JP2007266571A - Ledチップ、その製造方法および発光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】LEDチップ10は、発光層122に積層された、光取出し方向側にテクスチャ化表面Tを有する透光性層13を備え、テクスチャ化表面Tは透光性層13との間にボイドを残すことなく形成された平滑化層14により覆われており、平滑化層14は透光性層13よりも低い屈折率を有し、かつ、その露出した表面がテクスチャ化表面Tよりも平滑である。
【選択図】図1
Description
(1)発光層を含む半導体層が基板の上に積層された構造を有するLEDチップであって、発光層に直接または間接的に積層された、光取出し方向側にテクスチャ化表面を有する透光性層を備え、該テクスチャ化表面は該透光性層との間にボイドを残すことなく形成された平滑化層により覆われており、該平滑化層は該透光性層よりも低い屈折率を有し、かつ、その露出した表面が該テクスチャ化表面よりも平滑であることを特徴とするLEDチップ。
(2)前記平滑化層の表面が鏡面となっている、前記(1)に記載のLEDチップ。
(3)前記平滑化層の表面に、平坦性を上げるための処理が施されている、前記(1)または(2)に記載のLEDチップ。
(4)前記テクスチャ化表面が、連続した凹部と孤立した凸部とからなる構造を有しており、該凸部の形状が錐体状である、前記(1)〜(3)のいずれかに記載のLEDチップ。
(5)前記テクスチャ化表面がモス−アイ構造を有している、前記(1)〜(3)のいずれかに記載のLEDチップ。
(6)前記透光性層が、前記半導体層に積層された電流拡散層である、前記(1)〜(5)のいずれかに記載のLEDチップ。
(7)前記透光性層が、前記半導体層に積層された基板である、前記(1)〜(5)のいずれかに記載のLEDチップ。
(8)前記透光性層が、前記半導体層の表層である、前記(1)〜(5)のいずれかに記載のLEDチップ。
(9)前記半導体層が3族窒化物系化合物半導体層である、前記(1)〜(8)のいずれかに記載のLEDチップ。
(10)前記平滑化層が絶縁性材料で形成されている、前記(1)〜(9)のいずれかに記載のLEDチップ。
(11)前記平滑化層が無機材料で形成されている、前記(1)〜(10)のいずれかに記載のLEDチップ。
(12)前記平滑化層が樹脂で形成されている、前記(1)〜(10)のいずれかに記載のLEDチップ。
(13)前記(1)〜(12)のいずれかに記載のLEDチップを透光性の封止材料で封止してなる発光装置。
(14)前記LEDチップの発光波長における、前記平滑化層の屈折率をn1、前記封止材料の、該平滑化層に接する部分の屈折率をn2としたとき、n1がn2の0.9倍〜1.1倍である、前記(13)に記載の発光装置。
(15)前記LEDチップの発光波長における、前記平滑化層の屈折率をn1、前記封止材料の、該平滑化層に接する部分の屈折率をn2としたとき、n1≦n2である、前記(13)または(14)に記載の発光装置。
(16)下記(A)のLEDウェハを形成する工程と、該LEDウェハを分割してLEDチップを得る工程と、を有するLEDチップの製造方法:(A)発光層を含む半導体層が基板の上に積層された構造を有するLEDウェハであって、発光層に直接または間接的に積層された、テクスチャ化表面を有する透光性層を備え、該テクスチャ化表面は該透光性層との間にボイドを残すことなく形成された平滑化層により覆われており、該平滑化層は該透光性層よりも低い屈折率を有し、かつ、その露出した表面が該テクスチャ化表面よりも平滑である、LEDウェハ。
(17)前記平滑化層の表面が鏡面となっている、前記(16)に記載の製造方法。
(18)前記LEDウェハを形成する工程で、前記平滑化層の表面に平坦性を上げるための処理を施す、前記(16)または(17)に記載の製造方法。
(19)前記テクスチャ化表面が、連続した凹部と孤立した凸部とからなる構造を有しており、該凸部の形状が錐体状である、前記(16)〜(18)のいずれかに記載の製造方法。
(20)前記テクスチャ化表面がモス−アイ構造を有している、前記(16)〜(18)のいずれかに記載の製造方法。
図1は、本発明の第1の実施形態に係るLEDチップの構造を示す断面図である。このLEDチップ10は3族窒化物系LEDチップで、サファイアからなる基板11と、その上に形成されたGaN系半導体層12を有しており、GaN系半導体層12には、基板11側から順に、n型GaN層121、InGaN発光層122、p型GaN層123が含まれている。LEDチップ10は、更に、部分的に露出されたn型GaN層121の表面に形成されたn側電極P11と、p型GaN層123上に形成されたITOからなる透光性層13と、その上に形成されたp側電極P12を有している。この透光性層13は、ボンディングパッドであるp側電極P12から供給される電流を、当該透光性層13の層方向(膜厚方向に直交する方向)に拡散させる電流拡散層であり、p型GaN層123とオーミック接触している。このLEDチップ10の光取出し方向は、InGaN発光層122から見て透光性層13側の方向である。透光性層13は、光取出し方向側にテクスチャ化表面Tを有しており、該テクスチャ化表面Tは、透光性層13との間にボイドを残すことなく形成された、シリカ(SiO2)製の平滑化層14により覆われている。平滑化層14は、透光性層13のテクスチャ化された表面を覆うことにより、当該LEDチップ10の表面を平滑にするための層である。平滑化層14の露出した表面Sは、透光性層13のテクスチャ化表面Tよりも平滑となっている。
まず、図4(a)に示すように、サファイアからなる基板11上に、有機金属化合物気相成長(MOVPE)法、ハイドライド気相成長(HVPE)法、分子ビームエピタキシー(MBE)法等の気相エピタキシャル成長法を用いて、GaN等からなるバッファ層(図示せず)、n型GaN層121、InGaN発光層122、p型GaN層123を、順次、所定の厚さに成長する。この積層体に対する、アンドープGaN高温バッファ層、AlGaNクラッド層、InGaN歪緩和層、InGaNコンタクト層などの各種機能層の付加や、発光層122をMQW構造とするなどの変更は、周知の技術を参考にして適宜行うことができる。
図6は、本発明の第2の実施形態に係るLEDチップの構造を示す断面図である。このLEDチップ10は、サファイアからなる基板11と、その上に形成されたGaN系半導体層12を有しており、GaN系半導体層12には、基板11側から順に、n型GaN層121、InGaN発光層122、p型GaN層123が含まれている。また、部分的に露出されたn型GaN層121の表面にはn側電極P11が、p型GaN層123上にはp側電極P12が、それぞれ形成されている。p側電極P12は、p型GaN層123に接する側から、Rh(ロジウム)、Pt(白金)、Au(金)を順に積層してなるものであり、p型GaN層123とオーミック接触している。このp側電極P12は透光性を有しておらず、InGaN発光層122で発生する光を反射する。よって、このLEDチップ10はフリップチップ実装(フェースダウン実装)用であり、光取出し方向はInGaN発光層122から見て基板11側の方向である。基板11は、光取出し方向側にテクスチャ化表面Tを有しており、該テクスチャ化表面Tは、基板11との間にボイドを残すことなく形成された平滑化層14により覆われている。平滑化層14はシリカからなり、その表面Sは基板11のテクスチャ化表面Tよりも平滑となっている。
図7は、本発明の第3の実施形態に係るLEDチップの構造を示す断面図である。このLEDチップ10は、サファイアからなる基板11と、その上に形成されたGaN系半導体層12を有しており、GaN系半導体層12には、基板11側から順に、n型GaN層121、InGaN発光層122、p型GaN層123が含まれている。また、部分的に露出されたn型GaN層121の表面にはn側電極P11が形成されている。この例では、GaN系半導体層12の、p型GaN層123側の表面がテクスチャ化されており、該テクスチャ化表面Tを覆って、ITOからなる平滑化層14が形成されている。この平滑化層14は、その上に形成されたボンディングパッドであるp側電極P12から供給される電流を、当該平滑化層14の層方向(膜厚方向に直交する方向)に拡散させる電流拡散層であり、p型GaN層123とオーミック接触している。LEDチップ10の光取出し方向は、InGaN発光層122から見て平滑化層14側である。p型GaN層123の表面のテクスチャ化は、該層の成長温度を通常よりも低くして、成長面に多数のピットを発生させることにより行っている。ここで、通常よりも低い成長温度とは、MOVPE法の場合、950℃未満である。この第3の実施形態は、発光層を含む半導体層の表層を、光取出し方向側にテクスチャ化表面を有する透光性層とした実施形態ということができる。
図8は、本発明の第4の実施形態に係るLEDチップの構造を示す断面図である。このLEDチップ10は、サファイアからなる基板11と、その上に形成されたGaN系半導体層12を有しており、GaN系半導体層12には、基板11側から順に、n型GaN層121、InGaN発光層122、p型GaN層123、n型GaN層124が含まれている。部分的に露出されたn型GaN層121の表面にはn側電極P11が形成されている。n型GaN層124とp型GaN層123との間にトンネル接合が形成されるよう、これらの層は、その接合界面付近のキャリア濃度が十分に高くされている。このLEDチップの光取出し方向は、InGaN発光層122から見て、p型GaN層123側であり、n型GaN層124が、その光取出し方向側に、テクスチャ化表面Tを有している。該テクスチャ化表面Tは、ITOからなる平滑化層14により覆われている。この平滑化層14は、その上に形成されたボンディングパッドであるp側電極P12から供給される電流を、当該平滑化層14の層方向(膜厚方向に直交する方向)に拡散させる電流拡散層であり、n型GaN層124とオーミック接触している。
図9は、本発明の第5の実施形態に係るLEDチップの構造を示す断面図である。このLEDチップ10は、サファイアからなる基板11と、その上に形成されたGaN系半導体層12を有しており、GaN系半導体層12には、基板11側から順に、n型GaN層121、InGaN発光層122、p型GaN層123が含まれている。また、部分的に露出されたn型GaN層121の表面にはn側電極P11が、p型GaN層123上にはp側電極P12が、それぞれ形成されている。p側電極P12は、p型GaN層123に接する側から、Rh(ロジウム)、Pt(白金)、Au(金)を順に積層してなるものであり、p型GaN層123とオーミック接触している。このp側電極P12は透光性を有しておらず、InGaN発光層122で発生する光を反射する。LEDチップ10は、フリップチップ実装(フェースダウン実装)用であり、光取出し方向はInGaN発光層122から見て基板11側の方向である。基板11の、GaN系半導体層12が形成された側と反対側の表面には、酸化ビスマスを主成分とするガラスからなる透光性層13が、熱圧着により接合されている。この透光性層13は光取出し方向側にテクスチャ化表面Tを有しており、該テクスチャ化表面Tは、透光性層13との間にボイドを残すことなく形成された平滑化層14に覆われている。平滑化層14はシリコーン樹脂からなり、その表面Sは基板11のテクスチャ化表面Tよりも平滑となっている。
図10は、本発明の第6の実施形態に係るLEDチップの構造を示す断面図である。このLEDチップ10は、CuWからなる基板11と、その上に形成されたGaN系半導体層12を有しており、GaN系半導体層12には、基板11側から順に、p型GaN層123、InGaN発光層122、n型GaN層121が含まれている。基板11とp型GaN層123との間には、p型GaN層123と基板11とを電気的に接続し、かつ物理的に接合する接合層(図示せず)が介在されている。n型GaN層121の表面には、該表面の一部に接するようにn側電極P11が形成されている。このLEDチップ10の光取出し方向は、InGaN発光層122から見てn型GaN層121側の方向である。n型GaN層121は、該光取出し方向側にテクスチャ化表面Tを有しており、該テクスチャ化表面Tは、n型GaN層121との間にボイドを残すことなく形成された平滑化層14に覆われている。平滑化層14はシリカからなり、その表面Sはn型GaN層121のテクスチャ化表面Tよりも平滑となっている。
11 基板
12 3族窒化物系化合物半導体層
121 n型GaN層
122 InGaN発光層
123 p型GaN層
124 n型GaN層
13 透光性層
14 平滑化層
P11 n側電極
P12 p側電極
D10 発光装置
15 封止材料
16 基台
Claims (20)
- 発光層を含む半導体層が基板の上に積層された構造を有するLEDチップであって、
発光層に直接または間接的に積層された、光取出し方向側にテクスチャ化表面を有する透光性層を備え、
該テクスチャ化表面は該透光性層との間にボイドを残すことなく形成された平滑化層により覆われており、
該平滑化層は該透光性層よりも低い屈折率を有し、かつ、その露出した表面が該テクスチャ化表面よりも平滑であることを特徴とするLEDチップ。 - 前記平滑化層の表面が鏡面となっている、請求項1に記載のLEDチップ。
- 前記平滑化層の表面に、平坦性を上げるための処理が施されている、請求項1または2に記載のLEDチップ。
- 前記テクスチャ化表面が、連続した凹部と孤立した凸部とからなる構造を有しており、該凸部の形状が錐体状である、請求項1〜3のいずれかに記載のLEDチップ。
- 前記テクスチャ化表面がモス−アイ構造を有している、請求項1〜3のいずれかに記載のLEDチップ。
- 前記透光性層が、前記半導体層に積層された電流拡散層である、請求項1〜5のいずれかに記載のLEDチップ。
- 前記透光性層が、前記半導体層に積層された基板である、請求項1〜5のいずれかに記載のLEDチップ。
- 前記透光性層が、前記半導体層の表層である、請求項1〜5のいずれかに記載のLEDチップ。
- 前記半導体層が3族窒化物系化合物半導体層である、請求項1〜8のいずれかに記載のLEDチップ。
- 前記平滑化層が絶縁性材料で形成されている、請求項1〜9のいずれかに記載のLEDチップ。
- 前記平滑化層が無機材料で形成されている、請求項1〜10のいずれかに記載のLEDチップ。
- 前記平滑化層が樹脂で形成されている、請求項1〜10のいずれかに記載のLEDチップ。
- 請求項1〜12のいずれかに記載のLEDチップを透光性の封止材料で封止してなる発光装置。
- 前記LEDチップの発光波長における、前記平滑化層の屈折率をn1、前記封止材料の、該平滑化層に接する部分の屈折率をn2としたとき、n1がn2の0.9倍〜1.1倍である、請求項13に記載の発光装置。
- 前記LEDチップの発光波長における、前記平滑化層の屈折率をn1、前記封止材料の、該平滑化層に接する部分の屈折率をn2としたとき、n1≦n2である、請求項13または14に記載の発光装置。
- 下記(A)のLEDウェハを形成する工程と、該LEDウェハを分割してLEDチップを得る工程と、を有するLEDチップの製造方法:
(A)発光層を含む半導体層が基板の上に積層された構造を有するLEDウェハであって、
発光層に直接または間接的に積層された、テクスチャ化表面を有する透光性層を備え、
該テクスチャ化表面は該透光性層との間にボイドを残すことなく形成された平滑化層により覆われており、
該平滑化層は該透光性層よりも低い屈折率を有し、かつ、その露出した表面が該テクスチャ化表面よりも平滑である、LEDウェハ。 - 前記平滑化層の表面が鏡面となっている、請求項16に記載の製造方法。
- 前記LEDウェハを形成する工程で、前記平滑化層の表面に平坦性を上げるための処理を施す、請求項16または17に記載の製造方法。
- 前記テクスチャ化表面が、連続した凹部と孤立した凸部とからなる構造を有しており、該凸部の形状が錐体状である、請求項16〜18のいずれかに記載の製造方法。
- 前記テクスチャ化表面がモス−アイ構造を有している、請求項16〜18のいずれかに記載の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006317659A JP2007266571A (ja) | 2006-02-28 | 2006-11-24 | Ledチップ、その製造方法および発光装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006054188 | 2006-02-28 | ||
JP2006317659A JP2007266571A (ja) | 2006-02-28 | 2006-11-24 | Ledチップ、その製造方法および発光装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007266571A true JP2007266571A (ja) | 2007-10-11 |
Family
ID=38639214
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006317659A Pending JP2007266571A (ja) | 2006-02-28 | 2006-11-24 | Ledチップ、その製造方法および発光装置 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2007266571A (ja) |
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A977 | Report on retrieval |
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A02 | Decision of refusal |
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