JP2007208665A - 弾性波デバイスおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、圧電基板(10)または圧電膜の表面に設けられた弾性波素子(12)と、弾性波素子上に空洞(18)を有し空洞の側面および上面を覆うように圧電基板に設けられた第1封止部(20)と、弾性波素子を外部に電気的に接続する端子部(30、32)と、端子部の周囲に設けられた第2封止部(40)と、を有する。そして、第2封止部の弾性率は第1封止部の弾性率より低いことを特徴とする弾性波デバイスおよびその製造方法である。
【選択図】図6
Description
12 弾性波素子
16 配線
17 電極パッド
18 空洞
19 第1樹脂膜
20a 封止部
20、20b 第1封止部
21 第2樹脂膜
30 プラグ金属
32 ハンダボール
40 第2封止部
41 第3樹脂膜
60 空洞となるべき開口部
Claims (10)
- 基板上に設けられた弾性波素子と、
前記弾性波素子上に空洞を有し該空洞の側面および上面を覆うように前記基板上に設けられた第1封止部と、
前記弾性波素子を外部に電気的に接続する端子部と、
該端子部の周囲に設けられた第2封止部と、を具備し、
前記第2封止部の弾性率は前記第1封止部の弾性率より低いことを特徴とする弾性波デバイス。 - 前記第1封止部の150℃から200℃での弾性率が1.8GPa以上であることを特徴とする請求項1記載の弾性波デバイス。
- 前記第2封止部の240℃から280℃の弾性率が前記第1封止部の240℃から280℃の弾性率より低いことを特徴とする請求項1記載の弾性波デバイス。
- 前記第1封止部および前記第2封止部は有機材料であることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記第1封止部はエポキシ樹脂またはポリイミド樹脂を含むことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記第1封止部は、前記基板側が大きい階段状である請求項1から5のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記第1封止部の側面と前記基板の表面のなす角度は90°以下であることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 基板上に弾性表面波素子を形成する工程と、
前記弾性波素子上に空洞を有し該空洞の側面および上面を覆うように前記基板上に第1封止部を形成する工程と、
前記第1封止部上および前記第1封止部を囲む前記基板上に、弾性率が第1封止部より低い第2封止部を形成する工程と、
前記第2封止部を貫通し、前記弾性波素子を外部に電気的に接続する端子部を形成する工程と、を有する弾性波デバイスの製造方法。 - 前記第1封止部を形成する工程は、前記空洞となるべき領域に開口部を有する第1樹脂膜を前記基板上に形成する工程と、前記第1樹脂膜上に、前記開口部を前記空洞として残存させるように第2樹脂膜を形成する工程と、前記第2樹脂膜の所定領域を除去し、前記第1樹脂膜と前記第2樹脂膜とより前記第1封止部を形成する工程と、を含み、
前記第2封止部を形成する工程は、前記第1封止部上に第3樹脂膜を形成する工程と、前記第3樹脂膜より前記第2封止部を形成する工程と、を含むことを特徴とする請求項8記載の弾性波デバイスの製造方法。 - 前記第1封止部を形成する工程は、前記第1樹脂膜および前記第2樹脂膜を硬化させるため第1の温度で熱処理を行う工程を含み、
前記第2封止部を形成する工程は、前記第3樹脂膜を硬化させるため第2の温度で熱処理する工程を含み、
前記第1の温度は前記第2の温度より高いことを特徴とする請求項9記載の弾性波デバイスの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006025137A JP4509038B2 (ja) | 2006-02-01 | 2006-02-01 | 弾性波デバイスおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2006025137A JP4509038B2 (ja) | 2006-02-01 | 2006-02-01 | 弾性波デバイスおよびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007208665A true JP2007208665A (ja) | 2007-08-16 |
JP4509038B2 JP4509038B2 (ja) | 2010-07-21 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2006025137A Expired - Fee Related JP4509038B2 (ja) | 2006-02-01 | 2006-02-01 | 弾性波デバイスおよびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP4509038B2 (ja) |
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