JP2007220826A - 半導体レーザ素子の検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 被検査半導体レーザ素子の特性を測定し、その素子に所定の光出力PDを発光させ、その後、被検査素子の特性を再測定する。発光の前後における特性の変動度が大きな被検査素子を、寿命時間の短い不良品として選別する。
【選択図】 図3
Description
Claims (5)
- 半導体レーザ素子が劣化を起こす光出力と半導体レーザ素子の寿命時間との相関に基づいて、前記寿命時間の所定の値に対応する光出力を決定するステップと、
被検査半導体レーザ素子の特性を測定するステップと、
前記特性の測定の後、前記被検査半導体レーザ素子に前記決定された光出力を発光させるステップと、
前記決定された光出力の発光の後、前記被検査半導体レーザ素子の前記特性を再測定するステップと、
前記決定された光出力の発光の前後に測定された前記特性から、前記特性の変動度を求めるステップと、
前記変動度を所定の閾値と比較し、その比較の結果に応じて前記被検査半導体レーザ素子を選別するステップと、
を備える半導体レーザ素子の検査方法。 - 前記光出力を決定するステップは、
複数のサンプル半導体レーザ素子からなる第1及び第2の母集団を用意し、前記第1の母集団中の各サンプル半導体レーザ素子に同一の光出力を発光させ、その発光の開始から突然劣化が起こるまでに要する時間を前記寿命時間として測定し、この寿命時間の度数分布を求めると共に、前記第2の母集団中の各サンプル半導体レーザ素子について、当該サンプル半導体レーザ素子が劣化を起こす光出力を測定し、当該光出力の度数分布を求めるステップと、
前記寿命時間の度数分布と前記光出力の度数分布との相関を求めるステップと、
この相関に基づいて、前記寿命時間の所定の値に対応する前記光出力を決定するステップと、
を含んでいる、請求項1に記載の半導体レーザ素子の検査方法。 - 前記被検査半導体レーザ素子に前記決定された光出力を発光させるステップは、前記被検査半導体レーザ素子にパルス電流を供給して、前記決定された光出力を発光させる、請求項1または2に記載の半導体レーザ素子の検査方法。
- 前記パルス電流は1μsec以下のパルス幅を有している、請求項3に記載の半導体レーザ素子の検査方法。
- 前記特性は、前記被検査半導体レーザ素子の閾値電流、前記被検査半導体レーザ素子のスロープ効率、前記被検査半導体レーザ素子に所定の順方向電圧を印加したときに前記被検査半導体レーザ素子を流れる順方向電流、または前記被検査半導体レーザ素子に所定の逆方向電圧を印加したときに前記被検査半導体レーザ素子を流れる逆方向電流である、請求項1〜4のいずれかに記載の半導体レーザ素子の検査方法。
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