JP2007266054A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 95
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 99
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims abstract description 43
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 25
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 18
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 18
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 32
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000011135 tin Substances 0.000 claims description 12
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 9
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 9
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 8
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 8
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 8
- -1 hydrogen radicals Chemical class 0.000 claims description 8
- 239000011133 lead Substances 0.000 claims description 8
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 claims description 7
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 6
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 claims description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 4
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 3
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 claims description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 claims description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 2
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 claims description 2
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 claims description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 abstract description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 46
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 43
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 16
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 13
- 230000008569 process Effects 0.000 description 10
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 8
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 8
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 7
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 6
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 3
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- YZCKVEUIGOORGS-IGMARMGPSA-N Protium Chemical compound [1H] YZCKVEUIGOORGS-IGMARMGPSA-N 0.000 description 2
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000012993 chemical processing Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/81—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
- H01L2224/818—Bonding techniques
- H01L2224/81801—Soldering or alloying
- H01L2224/81815—Reflow soldering
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/81—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
- H01L2224/81905—Combinations of bonding methods provided for in at least two different groups from H01L2224/818 - H01L2224/81904
- H01L2224/81907—Intermediate bonding, i.e. intermediate bonding step for temporarily bonding the semiconductor or solid-state body, followed by at least a further bonding step
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Abstract
【解決手段】半導体チップ2および中間基板3の外部引出電極5,8および突起電極6の酸化膜を除去した後、半導体チップ2および中間基板3を大気中に取り出す工程と、大気中で突起電極6と外部引出電極8とを位置合わせしたのち低酸素濃度雰囲気中に入れる工程と、低酸素濃度雰囲気中で半導体チップ2および中間基板3を突起電極6の溶融する温度条件で熱処理を行う工程とを含む。上記の位置合わせ工程では、半導体チップ2および中間基板3は、以下の式を満たす温度x(℃)および曝露期間y(秒)の範囲内でしか大気に曝されないようにしている。
温度xが36℃以下のときには、 y≦10-(x-57.45)/6.031 …(1)
温度xが36℃より大きいときには、y≦10-(x-59.67)/6.656 …(2)
【選択図】図2
Description
(A)表面に電極を有すると共に、少なくとも一方の電極表面上に突起電極を有する第1基板および第2基板を用意する工程
(B)第1基板および第2基板のそれぞれの電極および突起電極の表面に対して化学的処理を行ったのち、第1基板および第2基板を大気中に取り出す工程
(C)大気中で第1基板および第2基板のそれぞれの電極または突起電極の位置合わせを行うと共に、第1基板および第2基板を低酸素濃度雰囲気中に入れる工程
(D)低酸素濃度雰囲気中で第1基板および第2基板を突起電極の溶融する温度条件で熱処理を行う工程
ここで、上記の位置合わせ工程(C工程)では、第1基板および第2基板は、以下の式を満たす温度x(℃)および曝露期間y(秒)の範囲内でしか大気に曝されないようにしている。
温度xが36℃以下のときには、 y≦10-(x-57.45)/6.031 …(1)
温度xが36℃より大きいときには、y≦10-(x-59.67)/6.656 …(2)
さて、上記した構成の酸化膜除去装置10を用いて、外部引出電極5,8や突起電極6の表面を覆っている酸化膜の除去を行う。
次に、半導体チップ2および中間基板3を所定の環境の大気中に取り出したのち(ステップS5)、所定の期間内に、半導体チップ2の突起電極6と、中間基板3の外部引出電極8との位置合わせを行う(ステップS6、図6、図7参照)。これにより、低圧の雰囲気中で行う場合に比べて、半導体チップ2および中間基板3の位置合わせを容易に行うことができる。なお、大気の環境や大気中に曝す期間についての説明はのちに詳述する。
次に、位置合わせの行われた半導体チップ2および中間基板3を熱処理装置50に入れて、低酸素濃度雰囲気中でリフローを行う(ステップS7)。具体的には、まず、熱処理装置50内を窒素ガスで満たし、熱処理装置50内の酸素濃度が100ppm以下、好ましくは30ppm以下となるように窒素ガス源58,69を調整する。次に、位置合わせされた半導体チップ2および中間基板3を熱処理装置50内に投入し、突起電極6の溶融する温度条件で所定の時間、半導体チップ2および中間基板3を加熱し、続いて、加熱された半導体チップ2および中間基板3を十分に冷却することの可能な温度条件で所定の時間、半導体チップ2および中間基板3を冷却する。これにより、半導体チップ2の突起電極6と、中間基板3の外部引出電極8とが互いに接合され、半導体チップ2および中間基板3がフリップチップ接続される。その後、フリップチップ接続により得られた半導体装置1を熱処理装置50から取り出す。このようにして、半導体チップ2および中間基板3をフリップチップ接続することにより、本実施の形態の半導体装置1が製造される。
y≦10-(x-57.45)/6.031 …(1)
y≦10-(x-59.67)/6.656 …(2)
Claims (11)
- 表面に電極を有すると共に、少なくとも一方の電極表面上に突起電極を有する第1基板および第2基板のそれぞれの電極または突起電極の表面に対して化学的処理を行ったのち、前記第1基板および第2基板を大気中に取り出す工程と、
前記大気中で前記第1基板および第2基板のそれぞれの電極および突起電極の位置合わせを行うと共に、前記第1基板および第2基板を低酸素濃度雰囲気中に入れる工程と、
前記低酸素濃度雰囲気中で前記第1基板および第2基板を前記突起電極の溶融する温度条件で熱処理を行う工程と
を含み、
前記位置合わせ工程において、前記第1基板および第2基板は、以下の式を満たす温度x(℃)および曝露期間y(秒)の範囲内でしか大気に曝されない
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
温度xが36℃以下のときには、 y≦10-(x-57.45)/6.031 …(1)
温度xが36℃より大きいときには、y≦10-(x-59.67)/6.656 …(2) - 前記化学的処理は、前記電極または突起電極の表面を、遊離基ガス、還元性ガスまたは有機酸気化ガスに曝すことにより行われる
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。 - 前記低酸素濃度雰囲気は、不活性ガスと遊離基ガス、還元性ガスまたは有機酸気化ガスとの混合ガス、または真空であり、
前記低酸素濃度雰囲気中に含まれる酸素濃度は、100ppm以下である
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。 - 前記遊離基ガスは、水素ラジカルを含む
ことを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記還元性ガスは、水素ガス、水素ガスとアルゴンガスとの混合ガス、または水素ガスと窒素ガスとの混合ガスを含む
ことを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記有機酸気化ガスは、蟻酸を含む
ことを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記不活性ガスは、アルゴン、窒素またはヘリウムを含む
ことを特徴とする請求項3に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記突起電極は、銀、銅、ビスマス、インジウム、ニッケル、金、燐および鉛のうち少なくとも1つを含有する錫、または錫からなる
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。 - 前記突起電極は、めっき、印刷、ボールまたは蒸着により形成されている
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。 - 前記電極の表面は、銅、金、パラジウム、銀、インジウムまたは錫を含む
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1基板および第2基板のいずれか一方が1または複数の半導体チップであり、他方が中間基板またはプリント基板である
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006085328A JP5210496B2 (ja) | 2006-03-27 | 2006-03-27 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
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JP2007266054A true JP2007266054A (ja) | 2007-10-11 |
JP5210496B2 JP5210496B2 (ja) | 2013-06-12 |
Family
ID=38638799
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006085328A Active JP5210496B2 (ja) | 2006-03-27 | 2006-03-27 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP5210496B2 (ja) |
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