JP2002245930A - Method of manufacturing gas discharge panel and barrier rib manufacturing equipment used for the manufacturing method - Google Patents
Method of manufacturing gas discharge panel and barrier rib manufacturing equipment used for the manufacturing methodInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、表示デバイスなど
に用いられるガス放電パネルの製造方法及びそれに用い
る隔壁製造装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a gas discharge panel used for a display device and the like and an apparatus for manufacturing a partition used for the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】ガス放電パネルにおいては、放電空間の
体積の均一化、及び、クロストークの防止による各画素
の表示安定性の確保などを目的として、対向するパネル
の間隙を仕切る隔壁の形成が行われる。この隔壁の製造
方法には、サンドブラスト法、印刷法、フィルム状リブ
材料利用法、アディティブ法などがあるが、この中でサ
ンドブラスト法は、精細なパターンの形成が容易、及び
隔壁材料の塗付が2、3回と少ない回数で可能などのメ
リットにより現在主流となっている。2. Description of the Related Art In a gas discharge panel, for the purpose of equalizing the volume of a discharge space and ensuring display stability of each pixel by preventing crosstalk, it is necessary to form a partition partitioning a gap between opposed panels. Done. The method of manufacturing the partition wall includes a sand blasting method, a printing method, a method of using a film-like rib material, an additive method, and the like. Among these, the sand blasting method facilitates formation of a fine pattern and applies the partition material. It is currently mainstream due to the merit that can be achieved in a few times as few as.
【0003】サンドブラスト法による一般的な隔壁の製
造方法では、先ず、ストライプ状の電極及び誘電体ガラ
ス層が形成された背面基板に対して、隔壁材料層を前記
誘電体ガラス層が形成された面全体に形成し、さらにそ
の上に隔壁のパターンに対応するレジストマスクを形成
する。そして、サンドブラスト加工により前記レジスト
マスクが形成されていない部分の隔壁材料を剥離除去す
る。その後に、前記レジストマスクを除去することによ
り、隔壁が形成される。この隔壁の製造方法を含めたガ
ス放電パネルの製造方法及び製造装置などについては、
「最新プラズマディスプレイパネル製造技術」(プレスジ
ャーナル)などに記載されている。In a general method of manufacturing a partition wall by the sand blast method, first, a partition wall material layer is formed on a surface on which the dielectric glass layer is formed, with respect to a back substrate on which a striped electrode and a dielectric glass layer are formed. A resist mask corresponding to the pattern of the partition is formed thereon. Then, the material of the partition wall where the resist mask is not formed is peeled off and removed by sandblasting. Thereafter, the resist mask is removed to form a partition. For the method and apparatus for manufacturing a gas discharge panel including the method for manufacturing this partition,
It is described in "Latest Plasma Display Panel Manufacturing Technology" (Press Journal).
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようにサンドブラスト加工により隔壁を形成すると、電
極や誘電体層へダメージが加わることがある。これは、
サンドブラスト加工時に、研磨剤とレジストマスク及び
前記隔壁材料との摩擦により静電気が発生し、前記パネ
ルの各部に電荷が帯電することによるものである。そし
て、場合によっては、落雷現象を発生させて電極などを
損傷することがある。このように従来のサンドブラスト
加工を用いた隔壁形成方法では、帯電が原因で起きる基
材の損傷などにより歩留まりが悪くなるという問題を有
していた。近年、これに対して、レジストマスクの組成
改質及び帯電防止剤の添加などの方法によって改善が試
みられている。しかしながら、より簡易に、より確実に
サンドブラスト加工時に電極などに帯電する電荷を除去
する方法が要望されている。However, when the partition walls are formed by sandblasting as described above, the electrodes and the dielectric layer may be damaged. this is,
At the time of sand blasting, static electricity is generated due to friction between the abrasive and the resist mask and the partition wall material, and each part of the panel is charged. In some cases, a lightning strike may occur to damage electrodes and the like. As described above, in the conventional partition wall forming method using sandblasting, there is a problem that the yield is deteriorated due to damage to the base material caused by charging. In recent years, attempts have been made to improve the composition by modifying the composition of the resist mask and adding an antistatic agent. However, there is a demand for a simpler and more reliable method of removing the electric charge on an electrode or the like during sandblasting.
【0005】本発明は、以上のような問題を解決するた
めになされたものであり、サンドブラスト加工時の電極
の帯電を防止しながら隔壁の形成を行うガス放電パネル
の製造方法を提供すること、及び、電極の帯電を防止し
ながら隔壁の形成を行う隔壁製造装置を提供することを
目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a gas discharge panel for forming a partition wall while preventing charging of electrodes during sandblasting. It is another object of the present invention to provide a partition manufacturing apparatus for forming a partition while preventing electrification of an electrode.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】以上の目的を達成するた
めに、本発明は、主表面の一方に第1電極が配設される
とともに前記第1電極を覆うように隔壁材料層が形成さ
れた第1基板に、サンドブラスト加工を施して隔壁を形
成する隔壁形成工程を含むガス放電パネルの製造方法で
あって、前記隔壁形成工程では、前記第1電極をアース
した状態でサンドブラスト加工を行うことを特徴とす
る。In order to achieve the above-mentioned object, the present invention is directed to a first aspect, wherein a first electrode is provided on one of the main surfaces, and a partition material layer is formed so as to cover the first electrode. A method for manufacturing a gas discharge panel, comprising a step of forming a partition by subjecting the first substrate to sandblasting, wherein the step of forming the partition includes performing sandblasting with the first electrode grounded. It is characterized by.
【0007】このようなガス放電パネルの製造方法で
は、サンドブラスト加工時に研磨剤とレジストマスク及
び第1パネルとの摩擦により発生した静電気が前記導電
性材料により除去されるので、前記第1電極に多量の電
荷が帯電するのを防止することが出来る。そして、前記
隔壁形成工程で用いる前記第1基板において、前記第1
電極の端部には、隔壁材料層が形成されない引出し電極
部が設置されており、サンドブラスト加工時には、前記
引出し電極部をサンドブラスト加工の領域外に設定する
とともに、アースされたテープ状の導電性材料あるいは
ペースト状の導電性材料の何れかを前記引出し電極部に
接触させるか、または、塗付することによって前記第1
電極のアースを行うことが好ましい。In such a method of manufacturing a gas discharge panel, since the static electricity generated by friction between the abrasive and the resist mask and the first panel during sandblasting is removed by the conductive material, a large amount of the static electricity is applied to the first electrode. Can be prevented from being charged. Then, in the first substrate used in the partition wall forming step, the first substrate
At the end of the electrode, an extraction electrode portion on which a partition wall material layer is not formed is provided, and at the time of sandblasting, the extraction electrode portion is set outside the region of sandblasting, and a grounded tape-shaped conductive material is formed. Alternatively, any of the paste-like conductive materials is brought into contact with the lead-out electrode portion, or is applied to the first conductive material.
Preferably, the electrodes are grounded.
【0008】また、本発明は、主表面の一方に第1電極
が配設されるとともに前記第1電極を覆うように隔壁材
料層が形成された第1基板に、サンドブラスト加工を施
すことにより隔壁を形成する隔壁製造装置であって、前
記第1基板を保持し搬送する基板搬送機構と、前記隔壁
材料層に研磨剤を射出する研磨剤射出機構と、前記研磨
剤射出機構が前記隔壁材料層に研磨剤を射出する領域及
びその近傍において、前記第1電極に帯電する電荷を除
去する除電機構とを備えることを特徴とする。[0008] The present invention also provides a method of forming a partition by sandblasting a first substrate on which a first electrode is provided on one of the main surfaces and a partition material layer is formed so as to cover the first electrode. A substrate transport mechanism for holding and transporting the first substrate, an abrasive injection mechanism for injecting an abrasive into the partition material layer, and the abrasive injection mechanism comprising the partition material layer And a charge elimination mechanism that removes electric charges charged to the first electrode in a region where the abrasive is injected and in the vicinity thereof.
【0009】このような除電機構を備える隔壁製造装置
は、サンドブラスト加工時の前記第1電極に多量の電荷
が帯電するのを防止することが出来るので、前記第1電
極がダメージを受けることなく隔壁を形成することを可
能とする。前記除電機構は、アースされた除電用ブラシ
あるいは基板固定金具などであって、前記引出し電極部
に導電性を有するように接触するように配設されたもの
であることが好ましい。The partition manufacturing apparatus having such a charge removing mechanism can prevent a large amount of electric charges from being charged on the first electrode during sandblasting, so that the first electrode is not damaged. Can be formed. It is preferable that the static elimination mechanism is a grounded static elimination brush or a substrate fixing bracket, and is arranged so as to be in conductive contact with the extraction electrode portion.
【0010】さらに、前記除電機構は、除電用ブローを
前記第1電極の少なくとも2箇所に吹き付ける除電用ブ
ロー装置であることも好ましい。また、本発明は、主表
面の一方に第1電極が配設されるとともに前記第1電極
を覆うように隔壁材料層が形成された第1基板に、サン
ドブラスト加工を施して隔壁を形成する隔壁形成工程を
備えるガス放電パネルの製造方法であって、前記隔壁形
成工程では、前記第1電極に帯電する電荷を前記除電機
構を用いて除去しながらサンドブラスト加工を行うこと
を特徴とする。Further, it is preferable that the static elimination mechanism is a static elimination blow device that blows a static elimination blow to at least two portions of the first electrode. The present invention also provides a partition in which a first electrode is provided on one of the main surfaces and a partition material layer is formed so as to cover the first electrode. A method for manufacturing a gas discharge panel including a forming step, wherein in the partition wall forming step, sandblasting is performed while removing charges charged on the first electrode using the charge eliminating mechanism.
【0011】このようなガス放電パネルの製造方法によ
っても、第1電極における帯電を防止しながら、サンド
ブラスト加工によって隔壁の形成を行うことが出来る。[0011] According to such a method of manufacturing a gas discharge panel, it is also possible to form a partition by sandblasting while preventing charging of the first electrode.
【0012】[0012]
【発明の実施の形態】以下に、ガス放電パネルの製造方
法及び隔壁製造装置について説明する。先ず、以下の形
態で共通のガス放電パネルの構造を図1に示す。図1
は、ガス放電パネルの一例としてのプラズマディスプレ
イパネル(以下、「PDP」という)の要部斜視図であ
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A method for manufacturing a gas discharge panel and an apparatus for manufacturing a partition will be described below. First, the structure of a gas discharge panel common to the following embodiments is shown in FIG. Figure 1
1 is a perspective view of a main part of a plasma display panel (hereinafter, referred to as “PDP”) as an example of a gas discharge panel.
【0013】図1に示すように、PDPは、前面パネル
10と背面パネル20とが、隔壁24を介して対向配置
されることで作製される。この中で前記背面パネル20
は、背面基板21にストライプ状にアドレス電極22を
配設した上に誘電体ガラス層23を形成し、さらにその
上の前記アドレス電極22どうしの間に隔壁24を形成
することによって製造される。ここで、前記アドレス電
極22には、背面基板21の外縁部に引出し電極部12
2が設定される。これは、前記アドレス電極22と駆動
回路(不図示)とを接続するための部分であり、このた
め、その上には前記誘電体ガラス層23及び前記隔壁2
4の形成が行われない。As shown in FIG. 1, the PDP is manufactured by arranging a front panel 10 and a rear panel 20 to face each other with a partition wall 24 interposed therebetween. The back panel 20
Is manufactured by arranging address electrodes 22 in a stripe shape on a back substrate 21, forming a dielectric glass layer 23, and further forming a partition 24 between the address electrodes 22 thereon. Here, the address electrode 22 is provided at the outer edge of the back substrate 21 with the extraction electrode portion 12.
2 is set. This is a portion for connecting the address electrode 22 and a drive circuit (not shown). Therefore, the dielectric glass layer 23 and the partition 2
4 is not formed.
【0014】PDPの製造方法については、「最新プラ
ズマディスプレイパネル製造技術」(プレスジャーナ
ル)等の文献に記載、または、特開平11−34556
4号公報等に開示されているので、ここでは、本形態で
特徴部分である前記隔壁24の形成方法について説明す
る。 (実施の形態1)前記背面パネル20における前記隔壁
24の形成について図2を用いて説明する。A method of manufacturing a PDP is described in a document such as "Latest Plasma Display Panel Manufacturing Technology" (Press Journal) or Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-34556.
The method of forming the partition wall 24, which is a feature of the present embodiment, will be described here. (Embodiment 1) The formation of the partition wall 24 on the rear panel 20 will be described with reference to FIG.
【0015】図2は、隔壁形成工程を表す模式図であ
る。図2において、(a)〜(c)は、感光性被覆層2
03の形成の過程を表し、(d)は、導電性テープ配設
の過程を表し、(e)〜(f)は、サンドブラスト加工
の過程を表す。先ず、図2(a)に示すように、アドレ
ス電極22及び誘電体ガラス層23が形成された背面基
板201の上に隔壁材料層202を形成する。この際、
前記引出し電極部122の上には、前記隔壁材料層20
2を形成しない。そして、この隔壁材料層202の形成
の具体例としては、低融点ガラスにアルミナなどの金属
酸化物を混合したものを主成分とするペースト(例え
ば、イー・エス・エル社製、品番3100)をスクリー
ン印刷法を用いて塗付するという方法がある。あるい
は、上記のペーストに樹脂を添加してフィルム状にした
ものを誘電体ガラス層23の上に貼り付けることによっ
て行っても良い。そして、このように形成された隔壁材
料層202の上に、感光性被覆層として感光性の厚み5
0μmのドライフィルムレジスト(以下、「DFR」とい
う)203をラミネート形成して、さらに、その上にフ
ォトマスク204を形成する。そして、前記背面基板2
01の前記DFR203が形成された面に紫外線光を照
射して露光して、1%炭酸ナトリウム水溶液により現像
を行い、水洗いすることによって、図2(b)に示すよ
うに、前記背面基板201上に所望のパターンを有する
DFR203が形成される。FIG. 2 is a schematic view showing a partition forming step. In FIG. 2, (a) to (c) show the photosensitive coating layer 2
03 shows the process of formation, (d) shows the process of arranging the conductive tape, and (e) to (f) show the process of sandblasting. First, as shown in FIG. 2A, a partition wall material layer 202 is formed on a rear substrate 201 on which an address electrode 22 and a dielectric glass layer 23 are formed. On this occasion,
The partition material layer 20 is formed on the extraction electrode portion 122.
2 is not formed. As a specific example of the formation of the partition wall material layer 202, a paste (for example, product number 3100, manufactured by ES L Corporation) containing low-melting glass mixed with a metal oxide such as alumina as a main component is used. There is a method of applying using a screen printing method. Alternatively, it may be performed by adding a resin to the above-mentioned paste to form a film, and affixing the paste on the dielectric glass layer 23. Then, on the partition wall material layer 202 thus formed, a photosensitive layer having a photosensitive thickness of 5
A dry film resist (hereinafter, referred to as “DFR”) 203 having a thickness of 0 μm is laminated, and a photomask 204 is formed thereon. And the rear substrate 2
The surface on which the DFR 203 was formed was exposed to ultraviolet light, exposed to light, developed with a 1% aqueous solution of sodium carbonate, and washed with water to form a surface on the rear substrate 201 as shown in FIG. A DFR 203 having a desired pattern is formed.
【0016】前記DFR203のパターンは、開孔幅が
80μm、ピッチが360μmのストライプ状とする。
図2(c)に示す導電性テープ配設の過程では、前記引
出し電極部122と接続するように、カーボン粉末など
の導電性材料が粘着剤中に分散されている導電性テープ
222を密着配置する。そして、前記導電性テープ22
2の一端を、アース線に接続する。これによって、前記
アドレス電極22がアースに接続されることになる。The pattern of the DFR 203 is a stripe having a hole width of 80 μm and a pitch of 360 μm.
In the process of disposing the conductive tape shown in FIG. 2C, a conductive tape 222 in which a conductive material such as carbon powder is dispersed in an adhesive is closely attached so as to be connected to the extraction electrode portion 122. I do. Then, the conductive tape 22
2 is connected to the ground wire. As a result, the address electrode 22 is connected to the ground.
【0017】次に、図2(d)のサンドブラスト加工の
過程において、ブラストノズル206は、研磨剤207
を射出しながら、アドレス電極22に沿って走査すると
ともに、背面基板201をゆっくりアドレス電極22と
直交する方向に移動する。前記ブラストノズル206の
走査範囲は、背面基板201上の前記隔壁材料層202
の形成された領域のみに限定されており、前記引出し電
極部122に研磨剤が当らないように設定されている。
以上のようにして、背面基板201に隔壁24が形成さ
れる。サンドブラスト加工は、次に示す条件で行う。Next, in the course of the sand blasting process shown in FIG.
While scanning along the address electrodes 22, and slowly moving the rear substrate 201 in a direction orthogonal to the address electrodes 22. The scanning range of the blast nozzle 206 depends on the partition material layer 202 on the back substrate 201.
Are formed only so that the abrasive is not applied to the extraction electrode portion 122.
As described above, the partition wall 24 is formed on the rear substrate 201. Sandblasting is performed under the following conditions.
【0018】(加工条件) Air流量:1.5m3/min.(nor) 研磨剤供給量:1.5kg/min. そして、上記のようにサンドブラスト加工が終わった前
記背面基板201は、5%水酸化ナトリウム水溶液に浸
漬されることにより、前記DFR203及び導電性テー
プ222が除去される。その後に、前記背面基板201
を焼成することによって、図2(f)に示すような隔壁
24が形成された背面パネル20が完成する。(Processing conditions) Air flow rate: 1.5 m 3 / min. (Nor) Abrasive supply amount: 1.5 kg / min. Then, the back substrate 201 that has been subjected to the sandblasting process as described above is immersed in a 5% sodium hydroxide aqueous solution, so that the DFR 203 and the conductive tape 222 are removed. Thereafter, the rear substrate 201
Is fired to complete the rear panel 20 on which the partition walls 24 are formed as shown in FIG.
【0019】以上のように、前記引出し電極部122に
導電性テープ222を密着配置してサンドブラスト加工
を行うことにより、アドレス電極22への帯電を防止し
ながら、隔壁24の形成をすることが出来る。ここで、
前記導電性テープ222は、サンドブラスト加工の領域
外である引出し電極部122に位置するために、サンド
ブラスト加工によって剥離除去されることはない。した
がって、アドレス電極22の除電は、サンドブラスト加
工の間中、実施される。As described above, by applying the conductive tape 222 to the extraction electrode portion 122 in close contact with it and performing sandblasting, the partition wall 24 can be formed while preventing the address electrode 22 from being charged. . here,
Since the conductive tape 222 is located at the extraction electrode portion 122 outside the region of the sandblasting, the conductive tape 222 is not separated and removed by the sandblasting. Therefore, static elimination of the address electrodes 22 is performed throughout the sandblasting.
【0020】なお、導電性テープ222を貼り付けるの
は、アドレス電極22の両端に設定される両側の引出し
電極部122であることが好ましいが、片側であっても
良い。また、上記方法では、アドレス電極22の除電方
法として引出し電極部122に導電性テープ222を貼
り付けたが、導電性のペーストを引出し電極部122に
塗付するとともに、前記ペーストにアース線を接続する
ことによってもアドレス電極22の除電が可能である。It is preferable that the conductive tape 222 is adhered to the extraction electrode portions 122 on both sides set at both ends of the address electrode 22, but may be attached to one side. In the above-described method, the conductive tape 222 is attached to the extraction electrode portion 122 as a method for removing the electric charge of the address electrode 22. However, a conductive paste is applied to the extraction electrode portion 122 and a ground wire is connected to the paste. By doing so, the charge of the address electrode 22 can be eliminated.
【0021】(実施の形態2)本実施の形態2にかかる
隔壁形成方法の特徴は、サンドブラスト加工の際に除電
用ブラシ322を用いて前記アドレス電極22の帯電を
防止する点にある。図3は、前記除電用ブラシ322を
備えた隔壁製造装置を示す図である。図3に示すよう
に、前記除電用ブラシ322は、基板搬送部300に配
設されている。そして、前記除電用ブラシ322は、ブ
ラストノズル206がアドレス電極22に沿って走査す
る延長ライン上であって走査領域外である位置に、引出
し電極部122と接触して導電性を有するように配置さ
れており、アース接続されている。(Embodiment 2) A feature of the partition forming method according to Embodiment 2 is that charging of the address electrode 22 is prevented by using a charge eliminating brush 322 during sandblasting. FIG. 3 is a diagram showing a partition manufacturing apparatus provided with the charge removing brush 322. As shown in FIG. 3, the charge removing brush 322 is provided in the substrate transport unit 300. The brush 322 for static elimination is arranged at a position on the extension line where the blast nozzle 206 scans along the address electrode 22 and outside the scanning area so as to be in contact with the extraction electrode portion 122 and have conductivity. And grounded.
【0022】このような隔壁製造装置を用いてサンドブ
ラスト加工を行うことにより、アドレス電極22の除電
を行いながら、隔壁24の形成を行うことが出来る。し
たがって、このような製造方法は、上記実施の形態1の
場合と同様に、アドレス電極22に多量の電荷が帯電す
るのを防止しながら、隔壁の形成を行うことを可能にす
る。By performing sandblasting using such a partition manufacturing apparatus, the partition 24 can be formed while the charge of the address electrode 22 is being removed. Therefore, such a manufacturing method makes it possible to form a partition wall while preventing a large amount of charge from being charged on the address electrode 22, as in the case of the first embodiment.
【0023】なお、上記においては、アドレス電極22
の除電を引出し電極部122に除電用ブラシ322を接
触させることで行ったが、図4に示すように、基板搬送
部300に備えられた基板固定金具422が引出し電極
部122に接触させるとともに、アース接続させること
によっても除電を行うことが可能である。また、図5に
示すように、サンドブラストノズル206に除電用ブロ
ー装置500を併設しておき、サンドブラスト加工の直
後の背面パネル20にイオンエアーを吹き付けることに
よっても除電を行うことが出来る。この除電用ブロー装
置の一例として、イオンエアーの噴射により除電を行う
エアー/セルフジェット型イオナイザー((株)IMP
REX)などがある。この装置をサンドブラスト加工の
際に用いた場合、イオンエアーをサンドブラスト加工直
後のパネル表面に吹き付けることにより、パネル表面の
除電が可能である。In the above description, the address electrodes 22
Was performed by bringing the brush 322 for static elimination into contact with the extraction electrode section 122. However, as shown in FIG. 4, the substrate fixture 422 provided in the substrate transfer section 300 was brought into contact with the extraction electrode section 122, It is also possible to remove static electricity by connecting to ground. In addition, as shown in FIG. 5, a static elimination blow device 500 is provided in the sand blast nozzle 206, and the static elimination can also be performed by blowing ion air to the back panel 20 immediately after the sand blast processing. As an example of the static elimination blow device, an air / self-jet type ionizer (IMP Co., Ltd.) that eliminates static electricity by injecting ion air
REX). When this apparatus is used for sandblasting, it is possible to remove electricity from the panel surface by blowing ion air onto the panel surface immediately after sandblasting.
【0024】さらに、上記では、交流面放電型PDPを
一例として製造方法及び隔壁製造装置の説明を行った
が、電極が配設された基板に隔壁を形成するような製造
過程を有するガス放電パネルであれば、本発明の製造方
法及び隔壁製造装置を用いることが可能である。Furthermore, in the above description, the manufacturing method and the partition wall manufacturing apparatus have been described by taking an AC surface discharge type PDP as an example, but a gas discharge panel having a manufacturing process of forming a partition wall on a substrate provided with electrodes is described. If so, it is possible to use the manufacturing method and the partition wall manufacturing apparatus of the present invention.
【0025】[0025]
【発明の効果】以上のように、本発明のガス放電パネル
の製造方法によれば、隔壁形成工程において、背面基板
上に配設された電極に、アースされた導電性材料を密着
配置することにより、サンドブラスト加工時に前記電極
が帯電することを防止することが出来る。これにより、
サンドブラスト加工により隔壁の形成をおこなっても、
落雷現象による電極の破損を防止することが可能とな
る。As described above, according to the gas discharge panel manufacturing method of the present invention, in the partition wall forming step, the grounded conductive material is closely attached to the electrode provided on the rear substrate. Thereby, it is possible to prevent the electrodes from being charged during sandblasting. This allows
Even if the partition is formed by sandblasting,
It is possible to prevent the electrode from being damaged due to the lightning strike.
【0026】また、本発明の隔壁製造装置を用いて隔壁
の形成を行うことにより、引出し電極部に導電性材料を
形成して除電を行う場合に比べて、サンドブラスト加工
の際の電極の帯電を防止することが可能となる。Further, by forming the partition walls using the partition wall manufacturing apparatus of the present invention, the charge of the electrodes during the sandblasting process is reduced as compared with the case where a conductive material is formed on the extraction electrode portion and the charge is removed. This can be prevented.
【図1】 本実施の形態にかかるプラズマディスプレイ
パネルの斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a plasma display panel according to an embodiment.
【図2】 本実施の形態1にかかる隔壁形成工程を示す
概略図である。FIG. 2 is a schematic view showing a partition forming step according to the first embodiment.
【図3】 本実施の形態2にかかる除電用ブラシを備え
た隔壁製造装置を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a partition manufacturing apparatus including a charge removing brush according to a second embodiment.
【図4】 基板固定金具を備えた隔壁製造装置を示す図
である。FIG. 4 is a view showing a partition manufacturing apparatus provided with a substrate fixing bracket.
【図5】 除電用ブロー装置を備えた隔壁製造装置を示
す図である。FIG. 5 is a view showing a partition manufacturing apparatus provided with a blowing device for static elimination.
10 前面パネル 20 背面パネル 21 背面ガラス基板 24 隔壁 122 引出し電極部 202 隔壁材料層 203 ドライフィルムレジスト(DFR) 206 ブラストノズル 207 研磨剤 222 導電性テープ 300 基板搬送部 322 除電用ブラシ 422 基板固定金具 500 除電用ブロー装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Front panel 20 Back panel 21 Back glass substrate 24 Partition 122 Leader electrode 202 Partition material layer 203 Dry film resist (DFR) 206 Blast nozzle 207 Abrasive 222 Conductive tape 300 Substrate conveying part 322 Static removal brush 422 Substrate fixing bracket 500 Blow device for static elimination
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 茂夫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 植村 貞夫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 田井 伸幸 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 大谷 和夫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 高橋 一夫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 5C027 AA09 5C040 FA01 FA04 GB06 GF19 JA17 JA23 LA17 MA23 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Shigeo Suzuki 1006 Kazuma Kadoma, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 72) Inventor Nobuyuki Tai 1006 Kadoma, Kazuma, Osaka Prefecture Inside Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 1006 Kadoma, Kadoma City Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. F-term (reference) 5C027 AA09 5C040 FA01 FA04 GB06 GF19 JA17 JA23 LA17 MA23
Claims (8)
ともに前記第1電極を覆うように隔壁材料層が形成され
た第1基板に、サンドブラスト加工を施して隔壁を形成
する隔壁形成工程を備えるガス放電パネルの製造方法で
あって、 前記隔壁形成工程では、前記第1電極をアースした状態
でサンドブラスト加工を行うことを特徴とするガス放電
パネルの製造方法。1. A partition wall, wherein a first electrode is provided on one of the main surfaces and a partition wall material layer is formed so as to cover the first electrode. A method of manufacturing a gas discharge panel, comprising: performing a sandblasting process in a state where the first electrode is grounded in the partition wall forming step.
において、前記第1電極の端部には、隔壁材料層が形成
されない引出し電極部が設置されており、サンドブラス
ト加工時には、前記引出し電極部をサンドブラスト加工
の領域外に設定するとともに、アースされたテープ状の
導電性材料を前記引出し電極部に接触させることによっ
て前記第1電極のアースを行うことを特徴とする請求項
1記載のガス放電パネルの製造方法。2. In the first substrate used in the partition wall forming step, an extraction electrode section on which a partition material layer is not formed is provided at an end of the first electrode, and the extraction electrode section during sandblasting. 2. The gas discharge according to claim 1, wherein the first electrode is grounded by setting a grounded tape-shaped conductive material to the extraction electrode portion, while setting the outside of the region of sandblasting. 3. Panel manufacturing method.
性材料を前記引出し電極部に塗布するとともに、前記ペ
ースト状の導電性材料をアースすることによって、前記
第1電極のアースを行うことを特徴とする請求項1記載
のガス放電パネルの製造方法。3. The partition wall forming step includes applying a paste-like conductive material to the extraction electrode portion and grounding the first electrode by grounding the paste-like conductive material. The method for manufacturing a gas discharge panel according to claim 1, wherein:
ともに前記第1電極を覆うように隔壁材料層が形成され
た第1基板に、サンドブラスト加工を施すことにより隔
壁を形成する隔壁形成装置であって、 前記第1基板を保持し搬送する基板搬送機構と、 前記隔壁材料に研磨剤を射出する研磨剤射出機構と、 前記研磨剤射出機構が前記隔壁材料層に研磨剤を射出す
る領域及びその近傍において、前記第1電極に帯電する
電荷を除去する除電機構とを備えることを特徴とする隔
壁製造装置。4. A partition in which a first electrode is disposed on one of the main surfaces and a partition is formed by subjecting a first substrate having a partition material layer formed to cover the first electrode to sandblasting. A forming apparatus, comprising: a substrate transport mechanism that holds and transports the first substrate; an abrasive injection mechanism that injects an abrasive into the partition material; and an abrasive injection mechanism that injects an abrasive into the partition material layer. And a charge elimination mechanism that removes electric charges charged to the first electrode in a region where the first electrode is formed and in the vicinity thereof.
ラシであって、前記引出し電極部に導電性を有して接触
するように配設されていることを特徴とする請求項4記
載の隔壁製造装置。5. The static elimination mechanism according to claim 4, wherein the static elimination mechanism is a grounded static elimination brush, and is disposed so as to be conductively in contact with the extraction electrode portion. Partition wall manufacturing equipment.
金具であって、前記引出し電極部と導電性を有して接触
するように前記基板搬送機構に配設されていることを特
徴とする請求項4に記載の隔壁製造装置。6. The static elimination mechanism is a grounded metal fixture, and is disposed on the substrate transport mechanism so as to be conductively in contact with the extraction electrode portion. The partition manufacturing apparatus according to claim 4.
1電極の少なくとも2箇所に吹き付ける除電用ブロー装
置であることを特徴とする請求項4記載の隔壁製造装
置。7. The bulkhead manufacturing apparatus according to claim 4, wherein the static elimination mechanism is a static elimination blow device that blows a static elimination blow to at least two places of the first electrode.
ともに前記第1電極を覆うように隔壁材料層が形成され
た第1基板に、サンドブラスト加工を施して隔壁を形成
する隔壁形成工程を備えるガス放電パネルの製造方法で
あって、 前記隔壁形成工程では、前記第1電極に帯電する電荷を
前記除電機構を用いて除去しながらサンドブラスト加工
を行うことを特徴とするガス放電パネルの製造方法。8. A partition wall for forming a partition wall by performing sandblasting on a first substrate on which a first electrode is disposed on one of the main surfaces and a partition wall material layer is formed so as to cover the first electrode. A method of manufacturing a gas discharge panel, comprising: performing a sandblasting process while removing a charge charged on the first electrode using the charge eliminating mechanism in the partition wall forming step. Production method.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001037219A JP2002245930A (en) | 2001-02-14 | 2001-02-14 | Method of manufacturing gas discharge panel and barrier rib manufacturing equipment used for the manufacturing method |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003170603A (en) * | 2001-09-26 | 2003-06-17 | Fuji Photo Film Co Ltd | Method and apparatus for manufacturing liquid drop jet head |
JP2007026960A (en) * | 2005-07-19 | 2007-02-01 | Pioneer Electronic Corp | Manufacturing method of plasma display panel |
JP2007250283A (en) * | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Pioneer Electronic Corp | Method of manufacturing plasma display panel, and plasma display panel |
-
2001
- 2001-02-14 JP JP2001037219A patent/JP2002245930A/en active Pending
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