JP2001281312A - ホールセンサプローブ - Google Patents
ホールセンサプローブInfo
- Publication number
- JP2001281312A JP2001281312A JP2000088343A JP2000088343A JP2001281312A JP 2001281312 A JP2001281312 A JP 2001281312A JP 2000088343 A JP2000088343 A JP 2000088343A JP 2000088343 A JP2000088343 A JP 2000088343A JP 2001281312 A JP2001281312 A JP 2001281312A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- hall element
- sample
- hall
- nose
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 試料の磁気特性を空間分解能を向上させて、
かつ安定した動作で正確に測定する。 【解決手段】 ホールセンサプローブにおいて、試料か
らの磁束密度を探査するためのホール素子(2)と、試料
からの磁束を測定端部(6)からホール素子(2)に導入する
磁性体ノーズ(3,4)と、磁性体ノーズ(3,4)の周面を包囲
する磁気シールド(6)を備えた。
かつ安定した動作で正確に測定する。 【解決手段】 ホールセンサプローブにおいて、試料か
らの磁束密度を探査するためのホール素子(2)と、試料
からの磁束を測定端部(6)からホール素子(2)に導入する
磁性体ノーズ(3,4)と、磁性体ノーズ(3,4)の周面を包囲
する磁気シールド(6)を備えた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ホール素子を利用
して試料の磁気特性を探査するホールセンサプローブに
関するものである。
して試料の磁気特性を探査するホールセンサプローブに
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば磁束計等の磁気特性を検査する磁
気センサとして、半導体ホール素子を利用したものが従
来から一般的に知られている。このような磁気センサで
は、金属や半導体の電流方向と垂直方向に磁界をかける
と両者に直交する方向に起電力が生じるというホール効
果を利用して磁気特性を検査するものである。即ち、ホ
ール素子を通電した状態でホール素子直下に被検査物と
しての試料を接近させて、このとき探査された磁束によ
って生じたホール電圧を測定する。ホール電圧は電流と
磁束密度の積に比例するという直線性を有するため、測
定されたホール電圧と電流値とから磁束密度を測定する
ことが可能となる。通常、ここで用いられるホール素子
としては、安定した動作が得られ、かつ安価な１２０μ
ｍ角程度のものを使用している。
気センサとして、半導体ホール素子を利用したものが従
来から一般的に知られている。このような磁気センサで
は、金属や半導体の電流方向と垂直方向に磁界をかける
と両者に直交する方向に起電力が生じるというホール効
果を利用して磁気特性を検査するものである。即ち、ホ
ール素子を通電した状態でホール素子直下に被検査物と
しての試料を接近させて、このとき探査された磁束によ
って生じたホール電圧を測定する。ホール電圧は電流と
磁束密度の積に比例するという直線性を有するため、測
定されたホール電圧と電流値とから磁束密度を測定する
ことが可能となる。通常、ここで用いられるホール素子
としては、安定した動作が得られ、かつ安価な１２０μ
ｍ角程度のものを使用している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このようにホール素子
自体は非常にサイズが小さいものであるが、更に空間分
解能を高くして、試料のより局所的な領域の磁束を測定
する場合には、１２０μｍ角以下のホール素子を用いる
ことが考えられる。しかしながら、１２０μｍ角以下の
ホール素子では動作が不安定になり易く、このため測定
結果に信頼性が薄いものとなるという問題がある。しか
も１２０μｍ角以下のホール素子は高価であり、磁気セ
ンサの製造コストが増大する。
自体は非常にサイズが小さいものであるが、更に空間分
解能を高くして、試料のより局所的な領域の磁束を測定
する場合には、１２０μｍ角以下のホール素子を用いる
ことが考えられる。しかしながら、１２０μｍ角以下の
ホール素子では動作が不安定になり易く、このため測定
結果に信頼性が薄いものとなるという問題がある。しか
も１２０μｍ角以下のホール素子は高価であり、磁気セ
ンサの製造コストが増大する。
【０００４】また、従来の磁気センサではホール素子の
直下に試料を接近させるため、測定領域の周辺から発生
する磁束の影響も受けてしまい、正確な磁束測定を行う
ことができず、結果として空間分解能が制限されてしま
うという問題がある。また、試料が高温の場合には、ホ
ール素子がその直下からの熱の影響を受けやすく、ホー
ル素子の動作に支障をきたす場合がある。
直下に試料を接近させるため、測定領域の周辺から発生
する磁束の影響も受けてしまい、正確な磁束測定を行う
ことができず、結果として空間分解能が制限されてしま
うという問題がある。また、試料が高温の場合には、ホ
ール素子がその直下からの熱の影響を受けやすく、ホー
ル素子の動作に支障をきたす場合がある。
【０００５】更には、ホール素子の直下に試料を接近さ
せなければならないため、測定対象の試料が毒性、放射
線等の人体に対して種々の悪影響を及ぼす環境下にある
場合や、水中やアクセス困難な場所等の測定を妨げる環
境にある場合は、磁気特性の測定を行うことができない
という問題もある。
せなければならないため、測定対象の試料が毒性、放射
線等の人体に対して種々の悪影響を及ぼす環境下にある
場合や、水中やアクセス困難な場所等の測定を妨げる環
境にある場合は、磁気特性の測定を行うことができない
という問題もある。
【０００６】本発明は、このような問題点に鑑みてなさ
れたものであり、試料の磁気特性を空間分解能を向上さ
せて、かつ安定した動作で正確に測定することができる
ホールセンサプローブを提供することを主な目的とす
る。本発明の別の目的は、環境を選ばずに試料の磁気特
性の測定が可能なホールセンサプローブを提供すること
である。本発明の別の目的は、低コストで試料の磁気特
性の測定を空間分解能を向上させて行うことができるホ
ールセンサプローブを提供することである。
れたものであり、試料の磁気特性を空間分解能を向上さ
せて、かつ安定した動作で正確に測定することができる
ホールセンサプローブを提供することを主な目的とす
る。本発明の別の目的は、環境を選ばずに試料の磁気特
性の測定が可能なホールセンサプローブを提供すること
である。本発明の別の目的は、低コストで試料の磁気特
性の測定を空間分解能を向上させて行うことができるホ
ールセンサプローブを提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
め、請求項１に係る発明は、試料からの磁束密度を探査
するためのホール素子と、試料からの磁束を先端部から
ホール素子に導入する磁性体ノーズと、を備えたことを
特徴とするホールセンサプローブに係るものである。
め、請求項１に係る発明は、試料からの磁束密度を探査
するためのホール素子と、試料からの磁束を先端部から
ホール素子に導入する磁性体ノーズと、を備えたことを
特徴とするホールセンサプローブに係るものである。
【０００８】この請求項１に係る発明は、ホール効果を
利用して磁気特性の測定を行うものであり、磁性体ノー
ズによって試料から発生する磁束がノーズ先端部からホ
ール素子に導入される。ここで磁束は、磁性体ノーズを
通過するので、減衰されずにホール素子に到達する。こ
のため、試料に磁性体ノーズを接近させることによって
磁気特性を探査することができ、磁性体ノーズ先端部を
微小なサイズとすれば、ホール素子自体のサイズを微小
に構成しなくても分解能を向上させて磁気特性を測定す
ることが可能となる。
利用して磁気特性の測定を行うものであり、磁性体ノー
ズによって試料から発生する磁束がノーズ先端部からホ
ール素子に導入される。ここで磁束は、磁性体ノーズを
通過するので、減衰されずにホール素子に到達する。こ
のため、試料に磁性体ノーズを接近させることによって
磁気特性を探査することができ、磁性体ノーズ先端部を
微小なサイズとすれば、ホール素子自体のサイズを微小
に構成しなくても分解能を向上させて磁気特性を測定す
ることが可能となる。
【０００９】従って、安定した動作が得られる１２０μ
ｍ角以上のホール素子を用いることにより、空間分解能
を向上させると共に安定した動作で正確な試料の磁気特
性の測定をすることができる。また、微小サイズのホー
ル素子を使用する必要はないので製造コストの低減も同
時に図ることが可能となる。
ｍ角以上のホール素子を用いることにより、空間分解能
を向上させると共に安定した動作で正確な試料の磁気特
性の測定をすることができる。また、微小サイズのホー
ル素子を使用する必要はないので製造コストの低減も同
時に図ることが可能となる。
【００１０】本発明では、試料を探査する磁性体ノーズ
先端部はホール素子から一定距離だけ離れることになる
ので、試料が高温であってもホール素子を熱から防護す
ることが可能となる。また、試料が毒性、放射線等の人
体に対して種々の悪影響を及ぼす環境下にある場合や、
水中やアクセス困難な場所等測定を妨げる環境にある場
合においても、磁性体ノーズ先端部のみをこのような環
境下に置くことにより、ホール素子に悪影響を与えずに
試料の磁気測定を行うことができる。
先端部はホール素子から一定距離だけ離れることになる
ので、試料が高温であってもホール素子を熱から防護す
ることが可能となる。また、試料が毒性、放射線等の人
体に対して種々の悪影響を及ぼす環境下にある場合や、
水中やアクセス困難な場所等測定を妨げる環境にある場
合においても、磁性体ノーズ先端部のみをこのような環
境下に置くことにより、ホール素子に悪影響を与えずに
試料の磁気測定を行うことができる。
【００１１】本発明では、ホール素子によるホール効果
を利用して磁気特性の測定を行うため、磁性体ノーズの
尾端面から現れる磁束がホール素子に流れる電流の方向
と直交する方向となるように磁性体ノーズ尾端面にホー
ル素子を取り付けて構成することは言うまでもない。
を利用して磁気特性の測定を行うため、磁性体ノーズの
尾端面から現れる磁束がホール素子に流れる電流の方向
と直交する方向となるように磁性体ノーズ尾端面にホー
ル素子を取り付けて構成することは言うまでもない。
【００１２】本発明において、磁性体ノーズは、試料か
らの磁束をホール素子へ導入するものであればよく、そ
の形状及び構造は特に限定されるものではない。例え
ば、磁性体ノーズを中空構造の非磁性体剛性ケースで形
成された円筒形状、角筒形状、あるいは円錐形状、角錐
形状等としてその中空部に磁性体を充填する他、磁性体
自体を円柱体、角柱体、円錐体、角錐体等として磁性体
ノーズとすることは任意であり、更には磁性体ノーズの
尾端面における磁束方向がホール素子内の電流方向と直
交する方向となっていれば、磁性体ノーズを途中で曲げ
た形状としても良い。
らの磁束をホール素子へ導入するものであればよく、そ
の形状及び構造は特に限定されるものではない。例え
ば、磁性体ノーズを中空構造の非磁性体剛性ケースで形
成された円筒形状、角筒形状、あるいは円錐形状、角錐
形状等としてその中空部に磁性体を充填する他、磁性体
自体を円柱体、角柱体、円錐体、角錐体等として磁性体
ノーズとすることは任意であり、更には磁性体ノーズの
尾端面における磁束方向がホール素子内の電流方向と直
交する方向となっていれば、磁性体ノーズを途中で曲げ
た形状としても良い。
【００１３】また、磁性体ノーズを円錐体又は角錐体と
する場合には、試料に接近させる先端部に向けて磁束の
通過部分の断面積が徐々に小さくなるような形状とすれ
ば、空間分解能を更に向上させることができる。
する場合には、試料に接近させる先端部に向けて磁束の
通過部分の断面積が徐々に小さくなるような形状とすれ
ば、空間分解能を更に向上させることができる。
【００１４】磁性体は、試料からの磁束をホール素子に
確実に導入するため、フェライト、パーマロイ等の強磁
性体であることが好ましく、更には、ソフトフェライト
やスーパーマロイ等の軟質（ソフト）磁性材料（高透磁
率磁性材料）であることが好ましい。磁性体として、硬
質磁性材料を用いると磁気特性の測定後にホールセンサ
プローブを試料から離しても、残留磁気によりその後の
測定に影響を与えてしまうが、ソフト磁性材料の場合、
測定後に試料から離すと減磁されるため残留磁気の影響
はなく繰り返し測定可能となるためである。
確実に導入するため、フェライト、パーマロイ等の強磁
性体であることが好ましく、更には、ソフトフェライト
やスーパーマロイ等の軟質（ソフト）磁性材料（高透磁
率磁性材料）であることが好ましい。磁性体として、硬
質磁性材料を用いると磁気特性の測定後にホールセンサ
プローブを試料から離しても、残留磁気によりその後の
測定に影響を与えてしまうが、ソフト磁性材料の場合、
測定後に試料から離すと減磁されるため残留磁気の影響
はなく繰り返し測定可能となるためである。
【００１５】本発明のホールセンサプローブは、ホール
素子に通電手段、電圧計を接続して検出系を構成するこ
とにより、電圧計で測定されるホール電圧により試料の
磁気特性を検出できる。また、材料の磁気特性は、材料
の疲労損傷、照射損傷、熱脆化等の特性に応じて変化す
るので、本発明のホールセンサプローブを材料特性を非
破壊的に評価する装置に応用することが可能である。
素子に通電手段、電圧計を接続して検出系を構成するこ
とにより、電圧計で測定されるホール電圧により試料の
磁気特性を検出できる。また、材料の磁気特性は、材料
の疲労損傷、照射損傷、熱脆化等の特性に応じて変化す
るので、本発明のホールセンサプローブを材料特性を非
破壊的に評価する装置に応用することが可能である。
【００１６】請求項２に係る発明は、請求項１に記載の
ホールセンサプローブにおいて、前記磁性体ノーズの周
面を包囲する磁気シールドを更に備えたことを特徴とす
るものである。
ホールセンサプローブにおいて、前記磁性体ノーズの周
面を包囲する磁気シールドを更に備えたことを特徴とす
るものである。
【００１７】この請求項２に係る発明では、磁性体ノー
ズの周面を包囲する磁気シールドを備えているので、先
端部直下の測定対象の領域周辺から発生する磁束は磁気
シールドによって完全に遮蔽され、ホール素子までには
至らない。このため、磁性体ノーズ先端部直下の局所的
な領域のみの磁束を取り出すことができ、空間分可能を
より向上させて試料の磁気特性を測定することが可能と
なる。
ズの周面を包囲する磁気シールドを備えているので、先
端部直下の測定対象の領域周辺から発生する磁束は磁気
シールドによって完全に遮蔽され、ホール素子までには
至らない。このため、磁性体ノーズ先端部直下の局所的
な領域のみの磁束を取り出すことができ、空間分可能を
より向上させて試料の磁気特性を測定することが可能と
なる。
【００１８】本発明に用いる磁気シールドは、例えば磁
性体ノーズの周囲に塗布した高透磁率磁性材料粉末を用
いることが可能である。
性体ノーズの周囲に塗布した高透磁率磁性材料粉末を用
いることが可能である。
【００１９】
【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施形態につい
て、以下図示例とともに説明する。本実施形態は、本発
明のホールセンサプローブを試料の磁気強度を測定する
磁気センサに適用したものである。図１は本実施形態に
係る磁気センサの概略構成を示す構成図である。
て、以下図示例とともに説明する。本実施形態は、本発
明のホールセンサプローブを試料の磁気強度を測定する
磁気センサに適用したものである。図１は本実施形態に
係る磁気センサの概略構成を示す構成図である。
【００２０】図１に示す通り、本実施形態の磁気センサ
は、ホール素子２と、ホール素子２を通電するための電
流源８と、ホール電圧を測定する電圧計７と、中空構造
のシリンダ４と、シリンダ中空部に充填された高透磁率
磁性材料３と、シリンダ周囲を包囲する磁気シールド５
とを主に備えている。ここで、ホール素子２、高透磁率
磁性材料３、シリンダ４、磁気シールド５は本発明のホ
ールセンサプローブを構成する。また、高透磁率磁性材
料３及びシリンダ４は本発明の磁性体ノーズを構成す
る。
は、ホール素子２と、ホール素子２を通電するための電
流源８と、ホール電圧を測定する電圧計７と、中空構造
のシリンダ４と、シリンダ中空部に充填された高透磁率
磁性材料３と、シリンダ周囲を包囲する磁気シールド５
とを主に備えている。ここで、ホール素子２、高透磁率
磁性材料３、シリンダ４、磁気シールド５は本発明のホ
ールセンサプローブを構成する。また、高透磁率磁性材
料３及びシリンダ４は本発明の磁性体ノーズを構成す
る。
【００２１】ホール素子２は、一般に市販されている１
２０μｍ角程度のものを使用する。このホール素子２の
電流端子には電流源８が接続されて通電状態となってい
る。ホール素子２における電流方向は図１に対して表か
ら裏の方向Ａとなっている。また、ホール素子２のホー
ル端子には電圧計７が接続されており、試料からの磁束
によって生じたホール電圧が測定されるようになってい
る。
２０μｍ角程度のものを使用する。このホール素子２の
電流端子には電流源８が接続されて通電状態となってい
る。ホール素子２における電流方向は図１に対して表か
ら裏の方向Ａとなっている。また、ホール素子２のホー
ル端子には電圧計７が接続されており、試料からの磁束
によって生じたホール電圧が測定されるようになってい
る。
【００２２】シリンダ４は、その先端部分に向かって徐
々に断面積が小さくなる筒状錐体状となっており、ガラ
ス、セラミックス等の非磁性材料で形成されている。こ
のシリンダ４の中空部に高透磁率磁性材料３が充填され
ている。
々に断面積が小さくなる筒状錐体状となっており、ガラ
ス、セラミックス等の非磁性材料で形成されている。こ
のシリンダ４の中空部に高透磁率磁性材料３が充填され
ている。
【００２３】高透磁率磁性材料３は、例えばＭｎ−Ｚｎ
系フェライトやＦｅ−Ｎｉ系等のパーマロイ等のいわゆ
るソフト磁性材料であり、これを粉末状にしたものをシ
リンダ４内に充填している。ソフト磁性材料を用いてい
るのは、残留磁気の影響をなくして磁気特性の測定を繰
り返し行うことを可能とするためである。
系フェライトやＦｅ−Ｎｉ系等のパーマロイ等のいわゆ
るソフト磁性材料であり、これを粉末状にしたものをシ
リンダ４内に充填している。ソフト磁性材料を用いてい
るのは、残留磁気の影響をなくして磁気特性の測定を繰
り返し行うことを可能とするためである。
【００２４】高透磁率磁性材料３の図１における下端面
が被検査物としての試料を探査する測定端部６となって
いる。この測定端部６の面積はホール素子２の１２０μ
ｍ角より小さく、例えば３０〜６０μｍ角とすることが
できる。一方、高透磁率磁性材料３の他方の端面（尾端
面）上にはホール素子２を載置固定するようになってい
る。測定端部６で探査された試料の磁束は、高透磁率磁
性材料３を通過するので減衰されずにホール素子２に導
入される。この導入された磁束の方向は、図１における
Ｂ方向であり、ホール素子２と高透磁率磁性材料３は、
磁束方向Ｂがホール素子２を流れる電流方向Ａと直交す
るような位置関係となっている。
が被検査物としての試料を探査する測定端部６となって
いる。この測定端部６の面積はホール素子２の１２０μ
ｍ角より小さく、例えば３０〜６０μｍ角とすることが
できる。一方、高透磁率磁性材料３の他方の端面（尾端
面）上にはホール素子２を載置固定するようになってい
る。測定端部６で探査された試料の磁束は、高透磁率磁
性材料３を通過するので減衰されずにホール素子２に導
入される。この導入された磁束の方向は、図１における
Ｂ方向であり、ホール素子２と高透磁率磁性材料３は、
磁束方向Ｂがホール素子２を流れる電流方向Ａと直交す
るような位置関係となっている。
【００２５】磁気シールド５は、高透磁率磁性材料粉末
をシリンダ４の周面に塗布することにより形成されてお
り、高透磁率磁性材料３の測定端部６の周辺からの磁束
を遮蔽するものである。
をシリンダ４の周面に塗布することにより形成されてお
り、高透磁率磁性材料３の測定端部６の周辺からの磁束
を遮蔽するものである。
【００２６】以上のように構成された磁気センサを利用
して試料の磁気強度の測定を行う方法について説明す
る。ホール素子２に電流を流した状態で、高透磁率磁性
材料３の測定端部６を試料の磁気特性の測定対象部分に
接近させる。このとき、測定端部６のみが試料の測定対
象部分に接近し、かつ磁気シールド５によって測定対象
部分の周囲の磁気が遮蔽されるので、局所的な領域の磁
束を高分解能で取り入れてホール素子２に導入される。
して試料の磁気強度の測定を行う方法について説明す
る。ホール素子２に電流を流した状態で、高透磁率磁性
材料３の測定端部６を試料の磁気特性の測定対象部分に
接近させる。このとき、測定端部６のみが試料の測定対
象部分に接近し、かつ磁気シールド５によって測定対象
部分の周囲の磁気が遮蔽されるので、局所的な領域の磁
束を高分解能で取り入れてホール素子２に導入される。
【００２７】測定端部６によって探査された磁束は、高
透磁率磁性材料３を介して減衰されずにホール素子２に
導入されるので、ホール効果によって電流方向と磁界方
向とに直交する方向にホール電圧が生じる。このホール
電圧はホール端子に接続された電圧計７で計測される。
透磁率磁性材料３を介して減衰されずにホール素子２に
導入されるので、ホール効果によって電流方向と磁界方
向とに直交する方向にホール電圧が生じる。このホール
電圧はホール端子に接続された電圧計７で計測される。
【００２８】ここで、シリンダ長、磁気シールド５の材
料を特定した上で、任意の磁界の強さに対するホール電
圧を本実施形態の磁気センサで測定して、磁界の強さと
ホール電圧との関係を特性データとして予め用意してお
けば、この特性データを参照することにより、測定され
たホール電圧から試料の測定部分の磁気強度を測定する
ことがができる。
料を特定した上で、任意の磁界の強さに対するホール電
圧を本実施形態の磁気センサで測定して、磁界の強さと
ホール電圧との関係を特性データとして予め用意してお
けば、この特性データを参照することにより、測定され
たホール電圧から試料の測定部分の磁気強度を測定する
ことがができる。
【００２９】このように本実施形態に係る磁気センサで
は、ホールセンサプローブ１がホール素子２から一定距
離だけ離れて測定端部６としての高透磁率磁性材料３の
先端部が位置しており、シリンダ周面が磁気シールド５
で外部からの磁束を遮蔽しているので、局所的な領域の
磁気特性を高分解能で測定することができる。また、動
作の安定した１２０μｍ角程度の安価なホール素子２を
使用して高分解能での磁気特性の測定が可能なので、安
定した動作で正確な磁気特性を測定することができ、ま
た製造コストの低減も図られる。
は、ホールセンサプローブ１がホール素子２から一定距
離だけ離れて測定端部６としての高透磁率磁性材料３の
先端部が位置しており、シリンダ周面が磁気シールド５
で外部からの磁束を遮蔽しているので、局所的な領域の
磁気特性を高分解能で測定することができる。また、動
作の安定した１２０μｍ角程度の安価なホール素子２を
使用して高分解能での磁気特性の測定が可能なので、安
定した動作で正確な磁気特性を測定することができ、ま
た製造コストの低減も図られる。
【００３０】更に、測定対象の試料が悪環境下に存在す
る場合でも、本実施形態の磁気センサを用いれば、高透
磁率磁性材料３の測定端部６のみをシリンダ４ごと悪環
境下の試料に接近させれば良いので、ホール素子２をこ
のような悪環境下にさらす必要はなく、環境を選ばずに
試料の磁気特性を測定することが容易となる。
る場合でも、本実施形態の磁気センサを用いれば、高透
磁率磁性材料３の測定端部６のみをシリンダ４ごと悪環
境下の試料に接近させれば良いので、ホール素子２をこ
のような悪環境下にさらす必要はなく、環境を選ばずに
試料の磁気特性を測定することが容易となる。
【００３１】尚、本実施形態では、シリンダ４を略筒状
錐体状に形成しているが、シリンダの形状はこれに限定
されるものではない。高透磁率磁性材料３の尾端面から
ホール素子に導入される磁束の方向がホール素子内の電
流方向と直交する方向となっていれば、シリンダ４を途
中で曲げた形状としても良い。
錐体状に形成しているが、シリンダの形状はこれに限定
されるものではない。高透磁率磁性材料３の尾端面から
ホール素子に導入される磁束の方向がホール素子内の電
流方向と直交する方向となっていれば、シリンダ４を途
中で曲げた形状としても良い。
【００３２】本実施形態では、ホールセンサプローブを
磁気センサに適用しているが、この他、材料の疲労損
傷、照射損傷、熱脆化等の材料特性を非破壊的に評価す
る装置に適用することができる。
磁気センサに適用しているが、この他、材料の疲労損
傷、照射損傷、熱脆化等の材料特性を非破壊的に評価す
る装置に適用することができる。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したとおり、請求項１に係る発
明は、試料からの磁束密度を探査するためのホール素子
と、試料からの磁束を先端部からホール素子に導入する
磁性体ノーズとを備えているため、空間分解能を向上さ
せると共に安定した動作で正確な試料の磁気特性の測定
できるという効果を有する。また、微小サイズのホール
素子を使用する必要はないので製造コストの低減も図れ
るという効果を有する。また、測定対象物が悪環境下に
ある場合でも、ホール素子に悪影響を与えずに試料の磁
気測定を行えるという効果を有する。
明は、試料からの磁束密度を探査するためのホール素子
と、試料からの磁束を先端部からホール素子に導入する
磁性体ノーズとを備えているため、空間分解能を向上さ
せると共に安定した動作で正確な試料の磁気特性の測定
できるという効果を有する。また、微小サイズのホール
素子を使用する必要はないので製造コストの低減も図れ
るという効果を有する。また、測定対象物が悪環境下に
ある場合でも、ホール素子に悪影響を与えずに試料の磁
気測定を行えるという効果を有する。
【００３４】請求項２に係る発明は、磁性体ノーズの周
面を包囲する磁気シールドを更に備えているので、測定
対象部分以外の外部の磁気を完全に遮蔽して、空間分可
能をより向上させて試料の磁気特性を測定できるという
効果を有する。
面を包囲する磁気シールドを更に備えているので、測定
対象部分以外の外部の磁気を完全に遮蔽して、空間分可
能をより向上させて試料の磁気特性を測定できるという
効果を有する。
【図１】本実施形態に係る磁気センサの構成図である。
１：ホールセンサプローブ ２：ホール素子 ３：高透磁率磁性材料 ４：シリンダ ５：磁気シールド ６：測定端部 ７：電圧計 ８：電流源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G017 AA07 AC01 AC07 AD53 2G053 AB01 AB11 CA05 DB11
Claims (2)
- 【請求項１】 試料からの磁束密度を探査するためのホ
ール素子と、 試料からの磁束を先端部からホール素子に導入する磁性
体ノーズと、 を備えたことを特徴とするホールセンサプローブ。 - 【請求項２】 前記磁性体ノーズの周面を包囲する磁気
シールドを更に備えたことを特徴とする請求項１に記載
のホールセンサプローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000088343A JP2001281312A (ja) | 2000-03-28 | 2000-03-28 | ホールセンサプローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000088343A JP2001281312A (ja) | 2000-03-28 | 2000-03-28 | ホールセンサプローブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001281312A true JP2001281312A (ja) | 2001-10-10 |
Family
ID=18604235
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000088343A Pending JP2001281312A (ja) | 2000-03-28 | 2000-03-28 | ホールセンサプローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001281312A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006200955A (ja) * | 2005-01-19 | 2006-08-03 | Nec Engineering Ltd | 磁界分布測定装置 |
| JP2007263720A (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 磁気センサ及びその製造方法 |
| US7741840B1 (en) | 2009-05-21 | 2010-06-22 | Empire Technology Development Llc | Magnetic probe |
| US8169215B2 (en) | 2006-04-13 | 2012-05-01 | Asahi Kasei Emd Corporation | Magnetic sensor and method of manufacturing thereof |
| JP2014085982A (ja) * | 2012-10-26 | 2014-05-12 | Sensatec Co Ltd | 自動搬送機用磁気ガイドセンサ |
-
2000
- 2000-03-28 JP JP2000088343A patent/JP2001281312A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006200955A (ja) * | 2005-01-19 | 2006-08-03 | Nec Engineering Ltd | 磁界分布測定装置 |
| JP2007263720A (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 磁気センサ及びその製造方法 |
| US8169215B2 (en) | 2006-04-13 | 2012-05-01 | Asahi Kasei Emd Corporation | Magnetic sensor and method of manufacturing thereof |
| US7741840B1 (en) | 2009-05-21 | 2010-06-22 | Empire Technology Development Llc | Magnetic probe |
| JP2014085982A (ja) * | 2012-10-26 | 2014-05-12 | Sensatec Co Ltd | 自動搬送機用磁気ガイドセンサ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Tumanski | Induction coil sensors—A review | |
| JP6249206B2 (ja) | 電流を測定するための電流変換器 | |
| US6504363B1 (en) | Sensor for eddy current testing and method of use thereof | |
| Nair et al. | A GMR-based eddy current system for NDE of aircraft structures | |
| Pham et al. | Highly sensitive planar Hall magnetoresistive sensor for magnetic flux leakage pipeline inspection | |
| US7495433B2 (en) | Device for detecting defects in electrically conductive materials in a nondestructive manner | |
| Lima et al. | Scanning magnetic tunnel junction microscope for high-resolution imaging of remanent magnetization fields | |
| US20020024337A1 (en) | Barkhausen noise measurement probe | |
| CN103675094A (zh) | 一种无损探伤装置 | |
| US6586930B1 (en) | Material thickness measurement using magnetic information | |
| Tsukada et al. | Integrated magnetic sensor probe and excitation wire for nondestructive detection of submillimeter defects | |
| CN101311714A (zh) | 一种高灵敏度涡流点式探头 | |
| JP2841153B2 (ja) | 微弱磁気測定方法及びその装置並びにそれを用いた非破壊検査方法 | |
| He et al. | Magnetic tunnel junction based gradiometer for detection of cracks in cement | |
| US6320375B1 (en) | Method for detection of rare earth metal oxide inclusions in titanium and other non-magnetic or metal alloy castings | |
| JP2001281312A (ja) | ホールセンサプローブ | |
| Postolache et al. | GMR based eddy current sensing probe for weld zone testing | |
| JP6097906B2 (ja) | 微小磁性金属異物の検査装置 | |
| US5122743A (en) | Apparatus and method of non-destructively testing ferromagnetic materials including flux density measurement and ambient field cancellation | |
| Matsunaga et al. | Application of a HTS coil with a magnetic sensor to nondestructive testing using a low-frequency magnetic field | |
| Bain et al. | SQUID gradiometric detection of defects in ferromagnetic structures | |
| Pelkner et al. | MR-based eddy current probe design for hidden defects | |
| Sergeeva-Chollet et al. | Eddy current probes based on magnetoresistive array sensors as receivers | |
| Doan et al. | Magnetization measurement system with giant magnetoresistance zero-field detector | |
| JPH0815229A (ja) | 高分解能渦電流探傷装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20050523 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060223 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080904 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090603 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20091007 |