JP2007250283A - Method of manufacturing plasma display panel, and plasma display panel - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、切削材を噴射して被加工体をサンドブラスト加工するプラズマディスプレイパネルの製造方法およびプラズマディスプレイパネルに関する。 The present invention relates to a plasma display panel manufacturing method and a plasma display panel in which a workpiece is sandblasted by jetting a cutting material.
従来、プラズマディスプレイパネル(Plasma Display Panel:PDP)は、一対の平面基板同士が放電空間を介して互いに対向配置され、一方の平面基板の内面上に井桁状もしくはストライプ状の隔壁を設けている。このことにより、PDPは、放電空間が複数個の放電セルに区画される。そして、PDPは、複数個の放電セル内で選択的に放電発光させることにより画像表示を行う装置である。
このようなPDPは、隔壁を形成する際、精度の点からサンドブラスト法により形成されることが多くなっている。サンドブラスト法によって隔壁を形成する場合、あらかじめ基板上にアドレス電極を形成しておき、この基板上にガラスペーストなどを塗布して隔壁材料層を形成し、この上に隔壁のパターンに対応するレジストマスクを被覆する。そして、レジストマスクおよび隔壁材料層が形成された基板に対して、切削材を含んだドライエアを噴射ノズルから噴射することにより、隔壁材料層のレジストマスクに覆われていない部分を除去し、次いでレジストマスクを剥離してから基板を焼成する手順が採られている。
そして、サンドブラスト法によって隔壁を形成する場合に隔壁の形状精度を向上させつつレジストパターンの剥離作業を容易化・確実化させる製造方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。
この特許文献1に記載のものは、隣り合ったアドレス電極の外部接続端子部分同士の間隔が他の間隔よりも広く設定した幅広間隙を設け、レジストパターンで外部接続端子部分を被覆する際に、レジストパターンのうち、幅広間隙を覆う部分に、スリット状の切欠を形成する構成が採られている。また、外部接続端子部分同士の他の間隔よりも広い間隔の部分として、駆動回路接続用の間隙も設けている。
Conventionally, in a plasma display panel (PDP), a pair of planar substrates are arranged to face each other via a discharge space, and a grid-like or striped partition is provided on the inner surface of one planar substrate. As a result, the PDP has a discharge space partitioned into a plurality of discharge cells. The PDP is an apparatus that displays an image by selectively discharging light in a plurality of discharge cells.
Such a PDP is often formed by a sandblasting method from the point of accuracy when the partition is formed. When a partition is formed by sandblasting, an address electrode is previously formed on a substrate, a glass paste or the like is applied on the substrate to form a partition material layer, and a resist mask corresponding to the partition pattern is formed thereon. Coating. A portion of the partition wall material layer not covered with the resist mask is removed by spraying dry air containing a cutting material from the spray nozzle onto the substrate on which the resist mask and the partition wall material layer are formed. A procedure for firing the substrate after removing the mask is employed.
And when forming a partition by the sandblasting method, the manufacturing method which makes the peeling operation | movement of a resist pattern easy and reliable, improving the shape precision of a partition is known (for example, refer patent document 1).
The one described in Patent Document 1 is provided with a wide gap in which the interval between the external connection terminal portions of the adjacent address electrodes is set wider than other intervals, and when the external connection terminal portion is covered with a resist pattern, In the resist pattern, a slit-shaped cutout is formed in a portion covering the wide gap. In addition, a gap for connecting the drive circuit is provided as a portion having a wider interval than other intervals between the external connection terminal portions.
ところで、サンドブラスト法では、加工時に静電気が発生することが問題となる。一般に、静電気は、物質同士の接触圧力が大きい程、物質同士が接触してから乖離するまでの時間が短い程、あるいは、環境中の湿度が低い程、発生し易くなる。サンドブラスト法により隔壁を形成する場合は、高い噴射圧力で隔壁材料層に切削材を衝突させるために、切削材の噴射にドライエアを使用するので、静電気が発生し易くなり、この静電気が基板の品質に悪影響を与えるおそれがある。
そして、特許文献1に記載のような隣接する外部接続端子部分間の間隔が表示領域における隣接するアドレス電極間の間隔より広い間隙を有する従来のPDP、すなわち、例えば図1に示すような駆動回路接続用の間隙501のように、表示領域514における隣接するアドレス電極511間の間隔より隣接する外部接続端子512間の間隔が広い部分が存在すると、外部接続端子512が集合する領域520と、幅広い領域である間隙501とでは、帯電状態に差が生じる。このことにより、領域520と領域(間隙)501のエッジ部分により静電気による帯電が発生し易い。すなわち、領域520における領域501側に隣接する最端側の外部接続端子512、すなわち領域(間隙)501を介して隣接する外部接続端子512に電荷が一番発生し易い。そして、表示領域514におけるアドレス電極511の間隔が領域(間隙)501の幅寸法より幅狭であることから、アドレス電極511の方が発生した電荷の影響を受け易い。
すなわち、外部接続端子512のエッジ部分で発生した電荷は、アドレス電極511に伝わり、間隙が狭いアドレス電極511同士の部分で残留することとなり、サンドブラストにより隔壁の残渣が電荷の残留する部分に発生したり、残留する電荷により隣接するアドレス電極511間で放電して隔壁材料層の一部が破壊されてピンホールが発生しアドレス電極511が露出するという不具合が生じるなど、隔壁やリブの欠陥が生じるおそれがある問題点が一例として挙げられる。
By the way, the sandblasting method has a problem that static electricity is generated during processing. In general, static electricity is more likely to be generated as the contact pressure between materials increases, the time from contact between the materials to separation becomes shorter, or the humidity in the environment decreases. When partition walls are formed by the sandblasting method, since the cutting material collides with the partition material layer at a high spray pressure, dry air is used to inject the cutting material. May be adversely affected.
A conventional PDP in which the interval between adjacent external connection terminal portions as described in Patent Document 1 is wider than the interval between adjacent address electrodes in the display region, that is, a drive circuit as shown in FIG. When there is a portion where the interval between the adjacent
That is, the charges generated at the edge portion of the
本発明は、このような実情などに鑑みて、切削材の噴出による切削加工における静電気の帯電を防止し安定した品質を提供するプラズマディスプレイパネルの製造方法およびプラズマディスプレイパネルを提供することを1つの目的とする。 In view of such circumstances, the present invention provides a method for manufacturing a plasma display panel and a plasma display panel that provide a stable quality by preventing electrostatic charging in cutting processing by ejecting cutting material. Objective.
請求項1に記載の発明は、基板上に複数の電極を形成する電極形成工程と、前記基板の電極が形成された面上で表示領域に対応する領域に絶縁体層を形成する絶縁体層形成工程と、前記基板の絶縁体層上に隔壁材料層を形成するとともに、この隔壁材料層上に隔壁パターンに対応した開口を有するマスクを順次形成し、切削材の噴射により前記マスクの開口を介して前記隔壁材料層を切削加工して隔壁を形成する隔壁形成工程と、を実施するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記電極形成工程では、前記基板の前記電極が形成される面における前記表示領域の外となる非表示領域に、前記表示領域における前記電極間の距離より幅広な間隔で前記電極の外部接続される引出電極を複数形成して引出電極群の集合体に構成するとともに、隣接する前記引出電極群間の間隙側に位置する前記引出電極同士を前記表示領域内で接続する状態に前記電極を形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法である。 The invention according to claim 1 is an electrode forming step for forming a plurality of electrodes on a substrate, and an insulator layer for forming an insulator layer in a region corresponding to a display region on the surface of the substrate on which the electrodes are formed Forming a partition wall material layer on the insulator layer of the substrate, and sequentially forming a mask having openings corresponding to the partition wall pattern on the partition wall material layer, and cutting the mask openings by spraying a cutting material; A partition wall forming step of forming a partition wall by cutting the partition wall material layer, wherein the electrode forming step includes: A plurality of extraction electrodes that are externally connected to the electrodes are formed in a non-display area outside the display area at an interval wider than the distance between the electrodes in the display area to form an assembly of extraction electrode groups. Both a method of manufacturing a plasma display panel, characterized in that the lead electrodes are positioned in the gap side to form the electrode in a state of connecting with the display area between adjacent said extraction electrode group.
請求項2に記載の発明は、基板上に複数の電極を形成する電極形成工程と、前記基板の電極が形成された面上で表示領域に対応する領域に絶縁体層を形成する絶縁体層形成工程と、前記基板の絶縁体層上に隔壁材料層を形成するとともに、この隔壁材料層上に隔壁パターンに対応した開口を有するマスクを順次形成し、切削材の噴射により前記マスクの開口を介して前記隔壁材料層を切削加工して隔壁を形成する隔壁形成工程と、を実施するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記電極形成工程では、前記基板の前記電極が形成される面における前記表示領域の外となる非表示領域に形成され前記電極の外部接続される引出電極のうちのいずれかを、前記表示領域における前記電極間の距離より幅広な間隔で前記表示領域の位置から対をなして分岐して形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法である。 According to a second aspect of the present invention, there is provided an electrode forming step of forming a plurality of electrodes on a substrate, and an insulator layer for forming an insulator layer in a region corresponding to a display region on the surface of the substrate on which the electrodes are formed Forming a partition wall material layer on the insulator layer of the substrate, and sequentially forming a mask having openings corresponding to the partition wall pattern on the partition wall material layer, and cutting the mask openings by spraying a cutting material; A partition wall forming step of forming a partition wall by cutting the partition wall material layer, wherein the electrode forming step includes: Any one of the extraction electrodes formed in a non-display area outside the display area and externally connected to the electrode is arranged at a position wider than the distance between the electrodes in the display area. It is formed by branching in pairs from a method of manufacturing a plasma display panel according to claim.
請求項6に記載の発明は、基板上に形成される複数の電極と、前記基板の電極が形成された面上で表示領域に対応する領域に形成される絶縁体層と、前記基板の前記絶縁体層上に形成され前記表示領域内に複数の放電セルを区画形成する隔壁と、を備えたプラズマディスプレイパネルであって、前記基板の前記電極が形成される面における前記表示領域の外となる非表示領域に形成され前記電極の外部接続される引出電極が、前記表示領域における前記電極間の距離より幅広な間隔で複数のブロック状の引出電極群に集合する状態で、かつ、複数の前記電極のうち隣接する前記引出電極群間の間隙側に位置する前記引出電極同士が前記表示領域内で接続する状態に形成されたことを特徴としたプラズマディスプレイパネルである。 According to a sixth aspect of the present invention, there are provided a plurality of electrodes formed on a substrate, an insulator layer formed in a region corresponding to a display region on a surface of the substrate where the electrodes are formed, and the substrate A plasma display panel comprising a partition wall formed on an insulator layer and defining a plurality of discharge cells in the display region, wherein the plasma display panel has a surface outside the display region on the surface on which the electrode is formed. In a state where the extraction electrodes formed in the non-display area and externally connected to the electrodes are gathered into a plurality of block-shaped extraction electrode groups at intervals wider than the distance between the electrodes in the display area, and a plurality of In the plasma display panel, the extraction electrodes positioned on the gap side between the adjacent extraction electrode groups among the electrodes are connected to each other in the display region.
請求項7に記載の発明は、基板上に形成される複数の電極と、前記基板の電極が形成された面上で表示領域に対応する領域に形成される絶縁体層と、前記基板の前記絶縁体層上に形成され前記表示領域内に複数の放電セルを区画形成する隔壁と、を備えたプラズマディスプレイパネルであって、前記基板の前記電極が形成される面における前記表示領域の外となる非表示領域に形成され前記電極の外部接続される引出電極のうちのいずれかが、前記表示領域における前記電極間の距離より幅広な間隔で前記表示領域の位置から対をなして分岐する状態に形成されたことを特徴としたプラズマディスプレイパネルである。 According to a seventh aspect of the present invention, there are provided a plurality of electrodes formed on a substrate, an insulator layer formed in a region corresponding to a display region on a surface of the substrate on which the electrodes are formed, and the substrate A plasma display panel comprising a partition wall formed on an insulator layer and defining a plurality of discharge cells in the display region, wherein the plasma display panel has a surface outside the display region on the surface on which the electrode is formed. Any one of the lead electrodes formed in the non-display area and externally connected to the electrodes branches in pairs from the position of the display area at an interval wider than the distance between the electrodes in the display area It is the plasma display panel characterized by being formed in this.
以下、本発明の実施の一形態を図面に基づいて説明する。
図2は、本実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの内部構造を示す一部を切り欠いた分解斜視図である。図3は、本実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルを製造する製造方法の隔壁を形成する際に、切削材を噴射して切削加工するサンドブラスト加工を実施するサンドブラスト装置を示す概略構成図である。図4は、サンドブラスト加工する背面基板となるワークを示す一部を省略した平面図である。図5は、ワークの非表示領域近傍の電極パターンを概略的に示す平面図である。図6は、プラズマディスプレイパネルを構成する背面基板の形成のためにサンドブラスト加工するワークを示す一部を切り欠いた斜視図である。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 2 is an exploded perspective view with a part cut away showing the internal structure of the plasma display panel in the present exemplary embodiment. FIG. 3 is a schematic configuration diagram illustrating a sand blasting apparatus that performs sand blasting by injecting a cutting material when forming a partition wall of the manufacturing method for manufacturing the plasma display panel according to the present embodiment. FIG. 4 is a plan view in which a part of the work to be the back substrate to be sandblasted is omitted. FIG. 5 is a plan view schematically showing an electrode pattern in the vicinity of the non-display area of the workpiece. FIG. 6 is a perspective view with a part cut away showing a workpiece to be sandblasted to form a back substrate constituting the plasma display panel.
〔プラズマディスプレイパネルの構成〕
図2において、100はプラズマディスプレイパネル(Plasma Display Panel:PDP)で、このPDP100は、放電空間101を介して前面基板110と背面基板120とが対向配置されている。
前面基板110の内面側には、複数の透明電極111、複数のバス電極112、複数のブラックストライプ113、誘電体層114および保護膜115がそれぞれ設けられている。
背面基板120の内面側には、この背面基板120上に複数のアドレス電極121がそれぞれ平行に設けられ、これらアドレス電極121を覆うように背面基板120の内面側に絶縁体層であるアドレス電極保護層122が設けられ、さらにこのアドレス電極保護層122上にストライプ形状の隔壁123が設けられ、これら隔壁123により、複数個の放電セル124が区画形成される。
複数個の放電セル124の内部には、それぞれ赤(R)、緑(G)、青(B)の3原色の蛍光体層(125R、125G、125B)が順に形成されている。放電空間101の内部、すなわちそれぞれの放電セル124の内部は、ネオンガスなどの放電ガスが充填され、外気との間で密閉されている。
[Configuration of plasma display panel]
In FIG. 2,
On the inner surface side of the
A plurality of
Inside the plurality of
〔サンドブラスト装置の構成〕
図3において、200はサンドブラスト装置で、このサンドブラスト装置200は、PDP100を構成する背面基板120の形成のために被加工物である基板としてのワークWに切削材を噴射して切削加工、すなわちサンドブラスト加工を実施する装置である。
このサンドブラスト装置200は、サンドブラスト室201内に配設されている。このサンドブラスト室201は、内部に加湿調整手段202が設けられ、この加湿調整手段202によって内部の湿度が高い状態に保持されている。
この加湿調整手段202は、サンドブラスト室201内の空気を加湿する加湿器などで、例えば、水を加熱して蒸気を発生させるもの、あるいは、超音波で蒸気を発生させるもの、その他の手段で蒸気を発生させるいずれのものを採用することができる。この加湿調整手段202は、例えば湿度を50〜60%に調整することが好ましい。すなわち、加湿調整手段202は、サンドブラスト加工時にワークWの表面に付着する水分量を増大させてワークWの表面における電気伝導率を向上させて蓄積する静電気を大気中に放出させる高湿度に、サンドブラスト室201内を保持する。
[Configuration of sandblasting equipment]
In FIG. 3,
This
This humidification adjusting means 202 is a humidifier that humidifies the air in the
ここで、サンドブラスト加工を施すワークWは、前工程において電極であるアドレス電極、アドレス電極保護層および隔壁形成層が生成されたものである。
すなわち、サンドブラスト装置200は、電極形成工程、絶縁体層形成工程と、隔壁形成工程における隔壁材料層形成工程と、隔壁形成工程におけるマスク形成工程と、が実施されたワークWを、隔壁形成工程におけるサンドブラスト工程でサンドブラスト加工する装置である。
そして、電極形成工程は、基板上に複数の電極であるアドレス電極を形成する工程である。
Here, the workpiece W subjected to sandblasting is one in which an address electrode, an address electrode protection layer, and a partition wall formation layer, which are electrodes, are generated in the previous step.
That is, the
The electrode forming step is a step of forming address electrodes as a plurality of electrodes on the substrate.
この電極形成工程において、アドレス電極121の形成として、図4および図5に示すように、PDP100の背面基板120における表示領域131に対応する位置にアドレス電極121を複数ストライプ状に形成するとともに、表示領域131外の非表示領域132に位置して各アドレス電極121に接続する状態に複数の引出電極310が形成される。なお、図4および図5は、説明の都合上、アドレス電極121および引出電極310を概略的に粗な状態で示した図である。また、図5は、説明の都合上、引出電極310を誇張するとともに一部を省略した概略図である。
これら引出電極310は、図4および図5に示すように、外部接続のための外部接続端子部311と、アドレス電極121および外部接続端子部311を接続するアドレス電極引出部312を有している。そして、外部接続端子部311は、ブロック状の集合である引出電極群としての引出部320として、所定の間隔でまとまって形成される。
これら引出部320およびアドレス電極引出部312にて区画される図4および図5に示す間隙である領域140は、外部接続端子部311の並列方向で表示領域131における隣接するアドレス電極121間の幅寸法より幅広で、引出部320が例えば図示しない駆動回路毎に接続させるのに必要な幅寸法に設定されている。すなわち、駆動回路毎にまとまって外部接続端子部311をブロック状の集合体に形成して引出部320を構成させている。なお、引出部320における外部接続端子部311は、略等間隔に形成される。
さらに、電極形成工程では、引出部320における領域140側の最端に位置し領域140に臨む2つの外部接続端子部311は、アドレス電極引出部312により1つのアドレス電極121に接続する状態に形成される。すなわち、引出電極310は、アドレス電極121の長手方向の端部から略V字状にアドレス電極引出部312に分岐して、領域140を介して隣接する対をなす外部接続端子部311に接続する状態に形成される。
In this electrode formation process, as shown in FIGS. 4 and 5, the
As shown in FIGS. 4 and 5, these
4 and FIG. 5 defined by the lead-out
Further, in the electrode formation step, the two external
このようにアドレス電極121および引出電極310を形成する電極形成工程の後に実施される絶縁体層形成工程は、電極形成工程によりアドレス電極121が形成された背面基板120を構成するワークWのアドレス電極形成面における表示領域131に対応する領域に、アドレス電極保護層122となる図示しない絶縁体層を生成する工程である。
隔壁材料層形成工程は、絶縁体層形成工程により絶縁体層が形成されたワークWの絶縁体層の上面に、図6に示すように隔壁材料層123Aを形成する工程である。なお、隔壁材料層123Aを形成する隔壁材料としては、比重が比較的に小さい低融点ガラスなどが利用される。
マスク形成工程は、隔壁材料層形成工程で形成した隔壁材料層123Aの上面に、隔壁の形状に対応した隔壁パターンが開口形成された図示しないレジストマスクを被覆形成する工程である。
As described above, the insulator layer forming step performed after the electrode forming step for forming the
The partition wall material layer forming step is a step of forming a partition
The mask formation step is a step of covering and forming a resist mask (not shown) in which a partition wall pattern corresponding to the shape of the partition wall is formed on the upper surface of the partition
そして、サンドブラスト装置200は、図3に示すように、ワークWを搬送する搬送ローラ203と、ブラストガン210、加工室220、ブラストキャビネット230、材料供給タンク240、分離フィルタ250、遠心分離機260、集塵機270、切削材タンク280、定量供給装置290、などを備えている。
ブラストガン210は、切削材をドライエアと共にワークWにこのワークWの平面に対して交差する方向に噴射するもので、加工室220の内部に設けられる。このブラストガン210は、ワークWの移動に連動して揺動可能に設けられている。このブラストガン210による切削材の噴射によって、ワークWにおける図示しないレジストマスクで被覆されていない隔壁材料層が切削・除去され、切削後の隔壁材料と切削材となどが混在した切削加工屑が発生する。なお、サンドブラスト装置200でサンドブラスト加工に利用する切削材としては、比重が比較的に大きいガラスビーズや、炭化珪素(SiC)、酸化珪素(SiO2)、酸化アルミニウム(Al2O3)、酸化ジルコニウム(ZrO2)などの粒子などが利用される。
As shown in FIG. 3, the sandblasting
The
加工室220は、その内部で実際にサンドブラスト加工が行われる筐体であって、加工後の切削材や切削された隔壁材料などの切削加工屑が加工室220の外部に飛散しないように構成されている。具体的には、加工室220は、内部圧力が外部圧力に対して低い状態に保たれている。
この加工室220の一部には、ワークWが搬入される搬入窓221、ワークWが搬出される搬出窓222が開口形成され、これら搬入窓221および搬出窓222を貫通するように、搬送ローラ203によって搬送ラインが形成されている。すなわち、搬送ローラ203は水平面においてワークWの移動方向に対して略垂直に複数個並列に配設され、これら搬送ローラ203によりワークWの移動方向と略平行な搬送ラインが形成される。
また、この加工室220の底部には、排出部223が設けられ、切削加工屑が排出部223を介して加工室220外へ排出可能となっている。
さらに、加工室220の内部には、ヒータ224が設けられ、切削加工屑を乾燥する。
The
In part of the
Further, a
Further, a
ブラストキャビネット230は、加工室220および加工室220に対してワークWの搬送方向の下流側に位置して設けられた筐体で、加工室220に飛散する切削加工屑を回収する。このブラストキャビネット230には、ワークWを搬入する搬入窓231およびワークWを搬出する搬出窓232が開口形成されている。そして、ブラストキャビネット230は、搬送ラインが搬入窓231および搬出窓232と加工室220の搬入窓221および搬出窓222とを貫通する状態に構成されている。
また、ブラストキャビネット230には、サンドブラスト加工後のワークWをエアで洗浄することによって、ワークWに付着した切削加工屑を除去する図示しないエア洗浄手段が設けられている。この除去された切削加工屑は、排出部223と同様の図示しない排出部を介して、ブラストキャビネット230外へ排出される。
The
The
材料供給タンク240は、新たな切削材を供給するタンクであり、分離フィルタ250へと連絡されている。
この材料供給タンク240は、内部にヒータ241が設けられ、内部をドライ化する。
The
This
分離フィルタ250は、加工室220の排出部223やブラストキャビネット230の排出部から排出された切削加工屑を回収し、この回収した切削加工屑に混入した異物を除去するフィルタである。そして、分離フィルタ250によって回収された切削加工屑は、遠心分離機260へと移送され、この遠心分離機260により、重量が小さい切削後の隔壁材料などと重量が大きい切削材とに分離される。
集塵機270は、遠心分離機260で分離された切削後の隔壁材料などを回収する。この集塵機270には、内部に吸気ファン271および図示しない隔壁材料収納部が設けられている。
そして、吸気ファン271は、遠心分離機260で分離された切削後の隔壁材料を吸引して隔壁材料収納部へ移送する。また、吸気ファン271は、吸気によって加工室220の内部圧力を外部圧力に対して低くなるように調整する。なお、隔壁材料収納部に貯蔵された切削後の隔壁材料は、省資源化の観点から、再利用される。
The
The
Then, the
切削材タンク280は、遠心分離機260で分離された切削材を回収する。この回収した切削材は、切削材タンク280に接続された定量供給装置290へ移送される。また、切削材タンク280は、内部にヒータ281が設けられ、内部をドライ化している。
定量供給装置290は、切削材タンク280で回収された切削材を定量調整し、ブラストガン210へ加圧供給する。この定量供給装置290には、内部にヒータ291が設けられ、内部をドライ化している。なお、加工室220、材料供給タンク240、切削材タンク280および定量供給装置290の内部に設けられたヒータ224、241、281、291は、これらの各装置の内部をドライ化し、微小粒である切削材同士が湿度によって接着し、均一なサンドブラスト加工が行えなくなることを防ぐために設けられている。
The cutting
The
〔サンドブラスト装置の動作〕
次に、上述したサンドブラスト装置200の動作について説明する。サンドブラスト装置200の動作として、上記したサンドブラスト装置200によって、隔壁形成工程でのPDP100の背面基板120の形成のためにワークWに隔壁を形成する動作について説明する。
[Operation of sandblasting device]
Next, the operation of the above-described
まず、サンドブラスト加工を実施する隔壁形成工程の前工程、すなわち、上述したように、電極形成工程、絶縁体層形成工程、隔壁材料層形成工程およびマスク形成工程を実施してワークWを形成しておく。
また、サンドブラスト室201の内部の湿度を加湿調整手段202によって適度に加湿調整するとともに、サンドブラスト装置200の各構成装置を作動させておく。この作動の際、集塵機270の吸気ファン271の回転により、加工室220の内部圧力が外部圧力に比して低く調整される。このことにより、加工室220の搬入窓221および搬出窓222や、ブラストキャビネット230の搬入窓231および搬出窓232などから、加湿された空気が内部へ導入される。
First, a work W is formed by performing a pre-process of a partition forming process for performing sandblasting, that is, as described above, an electrode forming process, an insulator layer forming process, a partition material layer forming process, and a mask forming process. deep.
Further, the humidity inside the
このような状態でワークWを搬送ローラ203上に載置させ、ワークWをブラストキャビネット230の搬入窓231、および加工室220の搬入窓221を経由させ加工室220の内部へと搬入する。
加工室220の内部圧力が外部圧力に対して負圧の状態となっているので、搬入されたワークWの表面は、加工室220の搬入窓221および搬出窓222や、ブラストキャビネット230の搬入窓231および搬出窓232などから流入した加湿された空気が接触する状態となっている。
In this state, the work W is placed on the
Since the internal pressure of the
そして、サンドブラスト装置200は、加工室220内に搬入されたワークWの被処理面、すなわちレジストマスクが設けられた面へブラストガン210から切削材を噴射する。
この切削材の噴射の際、ワークWを接地電位に接続させる。すなわち、非表示領域132に位置して、引出部320における各外部接続端子部311に、例えば導電性ブラシなどの除電手段をそれぞれ接触させて接地させる。そして、ブラストガン210は、ワークWの移動に連動してワークWの幅方向に往復する状態に揺動し、ワークWの被処理面の一端から他端へかけて漏れなく切削材を噴射し、ワークWのレジストマスクにより被覆されていない隔壁材料層123Aを切削・除去する。
なお、このサンドブラスト加工時に発生した切削加工屑は、ヒータ224によって瞬間的に乾燥され、加工室220の排出部223へ吸気ファン271の回転により吸引される。
Then, the
During the injection of the cutting material, the workpiece W is connected to the ground potential. That is, in the
Note that cutting waste generated during the sandblasting process is instantaneously dried by the
また、ワークWが搬送され搬出窓222に到達するまでに、ワークWの被処理面の略全面に対してサンドブラスト加工が行われ、加工後、ワークWは搬出窓222からブラストキャビネット230内のバッファー室に搬送される。このバッファー室において、サンドブラスト加工後のワークWは図示しないエア洗浄手段によって洗浄され、ワークWに付着した切削加工屑が除去される。ワークWのエア洗浄後、ワークWは搬出窓232からブラストキャビネット230の外側に搬出され、一連のサンドブラスト加工が完了する。
この後、ワークWからレジストマスクを剥離する工程へ移送される。
Also, by the time the workpiece W is transported and reaches the carry-out
Thereafter, the resist mask is transferred from the workpiece W to the step of peeling.
〔実施の形態の作用効果〕
上述したように、上記実施の形態では、背面基板120を構成するワークW上に複数のアドレス電極121や引出電極310を形成する電極形成工程で、アドレス電極121や引出電極310が形成されるワークWの面における表示領域131の外となる非表示領域132に位置して、引出電極310を表示領域131における隣接するアドレス電極121間の幅寸法より幅広な領域140の間隔を設けて、ブロック状の引出部320にまとめて形成するとともに、隣接する引出部320の領域140に位置する引出部320の最端の引出電極310同士を表示領域131内でアドレス電極121に接続する状態で形成している。
すなわち、1つのアドレス電極121に対して表示領域131から対をなして分岐し領域140を介して対向する状態に引出電極310を形成している。
このことにより、サンドブラスト時に引出部320と引出部320間の領域140との帯電状態の差による静電気の帯電が生じ易い引出部320の領域140に臨む位置でアドレス電極121に接続する引出電極310により、引出部320間で電位差が0Vとなる。
したがって、サンドブラスト時の静電気の帯電による不都合を、簡単な構成で防止でき、安定した良好な品質のPDP100を提供できる。
なお、1つのアドレス電極121に対して対をなす引出電極310が分岐する状態となっているので、例えば外部接続する駆動回路であるアドレスパルス駆動手段の前段部分で、これら対をなす引出電極310に跨って繋がる1つの導電体を設ければよい。このような構成とすることで、引出電極310が2つに分岐していても、1つの駆動パルス供給部でアドレス電極121に対してアドレスパルスを供給できる。なお、このような構成に限らず、いずれの方法や構成でアドレスパルスを供給できる。
[Effects of Embodiment]
As described above, in the above-described embodiment, the work in which the
That is, the
As a result, the
Therefore, inconvenience due to electrostatic charging during sandblasting can be prevented with a simple configuration, and a stable and
Since the
仮に、切削加工屑が非表示領域132に付着する状態でも、ワークWを接地電位に接続、すなわち引出部320を除電手段により接地させて除電している。
このことから、静電気による切削加工屑の吸着力はないあるいは強くない。
このため、ブラストキャビネット230内のバッファー室におけるエア洗浄手段により十分に除去され、エア洗浄などの簡単な構成で、上述した接続不良などの不都合を確実に防止できる。
Even if the cutting scraps adhere to the
For this reason, there is no or no strong adsorption force of cutting waste due to static electricity.
For this reason, it is sufficiently removed by the air cleaning means in the buffer chamber in the
そして、加湿調整手段202を備えたサンドブラスト室201内にサンドブラスト装置200を配設している。
このため、加湿された空気がサンドブラスト加工を実施する加工室220内に流入してワークWに接触するので、さらにワークWに静電気が帯電しにくくなり、より良好に切削加工屑の非表示領域132における付着を防止できる。
A
For this reason, since the humidified air flows into the
〔実施の形態の変形〕
なお、本発明は、上述した実施の一形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲で以下に示される変形をも含むものである。
[Modification of Embodiment]
In addition, this invention is not limited to one Embodiment mentioned above, The deformation | transformation shown below is included in the range which can achieve the objective of this invention.
すなわち、サンドブラスト工程として上述したサンドブラスト装置200の構成に限らず、切削材を噴射して隔壁を形成可能ないずれの装置を利用できる。
例えば、加湿調整手段202を備えたサンドブラスト室201内にサンドブラスト装置200を配設した構成に限らず、加湿調整手段202を加工室220内に設けるなど、加湿した空気をワークWに吹き付ける構成などとしてもよく、さらには加湿する構成を設けないものでも可能である。
さらに、切削加工屑を回収して切削材を回収し、再利用する構成を設けない、あるいは他のいずれの再利用可能な構成を利用したり、ヒータ224などを設けない構成としたりするなどしてもよい。
That is, the sandblasting process is not limited to the configuration of the
For example, the configuration is not limited to the configuration in which the
Further, the cutting waste is recovered and the cutting material is recovered and no reusable configuration is provided, or any other reusable configuration is used, or the
また、駆動回路接続のための領域140における引出電極310を表示領域131内で1つのアドレス電極121に接続して説明したが、例えばアドレス電極121を介して接続する場合に限らず、例えばアドレス電極121に接続することなく単に表示領域131内で互いに接続する状態とするなどしてもよい。
また、駆動回路接続のための領域140に臨む引出電極310に限らず、例えば引出電極310の形成上の理由などにより、引出電極310間がアドレス電極121の間隔より幅広となる間隙が形成されるような構成では、この間隙に臨む引出電極310を表示領域131内で接続する状態とすればよい。
Further, the
Further, not only the
そして、除電する構成としては、導電性ブラシなどを接触させる構成の他、軟質部材の表面に導電部材を被覆した柱状部材を用いるなど、いずれの方法でワークWを接地電位に接続させる構成が適用できる。 In addition to the configuration in which a conductive brush or the like is brought into contact as a configuration for eliminating static electricity, a configuration in which the work W is connected to the ground potential by any method such as using a columnar member with a conductive member coated on the surface of a soft member is applied. it can.
その他、本発明の実施の際の具体的な構造および手順は、本発明の目的を達成できる範囲で他の構造などに適宜変更できる。 In addition, the specific structure and procedure for carrying out the present invention can be appropriately changed to other structures and the like within a range in which the object of the present invention can be achieved.
〔実施の形態の効果〕
上述したように、背面基板120を構成するワークW上に複数のアドレス電極121や引出電極310を形成する電極形成工程で、アドレス電極121や引出電極310が形成されるワークWの面における表示領域131の外となる非表示領域132に位置して、引出電極310を表示領域131における隣接するアドレス電極121間の幅寸法より幅広な領域140の間隔を設けて、ブロック状の引出部320にまとめて形成するとともに、隣接する引出部320の領域140に位置する引出部320の最端の引出電極310同士を表示領域131内で接続する状態で形成している。
このため、サンドブラスト時に引出部320と引出部320間の領域140との帯電状態の差による静電気の帯電が生じ易い引出部320の領域140に臨む位置の引出電極310が表示領域131で接続することにより、引出部320間で電位差が0Vとなり、例えば残渣や引出電極310をアドレス電極121に接続する構成における不都合などのサンドブラスト時の静電気の帯電による不都合を、簡単な構成で防止でき、安定した良好な品質のPDP100を提供できる。
[Effect of the embodiment]
As described above, the display area on the surface of the work W on which the
For this reason, the
また、背面基板120を構成するワークW上に複数のアドレス電極121や引出電極310を形成する電極形成工程で、アドレス電極121や引出電極310が形成されるワークWの面における表示領域131の外となる非表示領域132に位置して、引出電極310を表示領域131における隣接するアドレス電極121間の幅寸法より幅広な領域140の間隔で、表示領域131の位置から対をなして分岐する状態に形成している。
このため、サンドブラスト時に引出電極310と領域140との帯電状態の差による静電気の帯電が生じ易い領域140に臨む引出電極310により、引出電極310間で電位差が0Vとなり、例えば残渣や引出電極310をアドレス電極121に接続する構成における不都合などのサンドブラスト時の静電気の帯電による不都合を、簡単な構成で防止でき、安定した良好な品質のPDP100を提供できる。
Further, in the electrode forming step of forming the plurality of
For this reason, the potential difference between the
100……プラズマディスプレイパネル
200……サンドブラスト装置
131……表示領域
132……非表示領域
120……基板である背面基板
121……電極であるアドレス電極
123A…隔壁材料層
140……間隙である領域
310……電極である引出電極
320……引出電極群である引出部
W……基板であるワーク
DESCRIPTION OF
W: Workpiece that is a substrate
Claims (7)
前記電極形成工程では、前記基板の前記電極が形成される面における前記表示領域の外となる非表示領域に、前記表示領域における前記電極間の距離より幅広な間隔で前記電極の外部接続される引出電極を複数形成して引出電極群の集合体に構成するとともに、隣接する前記引出電極群間の間隙側に位置する前記引出電極同士を前記表示領域内で接続する状態に前記電極を形成する
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。 An electrode forming step of forming a plurality of electrodes on the substrate; an insulator layer forming step of forming an insulator layer in a region corresponding to a display region on the surface of the substrate on which the electrodes are formed; and an insulator of the substrate A partition wall material layer is formed on the layer, and a mask having openings corresponding to the partition wall pattern is sequentially formed on the partition wall material layer, and the partition wall material layer is cut through the opening of the mask by spraying a cutting material. And a partition wall forming step of forming a partition wall, and a method of manufacturing a plasma display panel,
In the electrode formation step, the electrodes are externally connected to a non-display area outside the display area on the surface of the substrate on which the electrode is formed, with an interval wider than the distance between the electrodes in the display area. A plurality of extraction electrodes are formed to form an assembly of extraction electrode groups, and the electrodes are formed in a state in which the extraction electrodes positioned on the gap side between the adjacent extraction electrode groups are connected in the display area. A method of manufacturing a plasma display panel.
前記電極形成工程では、前記基板の前記電極が形成される面における前記表示領域の外となる非表示領域に形成され前記電極の外部接続される引出電極のうちのいずれかを、前記表示領域における前記電極間の距離より幅広な間隔で前記表示領域の位置から対をなして分岐して形成する
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。 An electrode forming step of forming a plurality of electrodes on the substrate; an insulator layer forming step of forming an insulator layer in a region corresponding to a display region on the surface of the substrate on which the electrodes are formed; and an insulator of the substrate A partition wall material layer is formed on the layer, and a mask having openings corresponding to the partition wall pattern is sequentially formed on the partition wall material layer, and the partition wall material layer is cut through the opening of the mask by spraying a cutting material. And a partition wall forming step of forming a partition wall, and a method of manufacturing a plasma display panel,
In the electrode formation step, any one of the extraction electrodes formed in a non-display area outside the display area on the surface of the substrate on which the electrode is formed and externally connected to the electrode is connected to the display area. A method of manufacturing a plasma display panel, wherein the plasma display panel is formed by branching from the position of the display region at intervals wider than the distance between the electrodes.
前記電極形成工程では、前記分岐して形成する引出電極間の間隔で前記引出電極が複数のブロック状の引出電極群に集合させて形成する
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。 A method of manufacturing a plasma display panel according to claim 2,
The method of manufacturing a plasma display panel, wherein in the electrode forming step, the extraction electrodes are formed by gathering into a plurality of block-shaped extraction electrode groups at intervals between the extraction electrodes formed by branching.
前記隔壁形成工程では、前記切削材の噴射による切削加工の際に前記基板を接地電位に接続する
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。 A method for manufacturing a plasma display panel according to any one of claims 1 to 3,
In the partition forming step, the substrate is connected to a ground potential during cutting by spraying the cutting material. A method of manufacturing a plasma display panel, comprising:
前記隔壁形成工程における前記基板の接地電位への接続として、前記引出電極を接地電位に接続する
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。 It is a manufacturing method of the plasma display panel of Claim 4, Comprising:
The method for manufacturing a plasma display panel, wherein the extraction electrode is connected to a ground potential as a connection to the ground potential of the substrate in the partition forming step.
前記基板の前記電極が形成される面における前記表示領域の外となる非表示領域に形成され前記電極の外部接続される引出電極が、前記表示領域における前記電極間の距離より幅広な間隔で複数のブロック状の引出電極群に集合する状態で、かつ、複数の前記電極のうち隣接する前記引出電極群間の間隙側に位置する前記引出電極同士が前記表示領域内で接続する状態に形成された
ことを特徴としたプラズマディスプレイパネル。 A plurality of electrodes formed on a substrate; an insulator layer formed in a region corresponding to a display region on a surface of the substrate on which the electrode is formed; and the display formed on the insulator layer of the substrate A plasma display panel comprising a partition wall that partitions and forms a plurality of discharge cells in a region,
A plurality of extraction electrodes formed on a non-display area outside the display area on the surface of the substrate on which the electrodes are formed and connected to the outside of the electrodes are wider than the distance between the electrodes in the display area. In a state of being assembled into a block-shaped extraction electrode group, and the extraction electrodes located on the gap side between adjacent extraction electrode groups among the plurality of electrodes are connected to each other in the display region. A plasma display panel characterized by this.
前記基板の前記電極が形成される面における前記表示領域の外となる非表示領域に形成され前記電極の外部接続される引出電極のうちのいずれかが、前記表示領域における前記電極間の距離より幅広な間隔で前記表示領域の位置から対をなして分岐する状態に形成された
ことを特徴としたプラズマディスプレイパネル。 A plurality of electrodes formed on a substrate; an insulator layer formed in a region corresponding to a display region on a surface of the substrate on which the electrode is formed; and the display formed on the insulator layer of the substrate A plasma display panel comprising a partition wall that partitions and forms a plurality of discharge cells in a region,
Any one of lead electrodes formed in a non-display area outside the display area on the surface of the substrate on which the electrode is formed and externally connected to the electrode is based on a distance between the electrodes in the display area. A plasma display panel, wherein the plasma display panel is formed in a state of being branched from the position of the display region in pairs at a wide interval.
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013224844A (en) * | 2012-04-20 | 2013-10-31 | Taisei Corp | Decontamination device |
CN110071217A (en) * | 2019-03-29 | 2019-07-30 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | The production method and display device of mask plate, display panel |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001356708A (en) * | 2000-06-14 | 2001-12-26 | Fujitsu Hitachi Plasma Display Ltd | Electrode structure of display panel and method for forming its electrode |
JP2002245930A (en) * | 2001-02-14 | 2002-08-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Method of manufacturing gas discharge panel and barrier rib manufacturing equipment used for the manufacturing method |
JP2003117831A (en) * | 2001-10-15 | 2003-04-23 | Dainippon Printing Co Ltd | Sandblasting device and barrier forming method for plasma display panel |
JP2007026960A (en) * | 2005-07-19 | 2007-02-01 | Pioneer Electronic Corp | Manufacturing method of plasma display panel |
-
2006
- 2006-03-14 JP JP2006070043A patent/JP2007250283A/en active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001356708A (en) * | 2000-06-14 | 2001-12-26 | Fujitsu Hitachi Plasma Display Ltd | Electrode structure of display panel and method for forming its electrode |
JP2002245930A (en) * | 2001-02-14 | 2002-08-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Method of manufacturing gas discharge panel and barrier rib manufacturing equipment used for the manufacturing method |
JP2003117831A (en) * | 2001-10-15 | 2003-04-23 | Dainippon Printing Co Ltd | Sandblasting device and barrier forming method for plasma display panel |
JP2007026960A (en) * | 2005-07-19 | 2007-02-01 | Pioneer Electronic Corp | Manufacturing method of plasma display panel |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013224844A (en) * | 2012-04-20 | 2013-10-31 | Taisei Corp | Decontamination device |
CN110071217A (en) * | 2019-03-29 | 2019-07-30 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | The production method and display device of mask plate, display panel |
CN110071217B (en) * | 2019-03-29 | 2023-12-12 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | Mask plate, manufacturing method of display panel and display device |
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