JP2007255734A - コールドヘッド - Google Patents
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Abstract
【課題】寿命及び性能に優れたコールドヘッドを提供する。
【解決手段】作動ロッド2を介して第1及び第2のディスプレーサ10,20をシリンダ30内で往復動させて冷凍作用を生じさせる多段式のコールドヘッド1であって、作動ロッド2、第1のディスプレーサ10、及び第2のディスプレーサ20を互いに相対変位不能に一体に設け、シリンダ30と第1及び第2のディスプレーサ10,20との間のシールをクリアランスシール60としたことを特徴とする。
【選択図】 図1
【解決手段】作動ロッド2を介して第1及び第2のディスプレーサ10,20をシリンダ30内で往復動させて冷凍作用を生じさせる多段式のコールドヘッド1であって、作動ロッド2、第1のディスプレーサ10、及び第2のディスプレーサ20を互いに相対変位不能に一体に設け、シリンダ30と第1及び第2のディスプレーサ10,20との間のシールをクリアランスシール60としたことを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
本発明は、冷凍作用を生じさせるための多段式のコールドヘッドに関する。
多段式のコールドヘッドとして、例えば非特許文献1に開示されたものがある。このようなコールドヘッドは、作動ロッドを介して第1及び第2のディスプレーサをシリンダ内で往復動させて、圧縮機から送られる冷媒ガスをコールドヘッド内で膨張させることで、冷凍作用を生じさせる。
このような従来の多段式のコールドヘッド100では、図4に示すように、厳密な芯出しを不要として製造の容易化を図るため、作動ロッド102、第1のディスプレーサ110、及び第2のディスプレーサ120を連結ピン180により連結し、これらを長手方向に直交する方向に相対的に変位可能に設けていた。そして、シリンダ130との間のシール160により、シリンダ130内面にガイドさせ摺動させながら、第1及び第2のディスプレーサ110,120を前後動させる構成としていた。
ナラサキ他著、"DEVELOPMENT OF TWO-STAGE STIRLINGCOOLER FOR ASTRO-F"、ADVANCES IN CRYOGENIC ENGINEERING、VOLUME 49B、AMERICANINSTITUTE OF PHYSICS、2003年9月22−26日、p.1428-1435
ナラサキ他著、"DEVELOPMENT OF TWO-STAGE STIRLINGCOOLER FOR ASTRO-F"、ADVANCES IN CRYOGENIC ENGINEERING、VOLUME 49B、AMERICANINSTITUTE OF PHYSICS、2003年9月22−26日、p.1428-1435
しかしながら、このように作動ロッド、第1のディスプレーサ、及び第2のディスプレーサを連結ピンにより連結したのでは、第1及び第2のディスプレーサとの間のシールがシリンダ内面をガイドとして摺動するため、シリンダ及びシールが磨耗して、寿命及び性能に悪影響を及ぼすおそれがあった。
本発明は、上記した事情に鑑みてなされたものであり、寿命及び性能に優れたコールドヘッドを提供することを目的とする。
本発明に係るコールドヘッドは、作動ロッドを介して第1及び第2のディスプレーサをシリンダ内で往復動させて冷凍作用を生じさせる多段式のコールドヘッドであって、作動ロッド、第1のディスプレーサ、及び第2のディスプレーサを互いに相対変位不能に一体に設け、シリンダと第1及び第2のディスプレーサとの間のシールをクリアランスシールとしたことを特徴とする。
このコールドヘッドでは、作動ロッド、第1のディスプレーサ、及び第2のディスプレーサが互いに相対変位不能に一体に設けられているため、それぞれがピンにより連結されている場合と比較して、長手方向に直交する方向への振れが小さい。また、シリンダと第1及び第2のディスプレーサとの間のシールがクリアランスシールとなっている。従って、シリンダをガイドとして第1及び第2のディスプレーサが前後動することがなく、シリンダなどの磨耗を低減乃至抑制して、寿命及び性能を向上させることができる。
シリンダは、第1及び第2のディスプレーサがそれぞれ往復動する第1及び第2シリンダを有し、第1シリンダと第2シリンダとは、中心軸方向に継目無く一体に形成されていることを特徴としてもよい。このようにすれば、シリンダなどの磨耗を一層低減乃至抑制することができる。
作動ロッドを、中心軸方向への動きは許容する一方、中心軸方向と直交する方向への動きを規制する板バネにより支持したことを特徴としてもよい。このようにすれば、シリンダなどの磨耗を一層低減乃至抑制することができる。
作動ロッドは、二段目となる第2のディスプレーサまで延びており、一段目となる第1のディスプレーサは、作動ロッドを取り囲むように設けられる筒状体と、筒状体内に充填される蓄冷材と、筒状体の両端部を塞ぐ蓋部と、を有することを特徴としてもよい。このようにすれば、長手方向に直交する方向への振れをより低減することができ、また製造も容易になる。
一段目となる第1のディスプレーサは、筒状体と筒状体内に充填される蓄冷材と、筒状体の両端部を塞ぐ蓋部と、を有し、作動ロッド、作動ロッド側の蓋部、及び筒状体は、中心軸方向に継目無く一体に形成されていることを特徴としてもよい。このようにすれば、シリンダなどの磨耗を一層低減乃至抑制しながら、蓄冷材が充填される筒状体内の容積を稼いで冷凍作用を高めることができる。
本発明によれば、寿命及び性能に優れたコールドヘッドを提供することができる。
以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
図1は、本実施形態に係るコールドヘッドの構成を示す断面図である。このコールドヘッド1は、スターリングサイクルを利用した2段式のスターリング冷凍機が備えるコールドヘッドである。
図1に示すように、コールドヘッド1は、作動ロッド2を介して第1及び第2のディスプレーサ10,20をシリンダ30内で往復動させて冷凍作用を生じさせる多段式のコールドヘッドである。このコールドヘッド1は、作動ロッド2、第1のディスプレーサ10、第2のディスプレーサ20、シリンダ30、及び駆動部40を備えている。
作動ロッド2は、真直に設けられ、二段目となる第2のディスプレーサ20まで延びている。一段目となる第1のディスプレーサ10は、作動ロッド2を取り囲むように設けられる筒状体11と、筒状体11内に充填される蓄冷材12と、筒状体11の両端部を塞ぐ蓋部13,14と、を有する。駆動部40側の蓋部13は、作動ロッド2の途中に一体に設けられている。この蓋部13は、筒状体11内とシリンダ30内とを連通する連通孔13aを有する。この作動ロッド2は、例えば一体で削り出すことで形成することができる。筒状体11と蓋部13,14とは、溶接等により固定されている。
第2のディスプレーサ20側の蓋部14は、中心に作動ロッド2が挿通される穴を有すると共に、筒状体11内とシリンダ30内とを連通する連通孔14aを有する。
第2のディスプレーサ20は、第1のディスプレーサ10よりも小径の筒状体21と、筒状体21内に充填される蓄冷材22と、先端を覆う蓋部23とを有している。この蓋部23は、筒状体21内とシリンダ30内とを連通する連通孔23aを有する。筒状体21は、作動ロッド2の先端に溶接等により固定されている。蓋部23は、筒状体21の先端に溶接等により固定されている。なお、作動ロッド2の先端には、シリンダ30内と第2のディスプレーサ20の筒状体21内とを連通する連通孔2aが設けられている。
シリンダ30は、第1のディスプレーサ10が往復動する第1シリンダ31と、第1シリンダ31よりも小径で第2のディスプレーサ20が往復動する第2シリンダ32と、を有する。第1シリンダ31と第2シリンダ32とは、中心軸方向に継目無く一体に形成されている。このようなシリンダ30は、例えば一体で削り出したり、絞り加工により異なる直径に加工したりして形成することができる。このシリンダ30は、フランジ50を介して駆動部40に取り付けられている。なお、第2シリンダ32の先端は、別部材からなる蓋部33により塞がれている。
駆動部40は、作動ロッド2を駆動して軸方向に前後動させる。この駆動部40は、筐体42内部に設けられた板バネ44を有している。この筐体42には、図示しない圧縮機とシリンダ30内とを結ぶ冷媒ガス用のガス流路40aが設けられている。板バネ44は、作動ロッド2の基端側を支持する。この板バネ44は、図2に示すように、金属等の材料から円盤状に形成されており、中心には作動ロッド2が挿通固定される穴44aが設けられている。板バネ44の板面には、複数のスリット44bが渦巻状に設けられている。従って、板バネ44の穴44aに挿通固定された作動ロッド2は、中心軸方向への動きは許容される一方、その中心軸方向と直交する方向への動きが規制される。
上記した構成により、作動ロッド2、第1のディスプレーサ10、及び第2のディスプレーサ20は、互いに相対変位不能に一体に設けられている。そして、第1シリンダ31と第1のディスプレーサ10との間は、シール材により間隙が調整されて、クリアランスシール60が設けられている。また、第2シリンダ32と第2のディスプレーサ20との間は、シール材により間隙が調整されて、クリアランスシール60が設けられている。更に、作動ロッド2と駆動部40の筐体42との間も、シール材により間隙が調整されて、クリアランスシール60が設けられている。クリアランスシール60による間隙は、10μm程度である。
一体化された作動ロッド2、第1のディスプレーサ10、及び第2のディスプレーサ20は、前述したように真直に設けられ、シリンダ30内で精密に芯出しされている。そして、作動ロッド2、第1のディスプレーサ10、及び第2のディスプレーサ20が一体に設けられることで、軸方向に直交する方向への振れが、クリアランスシール60による間隙よりも小さく抑えられている。
次に、上記した構成のコールドヘッド1の作用及び効果について説明する。
まず、高圧の冷媒ガスが図示しない圧縮機からガス流路40aを通して第1シリンダ31内に送られる。このとき、駆動部40により作動ロッド2が駆動されて、作動ロッド2は最も突き出た位置(図1中において最左端)に位置し、第1及び第2の圧縮空間S1,S2が形成されている。第1シリンダ31内に送られた冷媒ガスは、蓋部13の連通孔13aを通して第1のディスプレーサ10の筒状体11内を通り、蓄冷材12にて予冷されると共に、蓋部14の連通孔14aを通して第1の圧縮空間S1に送り出される。更に、冷媒ガスは、連通孔2aを通して第2のディスプレーサ20の筒状体21内に送られ、蓄冷材22にて予冷されると共に、蓋部23の連通孔23aを通して第2の圧縮空間S2に送り出される。
次に、駆動部40により作動ロッド2が駆動されて、作動ロッド2は最も引っ込んだ位置(図1中において最右端)まで移動される。このとき、冷媒ガスが膨張して、冷熱が生じる。膨張した冷媒ガスは、蓄冷材22,12を冷却しながら、逆の経路を辿って図示しない圧縮機に戻る。これが繰り返されることで冷凍作用が生じ、第1シリンダ31付近では100K程度、第2シリンダ32付近では20K程度の温度まで冷やされる。
ここで、本実施形態に係るコールドヘッド1では、シリンダ30と第1及び第2のディスプレーサ10,20との間のシールがクリアランスシール60となっている。また、作動ロッド2、第1のディスプレーサ10、及び第2のディスプレーサ20が互いに相対変位不能に一体に設けられているため、それぞれがピンにより連結されている場合と比較して、長手方向に直交する方向への振れが小さく、その振れがクリアランスシール60による間隙よりも小さく抑えられている。従って、シリンダ30をガイドとして第1及び第2のディスプレーサ10,20が前後動することがなく、シリンダ30やシール材の磨耗を低減乃至抑制して、寿命及び性能を向上させることができる。
また、シリンダ30を構成する第1シリンダ31と第2シリンダ32とは、中心軸方向に継目無く一体に形成されているため、これらを組み付ける作業が省略される。従って、シリンダ30の精密な加工を行っておけば、芯出しにより第1及び第2のディスプレーサ10,20との間隙を正確に確保することができ、シリンダ30やシール材などの磨耗を一層低減乃至抑制することができる。
また、作動ロッド2は板バネ44により支持されているため、一体化された作動ロッド2、第1のディスプレーサ10、及び第2のディスプレーサ20の長手方向に直交する方向への振れを抑えながら前後動させることができ、シリンダ30やシール材などの磨耗を一層低減乃至抑制することができる。
また、作動ロッド2は、第2のディスプレーサ20まで延びているため、長手方向に直交する方向への振れをより低減することができる。また、第1のディスプレーサ10は、作動ロッド2を取り囲むように筒状体11を設け、筒状体11内に蓄冷材12を充填して、蓋部13,14により両端部を塞ぐだけで、容易に製造することができる。
なお、本発明は上記した実施形態に限定されることなく、種々の変形が可能である。例えば、作動ロッド2、第1のディスプレーサ10、及び第2のディスプレーサ20を、次のように構成してもよい。
すなわち、図3に示すように、作動ロッド2は第1のディスプレーサ10まで延びるものとする。第1のディスプレーサ10は、筒状体11と筒状体11内に充填される蓄冷材12と、筒状体11の両端部を塞ぐ蓋部13,14と、を有するものとする。蓋部14に、筒状体11内とシリンダ30内とを連通する連通孔14aを設けると共に、シリンダ30内と第2のディスプレーサ20の筒状体21内とを連通する連通孔14bを設ける。作動ロッド2、作動ロッド2側の蓋部13、及び筒状体11は、削り出し等により中心軸方向に継目無く一体に形成する。第2のディスプレーサ20側の蓋部14は、溶接等により筒状体11に連結する。第2のディスプレーサ20を構成する筒状体21は、蓋部23に溶接等に固定する。このようにしても、一体化された作動ロッド2、第1ディスプレーサ10、及び第2ディスプレーサ20の長手方向に直交する方向への振れが小さく、その振れがクリアランスシール60による間隙よりも小さく抑えられる。従って、シリンダ30をガイドとして第1及び第2のディスプレーサ10,20が前後動することがなく、シリンダ30やシール材などの磨耗を一層低減乃至抑制することができる。また、蓄冷材12が充填される第1のディスプレーサ10の筒状体11内の容積を稼いで、冷凍作用を高めることができる。
また、ディスプレーサは3段以上設けてもよい。また、本実施形態に係るコールドヘッド1は、スターリング冷凍機だけでなく、GM冷凍機など他の冷凍機にも適用可能である。
本実施形態にかかるコールドヘッドを備えた冷凍機は、例えば人工衛星搭載望遠鏡の冷却システム、クライオポンプ、MRI装置などに利用可能である。特に、小型で高速に動かす場合が有効である。
1…コールドヘッド、2…作動ロッド、10…第1のディスプレーサ、11,21…筒状体、12,22…蓄冷材、13,14,23…蓋部、20…第2のディスプレーサ、30…シリンダ、31…第1シリンダ、32…第2シリンダ、40…駆動部、44…板バネ、60…クリアランスシール、S1,S2…圧縮空間。
Claims (5)
- 作動ロッドを介して第1及び第2のディスプレーサをシリンダ内で往復動させて冷凍作用を生じさせる多段式のコールドヘッドであって、
前記作動ロッド、前記第1のディスプレーサ、及び前記第2のディスプレーサを互いに相対変位不能に一体に設け、
前記シリンダと前記第1及び第2のディスプレーサとの間のシールをクリアランスシールとしたことを特徴とするコールドヘッド。 - 前記シリンダは、前記第1及び第2のディスプレーサがそれぞれ往復動する第1及び第2シリンダを有し、
前記第1シリンダと前記第2シリンダとは、中心軸方向に継目無く一体に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のコールドヘッド。 - 前記作動ロッドを、中心軸方向への動きは許容する一方、該中心軸方向と直交する方向への動きを規制する板バネにより支持したことを特徴とする請求項1又は2に記載のコールドヘッド。
- 前記作動ロッドは、二段目となる第2のディスプレーサまで延びており、
一段目となる前記第1のディスプレーサは、前記作動ロッドを取り囲むように設けられる筒状体と、該筒状体内に充填される蓄冷材と、該筒状体の両端部を塞ぐ蓋部と、を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のコールドヘッド。 - 一段目となる前記第1のディスプレーサは、筒状体と該筒状体内に充填される蓄冷材と、該筒状体の両端部を塞ぐ蓋部と、を有し、
前記作動ロッド、該作動ロッド側の前記蓋部、及び前記筒状体は、中心軸方向に継目無く一体に形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のコールドヘッド。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102519178A (zh) * | 2011-12-06 | 2012-06-27 | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所 | 一种自由活塞膨胀机 |
CN103225570A (zh) * | 2013-04-24 | 2013-07-31 | 兰州空间技术物理研究所 | 一种发电机与制冷机耦合的双斯特林机 |
CN106679218A (zh) * | 2016-12-23 | 2017-05-17 | 兰州空间技术物理研究所 | 一种双级斯特林制冷机膨胀器 |
CN107024021A (zh) * | 2016-02-01 | 2017-08-08 | 同济大学 | 一种推移活塞系统及其在脉管制冷机中的应用 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6259344A (ja) * | 1985-09-09 | 1987-03-16 | セイコー精機株式会社 | ガス冷凍機 |
JPH01305271A (ja) * | 1988-04-14 | 1989-12-08 | Leybold Ag | 低温冷凍機用蓄冷器の製造方法及びこの方法により製造した蓄冷器 |
JPH05332627A (ja) * | 1992-03-30 | 1993-12-14 | Mitsubishi Electric Corp | 蓄冷型冷凍機 |
JPH0618110A (ja) * | 1992-06-30 | 1994-01-25 | Sanyo Electric Co Ltd | クライオポンプ装置 |
JPH0674585A (ja) * | 1992-08-25 | 1994-03-15 | Res Dev Corp Of Japan | ベローズを備える冷凍機 |
JPH06147670A (ja) * | 1992-11-05 | 1994-05-27 | Sanyo Electric Co Ltd | クライオポンプ装置 |
JP2001091077A (ja) * | 1999-09-27 | 2001-04-06 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 冷凍機 |
-
2006
- 2006-03-20 JP JP2006077337A patent/JP2007255734A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6259344A (ja) * | 1985-09-09 | 1987-03-16 | セイコー精機株式会社 | ガス冷凍機 |
JPH01305271A (ja) * | 1988-04-14 | 1989-12-08 | Leybold Ag | 低温冷凍機用蓄冷器の製造方法及びこの方法により製造した蓄冷器 |
JPH05332627A (ja) * | 1992-03-30 | 1993-12-14 | Mitsubishi Electric Corp | 蓄冷型冷凍機 |
JPH0618110A (ja) * | 1992-06-30 | 1994-01-25 | Sanyo Electric Co Ltd | クライオポンプ装置 |
JPH0674585A (ja) * | 1992-08-25 | 1994-03-15 | Res Dev Corp Of Japan | ベローズを備える冷凍機 |
JPH06147670A (ja) * | 1992-11-05 | 1994-05-27 | Sanyo Electric Co Ltd | クライオポンプ装置 |
JP2001091077A (ja) * | 1999-09-27 | 2001-04-06 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 冷凍機 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102519178A (zh) * | 2011-12-06 | 2012-06-27 | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所 | 一种自由活塞膨胀机 |
CN102519178B (zh) * | 2011-12-06 | 2013-10-02 | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所 | 一种自由活塞膨胀机 |
CN103225570A (zh) * | 2013-04-24 | 2013-07-31 | 兰州空间技术物理研究所 | 一种发电机与制冷机耦合的双斯特林机 |
CN107024021A (zh) * | 2016-02-01 | 2017-08-08 | 同济大学 | 一种推移活塞系统及其在脉管制冷机中的应用 |
CN107024021B (zh) * | 2016-02-01 | 2019-08-06 | 同济大学 | 一种推移活塞系统及其在脉管制冷机中的应用 |
CN106679218A (zh) * | 2016-12-23 | 2017-05-17 | 兰州空间技术物理研究所 | 一种双级斯特林制冷机膨胀器 |
CN106679218B (zh) * | 2016-12-23 | 2019-04-05 | 兰州空间技术物理研究所 | 一种双级斯特林制冷机膨胀器 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100302 |
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A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20100706 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |