JP2007211270A - 成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空容器10は、被処理物14を搭載するための二つのキャリア11、各キャリア11に搭載されたマスク13、及び各キャリア11において各マスク13を支持するマスクホルダ12を収容しておくためのマスクストック室10cと、成膜材料Ma1を拡散させるための成膜室10bと、成膜室10b上に配置され、所定の搬送方向Aに延びており、その一端がマスクストック室10cに繋がっている搬送室10aとを有する。また、成膜装置1は、搬送室10a内に設けられ、キャリア11を搬送方向Aに搬送するための搬送機構3と、真空容器10内において被処理物14をマスク13、マスクホルダ12、及びキャリア11から分離して支持するための被処理物支持部2とを備える。
【選択図】 図1
Description
Claims (5)
- 成膜材料を拡散させて被処理物に付着させることにより成膜を行う成膜装置であって、
前記被処理物を搭載するためのN個(N≧2)のキャリア、前記N個のキャリアそれぞれに搭載され前記被処理物の成膜面の一部を覆うN個のマスク、及び前記N個のキャリアそれぞれにおいて前記N個のマスクそれぞれを支持するN個のマスクホルダを収容しておくためのマスクストック室と、
前記成膜材料を拡散させるための成膜室と、
前記成膜室上に配置され、所定の搬送方向に延びており、その一端が前記マスクストック室に繋がっている搬送室と、
前記搬送室内に設けられ、前記被処理物、前記マスク、及び前記マスクホルダを搭載した前記キャリアを前記搬送方向に搬送するための搬送機構と、
前記被処理物を前記マスク、前記マスクホルダ、及び前記キャリアから分離して支持するための被処理物支持部と
を備えることを特徴とする、成膜装置。 - 前記搬送室の他端にゲートバルブを介して繋がるロードロック室を更に備え、
前記被処理物支持部が、前記ロードロック室内に配置されていることを特徴とする、請求項1に記載の成膜装置。 - 前記被処理物支持部が、
前記被処理物を引っ掛けて支持するためのアームと、
前記被処理物を下方から突き上げることにより該被処理物を前記マスク、前記マスクホルダ、及び前記キャリアから分離するための突き上げ部材と
を有し、
前記N個のキャリアそれぞれが、前記突き上げ部材を通過させるための貫通孔を有することを特徴とする、請求項1または2に記載の成膜装置。 - 前記N個のマスクホルダそれぞれが、前記突き上げ部材との干渉を回避するための切り欠きまたは孔を有することを特徴とする、請求項3に記載の成膜装置。
- 前記マスクストック室内に設けられ、前記N個のキャリアそれぞれを支持するためのN個のキャリア支持部を更に備え、
前記N個のキャリア支持部が、上下方向に並設されるとともに上下方向に移動可能に設けられていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の成膜装置。
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