JP2007210334A - 疎水性コーティング膜の形成方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】インクジェットヘッドのノズルプレート表面に疎水性コーティング膜を形成する方法を提供する。
【解決手段】本発明は、複数のノズル131を備えるノズルプレート130およびスタンプ200を準備する工程と、準備されたスタンプの表面に疎水性物質170を塗布する工程と、スタンプの表面に塗布された疎水性物質をノズルプレートの表面に接触させ、ノズルプレートを加熱してノズルプレートの表面に疎水性物質を接着させる工程と、スタンプをノズルプレートから分離させる工程とを含む疎水性コーティング膜の形成方法である。これにより、疎水性物質170のうちノズルプレート130の表面に接着された部分は残存されて疎水性コーティング膜170’を形成し、複数のノズル131に対応する部分は、スタンプ200と共にノズルプレート130から分離される。
【選択図】図3D
【解決手段】本発明は、複数のノズル131を備えるノズルプレート130およびスタンプ200を準備する工程と、準備されたスタンプの表面に疎水性物質170を塗布する工程と、スタンプの表面に塗布された疎水性物質をノズルプレートの表面に接触させ、ノズルプレートを加熱してノズルプレートの表面に疎水性物質を接着させる工程と、スタンプをノズルプレートから分離させる工程とを含む疎水性コーティング膜の形成方法である。これにより、疎水性物質170のうちノズルプレート130の表面に接着された部分は残存されて疎水性コーティング膜170’を形成し、複数のノズル131に対応する部分は、スタンプ200と共にノズルプレート130から分離される。
【選択図】図3D
Description
本発明は、インクジェットヘッドに係り、さらに詳細には、選択的にインクジェットヘッドのノズルプレート表面のみに疎水性コーティング膜を形成する方法に関する。
一般的に、インクジェットヘッドは、印刷用インクの微小な液滴を印刷媒体上の所望の位置に吐出させて、所定の色の画像に印刷する装置である。このようなインクジェットヘッドは、インク吐出方式によって2つに大別される。一つは、熱源を利用してインクにバブルを発生させて、バブルの膨張力によりインクを吐出させる熱駆動方式のインクジェットヘッドである。他の一つは、圧電体を使用して、圧電体の変形によりインクに加えられる圧力によりインクを吐出させる圧電方式のインクジェットヘッドである。
図1は、従来のインクジェットヘッドの一例として、圧電方式のインクジェットヘッドの一般的な構成を示す断面図である。図2は、インクジェットヘッドのノズルプレートの表面処理における不良により発生する問題点を説明するための図面である。
まず、図1に示すように、流路プレート10には、インク流路を構成するマニホルド11、複数のリストリクター12および複数の圧力チャンバ13が形成される。流路プレート10の上面には、圧電アクチュエータ40の駆動により変形される振動板20が接合されており、流路プレート10の底面には、複数のノズル31を備えるノズルプレート30が接合される。一方、流路プレート10および振動板20は、一体に形成されてもよい。また、流路プレート10およびノズルプレート30も一体に形成されてよい。
マニホルド11は、インク貯蔵庫(図示せず)から流入されたインクを複数の圧力チャンバ13の各々に供給する通路である。リストリクター12は、マニホルド11から複数の圧力チャンバ13内部にインクを流入するための通路である。複数の圧力チャンバ13は、吐出されるインクが充填される場所であって、マニホルド11の一側または両側に配列される。複数のノズル31は、ノズルプレート30を貫通するように形成され、複数の圧力チャンバ13の各々に連結される。振動板20は、複数の圧力チャンバ13を覆うように流路プレート10の上面に接合される。振動板20は、圧電アクチュエータ40の駆動により変形されて、複数の圧力チャンバ13の各々にインクを吐出するための圧力変化を供給する。圧電アクチュエータ40は、振動板20上に順次積層される下部電極41、圧電膜42、上部電極43から構成される。下部電極41は、振動板20の全面に形成され、共通電極の役割を行う。圧電膜42は、複数の圧力チャンバ13の各々上部に位置するように下部電極41上に形成される。上部電極43は、圧電膜42上に形成され、圧電膜42に電圧を印加する駆動電極の役割を行う。
上記のような構成を備えるインクジェットヘッドにおいて、ノズルプレート30の表面処理は、ノズル31を通じて吐出されるインク液滴の直進性および吐出速度などのインク吐出性能に直接的な影響を及ぼす。すなわち、インクの吐出性能を向上させるためには、ノズル31の内面は親水性を備える必要があり、ノズル31の外部に位置するノズルプレート30外側表面は疎水性を備える必要がある。
したがって、通常、ノズルプレート30の外側表面には、疎水性コーティング膜が形成される。このような疎水性コーティング膜を形成する方法としては、多様な方法が知られている。例えば、従来の疎水性コーティング膜の形成方法の一つとして、溶液状態の疎水性物質内にノズルプレート30をディッピングして、ノズルプレート30の外側表面に疎水性物質をコーティングさせる方法がある。他の方法として、蒸着方式を通じてノズルプレート30の外側表面に疎水性物質をコーティングする方法がある。
しかし、上記従来のコーティング方法では、選択的にノズルプレート30の外側表面のみに疎水性コーティング膜を形成することが難しく、ノズル31の内面にも疎水性コーティング膜が不均一に形成される。この場合、図2に示すように、インク液滴の直進性が低下し、複数のノズル31から吐出されるインク液滴の速度および体積などが不均一になるなど、インク液滴の吐出性能が低下するという問題点が発生する。
そこで、本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、選択的にノズルプレートの外側表面のみに均一な疎水性コーティング膜を容易に形成できる疎水性コーティング膜の形成方法を提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明の第1の観点によれば、インクジェットヘッドのノズルプレート表面に疎水性コーティング膜を形成する方法において、(イ)複数のノズルを備えるノズルプレートおよびスタンプを準備する工程と、(ロ)準備されたスタンプの表面に疎水性物質を塗布する工程と、(ハ)スタンプの表面に塗布された疎水性物質をノズルプレートの表面に接触させ、ノズルプレートを加熱してノズルプレートの表面に疎水性物質を接着させる工程と、(ニ)スタンプをノズルプレートから分離させる工程とを含み、(ニ)工程で、疎水性物質のうち、ノズルプレートの表面に接着された部分はノズルプレートに残存されて、疎水性コーティング膜を形成し、複数のノズルに対応する部分は、スタンプと共にノズルプレートから分離される疎水性コーティング膜の形成方法が提供される。
(ロ)工程は、疎水性物質を含有した溶液を製造する工程と、溶液をスタンプの表面に塗布する工程と、溶液に含有される溶媒を蒸発する工程とを含むことができる。この場合、溶液の溶媒は、過フッ素化合物、テトラヒドロフラン(THF)、アセトン、トルエン、キシレンおよびエタノールから構成される群より選択される一つの化合物であってよい。そして、溶媒に対する疎水性物質の濃度は、5〜20wt%であることが望ましい。また、溶液の塗布は、スピンコーティング方法またはディッピング方法により行われてよい。
疎水性物質は、フッ素化合物または硫黄化合物であることが望ましい。
スタンプは、ポリジメチルシロキサン(PDMS、Polydimethylsiloxane)のような高分子材質から形成されてよい。
(ロ)工程、(ハ)工程および(ニ)工程は、工程順に沿って複数回繰り返して行われてよい。
インクジェットヘッドの組み付けが完了した状態で、(イ)工程、(ロ)工程、(ハ)工程、(ニ)工程が順次行われてよい。
上記本発明によれば、疎水性物質および溶媒を含有した溶液をスタンプ表面に塗布し、溶媒を蒸発除去することで、スタンプ表面に疎水性物質を接着する。次に、スタンプ表面をノズルプレート表面に接触して、ノズルプレート自体を加熱することにより、疎水性物質をノズルプレートに接着する。そして、スタンプとノズルプレートとを分離すると、ノズルに対応する疎水性物質は、ノズルプレートに接着されていない部分であるため、スタンプとともにノズルプレートから分離されて除去される。一方、ノズルプレート表面に接着される疎水性物質は、ノズルプレート表面に残存して疎水性コーティング膜を形成できる。これは、疎水性物質のノズルプレート表面への接着力は、疎水性物質のスタンプ表面への接着力より強いためである。なぜなら、自然乾燥による溶媒除去によって疎水性物質をスタンプ表面に接着するより、加熱によって疎水性物質をノズルプレート表面に接着する方が接着強さにおいて強いからである。したがって、選択的にノズルプレートの外側表面のみに均一な疎水性コーティング膜を容易に形成できるので、複数のノズルを介したインク液滴の吐出性能を向上することができる。これにより、インクジェットヘッド自体の印刷性能を向上できる。
以上説明したように本発明によれば、選択的にノズルプレートの外側表面のみに均一な疎水性コーティング膜を形成できる。したがって、複数のノズルを介したインク液滴の吐出速度およびインク液滴の直進性などのインクの吐出性能を向上することができるため、印刷品質を向上できる。そして、本発明は、疎水性物質を含有した溶液を使用したスタンピング方式により疎水性コーティング膜を形成するので、従来の蒸着方式に比べて疎水性物質の選択の幅が広いという長所があり、さらに高価な蒸着装備を使用しなくてもよいので、製造コストが安いという長所がある。
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
図3A〜図3Dは、本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドのノズルプレート表面に、疎水性コーティング膜を形成する方法を段階的に示す図面である。一方、図3A〜図3Dは、ノズルプレートの一部を示すものであって、一般的なノズルプレートには、数十〜数百個のノズルが1列または複数の列で配列される。
まず、図3Aに示すように、複数のノズル131を備えるノズルプレート130およびスタンプ200を準備する(準備工程)。このとき、ノズルプレート130は、シリコンウェーハ、ガラス基板または金属基板などで構成される。ノズルプレート130に形成されるノズル131は、ノズルプレート130を貫通するように形成される。スタンプ200は、ポリジメチルシロキサン(PDMS、Polydimethylsiloxane)などのような高分子材質で形成されてよい。
次いで、図3Bに示すように、準備されたスタンプ200の表面に疎水性物質170を所定の厚さに塗布する。ここで、スタンプ200の表面とは、ノズルプレート130に対向する面となる。このとき、疎水性物質170は、溶液状態でスピンコーティング方法やディッピング方式などにより、例えば、約5nm〜10nmの厚さに塗布される。つまり、スタンプ200の表面に疎水性物質170を塗布する段階(スタンプ200表面への疎水性物質170塗布工程)では、以下の段階を含む。まず一つめは、疎水性物質170を溶媒などの物質に溶解させて、溶液を製造する段階である。次は、当該溶液をスタンプ200の表面に塗布する段階である。そして最後は、当該溶液に含有される溶媒を蒸発する段階である。疎水性物質170を含有する溶液は、過フッ素化合物、テトラヒドロフラン(THF)、トルエン、キシレンまたはエタノールなどから構成される群より選択される一つの溶媒に約5〜20wt%、望ましくは、約10wt%の濃度で疎水性物質170を溶解させて製造される。疎水性物質170としては、通常使用される多様な疎水性物質、例えば、フッ素化合物または硫黄化合物などが使用される。次いで、スタンプ200の表面に塗布された溶液を所定時間自然乾燥させて溶媒を蒸発する。これにより、スタンプ200の表面には、疎水性物質170から構成される膜が形成される。
次いで、図3Cに示すように、スタンプ200をノズルプレート130の表面上に移動させて、疎水性物質170をノズルプレート130の表面に接触させる。つまり、スタンプ200およびノズルプレート130の互いに対向する表面を接触させて、スタンプ200の表面に形成される疎水性物質170をノズルプレート130の表面に接触させる。このとき、ノズルプレート130を所定の温度、例えば、約100℃の温度に加熱する。この加熱工程は、疎水性物質170をノズルプレート130表面に接触させる工程以前に予め行われてもよい。また加熱工程は、疎水性物質170をノズルプレート130表面に接触させるとともに実施されるか、もしくは疎水性物質170をノズルプレート130表面に接触させた後に行われてもよい。この加熱工程により、ノズルプレート130の表面に接触した疎水性物質170の界面が熱によって軟化して、ノズルプレート130の表面に強く接着される。上記工程は、ノズルプレート130表面への疎水性物質170接着工程となる。
次いで、図3Dに示すように、スタンプ200をノズルプレート130から分離させる(分離工程)。このとき、疎水性物質170は、スタンプ200の表面には単純に塗布された状態であるが、ノズルプレート130の表面には上記のように強く接着された状態であるので、疎水性物質170とスタンプ200との接着力より、疎水性物質170とノズルプレート130との接着力がはるかに強い。つまり、自然乾燥による溶媒除去によってスタンプ200表面に疎水性物質170を接着するより、加熱によってノズルプレート130表面に疎水性物質170を接着する方が接着強さにおいて強いからである。したがって、スタンプ200をノズルプレート130から分離すると、疎水性物質170のうちノズルプレート130の表面に接着された部分は、ノズルプレート130の表面に接着された状態で残存して、疎水性コーティング膜170’を形成する。一方、疎水性物質170のうち複数のノズル131に対応する部分は、ノズルプレート130に接着されていない部分であるため、スタンプ200に塗布された状態でスタンプ200と共にノズルプレート130から分離される。
このように、本発明の実施形態によれば、ノズルプレート130の外側表面のみに疎水性コーティング膜170’が形成され、ノズル131の内面には疎水性コーティング膜が形成されない。
上記工程を経れば、ノズルプレート130の外側表面のみに均一な疎水性コーティング膜170’が形成され、ノズル131の内面には疎水性コーティング膜170’が形成されない。従って、本発明の実施形態によれば、複数のノズル131を介したインク液滴の吐出速度および直進性などのインク吐出性能を向上できる。これにより、インクジェットヘッド自体の印刷性能を向上できる。そして、本発明の実施形態は、疎水性物質170を含有した溶液を用いるスタンピング方式により疎水性コーティング膜170’を形成するので、従来の蒸着方式に比べて疎水性物質170を幅広く選択できるという長所がある。さらに本発明の実施形態は、高価な蒸着装備を使用しなくてもよいので、製造コストが安いという長所がある。
そして、疎水性コーティング膜170’の厚さは、図3B、図3Cおよび図3Dに示す工程を複数回、例えば、2回または3回繰り返して行うことによって調節される。つまり、スタンプ200表面への疎水性物質170塗布工程(図3B)、ノズルプレート130表面への疎水性物質170接着工程(図3C)、分離工程(図3D)を工程順に沿って複数回行うことで、所定の厚さの疎水性コーティング膜170’を得ることができる。
一方、上記では別途に分離された状態のノズルプレート130表面に疎水性コーティング膜170’を形成すると図示して説明したが、本発明の実施形態は、これに限定されない。すなわち、以下で説明するように、インクジェットヘッド100が完成した状態でも、本発明の実施形態の方法によって、選択的にノズルプレート130の外側表面に疎水性コーティング膜170’を形成できる。
図4は、インクジェットヘッドが完成した状態で、本発明の実施形態に係るノズルプレート表面に疎水性コーティング膜を形成する方法を用いる場合について、説明するための図面である。
図4に示すように、インクジェットヘッド100の流路プレート110には、複数の圧力チャンバ113が形成される。複数の圧力チャンバ113は、吐出されるインクが充填される場所である。流路プレート110の上面には、複数の圧力チャンバ113を覆う振動板120が接合される。振動板120上には、圧電アクチュエータ140が形成される。そして、流路プレート110の底面には、貫通形成された複数のノズル131を備えるノズルプレート130が接合される。そして、流路プレート110には、図示されていないが、マニホルドおよび複数のリストリクターが形成される。圧電アクチュエータ140は、複数の圧力チャンバ113の各々に、インクを吐出するための駆動力を供給する役割を行う。つまり、圧電アクチュエータ140の駆動により変形される振動板120によって、複数の圧力チャンバ113に圧力変化が供給される。これにより、複数の圧力チャンバ113の各々は、ノズル131よりインクを吐出することができる。圧電アクチュエータ140は、振動板120上に順次に積層される下部電極141、圧電膜142、上部電極143から構成される。下部電極141は、振動板120の全面に形成され、共通電極の役割を行う。圧電膜142は、複数の圧力チャンバ113の各々上部に位置するように、下部電極141上に形成される。上部電極143は、圧電膜142上に形成され、圧電膜142に電圧を印加する駆動電極の役割を行う。
図4では、一つの圧力チャンバ113に対応して一つのノズル131が形成されているが、本発明の実施形態は、これに限定されない。つまり、一つの圧力チャンバ113に対応して複数のノズル131が形成されてもよい。同様に、圧電膜142、上部電極143も一つの圧力チャンバ113に対応して各々一つずつ設けられているが、一つの圧力チャンバ113に対して複数のノズル131が形成される場合、圧電膜142、上部電極143も複数のノズル131に対応して複数設けられてよい。
一方、流路プレート110および振動板120は一つの基板になり、また、流路プレート110およびノズルプレート130も一つの基板になる。つまり、言い換えると、流路プレート110および振動板120は、一体で構成されてよいし、流路プレート110およびノズルプレート130も一体で構成されてよい。
上記のような構成を備えるインクジェットヘッド100の組み付けが完了した状態で、図3A〜図3Dに示す工程が行われてよい。つまり、インクジェットヘッド100の組み付けが完了した後で、圧力チャンバ113内部に対して外側に位置するノズルプレート130の外側表面に、図3A〜図3Dで行った工程を順次実施することで、疎水性コーティング膜170’を形成できる。この場合、ノズル131の内部だけでなく、複数の圧力チャンバ113の内部にも疎水性物質が浸透せず、ノズルプレート130の外側表面のみに疎水性コーティング膜170’を形成することができる。すなわち、本発明の実施形態によれば、インクジェットヘッド100が完成した状態でも、他の部位に影響を及ぼさないでノズルプレート130の外側表面のみに容易に疎水性コーティング膜170’を形成できるという長所がある。
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
本発明は、インクジェットヘッド関連の技術分野に好適に用いられる。
130 ノズルプレート
131 ノズル
170、170’ 疎水性コーティング膜
200 スタンプ
131 ノズル
170、170’ 疎水性コーティング膜
200 スタンプ
Claims (9)
- インクジェットヘッドのノズルプレート表面に疎水性コーティング膜を形成する方法において、
(イ)複数のノズルを備えるノズルプレートおよびスタンプを準備する工程と;
(ロ)準備された前記スタンプの表面に疎水性物質を塗布する工程と;
(ハ)前記スタンプの表面に塗布された前記疎水性物質を前記ノズルプレートの表面に接触させ、前記ノズルプレートを加熱して前記ノズルプレートの表面に前記疎水性物質を接着させる工程と;
(ニ)前記スタンプを前記ノズルプレートから分離させる工程と;
を含み、
前記(ニ)工程で、前記疎水性物質のうち、前記ノズルプレートの表面に接着された部分は前記ノズルプレートに残存されて、疎水性コーティング膜を形成し、複数の前記ノズルに対応する部分は、前記スタンプと共に前記ノズルプレートから分離されることを特徴とする、疎水性コーティング膜の形成方法。 - 前記(ロ)工程は、
前記疎水性物質を含有した溶液を製造する工程と;
前記溶液を前記スタンプの表面に塗布する工程と;
前記溶液に含有される溶媒を蒸発する工程と;
を含むことを特徴とする、請求項1に記載の疎水性コーティング膜の形成方法。 - 前記溶液の前記溶媒は、過フッ素化合物、テトラヒドロフラン、トルエン、キシレンおよびエタノールから構成される群より選択される一つの化合物であることを特徴とする、請求項2に記載の疎水性コーティング膜の形成方法。
- 前記溶媒に対する前記疎水性物質の濃度は、5〜20wt%であることを特徴とする、請求項2または3に記載の疎水性コーティング膜の形成方法。
- 前記溶液の塗布は、スピンコーティング方法またはディッピング方法により行われることを特徴とする、請求項2〜4のいずれかに記載の疎水性コーティング膜の形成方法。
- 前記疎水性物質は、フッ素化合物または硫黄化合物であることを特徴とする、請求項1〜5のいずれかに記載の疎水性コーティング膜の形成方法。
- 前記スタンプは、ポリジメチルシロキサンから形成されることを特徴とする、請求項1〜6のいずれかに記載の疎水性コーティング膜の形成方法。
- 前記(ロ)工程、前記(ハ)工程および前記(ニ)工程は、複数回繰り返して行われることを特徴とする、請求項1〜7のいずれかに記載の疎水性コーティング膜の形成方法。
- 前記インクジェットヘッドの組み付けが完了した状態で、前記(イ)工程、前記(ロ)工程、前記(ハ)工程および前記(ニ)工程が順次行われることを特徴とする、請求項1〜8のいずれかに記載の疎水性コーティング膜の形成方法。
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