JP2007234876A - レーザアニール装置のレーザ光のエネルギー決定方法、レーザアニール装置のレーザ光のエネルギー決定装置及びレーザアニール装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アモルファスシリコン膜にレーザ光を照射してポリシリコン膜を得るレーザアニール装置のレーザ光のエネルギー決定方法において、このポリシリコン膜の表面からの暗視野経路の散乱光をカラーカメラ7を用いて撮像し、このカラーカメラ7よりのカラー映像信号より青色成分信号の信号強度特性bを得、この信号強度特性bの第1及び第2の極大値間の極小値に対応するエネルギーの近傍のエネルギーをこのレーザ光の最適エネルギーとするようにしたものである。
【選択図】図5
Description
Claims (4)
- アモルファスシリコン膜にレーザ光を照射してポリシリコン膜を得るレーザアニール装置のレーザ光のエネルギー決定方法において、
前記ポリシリコン膜の表面からの暗視野経路の散乱光をカラーカメラを用いて撮像し、前記カラーカメラよりのカラー映像信号より青色成分信号の信号強度特性を得、前記信号強度特性の第1及び第2の極大値間の極小値に対応するエネルギーの近傍のエネルギーを前記レーザ光の最適エネルギーとするようにしたことを特徴とするレーザアニール装置のレーザ光のエネルギー決定方法。 - 請求項1記載のレーザアニール装置のレーザ光のエネルギー決定方法において、
前記青色成分信号の信号強度特性は、前記レーザアニール装置のレーザ光のエネルギー密度を順次所定量変えて複数個所に照射して複数のポリシリコン膜の測定パターンを形成し、前記複数の測定パターンの前記青色成分信号の信号強度より得るようにしたことを特徴とするレーザアニール装置のレーザ光のエネルギー決定方法。 - アモルファスシリコン膜にレーザ光を照射してポリシリコン膜を得るレーザアニール装置のレーザ光のエネルギー決定装置において、
前記ポリシリコン膜の表面からの暗視野経路の散乱光をカラーカメラを用いて撮像する撮像手段と、
前記カラーカメラよりのカラー映像信号より青色成分信号の信号強度特性を得る信号強度特性形成手段と、
前記信号強度特性の第1及び第2の極大値間の極小値に対応するエネルギーを最適エネルギーと決定する決定手段とを有することを特徴とするレーザアニール装置のレーザ光のエネルギー決定装置。 - アモルファスシリコン膜にレーザ光を照射してポリシリコン膜を得るレーザアニール装置において、
前記ポリシリコン膜の表面からの暗視野経路の散乱光をカラーカメラを用いて撮像し、前記カラーカメラよりのカラー映像信号より青色成分信号の信号強度特性を得、前記信号強度特性の第1及び第2の極大値間の極小値に対応するエネルギーの近傍のエネルギーを前記レーザ光の最適エネルギーとするようにしたことを特徴とするレーザアニール装置。
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