JP2007220999A - 半導体膜の形成方法および表示パネルの製造方法 - Google Patents
半導体膜の形成方法および表示パネルの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007220999A JP2007220999A JP2006041413A JP2006041413A JP2007220999A JP 2007220999 A JP2007220999 A JP 2007220999A JP 2006041413 A JP2006041413 A JP 2006041413A JP 2006041413 A JP2006041413 A JP 2006041413A JP 2007220999 A JP2007220999 A JP 2007220999A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- metal film
- insulating film
- forming
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Thin Film Transistor (AREA)
- Recrystallisation Techniques (AREA)
Abstract
【解決手段】下地基板101上に局所的に金属膜102を形成し、金属膜102を覆って下地基板101上に絶縁膜130を形成する。絶縁膜130は金属膜102上において250nm以上の厚さで形成する。絶縁膜130は、シリコン窒化膜131およびシリコン酸化膜132を積層して形成する。絶縁膜130上に金属膜102を覆ってアモルファスシリコン膜105aを形成する。アモルファスシリコン膜105aにエキシマレーザ光Lを照射してアニールし、ポリシリコン膜を形成する。このアニールによって、結晶粒径比、すなわち金属膜ありの部分の結晶粒径を金属膜なしの部分の結晶粒径で除算した値を0.8以上にする。
【選択図】図7
Description
Claims (9)
- 下地基板上に局所的に金属膜を形成する金属膜形成工程と、
前記金属膜を覆って前記下地基板上に絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程と、
前記金属膜を覆う前記絶縁膜上にアモルファスの半導体膜を形成する半導体膜形成工程と、
前記半導体膜にエキシマレーザ光を前記半導体膜から前記金属膜へ向かう方向で照射して前記半導体膜をアニールするアニール工程と、
を備え、
前記絶縁膜形成工程で前記絶縁膜を前記金属膜上に250nm以上の厚さで形成し、前記アニール工程によって前記半導体膜について下方に前記金属膜がある部分の結晶粒径の前記金属膜がない部分の結晶粒径に対する比である結晶粒径比を0.8以上にすることを特徴とする半導体膜の形成方法。 - 請求項1に記載の半導体膜の形成方法において、
前記絶縁膜形成工程で前記絶縁膜を前記金属膜上に300nm以上の厚さで形成し、前記アニール工程によって前記結晶粒径比を1にすることを特徴とする半導体膜の形成方法。 - 請求項1または請求項2に記載の半導体膜の形成方法において、
前記絶縁膜形成工程でシリコン窒化膜およびシリコン酸化膜を積層して前記絶縁膜を形成することを特徴とする半導体膜の形成方法。 - 請求項3に記載の半導体膜の形成方法において、
前記絶縁膜形成工程で、前記シリコン窒化膜を前記金属膜上に50nmの厚さで形成し、前記シリコン酸化膜を前記金属膜上に200nm以上の厚さで形成することを特徴とする半導体膜の形成方法。 - 請求項4に記載の半導体膜の形成方法において、
前記絶縁膜形成工程で前記シリコン酸化膜を前記金属膜上に250nm以上の厚さで形成することを特徴とする半導体膜の形成方法。 - 下地基板上に局所的に金属膜を形成する金属膜形成工程と、
前記金属膜を覆って前記下地基板上に絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程と、
前記金属膜を覆う前記絶縁膜上にアモルファスの半導体膜を形成する半導体膜形成工程と、
前記半導体膜にエキシマレーザ光を前記半導体膜から前記金属膜へ向かう方向で照射して前記半導体膜をアニールするアニール工程と、
前記金属膜上の前記半導体膜に表示TFTの少なくともチャネル領域を形成するチャネル領域形成工程と、
を備え、
前記絶縁膜形成工程で前記絶縁膜を前記金属膜上に250nm以上の厚さで形成し、前記アニール工程によって前記半導体膜について下方に前記金属膜がある部分の結晶粒径の前記金属膜がない部分の結晶粒径に対する比である結晶粒径比を0.8以上にすることを特徴とする表示パネルの製造方法。 - 請求項6に記載の表示パネルの製造方法において、
前記金属膜形成工程で前記下地基板に光透過性の基板を用い、前記金属膜形成工程によって前記表示TFT用の遮光膜として前記金属膜を形成することを特徴とする表示パネルの製造方法。 - 請求項7に記載の表示パネルの製造方法において、
前記絶縁膜形成工程で前記絶縁膜を前記金属膜上に500nm以下の厚さで形成することを特徴とする表示パネルの製造方法。 - 請求項6ないし請求項8のいずれか一つに記載の表示パネルの製造方法において、
前記金属膜形成工程によって前記表示TFTのボトムゲートとして前記金属膜を形成することを特徴とする表示パネルの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006041413A JP2007220999A (ja) | 2006-02-17 | 2006-02-17 | 半導体膜の形成方法および表示パネルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006041413A JP2007220999A (ja) | 2006-02-17 | 2006-02-17 | 半導体膜の形成方法および表示パネルの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007220999A true JP2007220999A (ja) | 2007-08-30 |
Family
ID=38497922
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006041413A Pending JP2007220999A (ja) | 2006-02-17 | 2006-02-17 | 半導体膜の形成方法および表示パネルの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007220999A (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001156295A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-06-08 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
JP2002299632A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-11 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置及びアクティブマトリクス型表示装置 |
JP2003297851A (ja) * | 2002-01-30 | 2003-10-17 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体表示装置及びその製造方法 |
JP2004302475A (ja) * | 2001-08-03 | 2004-10-28 | Nec Corp | 薄膜トランジスタ・アレイ基板およびアクティブマトリックス型液晶表示装置 |
-
2006
- 2006-02-17 JP JP2006041413A patent/JP2007220999A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001156295A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-06-08 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
JP2002299632A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-11 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置及びアクティブマトリクス型表示装置 |
JP2004302475A (ja) * | 2001-08-03 | 2004-10-28 | Nec Corp | 薄膜トランジスタ・アレイ基板およびアクティブマトリックス型液晶表示装置 |
JP2003297851A (ja) * | 2002-01-30 | 2003-10-17 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体表示装置及びその製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6603425B2 (ja) | アクティブマトリクス型表示装置、携帯電話機 | |
US6927809B2 (en) | Active matrix substrate and display device | |
US10453876B2 (en) | Method for manufacturing thin film transistor and display panel | |
US7804096B2 (en) | Semiconductor device comprising planarized light-shielding island films for thin-film transistors | |
US7787187B2 (en) | Laser irradiation apparatus, laser irradiation method, and method for manufacturing semiconductor device | |
JP2007133371A (ja) | 表示装置及びその作製方法 | |
TW200525843A (en) | Laser irradiation apparatus, laser irradiation method, and method for manufacturing crystalline semiconductor film | |
JP2003098549A (ja) | 半導体装置 | |
JP2003229578A (ja) | 半導体装置、表示装置およびその作製方法 | |
US20060145281A1 (en) | Semiconductor device, liquid crystal device, electronic apparatus, and method of manufacturing semiconductor device | |
JP2006332314A (ja) | 半導体装置、電気光学装置、電子デバイス、及び半導体装置の製造方法 | |
JP2009290168A (ja) | 薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタアレイ基板、及びそれらの製造方法、並びに表示装置 | |
JP3967259B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP2005322935A (ja) | 半導体装置およびその作製方法 | |
JP2007220999A (ja) | 半導体膜の形成方法および表示パネルの製造方法 | |
JP4256087B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP4531330B2 (ja) | レーザ光の照射方法 | |
JP2004193201A6 (ja) | レーザー照射方法 | |
JP2007149803A (ja) | アクティブマトリクス基板の製造方法、アクティブマトリクス基板、電気光学装置及び電子機器 | |
JP2004193201A (ja) | レーザー照射方法 | |
JP2008166573A (ja) | 表示装置の製造方法及び表示装置 | |
JP2007288122A (ja) | アクティブマトリクス基板の製造方法、アクティブマトリクス基板、電気光学装置及び電子機器 | |
JP2007220993A (ja) | 半導体膜の形成方法および表示パネルの製造方法 | |
JP2009224396A (ja) | 薄膜トランジスタ基板、およびその製造方法、並びに表示装置 | |
JP2008112807A (ja) | Tft基板の製造方法、及びこれを用いた表示装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090108 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Effective date: 20100526 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20100526 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20111216 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20111227 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120220 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20120330 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120529 |