を変え、遷移金属とBi、Sn、Pb、Te等との間で結合が起こり、熱的に安定な化合物を生成するからである。特に、Cr、Mo及びWは、融点が高く且つ容易に価数を変えやすいので、上記金属との間で熱的に安定な化合物を生成しやすいため優れた材料である。
第1及び第3界面層中の上記Bi、Sn、PbのTe化物、酸化物の含有量は、記録層の結晶化を促進するためには可能な限り多いほうが望ましい。しかしながら、第1及び第3界面層は第2及び第4界面層と比較して、レーザビーム照射により、高温になりやすく記録膜に界面層材料が溶け込む等の問題が発生するため、少なくともBi、Sn、PbのTe化物、酸化物の含有量を70%以下に抑える必要がある。
第1及び第3界面層の膜厚は0.5nm以上であればその効果を発揮する。しかしながら、第1及び第3界面層の膜厚が2nmより薄い場合、第1及び第3保護層の形成材料がそれぞれ第1及び第3界面層を通過して記録層に溶け込み、多数回書換え後の再生信号品質を劣化させる場合がある。それゆえ、第1及び第3界面層の膜厚は2nm以上であることが望ましい。また、第1及び第3界面層の膜厚が10nmより厚くなると、光学的に悪影響を与え、反射率低下、信号振幅低下等の弊害がある。したがって、第1及び第3界面層の膜厚は2nm〜10nmが望ましい。
(第1及び第2記録層)
上述したように、第1及び第2記録層をBi−Ge−Te系相変化材料で形成し、第1及び第2記録層の組成が以下の組成点B2、C2、D2、D8、C8及びB8で囲まれている範囲内の組成であり、且つ、第1記録層中のBiの組成を第2記録層中のBiの組成より1.0at%以上大きくすることにより、例えば、HD DVDに標準速(1倍速)〜2倍速で情報を記録再生するような場合でも、上述した課題1〜4(記録マークのシュリンク、クロスイレーズ、熱によるダメージ及び第1の記録層の書き換えの問題)をすべて解決することができ、記録データの信頼性が高く、且つデータの繰返し記録に対する耐久性に優れた情報記録媒体を提供することができる。
B2(Bi1.0,Ge49.0,Te50.0
C2(Bi1.5,Ge49.0,Te49.5
D2(Bi2.0,Ge50.0,Te48.0
D8(Bi20.0,Ge50.0,Te30.0
C8(Bi25.0,Ge35.0,Te40.0
B8(Bi18.0,Ge28.0,Te54.0
なお、本発明の2層情報記録媒体では、第1及び第2記録層がBi、Ge及びTeのみから構成されていても良いし、また、実質的にBi、Ge及びTeから構成され、不純物程度に他の元素が含まれていても良く、その場合でも本発明の効果は失われない。
また、上記第1及び第2記録層の組成範囲内で、Geの代わりに同族元素であるSi、Sn、Pb等を使用しても良い。また、適当な量のSi、Sn、Pb等を添加することにより、容易に、対応可能な線速度範囲を調整することができる。例えば、Siを添加してGeの一部をSiで置換した場合、GeやGeTeよりも融点が高く結晶化速度が小さいSiTeが生成されるので、溶融部外縁部にSiTeが偏析し、再結晶化が抑制される。また、SnTeやPbTeによりGeTeを置換した場合には、核生成速度が向上するため、高速記録時の消去不足を補うことができる。
さらに、本発明の2層情報記録媒体の第1及び第2記録層に用いられるBi−Ge−Te系相変化材料にBを添加すると、再結晶化がより一層抑制されるので、より優れた性能を示す情報記録媒体が得られる。これは、BがGeと同様に再結晶化を抑制する効果があるだけでなく、B原子は非常に小さいため、速やかに偏析することが可能であるためであると考えられる。
なお、本発明の2層情報記録媒体に使用される記録層材料が上記組成範囲の関係を維持していれば、たとえ、不純物が混入していたとしても、不純物の原子%が1%以内であれば、本発明の効果は失われない。
また、本発明の2層情報記録媒体の構造では第1及び第2記録層の膜厚は、5nm〜12nmであることが好ましい。特に8nm〜12nmの膜厚で第1及び第2記録層を形成した場合、多数回書換え時の記録膜流動による再生信号劣化を抑制し、さらに光学的に変調度を最適化することができる。
(第2及び第4界面層)
本発明の2層情報記録媒体の第1及び第2記録層に用いられる相変化材料の融点は650℃以上と高温であるため、第2保護層と第1記録層との間、及び、第4保護層と第2記録層との間には熱的に極めて安定な第2及び第4界面層をそれぞれ設けることが望ましい。具体的には、第2及び第4界面層としては、Cr、Ge、SiC等の高融点酸化物、高融点窒化物、高融点炭化物が望ましい。これらの材料は熱的に安定であり、長期保存後も膜はがれによる劣化が発生しない。
また、第2及び第4界面層にBi、Sn、Pb等の記録層の結晶化を促進する材料が含有されていると、第1及び第2記録層の再結晶化を抑制する効果が得られるのでさらに望ましい。特に、Bi、Sn、PbのTe化物、酸化物、あるいはBi、Sn、PbのTe化物、酸化物と窒化ゲルマニウムとの混合物、あるいはBi、Sn、PbのTe化物、酸化物と遷移金属酸化物、遷移金属窒化物との混合物が望ましい。遷移金属は価数を容易に変化させるため、たとえBi、Sn、Pb、Te等の元素が遊離しても、上記遷移金属が価数を変え、遷移金属とBi、Sn、Pb、Te等との間で結合が起こり、熱的に安定な化合物を生成するからである。特に、Cr、Mo、Wは融点が高く且つ容易に価数を変えやすいので、上記金属との間で、熱的に安定な化合物を生成しやすいため優れた材料である。
第2及び第4界面層中の上記Bi、Sn、PbのTe化物、酸化物の含有量は、記録層の結晶化を促進するためには可能な限り多いほうが望ましい。しかしながら、第2及び第4界面層はレーザビーム照射により高温になりやすく、第1及び第2記録層に第2及び第4界面層材料がそれぞれ溶け込む等の問題が発生するため、少なくともBi、Sn、PbのTe化物、酸化物の含有量を70%以下に抑える必要がある。
第2及び第4界面層の膜厚は0.5nm以上であれば上記効果を発揮する。しかしながら、その膜厚が1nmより薄くなると、第2及び第4保護層の形成材料が第2及び第4界面層をそれぞれ通過して第1及び第2記録層に溶け込み、多数回書換え後の再生信号品質を劣化させる場合がある。それゆえ、第2及び第4界面層の膜厚は1nm以上であることが望ましい。また、第2及び第4界面層の膜厚が5nmより厚くなると、光学的に悪影響を与え、反射率低下、信号振幅低下等の弊害がある。したがって、第2及び第4界面層の膜厚は1nm〜5nmが望ましい。
(第2及び第4保護層)
第2及び第4保護層は光を吸収しない材料であり、特に金属の酸化物、炭化物、窒化物、硫化物、セレン化物を含有することが望ましい。また、第2及び第4保護層の熱伝導率は少なくとも2W/m・K以下であることが望ましい。特に、ZnS−SiO系の化合物は熱伝導率が低いので第2及び第4保護層として最適である。さらに、SnO、あるいはSnOにZnS、CdS、SnS、GeS、PbS等の硫化物を添加した材料、またはSnOにCr、Mo等の遷移金属酸化物を添加した材料は、熱伝導率が低いだけでなく、ZnS−SiO系材料よりも熱的に安定であるため、第2及び第4界面層の膜厚が1nm以下となった場合においても、第1及び第2記録層への第2及び第4界面層の形成材料の溶け込みが発生しないため、特に、第2及び第4保護層として優れた特性を示す。
(第1及び第2熱拡散層)
第1及び第2熱拡散層の形成材料としては、高反射率、高熱伝導率の金属あるいは合金が望ましく、Al、Cu、Ag、Au、Pt、Pdの総含有量が90原子%以上である材料が望ましい。また、第1及び第2熱拡散層の形成材料としては、Cr、Mo、W等の高融点で硬度が大きい材料、および、これらの材料の合金もまた望ましく、これらの材料を用いると、多数回書換え時の記録層材料の流動による劣化を防止することができる。
具体的には、特に、Alを95原子%以上含有する材料で第1及び第2熱拡散層を形成した場合、廉価であり、高CNR、高記録感度及び多数回書換え耐性が優れるといった効果だけでなく、クロスイレーズ低減効果が極めて大きくなるという効果が得られる。特に、上記第1及び第2熱拡散層がAlを95原子%以上含有する材料で形成されている場合、廉価でしかも耐食性に優れた情報記録媒体を実現することができる。Alに対する添加元素としてはCo、Ti、Cr、Ni、Mg、Si、V、Ca、Fe、Zn、Zr、Nb、Mo、Rh、Sn、Sb、Te、Ta、W、Ir、Pb、B及びCが耐食性の点で優れているが、添加元素としてCo、Cr、Ti、Ni、Feを用いた場合には、特に耐食性向上に大きな効果がある。
第1及び第2熱拡散層の膜厚は、40nm〜200nmであることが望ましい。第1及び第2熱拡散層の膜厚が40nmより薄い場合、第1及び第2記録層においてそれぞれ発生した熱が拡散しにくくなるため、特に10万回程度書換えた際に、第1及び第2記録層が劣化しやすくなり、また、クロスイレーズが発生しやすくなる場合がある。また、第1及び第2熱拡散層の膜厚が40nmより薄い場合には、光を透過してしまうため第1及び第2熱拡散層として使用することが困難になり再生信号振幅が低下する場合がある。一方、第1及び第2熱拡散層の膜厚が200nmより厚くなると、生産性が悪くなり、また、第1及び第2熱拡散層の内部応力により、基板のそり等が発生し、情報の記録再生を正確に行うことができなくなる場合がある。また、第1及び第2熱拡散層の膜厚が40nm〜90nmであれば、耐食性、生産性の点で優れており、さらに望ましい。
本発明の2層情報記録媒体に使用される第1及び第2熱拡散層の熱伝導率は100W/m・K以上であることが好ましい。熱伝導率をこのような値にすることにより、クロスイレーズ低減効果を発現させることができる。
上記実施例では、記録層を2層有する2層情報記録媒体について説明したが、本発明はこれに限定されない。記録層を3層以上有する多層情報記録媒体に対しても適用可能であり、3層以上の記録層のうち、2つの記録層間で上記組成範囲の条件が満たされていれば、同様の効果が得られる。
上述のように、本発明の2層情報記録媒体は、レーザビームの波長をλ(nm)、該レーザビームを集光するための対物レンズの開口数をNA及び記録線速をV(m/sec)としたときに、46.5nsec≦(λ/NA)/V≦116.5nsec(但し、λ=400nm〜410nm)の条件で情報が記録再生されても、記録マークのシュリンク、クロスイレーズ、熱によるダメージ及び第1記録層の書き換えの問題(上記課題1〜4)をすべて解決することができ、記録データの信頼性が高く、且つデータの繰返し記録に対する耐久性に優れた2層情報記録媒体である。それゆえ、本発明の情報記録媒体は、例えば、1〜2倍速記録用の2層情報記録媒体として好適である。
図1は、実施例1で作製した相変化記録方式の光ディスク(2層情報記録媒体)の概略断面図である。 図2は、実施例1で作製した光ディスクの評価に用いた記録再生装置の概略構成図である。 図3は、実施例1で作製した光ディスクの評価結果である。 図4は、実施例2で作製した光ディスクの評価結果である。 図5は、実施例3で作製した光ディスクの評価結果である。 図6は、比較例1で作製した光ディスクの評価結果である。 図7は、比較例2で作製した光ディスクの評価結果である。 図8は、Bi−Ge−Te系相変化材料の三角組成図であり、本発明の第2記録層に用いるBi−Ge−Te系相変化材料の好適な組成範囲を示した図である。 図9は、Bi−Ge−Te系相変化材料の三角組成図であり、本発明の第2記録層に用いるBi−Ge−Te系相変化材料の最適な組成範囲を示した図である。 図10は、本発明の2層情報記録媒体の第2記録層における記録線速とビットエラーレートとの関係を示した図である。 図11は、実施例5で作製した光ディスクの評価結果である。 図12は、実施例6で作製した光ディスクの評価結果である。 図13は、実施例7で作製した光ディスクの評価結果である。 図14は、比較例3で作製した光ディスクの評価結果である。 図15は、比較例4で作製した光ディスクの評価結果である。 図16は、Bi−Ge−Te系相変化材料の三角組成図であり、本発明の第1記録層に用いるBi−Ge−Te系相変化材料の好適な組成範囲を示した図である。 図17は、Bi−Ge−Te系相変化材料の三角組成図であり、本発明の第1記録層に用いるBi−Ge−Te系相変化材料の最適な組成範囲を示した図である。 図18は、本発明の2層情報記録媒体の第1記録層における記録線速とビットエラーレートとの関係を示した図である。 図19(a)及び(b)は、PRML信号処理方式の原理を説明するための図である。 図20は、PRML信号処理方式の原理を説明するための図である。
符号の説明
10 第1情報部
11 第1基板
12 第1保護層
13 第1界面層
14 第1記録層
15 第2界面層
16 第2保護層
17 第1遮断層
18 第1熱拡散層
19 第2者断層
20 第2情報部
21 第2基板
22 第2熱拡散層
23 第4保護層
24 第4界面層
25 第2記録層
26 第3界面層
27 第3保護層
30 紫外線硬化性保護層
40 透過率補正層

Claims (14)

  1. レーザビームの波長をλnm、該レーザビームを集光するための対物レンズの開口数をNA及び記録線速をVm/secとしたときに、46.5nsec≦(λ/NA)/V≦116.0nsecであり且つλ=400〜410nmの条件で上記レーザビームを照射して情報を複数回書換え可能な情報記録媒体であって、
    Bi、Ge及びTeを含む相変化材料で形成された第1の記録層と、
    Bi、Ge及びTeを含む相変化材料で形成された第2の記録層とを備え、
    第1の記録層が第2の記録層より上記レーザビームの入射側に近い方に配置されており、第1及び第2記録層中のBi、Ge及びTeの組成が、Bi、Ge及びTeの三角組成図上の以下の各点に囲まれた組成範囲にあり、
    B3(Bi2.5,Ge47.0,Te50.5
    C3(Bi2.5,Ge48.5,Te49.0
    D3(Bi3.0,Ge50.0,Te47.0
    D5(Bi12.0,Ge50.0,Te38.0
    C5(Bi15.0,Ge41.0,Te44.0
    B5(Bi8.0,Ge40.5,Te51.5
    且つ、第1の記録層中のBiの組成が第2の記録層中のBiの組成より1.0at%以上大きいことを特徴とする情報記録媒体。
  2. レーザビームの波長をλnm、該レーザビームを集光するための対物レンズの開口数をNA及び記録線速をVm/secとしたときに、46.5nsec≦(λ/NA)/V≦116.0nsecであり且つλ=400〜410nmの条件で上記レーザビームを照射して情報を複数回書換え可能な情報記録媒体であって、
    Bi、Ge及びTeを含む相変化材料で形成された第1の記録層と、
    Bi、Ge及びTeを含む相変化材料で形成された第2の記録層とを備え、
    第1の記録層が第2の記録層より上記レーザビームの入射側に近い方に配置されており、第1及び第2記録層中のBi、Ge及びTeの組成が、Bi、Ge及びTeの三角組成図上の以下の各点に囲まれた組成範囲にあり、
    B2(Bi1.0,Ge49.0,Te50.0
    C2(Bi1.5,Ge49.0,Te49.5
    D2(Bi2.0,Ge50.0,Te48.0
    D8(Bi20.0,Ge50.0,Te30.0
    C8(Bi25.0,Ge35.0,Te40.0
    B8(Bi18.0,Ge28.0,Te54.0
    且つ、第1の記録層中のBiの組成が第2の記録層中のBiの組成より1.0at%以上大きいことを特徴とする情報記録媒体。
  3. 上記情報記録媒体に記録される最短記録マークの長さをLとしたとき、上記レーザビームの波長λと、上記対物レンズの開口数NAと、上記最短マーク長Lとの間に、
    0.25≦L/(λ/NA)≦0.40
    の関係が成立することを特徴とする請求項1または2に記載の情報記録媒体。
  4. チャンネルクロック周期がTであり、長さ2T〜11Tの信号を含むランダムパターン情報を上記情報記録媒体に記録した際に、11T信号の再生信号の高レベル値及び低レベル値をそれぞれI11H及びI11Lとし、2T信号の再生信号の高レベル値及び低レベル値をそれぞれI2H及びI2Lとしたとき、
    −0.10≦[(I11H+I11L)/2−(I2H+I2L)/2]/(I11H−I11L)≦0.10
    の関係が成立する再生信号波形が得られることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の情報記録媒体。
  5. 上記情報記録媒体が、さらに、第1及び第2の基板を備え、第1及び第2の記録層がそれぞれ第1及び第2の基板上に設けられており、上記情報記録媒体が円板状の形状を有し、第1及び第2の基板には、同心円状またはスパイラル状の溝が形成されており、該溝及び溝間の少なくとも一方が記録トラックとして用いられ、該溝及び溝間の少なくとも一方が蛇行していることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の情報記録媒体。
  6. 上記記録トラックのトラックピッチTPが、0.6×(λ/NA)〜0.8×(λ/NA)の範囲であることを特徴とする請求項5に記載の情報記録媒体。
  7. 上記対物レンズの開口数NAがNA=0.6〜0.65であり、且つ、上記トラックピッチTPが0.4μm以下であることを特徴とする請求項5または6に記載の情報記録媒体。
  8. 上記情報記録媒体が、さらに、第1及び第2の基板を備え、第1及び第2の記録層がそれぞれ第1及び第2の基板上に設けられており、上記情報記録媒体が円板状の形状を有し、第1及び第2の基板には、同心円状またはスパイラル状の溝が形成されており、該溝及び溝間の両方を記録トラックとして用いることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の情報記録媒体。
  9. 上記記録トラックのトラックピッチTPが、0.5×(λ/NA)〜0.6×(λ/NA)の範囲であることを特徴とする請求項8に記載の情報記録媒体。
  10. 上記対物レンズの開口数NAがNA=0.6〜0.65であり、且つ、上記トラックピッチTPが0.34μm以下であることを特徴とする請求項8または9に記載の情報記録媒体。
  11. さらに、第1及び第2の記録層の上記レーザビームの入射側とは反対側にそれぞれ設けられた第1及び第2の熱拡散層を備える請求項10に記載の情報記録媒体。
  12. 第1の記録層の膜厚が、5〜10nmであり、第1の熱拡散層の膜厚が7〜12nmであることを特徴とする請求項11に記載の情報記録媒体。
  13. 第2の記録層の膜厚が、7〜12nmであることを特徴とする請求項1〜12のいずれか一項に記載の情報記録媒体。
  14. さらに、第1の記録層の少なくとも一方の表面に接して設けられた第1の界面層と、第2の記録層の少なくとも一方の表面に接して設けられた第2の界面層とを備える請求項1〜13のいずれか一項に記載の情報記録媒体。
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