JP2007258099A - リレー - Google Patents
リレー Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007258099A JP2007258099A JP2006083827A JP2006083827A JP2007258099A JP 2007258099 A JP2007258099 A JP 2007258099A JP 2006083827 A JP2006083827 A JP 2006083827A JP 2006083827 A JP2006083827 A JP 2006083827A JP 2007258099 A JP2007258099 A JP 2007258099A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- contact
- tip
- gold
- alloy
- platinum group
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Contacts (AREA)
Abstract
【解決手段】固定接点14は、相手方との接触面を含む先端部14aが白金族元素の金属又は白金族元素を含む合金で形成され、可動接点39は、相手方との接触面を含む先端部39aが金又は金合金で形成されている。故に、白金族元素の金属又は白金族元素を含む合金からなる固定接点14の先端部14aは陽極接合時の高温環境を経た後でも高い硬度が維持できるため、接点同士の固着を防ぐことができ、また、金又は金合金からなる可動接点39の先端部39aには絶縁性皮膜が形成され難いため、製造時や使用時に高温環境に置かれても接点の電気抵抗が増大することを抑えることができる。
【選択図】図1
Description
、静電引力により基板同士を接合する接合方法であって、可動イオンを含むガラスとシリコン基板を密着接合する方法として一般的に用いられている。
14 固定接点
14a 先端部(白金族元素の金属又はその合金)
14b 下地部
14c ストライク部(金)
34 可動接点基台部(シリコン基板)
39 可動接点
39a 先端部(金又は金合金)
39b 下地部
39c 拡散阻止部
Claims (8)
- 一表面に固定接点が形成されたガラス基板と、固定接点が形成されている前記表面側でガラス基板に陽極接合される半導体基板と、半導体基板におけるガラス基板との対向面に形成されて固定接点と接離自在に接触する可動接点とを備えたリレーにおいて、
固定接点並びに可動接点の一方は、相手方との接触面を含む先端部が白金族元素の金属又は白金族元素を含む合金で形成され、固定接点並びに可動接点の他方は、相手方との接触面を含む先端部が金又は金合金で形成されていることを特徴とするリレー。 - 固定接点又は可動接点のうちで先端部が金又は金合金で形成されている接点は、先端部とガラス基板又は半導体基板との間に介装される金属製の下地部と、先端部と下地部の間に介装されて下地部を形成する金属材料の拡散を防止する拡散阻止部とを有することを特徴とする請求項1記載のリレー。
- 先端部を形成する金合金がAu−Ni合金又はAu−Pd合金であることを特徴とする請求項2記載のリレー。
- 先端部を形成する白金族元素の金属又は白金族元素を含む合金がロジウム、ルテニウム、白金の何れか若しくはこれらの合金であることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のリレー。
- 固定接点又は可動接点のうちで先端部が白金族元素の金属又は白金族元素を含む合金で形成されている接点は、銀又はニッケル又は金若しくは当該3種類の金属のうち少なくとも2種類の合金あるいは当該3種類のうちの少なくとも2種類を積層したものの何れかからなり先端部とガラス基板又は半導体基板との間に介装される下地部と、先端部と下地部との間に介装されて両者の密着性を高めるストライク部とを有することを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載のリレー。
- 固定接点又は可動接点のうちで先端部が金又は金合金で形成されている接点は、銀又はニッケル又は金若しくは当該3種類の金属のうち少なくとも2種類の合金あるいは当該3種類のうちの少なくとも2種類を積層したものの何れかからなり先端部とガラス基板又は半導体基板との間に介装される下地部と、先端部と下地部の間に介装されて下地部を形成する金属材料の拡散を防止する拡散阻止部とを有することを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載のリレー。
- 拡散阻止部が白金族元素の金属又は白金族元素を含む合金若しくはNi−Bで形成されていることを特徴とする請求項2又は6記載のリレー。
- 先端部を形成する白金族元素の金属又は白金族元素を含む合金は、硫黄の含有率が1原子パーセント以下であることを特徴とする請求項1〜7の何れかに記載のリレー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006083827A JP4839915B2 (ja) | 2006-03-24 | 2006-03-24 | リレー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006083827A JP4839915B2 (ja) | 2006-03-24 | 2006-03-24 | リレー |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007258099A true JP2007258099A (ja) | 2007-10-04 |
JP4839915B2 JP4839915B2 (ja) | 2011-12-21 |
Family
ID=38632105
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006083827A Expired - Fee Related JP4839915B2 (ja) | 2006-03-24 | 2006-03-24 | リレー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4839915B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009158195A (ja) * | 2007-12-25 | 2009-07-16 | Panasonic Electric Works Co Ltd | マイクロリレー |
JP2009168800A (ja) * | 2007-12-17 | 2009-07-30 | Dainippon Printing Co Ltd | 力学量センサおよびその製造方法 |
JP2016075562A (ja) * | 2014-10-06 | 2016-05-12 | 大日本印刷株式会社 | 力学量センサおよび力学量測定装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55121219A (en) * | 1979-03-09 | 1980-09-18 | Matsushita Electric Works Ltd | Electric contact |
JPH06131936A (ja) * | 1992-10-15 | 1994-05-13 | Seiko Epson Corp | 対向電極 |
JPH06325650A (ja) * | 1993-05-10 | 1994-11-25 | Omron Corp | 組合せ電気接点並びにリレーおよびスイッチ |
JPH0877826A (ja) * | 1994-09-02 | 1996-03-22 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | 有機白金ペースト |
JPH11260178A (ja) * | 1998-03-14 | 1999-09-24 | Tdk Corp | 電気回路開閉装置用接点及び電気回路開閉装置 |
WO2004017349A1 (ja) * | 2002-07-31 | 2004-02-26 | Matsushita Electric Works, Ltd. | マイクロリレー |
-
2006
- 2006-03-24 JP JP2006083827A patent/JP4839915B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55121219A (en) * | 1979-03-09 | 1980-09-18 | Matsushita Electric Works Ltd | Electric contact |
JPH06131936A (ja) * | 1992-10-15 | 1994-05-13 | Seiko Epson Corp | 対向電極 |
JPH06325650A (ja) * | 1993-05-10 | 1994-11-25 | Omron Corp | 組合せ電気接点並びにリレーおよびスイッチ |
JPH0877826A (ja) * | 1994-09-02 | 1996-03-22 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | 有機白金ペースト |
JPH11260178A (ja) * | 1998-03-14 | 1999-09-24 | Tdk Corp | 電気回路開閉装置用接点及び電気回路開閉装置 |
WO2004017349A1 (ja) * | 2002-07-31 | 2004-02-26 | Matsushita Electric Works, Ltd. | マイクロリレー |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009168800A (ja) * | 2007-12-17 | 2009-07-30 | Dainippon Printing Co Ltd | 力学量センサおよびその製造方法 |
JP2009158195A (ja) * | 2007-12-25 | 2009-07-16 | Panasonic Electric Works Co Ltd | マイクロリレー |
JP2016075562A (ja) * | 2014-10-06 | 2016-05-12 | 大日本印刷株式会社 | 力学量センサおよび力学量測定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4839915B2 (ja) | 2011-12-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2007180047A (ja) | マイクロリレー | |
JP4839915B2 (ja) | リレー | |
JP4976950B2 (ja) | 接点構造及びそれを用いた接点装置並びにマイクロリレー | |
JP4388502B2 (ja) | マイクロリレー | |
JP2007157504A (ja) | マイクロリレー | |
JP2006310174A (ja) | マイクロリレー | |
JP2006310173A (ja) | マイクロリレー | |
JP4196010B2 (ja) | ガラス基板と半導体基板との接合方法並びにマイクロリレーの製造方法 | |
JP4059201B2 (ja) | マイクロリレー | |
JP2006210010A (ja) | マイクロリレー | |
JP2006210083A (ja) | マイクロリレー | |
JP4222313B2 (ja) | マイクロリレー | |
JP4196008B2 (ja) | マイクロリレー | |
JP4971969B2 (ja) | マイクロリレー | |
JP4059200B2 (ja) | マイクロリレー | |
JP2005216552A (ja) | マイクロリレー | |
JP4196009B2 (ja) | マイクロリレーの製造方法 | |
JP2006210062A (ja) | マイクロリレー | |
JP2011090955A (ja) | 接点装置及びそれを用いたリレー、並びにマイクロリレー | |
JP2006210061A (ja) | マイクロリレー | |
JP4069869B2 (ja) | マイクロリレーおよびこれを用いたマトリクスリレー | |
JP2006310171A (ja) | マイクロリレー | |
JP4059205B2 (ja) | マイクロリレー | |
JP4222319B2 (ja) | マイクロリレー | |
JP2011096409A (ja) | 接点装置及びそれを用いたリレー、並びにマイクロリレー |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081210 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20100802 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101126 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101207 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110207 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110906 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110919 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141014 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |