JP2007263720A - 磁気センサ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板11上には、互いに所定の距離を隔てて埋め込まれた複数のホール素子12a,12bが設けられ、ホール素子12a,12b上及び半導体基板11上には、磁気収束板を電解めっきするための下地金属層が設けられ、下地金属層上には、磁気増幅機能を有する磁気収束板15が設けられている。磁気収束板15の底面は、複数のホール素子12a,12bの領域を少なくとも部分的に覆うように配置され、磁気収束板の端面はテーパー形状を有している。特に、半導体基板11の表面と磁気収束板15の端面の内側のテーパー角αが鈍角である逆テーパー形状である場合には、磁気収束板の飽和を生じづらくして感度の低下を招くことなしに線形性が確保できる。
【選択図】図2
Description
図2(a),(b)は、本発明に係る磁気センサの一実施例を説明するための構成図で、図2(a)は磁気収束板の側面を順テーパー形状にしたもの、図2(b)は磁気収束板の側面を逆テーパー形状にしたものである。図中符号11は半導体基板、12a,12bはホール素子、15は磁気収束板を示している。
2a,2b ホール素子
3 保護層
4 下地金属層
5 磁気収束板
11 半導体基板
12a,12b ホール素子
13 磁性体テープ
14 レジスト
15 磁気収束板
16 レジスト
16a 空隙部
Claims (8)
- 複数のホール素子が設けられた半導体基板と、該半導体基板上に設けられた磁気増幅機能を有する磁性体とを備えた磁気センサにおいて、
前記磁性体の底面が、前記複数のホール素子の領域の少なくとも一部を覆うように配置され、該磁性体の側面がテーパー形状を有していることを特徴とする磁気センサ。 - 前記磁性体が、前記半導体基板の表面と前記磁性体の側面の内側のテーパー角αが鈍角である逆テーパー形状であることを特徴とする請求項1に記載の磁気センサ。
- 前記テーパー角αが、90°<α≦120°であることを特徴とする請求項2に記載の磁気センサ。
- 前記磁性体が、前記半導体基板の表面と前記磁性体の側面の内側のテーパー角αが鋭角である順テーパー形状であることを特徴とする請求項1に記載の磁気センサ。
- 複数のホール素子が設けられた半導体基板と、該半導体基板上に設けられた磁気増幅機能を有する磁性体とを備えた磁気センサの製造方法において、
前記半導体基板の表面に前記複数のホール素子を埋め込み形成する工程と、
前記複数のホール素子上に電解めっき用の下地金属層を形成する工程と、
前記下地金属層上に、前記複数のホール素子上がテーパー形状を有する空隙部となるようにレジストパターンニングによりレジストを形成する工程と、
前記下地金属層上の前記空隙部に前記磁気増幅機能を有する磁性体を電解めっきにより形成し、該磁性体の底面が前記複数のホール素子の領域を少なくとも部分的に覆うようにする工程と
を有することを特徴とする磁気センサの製造方法。 - 前記磁性体を、前記半導体基板の表面と前記磁性体の側面の内側のテーパー角αが鈍角である逆テーパー形状になるようにフォトリソグラフィーにより形成することを特徴とする請求項5に記載の磁気センサの製造方法。
- 前記テーパー角αが、90°<α≦120°であることを特徴とする請求項6に記載の磁気センサの製造方法。
- 前記磁性体を、前記半導体基板の表面と前記磁性体の側面の内側のテーパー角αが鋭角である順テーパー形状になるようにフォトリソグラフィーにより形成することを特徴とする請求項5に記載の磁気センサの製造方法。
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