JP2007277028A - 高純度窒素ガスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】吸着工程と、精製工程と、除湿工程と、再生工程とを備えている。吸着工程は、空気中の酸素を吸着剤により吸着させる。精製工程は、吸着工程後の第1ガス中に含有されている残存酸素を、水素と反応させて水分に変えることにより、酸素を除去する。除湿工程は、精製工程後の第2ガス中から、水分が除去された高純度窒素ガスと除去された水分を含有するパージガスとを分離する。再生工程は、除湿工程後のパージガスを用いて、吸着剤を再生する再生工程とを備える。
【選択図】図1
Description
本発明の高純度窒素ガスの製造方法の効果を確認するべく、以下のような製造方法により製造した窒素ガスの量とその残存酸素濃度とを測定した。
実施例1の高純度窒素ガスの製造方法は、実施の形態1の高純度窒素ガスの製造方法にしたがって実施した。具体的には、吸着工程では、2つのPSA吸着塔を用いて、供給する空気の流量を2100Nl/min、圧力を0.83MPaとした。そして、精製工程では、内部にパラジウム合金からなる触媒を充填した精製装置を用いた。そして、除湿工程では、膜式除湿装置を用いた。そして、再生工程では、逆止弁によりパージガスを再生している吸着塔に供給した。
比較例1の高純度窒素ガスの製造方法は、基本的には実施例1の高純度窒素ガスの製造方法と同様の構成を備えているが、再生工程を備えていない点においてのみ、実施例1の高純度窒素ガスの製造方法と異なる。なお、供給する空気の流量は実施例1と同様とした。
実施例1および比較例1の高純度窒素ガスの製造方法により製造される高純度窒素ガスの発生量[Nm3/min]と、その高純度窒素ガス中の残存酸素濃度をそれぞれ測定した。その結果を図6および表1に示す。なお、図6は、本発明の実施例における製造される高純度窒素ガスの流量と残存酸素濃度を示す図である。図6中、縦軸は高純度窒素ガス中の酸素濃度(単位:vol.ppm)を示し、横軸は高純度窒素ガスの発生量(単位:Nm3/h)を示す。
図6および表1に示すように、実施例1で製造された高純度窒素ガスの製造量を比較例1で製造された高純度窒素ガスと同じ製造量とすると、実施例1で製造した高純度窒素ガス中の残存酸素濃度を低減することができた。また、実施例1で製造された高純度窒素ガスの残存酸素濃度と比較例1で製造された高純度窒素ガスと同じ残存酸素濃度とすると、実施例1で製造した高純度窒素ガスの製造量を多くできた。
Claims (5)
- 空気中の酸素を吸着剤により吸着させる吸着工程と、
前記吸着工程後の第1ガス中に含有されている残存酸素を、水素と反応させて水分に変えることにより、酸素を除去する精製工程と、
前記精製工程後の第2ガス中から、水分が除去された高純度窒素ガスと前記除去された水分を含有するパージガスとを分離する除湿工程と、
前記パージガスを用いて、前記吸着剤を再生する再生工程とを備える、高純度窒素ガスの製造方法。 - 前記吸着工程は、圧力変動吸着装置で行なわれ、
前記除湿工程は、膜式除湿装置で行なわれる、請求項1に記載の高純度窒素ガスの製造方法。 - 前記再生工程では、減圧ポンプにより前記パージガスを前記吸着剤に供給する工程を含む、請求項1または2に記載の高純度窒素ガスの製造方法。
- 前記吸着工程と前記再生工程とを同時に実施する、請求項1〜3のいずれかに記載の高純度窒素ガスの製造方法。
- 前記再生工程は、逆止弁により前記再生工程が実施されている前記吸着剤に前記パージガスを供給する工程を含む、請求項4に記載の高純度窒素ガスの製造方法。
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