JP2007286617A5 - - Google Patents
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- 酸化シリコン（ＳｉＯｘ）薄膜からなり、前記ｘは１．５より大きくて２．０より小さく、前記酸化シリコン薄膜上で液晶を垂直方向に配列することを特徴とする配向膜。
- 前記酸化シリコン薄膜は、平らな表面を有することを特徴とする請求項１に記載の配向膜。
- 前記酸化シリコン薄膜の表面粗さの２乗平均粗さの値は３ｎｍ以下であることを特徴とする請求項２に記載の配向膜。
- 前記ｘは、１．６５〜１．７５であることを特徴とする請求項２に記載の配向膜。
- 前記酸化シリコン薄膜の屈折率は、１．０〜１．８であることを特徴とする請求項１に記載の配向膜。
- 前記液晶の誘電率異方性は−３．９〜−１．０であることを特徴とする請求項５に記載の配向膜。
- 前記ｘは１．６５より大きいことを特徴とする請求項１に記載の配向膜。
- 前記酸化シリコンの薄膜は、５０ｎｍ〜３００ｎｍの厚さを有することを特徴とする請求項１に記載の配向膜。
- 前記酸化シリコンの薄膜は、９０ｎｍ〜１１０ｎｍの厚さを有することを特徴とする請求項８に記載の配向膜。
- 酸化シリコン（ＳｉＯｘ）薄膜からなり、前記ｘが１．０より大きくて１．５より小さく、前記酸化シリコン薄膜上で液晶を水平方向に配列することを特徴とする配向膜。
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