JP2007286362A - リソグラフィシミュレーション方法、プログラム及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 マスクレイアウトからマスク透過関数を求める工程S2と、マスク透過関数を用いてマスクレイアウトの光学像を求める工程S3と、マスク透過関数に所定の関数フィルタを作用させてフィルタリングされた関数を求める工程S4と、フィルタリングされた関数を用いて光学像を補正する工程S5とを備える。
【選択図】 図1
Description
Proc. SPIE2005, vol.5754, p.383-394, March 2005
図1は、本発明の第1の実施形態に係るリソグラフィシミュレーション方法の基本的な手順を示したフローチャートである。図2は、本発明の第1の実施形態に係るリソグラフィシミュレーション方法の基本的な概念を説明するための説明図である。図3は、本発明の第1の実施形態に係るリソグラフィシミュレーション方法の一部分を詳細に示した図である。以下、これらの図を参照して、本実施形態に係るリソグラフィシミュレーション方法を説明する。
SSI=G(σ)@UPH(LPF(M),x,y) (2)
とする。SSIは、Space Sensitive Intensityである。さらに、
offset=a × SSI + b (3)
と表す。ただし、a及びbは予め求められている係数(定数)である。
offset=C0 + C1 × SSI + C2 × SSI2 + C3 × SSI3 + ……… (4)
というように、'offset'は'SSI'の多項式で表される。
I'(x,y)=I(x,y)+offset (5)
と表される。すなわち、図5で示したように、マスク立体効果を考慮せずに求めた光学像I(x,y)にoffset値を足し合わせることにより、マスク立体効果を考慮した厳密な電磁場計算によって得られた光学像に近似した光学像I'(x,y)を求めることができる。
第1の実施形態では、アッパーピークホールド(UPH)フィルタを用いてフィルタリング処理を行ったが、本実施形態では、ガウス関数フィルタを用いてフィルタリング処理を行う。なお、基本的な方法は第1の実施形態と同様であるため、第1の実施形態で説明した事項については説明を省略する。
M'(x,y,σ)=M(x,y)@G(σ) (6)
と表すことができる。ただし、M(x,y)はマスク透過関数、G(σ)は標準偏差がσのガウス関数フィルタ、M'(x,y,σ)はフィルタリングされた関数である。
I'(x,y)=I(x,y)+a×M'(x,y,σ) (7)
となる。代表的な複数のパターンについて、マスク立体効果を考慮した厳密な電磁場計算によって得られた光学像の寸法に近くなるようにフィッティングを行うことで、a及びσの値は予め求めておくことができる。
本実施形態は、マスクの製造ばらつきを考慮したリソグラフィシミュレーションに関するものである。なお、基本的な方法は第1の実施形態と同様であるため、第1の実施形態で説明した事項については説明を省略する。
M'(x,y,σ)=M(x,y)@G(σ) (8)
と表すことができる。ただし、M(x,y)はマスク透過関数、G(σ)は標準偏差がσのガウス関数フィルタ、M'(x,y,σ)はフィルタリングされた関数である。
I'(x,y)=I(x,y)+a×M'(x,y,σ) (9)
となる。代表的な複数のパターンについて、マスク製造ばらつきを考慮してリサイズしたパターンを用いた計算によって得られた光学像の寸法に近くなるようにフィッティングを行うことで、a及びσの値は予め求めておくことができる。
I'(x,y)=I(x,y)+ΣCiFi(M) (10)
と表される。
ただし、G(M)はフィルタリングされた関数、ΣdjGj(M)×I(x,y)はフィルタリングされた関数と光学像を掛け合わせた関数の多項式、djは多項式の係数である。
I'(x,y)=I(x,y)+ΣCiFi(M)+ΣdjGj(M)×I(x,y) (12)
と表される。
11…フォトマスク 12…マスクパターン(マスクレイアウト)
13…投影光学系 14…光学像
Claims (5)
- マスクレイアウトからマスク透過関数を求める工程と、
前記マスク透過関数を用いて前記マスクレイアウトの光学像を求める工程と、
前記マスク透過関数に所定の関数フィルタを作用させてフィルタリングされた関数を求める工程と、
前記フィルタリングされた関数を用いて前記光学像を補正する工程と、
を備えたことを特徴とするリソグラフィシミュレーション方法。 - 前記フィルタリングされた関数を用いて前記光学像を補正する工程は、前記フィルタリングされた関数に基づく値を前記光学像に足し合わせる工程を含む
ことを特徴とする請求項1に記載のリソグラフィシミュレーション方法。 - 前記フィルタリングされた関数を用いて前記光学像を補正する工程は、前記フィルタリングされた関数と前記光学像を掛け合わせた関数を求める工程と、前記掛け合わせた関数に基づく値を前記光学像に足し合わせる工程と、を含む
ことを特徴とする請求項1に記載のリソグラフィシミュレーション方法。 - コンピュータに、
マスクレイアウトからマスク透過関数を求める手順と、
前記マスク透過関数を用いて前記マスクレイアウトの光学像を求める手順と、
前記マスク透過関数に所定の関数フィルタを作用させてフィルタリングされた関数を求める手順と、
前記フィルタリングされた関数を用いて前記光学像を補正する手順と、
を実行させるためのプログラム。 - 請求項1に記載のリソグラフィシミュレーション方法によって得られた指針に基づいてフォトマスクを作製する工程と、
前記フォトマスクに形成されたパターンを半導体ウエハ上のフォトレジストに転写する工程と、
を備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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