JP2007243676A - 半導体デバイスおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】小さな表面積であっても長い通信距離を確保することができるアンテナ回路を備えた半導体デバイスおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】導電層6は、帯状の導電材を絶縁樹脂層5の一面5aに沿ってスパイラル形状に巻回させたアンテナ回路7を構成している。このような構成によって、電極3に電気的に接続されたアンテナ回路7の一端7aからアンテナ回路7の他端7bに至る2アンテナPが形成される。こうしたアンテナPの配線長さ(アンテナ回路7の一端7aから他端7bまでの長さ)は、アンテナPの通信実効波長に対して、等倍、1/2倍または1/4倍になるように設定される。
【選択図】図7
【解決手段】導電層6は、帯状の導電材を絶縁樹脂層5の一面5aに沿ってスパイラル形状に巻回させたアンテナ回路7を構成している。このような構成によって、電極3に電気的に接続されたアンテナ回路7の一端7aからアンテナ回路7の他端7bに至る2アンテナPが形成される。こうしたアンテナPの配線長さ(アンテナ回路7の一端7aから他端7bまでの長さ)は、アンテナPの通信実効波長に対して、等倍、1/2倍または1/4倍になるように設定される。
【選択図】図7
Description
本発明は、半導体基板の上にアンテナ回路を形成した半導体デバイスおよびその製造方法に関する。
近年、ICチップにアンテナ回路を備え、このアンテナ回路を介して各種信号を無線で送受信する半導体デバイスが提案されている。このような、非接触で通信が可能な半導体デバイスとしては、例えば、半導体基板の絶縁層内に渦巻状のアンテナコイルが形成されたものが知られている。また、さらに小型、ローコスト化したものとして、半導体プロセスによってICチップ上にアンテナコイルを形成したものも知られている(特許文献1)。
特許第3347138号公報
しかしながら、従来の半導体デバイスによって非接触で通信を行う場合、通信可能な距離がアンテナ回路の開口面積に依存するため、極めて小さな表面積しか有しないICチップなどにアンテナ回路を形成しても、開口面積が大きく取れないためにその通信距離は限られ、例えば、1〜2mm程度といった接触状態に近い送受信が限界であった。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、小さな表面積であっても長い通信距離を確保することができるアンテナ回路を備えた半導体デバイスおよびその製造方法を提供することを目的とする。
本発明の請求項1に係る半導体デバイスは、少なくとも一面に電極が形成された半導体基板と、前記半導体基板の一面を覆うように順に絶縁樹脂層、導電層とを備えた半導体デバイスであって、
前記導電層はアンテナ回路を構成し、前記アンテナ回路の一端から他端までの長さであるアンテナの配線長さは、前記アンテナの通信実効波長に対して等倍、1/2倍、または1/4倍に設定したことを特徴とする。
本発明の請求項2に係る半導体デバイスは、請求項1において、前記導電層は前記絶縁樹脂層を介して複数積層され、それぞれの前記導電層は互いに電気的に接続されていることを特徴とする
本発明の請求項3に係る半導体デバイスは、請求項1または2において、前記アンテナはスパイラル状に形成されていることを特徴とする。
本発明の請求項4に係る半導体デバイスの製造方法は、少なくとも一面に電極が形成された半導体基板と、前記半導体基板の一面を覆うように順に第1の絶縁樹脂層、第1の導電層、第2の絶縁樹脂層、および第2の導電層とを備え、前記第1の導電層はスパイラル形状の第1のアンテナ回路を、前記第2の導電層はスパイラル形状の第2のアンテナ回路をそれぞれ構成し、前記第1のアンテナ回路の一端が前記第2のアンテナ回路の一端に、前記第1のアンテナ回路の他端が前記第1の電極に、電気的に接続された半導体デバイスの製造方法であって、前記第1の導電層の上に絶縁材を積層する工程と、前記絶縁材の一面を平坦化して第2の絶縁樹脂層を形成する工程とを少なくとも備えたことを特徴とする。
前記導電層はアンテナ回路を構成し、前記アンテナ回路の一端から他端までの長さであるアンテナの配線長さは、前記アンテナの通信実効波長に対して等倍、1/2倍、または1/4倍に設定したことを特徴とする。
本発明の請求項2に係る半導体デバイスは、請求項1において、前記導電層は前記絶縁樹脂層を介して複数積層され、それぞれの前記導電層は互いに電気的に接続されていることを特徴とする
本発明の請求項3に係る半導体デバイスは、請求項1または2において、前記アンテナはスパイラル状に形成されていることを特徴とする。
本発明の請求項4に係る半導体デバイスの製造方法は、少なくとも一面に電極が形成された半導体基板と、前記半導体基板の一面を覆うように順に第1の絶縁樹脂層、第1の導電層、第2の絶縁樹脂層、および第2の導電層とを備え、前記第1の導電層はスパイラル形状の第1のアンテナ回路を、前記第2の導電層はスパイラル形状の第2のアンテナ回路をそれぞれ構成し、前記第1のアンテナ回路の一端が前記第2のアンテナ回路の一端に、前記第1のアンテナ回路の他端が前記第1の電極に、電気的に接続された半導体デバイスの製造方法であって、前記第1の導電層の上に絶縁材を積層する工程と、前記絶縁材の一面を平坦化して第2の絶縁樹脂層を形成する工程とを少なくとも備えたことを特徴とする。
本発明の半導体デバイスによれば、アンテナ回路の一端から他端までの長さであるアンテナの配線長さを、アンテナの通信実効波長に対して等倍、1/2倍、または1/4倍に設定した電波型アンテナであるので、小さな表面積であってもアンテナの通信距離を長くとることができる。これにより、信号の送受信にあたって、半導体デバイスのアンテナと送受信機とを接触させることが困難な環境においても適用可能となり、半導体デバイスの利用範囲を広げることができる。
また、本発明の半導体デバイスの製造方法によれば、アンテナの配線長さを、アンテナの通信実効波長に対して等倍、1/2倍、または1/4倍に設定した半導体デバイスを容易に製造することができる。
また、本発明の半導体デバイスの製造方法によれば、アンテナの配線長さを、アンテナの通信実効波長に対して等倍、1/2倍、または1/4倍に設定した半導体デバイスを容易に製造することができる。
以下の実施形態では、本発明に係る半導体デバイスを詳細に説明するが、ここでは、該半導体デバイスを構成するアンテナ回路が2層構造からなり、各層のアンテナ回路がスパイラル状になる事例を取り上げて具体的に述べる。
図1は、本発明の半導体デバイスの一例を示す分解斜視図であり、図2は、図1に示す半導体デバイスの断面図である。本発明の半導体デバイス(RF−IC)10においては、集積回路(図示せず)が形成された半導体基板11の表面に、集積回路の第1の電極12a,第2の電極12bおよびパッシベーション膜(絶縁膜)13が形成されている。
図1は、本発明の半導体デバイスの一例を示す分解斜視図であり、図2は、図1に示す半導体デバイスの断面図である。本発明の半導体デバイス(RF−IC)10においては、集積回路(図示せず)が形成された半導体基板11の表面に、集積回路の第1の電極12a,第2の電極12bおよびパッシベーション膜(絶縁膜)13が形成されている。
さらに、この半導体デバイス10は、半導体基板11のパッシベーション膜(絶縁膜)13上に順に配された第1の絶縁樹脂層14と、第1の導電層15と、第2の絶縁樹脂層16と、第2の導電層17とから概略構成されている。
半導体基板11は、シリコンウェハ等の半導体ウェハであればよく、半導体ウェハをチップ寸法に切断(ダイシング)した半導体チップであってもよい。半導体基板11として半導体チップを用いる場合、まず、半導体ウェハの上に、各種半導体素子やIC、誘導素子等を複数形成した後、チップ寸法に切断することで複数の半導体チップを得ることができる。
半導体基板11の一面11a上には、第1の電極12a,第2の電極12bとしてAlパッドを設け、さらにその上にSiNないしSiO2 等のパッシベーション膜13を形成してなるものである。パッシベーション膜13には、第1の電極12aおよび第2の電極12bと整合する位置に開口18が設けられており、この開口18を通して第1の電極12aおよび第2の電極12bが露出されている。パッシベーション膜13は、例えばCVD法などによって形成されればよい。パッシベーション膜13は、膜厚が例えば0.1〜1μm程度に形成されればよい。
第1の絶縁樹脂層14は、第1の電極12aと整合する位置に形成された開口部14aと、第2の電極12bと整合する位置に形成された開口部14bとを有する。第1の絶縁樹脂層14は、例えばポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂等から構成されれば良く、特に、感光性樹脂からなることが好ましい。これにより、絶縁樹脂層を容易に形成することができる。第1の絶縁樹脂層14は例えば1〜20μm程度の厚みに形成されればよい。
第1の絶縁樹脂層14は、例えば回転塗布法、印刷法、ラミネート法などにより形成す
ることができる。また開口部14a,14bは、例えばフォトリソグラフィ技術を利用したパターニングなどにより形成することができる。
ることができる。また開口部14a,14bは、例えばフォトリソグラフィ技術を利用したパターニングなどにより形成することができる。
第1の導電層15は、帯状の導電材を第1の絶縁樹脂層14の一面14cに沿ってスパイラル形状に巻回させた第1のアンテナ回路21を構成している。第1のアンテナ回路21は、例えば反時計回り方向Lに巻回されていればよい。この第1のアンテナ回路21を成す第1の導電層15は、例えばCu等が用いられ、厚みが例えば1〜20μm程度に形成されればよい。
こうした第1の導電層15は、メタル膜をスパッタリングなどによって全面に成膜した後、フォトリソグラフィ技術を利用したパターニングなどにより形成することができる。また、シード層(例えばCu,Cr,Ti,Niなど)をスパッタリングなどによって全面に成膜した後、フォトリソグラフィ技術によって、第1のアンテナ回路21を構成する第1の導電層15に相当する部分以外の領域にレジストを形成し、電解メッキによって形成すればよい。
第1のアンテナ回路21の一端21aは、後述する第2のアンテナ回路22の一端22aと電気的に接続される。また第1のアンテナ回路21の他端21bは、第1の絶縁樹脂層14の開口部14aを介して第1の電極12aに電気的に接続される。
第2の絶縁樹脂層16は、第2の電極12bと整合する位置に形成された開口部16aと、第1のアンテナ回路21の一端21aと第2のアンテナ回路22の一端22aに整合する位置に形成された開口部16bとを有する。第2の絶縁樹脂層16は、例えばポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂等から構成されれば良く、特に、感光性樹脂からなることが好ましい。これにより、絶縁樹脂層を容易に形成することができる。
第2の絶縁樹脂層16は、例示したような絶縁材を第1の導電層15を覆うように積層し、表面を平坦化して形成した平坦化面16cを有する。こうした第2の絶縁樹脂層16の平坦化後の厚みは、例えば1〜20μm程度になるように形成されればよい。
第2の絶縁樹脂層16は、例えば回転塗布法、印刷法、ラミネート法などにより形成す
ることができる。また開口部16aは、例えばフォトリソグラフィ技術を利用したパターニングなどにより形成することができる。
ることができる。また開口部16aは、例えばフォトリソグラフィ技術を利用したパターニングなどにより形成することができる。
第2の導電層17は、帯状の導電材を第2の絶縁樹脂層16の平坦化面16cに沿ってスパイラル形状に巻回させた第2のアンテナ回路22を構成している。第2のアンテナ回路22は、例えば時計回り方向Rに巻回されていればよい。この第1のアンテナ回路22を成す第2の導電層17は、例えばCu等が用いられ、厚みが例えば1〜20μm程度に形成されればよい。
こうした第2の導電層17は、メタル膜をスパッタリングなどによって全面に成膜した後、フォトリソグラフィ技術を利用したパターニングなどにより形成することができる。また、シード層(例えばCu,Cr,Ti,Niなど)をスパッタリングなどによって全面に成膜した後、フォトリソグラフィ技術によって、第2のアンテナ回路22を構成する第2の導電層17に相当する部分以外の領域にレジストを形成し、電解メッキによって形成すればよい。
第2のアンテナ回路22の一端22aは、第2の絶縁樹脂層16の開口部16aを介して、下層に形成された第1のアンテナ回路21の一端21aと電気的に接続される。また第2のアンテナ回路22の他端22bは、第2の絶縁樹脂層16の開口部16aおよび第1の絶縁樹脂層14の開口部14bとを介して第2の電極12bに電気的に接続される。
このような構成によって、第1のアンテナ回路21の他端21bから、第1のアンテナ回路21の一端21aと第2のアンテナ回路22の一端22aを介して、第2のアンテナ回路22の他端22bに至る2層構造のアンテナPが形成される。こうしたアンテナPの配線長さ(第1のアンテナ回路21の他端21bから第2のアンテナ回路22の他端22bまでの長さ)は、アンテナPの通信実効波長に対して、等倍、1/2倍または1/4倍になるように設定される。
以上のような構成の半導体デバイス10によって、アンテナを多層に重ねたアンテナ回路から構成し、アンテナPの通信実効波長に対して、等倍、1/2倍または1/4倍になるようにアンテナPの配線長さを設定することで電波型のアンテナの動作により、通信距離を長くとることができるので、信号の送受信にあたって接触させることが困難な環境などにおいても適用可能となり、利用範囲を広げることに役立つ。
上述したような第1のアンテナ回路21と第2のアンテナ回路22とを備えた半導体デバイス10の受電能力を図3に示す。測定条件は、信号発生器によって生成した出力300mW、周波数2.45GHzの信号をパッチアンテナから送信し、第1のアンテナ回路21と第2のアンテナ回路22からなるアンテナPによって受電した電力を整流後、オシロスコープによって測定した。図3は、周波数2.45GHz時の受電能力と通信距離との関係を示したグラフである。図3に示す測定結果によれば、最大受電能力は183.2μW、受電能力が10μW以上の通信距離は約400mmに達することが確認された。
なお、上述した実施形態では、第1のアンテナ回路21を反時計回り方向Lに巻回させ、かつ第2のアンテナ回路22を時計回り方向Rに巻回させて、第1のアンテナ回路21と第2のアンテナ回路22の巻回方向を互いに逆方向にしているが、図4に示すように、第1のアンテナ回路31と、これに重ねて形成される第2のアンテナ回路32とを、両方とも反時計回り方向Lに巻回させるなど、同じ方向に巻回させて形成してもよい。
また、上述した実施形態では、アンテナ回路を2層に形成した事例を示したが、もちろんこれに限定されるものではなく、アンテナ回路を1層に形成したり、あるいはアンテナ回路を3層以上にわたって形成し、互いに電気的に接続して1つのアンテナとしても良い。また、上述した実施形態では、アンテナ回路をスパイラル状に形成しているが、もちろんこれに限定されるものではなく、アンテナ回路をソレノイドコイル状、メアンダ状などにするなど、アンテナとして機能する形状であれば、どのような形状に形成しても良い。なお、本実施形態においては、アンテナの両端が半導体デバイスに接続される例を示したが、アンテナの一端のみが半導体デバイスに接続される構成であっても良い。
図7は、本発明に係る半導体デバイスの他の一例を示す分解斜視図である。本発明の半導体デバイス(RF−IC)1においては、集積回路(図示せず)が形成された半導体基板2の表面に、集積回路の電極3およびパッシベーション膜(絶縁膜)4が形成されている。さらに、この半導体デバイス1は、半導体基板2のパッシベーション膜(絶縁膜)4上に順に配された絶縁樹脂層5と導電層6とから概略構成されている。
導電層6は、帯状の導電材を絶縁樹脂層5の一面5aに沿ってスパイラル形状に巻回させたアンテナ回路7を構成している。このような構成によって、電極3に電気的に接続されたアンテナ回路7の一端7aからアンテナ回路7の他端7bに至る2アンテナPが形成される。こうしたアンテナPの配線長さ(アンテナ回路7の一端7aから他端7bまでの長さ)は、アンテナPの通信実効波長に対して、等倍、1/2倍または1/4倍になるように設定される。
以上のような構成の半導体デバイス1によって、アンテナPの通信実効波長に対して、等倍、1/2倍または1/4倍になるようにアンテナPの配線長さを設定することで、電波型アンテナとして動作し、通信距離を長くとることができ、信号の送受信にあたって接触させることが困難な環境などにおいても適用可能となり、利用範囲を広げることに役立つ。
次に、本発明の半導体デバイスの製造方法について詳細に説明するが、ここでは、該半導体デバイスを構成するアンテナ回路が2層構造からなり、各層のアンテナ回路がスパイラル状になる事例を取り上げて具体的に述べる。
まず、図5(a)に示すように、第1の電極12aと第2の電極12bが形成され、一面11a全体にパッシベーション膜13が形成された半導体基板11を用意する。第1の電極12aと第2の電極12bはAlなどから形成されていればよい。また、パッシベーション膜13はSiN,SiO2 などを用いて、CVD法などで膜厚0.1〜1μm程度に形成すればよい。そして、このパッシベーション膜13の第1の電極12aと第2の電極12bと整合する位置に開口18を形成し、第1の電極12aおよび第2の電極12bとを露出させる。
まず、図5(a)に示すように、第1の電極12aと第2の電極12bが形成され、一面11a全体にパッシベーション膜13が形成された半導体基板11を用意する。第1の電極12aと第2の電極12bはAlなどから形成されていればよい。また、パッシベーション膜13はSiN,SiO2 などを用いて、CVD法などで膜厚0.1〜1μm程度に形成すればよい。そして、このパッシベーション膜13の第1の電極12aと第2の電極12bと整合する位置に開口18を形成し、第1の電極12aおよび第2の電極12bとを露出させる。
次に、図5(b)に示すように、パッシベーション膜13の上層に第1の電極12aと第2の電極12bに整合する部分に開口部14a,14bとを有する第1の絶縁樹脂層14を形成する。第1の絶縁樹脂層14は、例えばポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂等を回転塗布法、印刷法、ラミネート法などによって膜厚が1〜20μm程度になるように形成されればよい。開口部14a,14bは、絶縁樹脂層14を構成するポリイミド樹脂などを全面に成膜した後、フォトリソグラフィ技術によってパターニングして形成すればよい。
次に、図5(c)に示すように、第1の絶縁樹脂層14の一面14cに沿ってスパイラル形状に巻回させた第1の導電層15を形成する。第1の導電層15は、例えばCu等を厚みが1〜10μm程度に形成すればよい。また、第1の導電層15のスパイラル部分の幅および形成ピッチは、厚みの2倍程度、例えば2〜20μm程度に形成すればよい。これにより、第1のアンテナ回路21が形成される。
こうした第1の導電層15は、メタル膜をスパッタリングなどによって全面に成膜した後、フォトリソグラフィ技術を利用したパターニングなどにより形成すればよく、また、シード層(例えばCu,Cr,Ti,Niなど)をスパッタリングなどによって全面に成膜した後、フォトリソグラフィ技術によって、第1のアンテナ回路21を構成する第1の導電層15に相当する部分以外の領域にレジストを形成し、電解メッキによって形成してもよい。
次に、図6(a)に示すように、第1の導電層15を覆うように絶縁材35を形成する。絶縁材35は、例えばポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂等から構成されれば良い。スパイラル状に形成された第1の導電層15の上に絶縁材35を形成すると、第1の導電層15の形成パターンに倣って絶縁材35の表面に凹凸36が生じる。この凹凸36が存在するままでは、次工程でこの絶縁材35の上に、第2のアンテナ回路22を構成する第2の導電層17が形成できない。このため、図6(b)に示すように、絶縁材35の表面を平坦化し、凹凸36を除去し、平坦化面16cを有する第2の絶縁樹脂層16を形成する。第2の絶縁樹脂層16の平坦化後の厚みは、例えば1〜20μm程度になるように形成されればよい。こうした第2の絶縁樹脂層16の平坦化は、例えば、CMP装置による表面研磨などによって行われればよい。
また、第2の絶縁樹脂層16には、第2の電極12bと整合する位置に開口部16aを、第1のアンテナ回路21の一端21aと第2のアンテナ回路22の一端22aに整合する位置に開口部16bをそれぞれ形成する。こうした開口部16a,16bは、例えばフォトリソグラフィ技術を利用したパターニングなどにより形成すればよい。
次に、図6(c)に示すように、第2の絶縁樹脂層16の平坦化面16cに沿ってスパイラル形状に巻回させた第2の導電層17を形成する。第2の導電層17は、例えばCu等を厚みが1〜20μm程度に形成すればよい。また、第2の導電層17のスパイラル部分の幅および形成ピッチは、厚みの2倍程度、例えば2〜20μm程度に形成すればよい。これにより、第2のアンテナ回路22が形成される。
こうした第2の導電層17は、メタル膜をスパッタリングなどによって全面に成膜した後、フォトリソグラフィ技術を利用したパターニングなどにより形成すればよく、また、シード層(例えばCu,Cr,Ti,Niなど)をスパッタリングなどによって全面に成膜した後、フォトリソグラフィ技術によって、第2のアンテナ回路22を構成する第2の導電層17に相当する部分以外の領域にレジストを形成し、電解メッキによって形成してもよい。以上のような各工程を経て、本発明の半導体デバイス10を得ることができる。
なお、1層のアンテナ回路からなる半導体デバイスの製造では、図5(a)〜図5(c)に示す各工程を経て形成することができる。また、アンテナ回路を3層以上から構成する半導体デバイスの製造では、図5(a)〜図5(c)に示す各工程と、図6(a)〜図6(c)に示す各工程とを繰り返すことによって形成することができる。
1,10…半導体デバイス、2,11…半導体基板、5…絶縁樹脂層、6…導電層、7…アンテナ回路、14…第1の絶縁樹脂層、15…第1の導電層、16…第2の絶縁樹脂層、16a…平坦化面、17…第2の導電層、21…第1のアンテナ回路、22…第2のアンテナ回路。
Claims (4)
- 少なくとも一面に電極が形成された半導体基板と、前記半導体基板の一面を覆うように順に絶縁樹脂層、導電層とを備えた半導体デバイスであって、
前記導電層はアンテナ回路を構成し、前記アンテナ回路の一端から他端までの長さであるアンテナの配線長さは、前記アンテナの通信実効波長に対して等倍、1/2倍、または1/4倍に設定したことを特徴とする半導体デバイス。 - 前記導電層は前記絶縁樹脂層を介して複数積層され、それぞれの前記導電層は互いに電気的に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体デバイス。
- 前記アンテナはスパイラル状に形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体デバイス。
- 少なくとも一面に電極が形成された半導体基板と、前記半導体基板の一面を覆うように順に第1の絶縁樹脂層、第1の導電層、第2の絶縁樹脂層、および第2の導電層とを備え、
前記第1の導電層はスパイラル形状の第1のアンテナ回路を、前記第2の導電層はスパイラル形状の第2のアンテナ回路をそれぞれ構成し、
前記第1のアンテナ回路の一端が前記第2のアンテナ回路の一端に、前記第1のアンテナ回路の他端が前記第1の電極に、それぞれ電気的に接続された半導体デバイスの製造方法であって、
前記第1の導電層の上に絶縁材を積層する工程と、前記絶縁材の一面を平坦化して第2の絶縁樹脂層を形成する工程とを少なくとも備えたことを特徴とする半導体デバイスの製造方法。
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