JP2007245086A - 液滴吐出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】メインタンク6、サブタンク7、ヘッド部4、メインタンク6の塗布液をヘッド部4に供給する塗布液供給管20、ヘッド部4から出た塗布液をサブタンク7に戻す塗布液回収管22、サブタンク7の塗布液をメインタンク6に送るタンク間移送管13、タンク間移送管13の途中に設けられたタンク間移送用ポンプ14、メインタンク内を減圧するメインタンク用減圧手段9,11、サブタンク内を減圧するサブタンク用減圧手段16,17を備え、タンク6,7がヘッド部4より高い位置に設置され、サブタンク7の内圧がメインタンク6の内圧よりも低く保たれていることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
塗布液を収容するサブタンクと、
前記塗布液を液滴として吐出するヘッド部と、
前記メインタンクにある塗布液を前記ヘッド部に供給する塗布液供給管と、
前記ヘッド部から出た塗布液を前記サブタンクに戻す塗布液回収管と、
前記サブタンクにある塗布液を前記メインタンクに送るタンク間移送管と、
前記タンク間移送管の途中に設けられたタンク間移送用ポンプと、
前記メインタンク内を所定の圧力に減圧するメインタンク用減圧手段と、
前記サブタンク内を所定の圧力に減圧するサブタンク用減圧手段とを備え、
前記メインタンクと前記サブタンクが前記ヘッド部よりも高い位置に設置されて、
前記メインタンク用減圧手段と前記サブタンク用減圧手段により前記メインタンクと前記サブタンクがそれぞれ個別に減圧状態に維持されて、前記サブタンクの内圧が前記メインタンクの内圧よりも低く保たれていることを特徴とするものである。
固体粒子を混合分散した塗布液を収容するサブタンクと、
前記塗布液を液滴として吐出するヘッド部と、
前記メインタンクにある塗布液を前記ヘッド部に供給する塗布液供給管と、
前記ヘッド部から出た塗布液を前記サブタンクに戻す塗布液回収管と、
前記サブタンクにある塗布液を前記メインタンクに送るタンク間移送管と、
前記タンク間移送管の途中に設けられたタンク間移送用ポンプと、
前記メインタンク内を所定の圧力に減圧するメインタンク用減圧手段と、
前記サブタンク内を所定の圧力に減圧するサブタンク用減圧手段とを備え、
前記メインタンクと前記サブタンクが前記ヘッド部よりも高い位置に設置されて、
前記メインタンク用減圧手段と前記サブタンク用減圧手段により前記メインタンクと前記サブタンクがそれぞれ個別に減圧状態に維持されて、前記サブタンクの内圧が前記メインタンクの内圧よりも低く保たれており、
前記固体粒子を混合分散した塗布液を液滴として前記ヘッド部から被着体上に吐出することを特徴とするものである。
第1カートリッジ5aを液滴吐出装置に装着した状態では、塗布液供給管20、各ヘッド24a〜24d、ヘッド接続管39ならびに塗布液回収管22内などには空気が存在しているから、この空気を排除するためまず空気を洗浄液30と置換する。
前述のようにカートリッジ部3はヘッド部4よりも高い位置に設置しており、両者の間に水頭差が生じている。本発明はこの水頭差を利用して、塗布液26を記録ヘッド4から吐出しているときも常に塗布液26を前記循環経路を通して循環させて、塗布液成分の沈降、本実施形態ではスペーサ粒子の沈降を抑制するものである。
次に第1カートリッジ5aから第2カートリッジ5bへの切替操作について説明する。第1カートリッジ5a側におけるメインタンク6の液面が所定の位置よりも下がったことを液面センサ25で検出すると、第1カートリッジ5a側の塗布液26が消費したと判断する。
これらの図に示すように、塗布ステージ51上には2本平行に延びたX軸リニアレール52が敷設、固定され、その上に2つのX軸リニアガイド53が取り付けられている。X軸リニアガイド53の上にステージベース54を介してテーブル55が固定されている。
Claims (8)
- 塗布液を収容するメインタンクと、
塗布液を収容するサブタンクと、
前記塗布液を液滴として吐出するヘッド部と、
前記メインタンクにある塗布液を前記ヘッド部に供給する塗布液供給管と、
前記ヘッド部から出た塗布液を前記サブタンクに戻す塗布液回収管と、
前記サブタンクにある塗布液を前記メインタンクに送るタンク間移送管と、
前記タンク間移送管の途中に設けられたタンク間移送用ポンプと、
前記メインタンク内を所定の圧力に減圧するメインタンク用減圧手段と、
前記サブタンク内を所定の圧力に減圧するサブタンク用減圧手段とを備え、
前記メインタンクと前記サブタンクが前記ヘッド部よりも高い位置に設置されて、
前記メインタンク用減圧手段と前記サブタンク用減圧手段により前記メインタンクと前記サブタンクがそれぞれ個別に減圧状態に維持されて、前記サブタンクの内圧が前記メインタンクの内圧よりも低く保たれていることを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項1記載の液滴吐出装置において、前記メインタンクと前記サブタンクが前記塗布液供給管、塗布液回収管、タンク間移送管、メインタンク用減圧手段ならびにサブタンク用減圧手段に対して交換可能になっていることを特徴とする液滴吐出装置。
- 請求項2記載の液滴吐出装置において、前記メインタンクと前記サブタンクを一組にしたカートリッジが複数設けられて、それら複数のカートリッジが前記塗布液供給管、塗布液回収管、タンク間移送管、メインタンク用減圧手段ならびにサブタンク用減圧手段に対して交換可能になっていることを特徴とする液滴吐出装置。
- 請求項1記載の液滴吐出装置において、前記ヘッド部に複数のヘッドが設けられて、それら複数のヘッドがヘッド接続管によって直列に接続されていることを特徴とする液滴吐出装置。
- 請求項1記載の液滴吐出装置において、前記タンク間移送用ポンプの駆動により前記サブタンクの液面が前記メインタンクの液面よりも常に低く維持されていることを特徴とする液滴吐出装置。
- 請求項1ないし5のいずれか1項記載の液滴吐出装置において、前記塗布液が固体粒子を混合分散した塗布液であることを特徴とする液滴吐出装置。
- 固体粒子を混合分散した塗布液を収容するメインタンクと、
固体粒子を混合分散した塗布液を収容するサブタンクと、
前記塗布液を液滴として吐出するヘッド部と、
前記メインタンクにある塗布液を前記ヘッド部に供給する塗布液供給管と、
前記ヘッド部から出た塗布液を前記サブタンクに戻す塗布液回収管と、
前記サブタンクにある塗布液を前記メインタンクに送るタンク間移送管と、
前記タンク間移送管の途中に設けられたタンク間移送用ポンプと、
前記メインタンク内を所定の圧力に減圧するメインタンク用減圧手段と、
前記サブタンク内を所定の圧力に減圧するサブタンク用減圧手段とを備え、
前記メインタンクと前記サブタンクが前記ヘッド部よりも高い位置に設置されて、
前記メインタンク用減圧手段と前記サブタンク用減圧手段により前記メインタンクと前記サブタンクがそれぞれ個別に減圧状態に維持されて、前記サブタンクの内圧が前記メインタンクの内圧よりも低く保たれており、
前記固体粒子を混合分散した塗布液を液滴として前記ヘッド部から被着体上に吐出することを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項7記載の液滴吐出装置において、前記被着体が液晶用基板であって、前記固体粒子が2枚の液晶用基板の隙間を保持するスペーサであることを特徴とする液滴吐出装置。
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