JP2007257994A - 電界電子放出装置およびその製造方法 - Google Patents
電界電子放出装置およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007257994A JP2007257994A JP2006080641A JP2006080641A JP2007257994A JP 2007257994 A JP2007257994 A JP 2007257994A JP 2006080641 A JP2006080641 A JP 2006080641A JP 2006080641 A JP2006080641 A JP 2006080641A JP 2007257994 A JP2007257994 A JP 2007257994A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- electron emission
- electrode layer
- gate electrode
- insulating layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
Abstract
【解決手段】貫通孔6は、少なくとも絶縁層2を貫通する部分においてカソード電極層11bに向かって除々に幅または径が大きくなっている。貫通孔6内においては、複数のカーボンナノチューブ7が触媒層5の内側面から貫通孔2の側面に沿って延びている。複数のカーボンナノチューブ7の先端がゲート電極層3aの内側面の近傍の位置から下方または斜め下方に向かって延びるラインLに沿って切り揃えられている。
【選択図】図2
Description
本発明の他の局面の電界電子放出装置の製造方法においては、カソード電極層上に導電性の触媒層が形成される。次に、カソード電極層および触媒層を覆うように絶縁層が形成される。その後、絶縁層上にゲート電極層が形成される。次に、少なくとも絶縁層を貫通する部分において触媒層に向かって除々に幅または径が大きくなり、かつ、ゲート電極層および絶縁層を貫通して触媒層の上面に至る貫通孔が形成される。その後、触媒層の上面から延びる複数の電子放出源が形成される。次に、複数の電子放出源の先端がゲート電極層の内側面の近傍の位置から下方または斜め下方に向かって延びるラインに沿って切り揃えられる。
本発明のさらに他の局面の電界電子放出装置の製造方法においては、まず、カソード電極層上に導電性の触媒層が形成される。次に、カソード電極層および触媒層を覆うように絶縁層が形成される。その後、絶縁層上にゲート電極層が形成される。次に、少なくとも絶縁層を貫通する部分においてカソード電極層の主表面に向かって斜め方向に延び、かつ、ゲート電極層、絶縁層および触媒層を貫通してカソード電極層に至る貫通孔が形成される。次に、触媒層の内側面から延びるように複数の電子放出源が形成される。その後、複数の電子放出源の先端がゲート電極層の内側面の近傍の位置から下方または斜め下方に向かって延びるラインに沿って切り揃えられる。
なお、本明細書において「絶縁層」とは、表面および裏面のそれぞれに電極が設けられ、その電極同士の間に10MV/cmの電界が与えられたときに漏れる電流の密度が10-14A/cm2以上10-4A/cm2以下である膜を意味している。
図1は、本発明の実施の形態1における電界電子放出装置の構成を示す斜視図である。本実施の形態の電界電子放出装置においては、図1に示すように、基板10上には複数のカソード電極層11a,11b,11c,11dが形成されている。また、基板10上には絶縁層2を介して複数のゲート電極層3a,3bが形成されている。複数のゲート電極層3a,3bのそれぞれは、列方向(図1において縦方向)に延びており、複数のカソード電極層11a〜11dのそれぞれは行方向(図1において横方向)に延びている。複数のゲート電極層3a,3bと複数のカソード電極層11a,11b,11c,11dとは、平面的に見て、直交するように配置されている。
次に、図12〜図15を用いて、本発明の実施の形態2の電界電子放出装置およびその製造方法を説明する。
次に、図16〜図18を用いて、本発明の実施の形態3の電界電子放出装置およびその製造方法を説明する。
次に、図19〜図28を用いて、本発明の実施の形態4の電界電子放出装置およびその製造方法を説明する。
Claims (10)
- カソード電極層と、
カソード電極層上に形成された導電性の触媒層と、
前記触媒層上に形成された絶縁層と、
前記絶縁層上に形成されたゲート電極層とを備え、
前記ゲート電極層、前記絶縁層および前記触媒層には、前記カソード電極層に至る貫通孔が設けられ、
前記貫通孔は、少なくとも前記絶縁層を貫通する部分において前記カソード電極層に向かって除々に幅または径が大きくなり、
前記貫通孔内においては、複数の電子放出源が前記触媒層の内側面から前記貫通孔の側面に沿って延びており、
前記複数の電子放出源の先端が前記ゲート電極層の内側面の近傍の位置から下方または斜め下方に向かって延びるラインに沿って切り揃えられた、電界電子放出装置。 - カソード電極層と、
カソード電極層上に形成された導電性の触媒層と、
前記触媒層上に形成された絶縁層と、
前記絶縁層上に形成されたゲート電極層とを備え、
前記ゲート電極層および前記絶縁層には、前記触媒層の上面に至る貫通孔が設けられており、
前記貫通孔は、少なくとも前記絶縁層を貫通する部分において前記触媒層に向かって除々に幅または径が大きくなり、
前記貫通孔内においては、複数の電子放出源が前記触媒層の上面から前記貫通孔の側面に沿って延びており、
前記複数の電子放出源の先端が前記ゲート電極層の内側面の近傍の位置から下方または斜め下方に向かって延びるラインに沿って切り揃えられた、電界電子放出装置。 - カソード電極層と、
前記カソード電極層上に形成された導電性の触媒層と、
前記触媒層上に形成された絶縁層と、
前記絶縁層上に形成されたゲート電極層とを備え、
前記ゲート電極層、前記絶縁層および前記触媒層には、前記カソード電極層に至る貫通孔が設けられており、
前記貫通孔は、少なくとも前記絶縁層を貫通する部分において前記カソード電極層の主表面に向かって斜め方向に延びており、
前記貫通孔内においては、複数の電子放出源が前記触媒層の内側面から前記貫通孔の側面に沿って延びており、
前記複数の電子放出源の先端が前記ゲート電極層の内側面の近傍の位置から下方または斜め下方に向かって延びるラインに沿って切り揃えられた、電界電子放出装置。 - カソード電極層と、
前記カソード電極層上に形成された電子放出層と、
前記電子放出層上に形成された絶縁層と、
前記絶縁層上に形成されたゲート電極層とを備え、
前記ゲート電極および前記絶縁層には、前記電子放出層の上面に至る貫通孔が設けられ、
前記貫通孔は、少なくとも前記絶縁層を貫通する部分において前記電子放出層に向かって除々に幅または径が大きくなり、
前記貫通孔内においては、複数の電子放出源が前記電子放出層から前記貫通孔の側面に沿って延びており、
前記複数の電子放出源の先端が前記ゲート電極層の側面の近傍の位置から下方または斜め下方に向かって延びるラインに沿って切り揃えられた、電界電子放出装置。 - 前記複数の電子放出源はカーボンナノチューブである、請求項1〜4のいずれかに記載の電界電子放出装置。
- カソード電極層上に導電性の触媒層を形成するステップと、
前記カソード電極層および前記触媒層を覆うように絶縁層を形成するステップと、
前記絶縁層上にゲート電極層を形成するステップと、
少なくとも前記絶縁層を貫通する部分において前記カソード電極層に向かって除々に幅または径が大きくなり、かつ、前記ゲート電極層、前記絶縁層および前記触媒層を貫通して前記カソード電極層に至る貫通孔を形成するステップと、
前記触媒層の内側面から延びる複数の電子放出源を形成するステップと、
前記複数の電子放出源の先端を前記ゲート電極の内側面の近傍の位置から下方または斜め下方に向かって延びるラインに沿って切り揃えるステップとを備えた、電界電子放出装置の製造方法。 - カソード電極層上に導電性の触媒層を形成するステップと、
前記カソード電極層および前記触媒層を覆うように絶縁層を形成するステップと、
前記絶縁層上にゲート電極層を形成するステップと、
少なくとも前記絶縁層を貫通する部分において前記触媒層に向かって除々に幅または径が大きくなり、かつ、前記ゲート電極層および前記絶縁層を貫通して前記触媒層の上面に至る貫通孔を形成するステップと、
前記触媒層の上面から延びる複数の電子放出源を形成するステップと、
前記複数の電子放出源の先端を前記ゲート電極層の内側面の近傍の位置から下方または斜め下方に向かって延びるラインに沿って切り揃えるステップとを備えた、電界電子放出装置の製造方法。 - カソード電極層上に導電性の触媒層を形成するステップと、
前記カソード電極層および前記触媒層を覆うように絶縁層を形成するステップと、
前記絶縁層上にゲート電極層を形成するステップと、
少なくとも前記絶縁層を貫通する部分において前記カソード電極層の主表面に向かって斜め方向に延び、かつ、前記ゲート電極層、前記絶縁層および前記触媒層を貫通して前記カソード電極層に至る貫通孔を形成するステップと、
前記触媒層の内側面から延びるように複数の電子放出源を形成するステップと、
前記複数の電子放出源の先端を前記ゲート電極層の内側面の近傍の位置から下方または斜め下方に向かって延びるラインに沿って切り揃えるステップとを備えた、電界電子放出装置の製造方法。 - カソード電極層上に複数の電子放出源を含む電子放出層を形成するステップと、
前記カソード電極層および前記電子放出層を覆うように絶縁層を形成するステップと、
前記絶縁層上にゲート電極層を形成するステップと、
少なくとも前記絶縁層を貫通する部分において前記電子放出層に向かって除々に幅または径が大きくなり、かつ、前記ゲート電極層および前記絶縁層を貫通して前記電子放出層の上面に至る貫通孔を形成するステップと、
前記貫通孔内において前記複数の電子放出源を起立させるステップと、
前記複数の電子放出源の先端を前記ゲート電極層の内側面の近傍の位置から下方または斜め下方に向かって延びるラインに沿って切り揃えるステップとを備えた、電界電子放出装置の製造方法。 - 前記複数の電子放出源はカーボンナノチューブである、請求項6〜9のいずれかに記載の電界電子放出装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006080641A JP4611228B2 (ja) | 2006-03-23 | 2006-03-23 | 電界電子放出装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006080641A JP4611228B2 (ja) | 2006-03-23 | 2006-03-23 | 電界電子放出装置およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007257994A true JP2007257994A (ja) | 2007-10-04 |
JP4611228B2 JP4611228B2 (ja) | 2011-01-12 |
Family
ID=38632012
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006080641A Expired - Fee Related JP4611228B2 (ja) | 2006-03-23 | 2006-03-23 | 電界電子放出装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4611228B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2045080A1 (en) | 2007-10-01 | 2009-04-08 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid discharging apparatus |
KR100929896B1 (ko) | 2008-04-21 | 2009-12-04 | 경희대학교 산학협력단 | 탄소나노튜브를 이용한 가시광 광소자 및 그 광소자의제조방법 |
FR2940799A1 (fr) * | 2009-01-20 | 2010-07-09 | Commissariat Energie Atomique | Architecture favorisant la formation de faisceaux denses de nanotubes ou de nanofils. |
CN101819913A (zh) * | 2010-05-08 | 2010-09-01 | 福州大学 | 具有边缘增强效应的前栅型场发射阴极结构及其制备方法 |
JP2011070919A (ja) * | 2009-09-25 | 2011-04-07 | Toppan Printing Co Ltd | ナノ炭素材料複合基板製造方法、ナノ炭素材料複合基板、電子放出素子、電界電子放出型ランプ |
JP2011124171A (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Toppan Printing Co Ltd | 発光装置 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001126609A (ja) * | 1999-10-26 | 2001-05-11 | Futaba Corp | 電子放出素子及び蛍光発光型表示器 |
JP2002373570A (ja) * | 2001-06-18 | 2002-12-26 | Nec Corp | 電界放出型冷陰極およびその製造方法 |
JP2004071527A (ja) * | 2002-08-08 | 2004-03-04 | Sp Solution:Kk | 電子放出装置 |
JP2004193105A (ja) * | 2002-12-11 | 2004-07-08 | Korea Electronics Telecommun | 三極型電界放出素子及びそれを用いた電界放出ディスプレイ |
JP2005032523A (ja) * | 2003-07-10 | 2005-02-03 | Sony Corp | 電子放出素子およびそれを用いた表示装置、ならびに電子放出素子の製造方法 |
JP2005276601A (ja) * | 2004-03-24 | 2005-10-06 | Mitsubishi Electric Corp | 電界型電子放出素子およびその製造方法 |
JP2005327498A (ja) * | 2004-05-12 | 2005-11-24 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 冷陰極素子及びその製造方法 |
JP2006012578A (ja) * | 2004-06-25 | 2006-01-12 | Sony Corp | 表示装置の製造方法 |
JP2006196364A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-27 | Toshiba Corp | 電界電子放出素子、およびその製造方法 |
-
2006
- 2006-03-23 JP JP2006080641A patent/JP4611228B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001126609A (ja) * | 1999-10-26 | 2001-05-11 | Futaba Corp | 電子放出素子及び蛍光発光型表示器 |
JP2002373570A (ja) * | 2001-06-18 | 2002-12-26 | Nec Corp | 電界放出型冷陰極およびその製造方法 |
JP2004071527A (ja) * | 2002-08-08 | 2004-03-04 | Sp Solution:Kk | 電子放出装置 |
JP2004193105A (ja) * | 2002-12-11 | 2004-07-08 | Korea Electronics Telecommun | 三極型電界放出素子及びそれを用いた電界放出ディスプレイ |
JP2005032523A (ja) * | 2003-07-10 | 2005-02-03 | Sony Corp | 電子放出素子およびそれを用いた表示装置、ならびに電子放出素子の製造方法 |
JP2005276601A (ja) * | 2004-03-24 | 2005-10-06 | Mitsubishi Electric Corp | 電界型電子放出素子およびその製造方法 |
JP2005327498A (ja) * | 2004-05-12 | 2005-11-24 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 冷陰極素子及びその製造方法 |
JP2006012578A (ja) * | 2004-06-25 | 2006-01-12 | Sony Corp | 表示装置の製造方法 |
JP2006196364A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-27 | Toshiba Corp | 電界電子放出素子、およびその製造方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2045080A1 (en) | 2007-10-01 | 2009-04-08 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid discharging apparatus |
KR100929896B1 (ko) | 2008-04-21 | 2009-12-04 | 경희대학교 산학협력단 | 탄소나노튜브를 이용한 가시광 광소자 및 그 광소자의제조방법 |
FR2940799A1 (fr) * | 2009-01-20 | 2010-07-09 | Commissariat Energie Atomique | Architecture favorisant la formation de faisceaux denses de nanotubes ou de nanofils. |
JP2011070919A (ja) * | 2009-09-25 | 2011-04-07 | Toppan Printing Co Ltd | ナノ炭素材料複合基板製造方法、ナノ炭素材料複合基板、電子放出素子、電界電子放出型ランプ |
JP2011124171A (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Toppan Printing Co Ltd | 発光装置 |
CN101819913A (zh) * | 2010-05-08 | 2010-09-01 | 福州大学 | 具有边缘增强效应的前栅型场发射阴极结构及其制备方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4611228B2 (ja) | 2011-01-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3863781B2 (ja) | 三極管カーボンナノチューブ電界放出アレイの製造方法 | |
US6568979B2 (en) | Method of manufacturing a low gate current field emitter cell and array with vertical thin-film-edge emitter | |
US7239074B2 (en) | Field emission device and method for making the same | |
US20080018228A1 (en) | Electronic emission device, electron emission display device having the same, and method of manufacturing the electron emission device | |
JP5247438B2 (ja) | ナノ構造物の製造方法 | |
US6590322B2 (en) | Low gate current field emitter cell and array with vertical thin-film-edge emitter | |
JP4611228B2 (ja) | 電界電子放出装置およびその製造方法 | |
JP2006224296A (ja) | カーボンナノチューブ構造体及びその製造方法、並びにカーボンナノチューブ構造体を利用した電界放出素子及びその製造方法 | |
TW200406726A (en) | Barrier metal layer for a carbon nanotube flat panel display | |
JPH11329217A (ja) | 電界放出型カソードの製造方法 | |
KR20050013081A (ko) | 전자방출소자의 제조방법 및 화상표시장치의 제조방법 | |
WO2020042549A1 (zh) | 一种场发射阴极电子源及其阵列 | |
US20090026944A1 (en) | Field emission cathode structure and method of making the same | |
KR20050088394A (ko) | 보호층의 선택적 에칭 | |
CN109300750B (zh) | 一种场发射阴极电子源、阵列及电子发射方法 | |
JP4371976B2 (ja) | 電界電子放出装置 | |
KR100762590B1 (ko) | 탄소나노튜브를 이용한 전계방출형 표시소자 및 그 제조방법 | |
JP4476090B2 (ja) | 電子放出装置の製造方法 | |
JP3985445B2 (ja) | 電界放射型電子源の製造方法 | |
RU2678192C1 (ru) | Способ изготовления полевого эмиссионного элемента | |
KR101034885B1 (ko) | 전계 방출 디바이스의 제조방법 및 이에 의해 제조된 전계 방출 디바이스 | |
JPH04284325A (ja) | 電界放出型陰極装置 | |
JP3539305B2 (ja) | 電界放射型電子源およびその製造方法 | |
JP4241766B2 (ja) | 照明ランプ用冷電子放出素子 | |
JP4093997B2 (ja) | 電子デバイスにおける電子放出を改善するための陽極酸化法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071226 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100527 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100601 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100715 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101005 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101013 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131022 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |