JP2007207747A - スペーサとその製造方法及びこのスペーサを備えた電子放出表示装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】スペーサ周囲の電子ビーム歪曲とスペーサによるアーク放電を抑制することが可能なスペーサとその製造方法及びこのスペーサを備えた電子放出表示装置を提供すること。
【解決手段】互いに対向配置されて真空容器を構成する第1基板及び第2基板と、第1基板上に形成される電子放出ユニットと、第2基板の一面に形成される発光ユニットと、第1基板と第2基板の間に配置される複数のスペーサを備え、スペーサは、所定の表面粗度を有する母体と、母体の少なくとも一部の表面に位置する抵抗層と、母体と抵抗層の表面全体を覆い、抵抗層より大きい厚さと母体より小さい表面粗度を有する平坦化層と、を備える。
【選択図】図2

Description

本発明は、電子放出表示装置に関し、より詳しくは真空容器内部に設置されて、真空容器に加えられる圧縮力を受け止めて支持する複数のスペーサを備えた電子放出表示装置に関する。
一般に電子放出素子は、電子源の種類によって熱陰極を利用する方式と冷陰極を利用する方式に分類できる。
冷陰極を利用する方式の電子放出素子では、電界放出アレイ(FEA)型、表面電導エミッション(SCE)型、金属−絶縁層−金属(MIM)型及び金属−絶縁層−半導体(MIS)型などが広く知られている。
電子放出素子は、第1基板上にアレイを形成するように配置されて電子放出ユニットを構成し、第1基板に対向する第2基板の一面に蛍光層とアノード電極などを含む発光ユニットが備えられて、電子放出ユニットと組み合わされて電子放出表示装置を構成する。
電子放出ユニットは、電子放出部の他に、スキャン電極とデータ電極で構成される駆動電極を備えて、画素別に第2基板に向かって、意図した量の電子を放出する。そして発光ユニットは、電子放出部から放出された電子で蛍光層を励起させて、可視光を放出することによって所定の発光または表示作用をする。
第1基板と第2基板は、密封部材によって、周縁が一体に接合された後、内部空間がほぼ10−6Torrの真空度に排気されて、密封部材と協働して真空容器を構成する。真空容器は、内部と外部の圧力差によって、強い圧縮力の印加を受けるため、通常の電子放出表示装置は第1基板と第2基板の間に多数のスペーサを設置して、両基板の間隔を一定に維持している。
スペーサは圧縮力に強く、かつ導電性が殆どない物質で製作されて、真空容器に加えられる圧縮力を効果的に受け止める支持材になると共に、スペーサを通した電子放出ユニットと発光ユニットの電気的短絡を防止しなければならない。これを考慮すると、通常のスペーサは、ガラスまたはセラミックのような絶縁性の高い誘電体で形成されて、ダイヤモンドホィールやレーザー切断機などを利用して所定の形状に加工されて完成する。
一方、誘電体で形成されるスペーサは、電子ビーム衝突時にその表面が簡単に帯電して、スペーサ周囲の電子ビーム経路を歪曲させる。従って、スペーサの表面にクロム酸化物(Cr)のような高抵抗層(微弱な導電層)を形成してスペーサの表面帯電を抑制する技術が用いられている。
スペーサ母体は、その表面に微細亀裂または微細気孔などが存在して一定範囲内に分布する表面粗度を有するため、母体表面に抵抗物質をコーティングして抵抗層を形成する時、抵抗層が母体表面に均一にコーティングできなくて、不均一にコーティングされる現象が発生する。
これによって従来のスペーサは、抵抗層が形成されない部位では、その表面が帯電して、電子ビーム経路を歪曲させ、その結果、意図しない異常発光が発生する。
また、従来のスペーサは、抵抗層形成にもかかわらず不均一表面を有するため、電子放出表示装置作用時にスペーサ表面に電界が集中して、真空容器内部にアーク放電が発生することもあった。
このようなアーク放電は、電子放出表示装置の内部構造物を破損して製品の不良を誘発することがあるので、改善がのぞまれる。
このように,従来のスペーサによれば,均一にコーティングされず、異常発光が発生したりアーク放電が発生したりするという問題がある。
そこで,本発明は,このような問題に鑑みてなされたもので,その目的は,スペーサの表面粗度を減らして、異常発光とアーク放電を抑制することが可能な,新規かつ改良されたスペーサとその製造方法及びこのスペーサを備えた電子放出表示装置を提供することにある。
上記課題を解決するために,本発明のある観点によれば,密封部材とともに真空容器を構成する第1基板と第2基板の間に配置され、上記真空容器に加えられる圧縮力を受け止める複数のスペーサにおいて:上記スペーサは、所定の表面粗度を有する母体と;上記母体の少なくとも一部の表面に位置する抵抗層と;上記母体と上記抵抗層の表面全体を覆い、上記抵抗層より大きい厚さと上記母体より小さい表面粗度を有する平坦化層と;
を含むことを特徴とするスペーサが提供される。
また、上記抵抗層は、ほぼ10〜10Ωcmの比抵抗と、ほぼ0.5〜1μmの厚さを有してもよい。
また、上記平坦化層は、ほぼ1〜1.5μmの厚さと、ほぼ0.01〜0.1μmの表面粗度を有してもよい。
また、上記平坦化層は、絶縁物質または上記抵抗層より比抵抗が大きい抵抗物質を含んでもよい。
上記課題を解決するために,本発明の別の観点によれば,母体材料をパターニングして、所定の表面粗度を有する母体を形成する段階と;上記母体の表面に抵抗物質をコーティングして、上記母体の少なくとも一部の表面を覆う抵抗層を形成する段階と;上記母体と上記抵抗層の表面全体に上記抵抗層より大きい厚さと上記母体より小さい表面粗度を有する平坦化層を形成する段階と;を含むことを特徴とするスペーサの製造方法が提供される。
また、上記抵抗層は、ほぼ10〜10Ωcmの比抵抗とほぼ0.5〜1μmの厚さを有するように形成されてもよい。
また、上記平坦化層は、ほぼ1〜1.5μmの厚さとほぼ0.01〜0.1μmの表面粗度を有するように形成されてもよい。
また、上記平坦化層を形成する段階は、噴霧法と浸漬法のうちのいずれか一つで行われ、表面処理過程をさらに含んでもよい。
また、上記平坦化層は、絶縁物質または上記抵抗層より大きい比抵抗を有する物質で形成されてもよい。
上記課題を解決するために,本発明の別の観点によれば,互いに対向配置される第1基板及び第2基板と;上記第1基板上に備えられる電子放出ユニットと;上記第2基板の一面に備えられる発光ユニットと;上記第1基板と上記第2基板の間に配置される複数のスペーサと;を備え、上記スペーサは、所定の表面粗度を有する母体と;上記母体の少なくとも一部の表面に位置する抵抗層と;上記母体と上記抵抗層の表面全体を覆い、上記抵抗層より大きい厚さと上記母体より小さい表面粗度を有する平坦化層と;を有することを特徴とする電子放出表示装置が提供される。
また、上記抵抗層は、ほぼ10〜10Ωcmの比抵抗と、ほぼ0.5〜1μmの厚さを有してもよい。
また、上記平坦化層は、ほぼ1〜1.5μmの厚さと、ほぼ0.01〜0.1μmの表面粗度を有してもよい。
また、上記平坦化層は、絶縁物質または上記抵抗層より比抵抗が大きい抵抗物質を含んでもよい。
また、上記電子放出ユニットは、互いに絶縁されて位置するカソード電極及びゲート電極と;上記カソード電極に電気的に連結される電子放出部と;を有してもよい。
また、上記電子放出ユニットは、上記カソード電極および上記ゲート電極の上部に、上記カソード電極および上記ゲート電極から絶縁されて位置する集束電極をさらに有してもよい。
また、上記電子放出ユニットは、互いに離隔して位置する第1導電薄膜及び第2導電薄膜と;上記第1導電薄膜に電気的に連結される第1電極及び上記第2導電薄膜に電気的に連結される第2電極と;上記第1導電薄膜と上記第2導電薄膜の間に備えられる電子放出部と;を有してもよい。
また、上記発光ユニットは、蛍光層と;上記蛍光層の間に位置する黒色層と;上記蛍光層と上記黒色層の前面又は背面に位置するアノード電極と;を有してもよい。
また、上記第1基板と上記第2基板は、それぞれ上記電子放出ユニットと上記発光ユニットが位置する有効領域と、有効領域の外郭に位置する非有効領域と、を有し、上記スペーサが上記有効領域に位置する第1スペーサと、上記非有効領域に位置する第2スペーサを有してもよい。
以上説明したように,本発明によれば,抵抗層を通して、電子の移動経路を複数個提供して、異常発光の原因であるスペーサ表面が帯電されることを抑制することができる。また、スペーサが平坦化層によって、最小の表面粗度を有することができるので、スペーサの粗い表面により誘導されるアーク放電を抑制して、内部構造物の損傷を最少化することができる。
以下に,添付した図面を参照して,本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお,本明細書及び図面において,実質的に同一の機能構成を有する発明特定事項については,同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
図1A〜図1Cは、本発明のスペーサの製造方法の第1実施形態を説明するために示した各製造段階での概略図である。図1Aは、母体10の形成段階、図1Bは、抵抗層12の形成段階、図1Cは、平坦化層14の形成段階である。
図1Aを参照すると、圧縮力に強い材質で構成される母体材料を、ダイヤモンドホィールまたはレーザー切断機のような切断装備を用いて、母体材料を所定の形状に切断してスペーサの母体10を形成する。
母体材料は、ガラス、セラミック、強化ガラスのうち、いずれか一つで構成することができ、上記の物質以外にも現在スペーサ母体として用いられる多様な物質を適用できる。スペーサ母体10は、棒形状、柱形状、またはそれ以外の多様な形状に形成することができ、その一例として棒形状の母体を示した。
一方、母体材料は感光性ガラスで構成され、部分露光と熱処理及びエッチング工程によって、母体材料をパターニングして、母体10を形成することができる。
このように形成された母体10は、その表面に微細亀裂または微細気孔などが存在し、ほぼ0.1〜0.13μmの表面粗度を有する。
図1Bを参照すると、母体10表面(側面部分)に抵抗物質をコーティングして、抵抗層12を形成する。抵抗層12は、スペーサ表面に衝突した電子が電子放出ユニット(図示せず。)または発光ユニット(図示せず。)等に流れて抜け出られるように電子の移動経路を提供し、スペーサ表面が帯電しないようにする役割を果たす。
抵抗層12は、スペーサを通して、電子放出ユニットと発光ユニットが短絡されずに電子の移動経路だけを提供できるようにする必要がある。このために抵抗層12は、ほぼ10〜10Ωcmの比抵抗を有し、例えば、クロム酸化物(Cr)で形成される。
この時、抵抗層12は、上記の比抵抗値を維持するために、ほぼ0.5〜1μmの薄い厚さで形成される。従って、抵抗層12は、母体10表面の微細亀裂や微細気孔などを十分に満たせない可能性もあり、母体10の表面粗度によっては、母体10表面の所々に部分的に位置する可能性もありうる。
図1Cを参照すると、抵抗層12表面に抵抗層12より大きい厚さを有する平坦化層14を形成する。平坦化層14は、ほぼ1〜1.5μmの厚さを有して、母体10表面の微細亀裂と微細気孔などを満たせるように母体10と抵抗層12を十分に覆って位置する。平坦化層14は、母体10と抵抗層12の表面粗度の影響を受けず、その外面がほぼ0.01〜0.1μmの極めて小さい表面粗度を有する。
平坦化層14は、絶縁物質で形成されてもよく、また、抵抗層12より比抵抗が大きい抵抗物質で形成されてもよく、例えば、ポリイミド(PI)で形成してもよい。平坦化層14は、噴霧法、浸漬法など多様な方法で形成することができ、表面処理工程を経て、前述した範囲の表面粗度を有する。
このように形成される本実施形態によるスペーサ16は、上記の比抵抗値を有する抵抗層12を通して電子の移動経路を提供し、スペーサ16表面が帯電されることを抑制できる。またスペーサ16は、上記の厚さと表面粗度を有する平坦化層14によって誘電物質で構成される母体10表面が露出することを防止して、表面粗度を最少化して、真空容器内部に装着する時にアーク放電を抑制する効果を有する。
図2は、上記の複数のスペーサが適用された本発明の電子放出表示装置の第1実施形態を示す概略断面図である。
図2を参照すると、電子放出表示装置は所定の間隔をおいて平行に対向配置される第1基板20と第2基板22を含む。第1基板20と第2基板22の周縁には、密封部材24が配置されて両基板を接合し、内部空間がほぼ10−6Torrの真空度に排気されて、第1基板20と第2基板22及び密封部材24が真空容器を構成する。
第1基板20と第2基板22は、密封部材24内側で実際可視光放出に寄与する有効領域26と、有効領域26を囲む非有効領域28を備える。第1基板20の有効領域26には電子放出のための電子放出ユニット200が備えられ、第2基板22の有効領域26には可視光放出のための発光ユニット300が備えられる。
第1基板20と第2基板22の間には多数のスペーサ161、162が設置されて、真空容器に加えられる圧縮力を受け止めて支持し、両基板の間隔を一定に維持させる。スペーサ161、162は、有効領域26と非有効領域28全てに提供することができ、便宜上、有効領域26に位置するスペーサを第1スペーサ161、非有効領域28に位置するスペーサを第2スペーサ162という。
第1スペーサ161は、電子放出表示装置の作用時に、ユーザの目に観察されないように微細幅を有するように形成される。第2スペーサ162は、第1スペーサ161とは異なって、幅制限が緩いため、第2スペーサ162の母体102が第1スペーサ161の母体101より幅を広く形成することができる。
第1スペーサ161と第2スペーサ162は、各々母体101、102と、母体101、102表面に位置する抵抗層121、122と、抵抗層121、122表面に位置する平坦化層141、142で構成される。
この時、母体101、102の表面粗度、抵抗層121、122の厚さ及び比抵抗、平坦化層141、142の厚さ及び表面粗度などは、前述したスペーサの製造方法と同様に行われる。
図3と図4を参照してFEA型電子放出表示装置の内部構造とスペーサの作用について説明し、図5を参照してSCE型電子放出表示装置の内部構造とスペーサの作用について説明する。
図3と図4を参照すると、FEA型電子放出表示装置において電子放出ユニット210は、電子放出部30と、駆動電極として機能するカソード電極32及びゲート電極34と、電子ビーム集束のための集束電極36を含む。
具体的に説明すると、第1基板201の上にはカソード電極32が第1基板201の一方向に沿って帯状パターンに形成され、カソード電極32を覆い、第1基板201全体に第1絶縁層38が形成される。
第1絶縁層38の上には、ゲート電極34がカソード電極32と交差する方向に沿って帯状パターンで形成される。
本実施形態において、カソード電極32とゲート電極34の交差領域を画素領域と定義すると、カソード電極32の上に画素領域ごとに電子放出部30が形成され、第1絶縁層38とゲート電極34には各電子放出部30に対応する開口部381、341が形成されて第1基板201上に電子放出部30を露出させる。
電子放出部30は、真空中で電界が加えられると、電子を放出する物質、例えば炭素系物質またはナノメートルサイズ物質で構成される。電子放出部30は、例えば、炭素ナノチューブ、黒鉛、黒鉛ナノファイバー、ダイヤモンド、ダイヤモンド状炭素、フラーレン(C60)、シリコンナノワイヤーまたはこれらの組み合わせ物質を含むことができ、その製造法としてスクリーン印刷、直接成長、スパッタリングまたは化学気相蒸着などを適用してもよい。
図3では、円形の電子放出部30がカソード電極32の長さ方向に沿って一列に位置する構成を示したが、電子放出部30の形状と画素領域当の数及び配列形態などは示した例に限定されずに多様に変形することが可能である。
そしてゲート電極34と第1絶縁層38の上に集束電極36が形成される。集束電極36下部には第2絶縁層40が位置してゲート電極34と集束電極36を絶縁し、集束電極36と第2絶縁層40にも電子ビーム通過のための開口部361、401が形成される。
集束電極36は、電子放出部30ごとにこれに対応する開口部を形成して、各電子放出部30から放出される電子を個別に集束したり、画素領域ごとに一つの開口部361を形成して、一つの画素領域で放出される電子を包括的に集束したりすることができる。図3では、画素領域ごとに一つの開口部361を形成して、一つの画素領域で放出される電子を包括的に集束する例を示した。
次に、発光ユニット310は、蛍光層42と、蛍光層42の間に位置する黒色層44と、蛍光層42や黒色層44の前面又は背面に位置するアノード電極46を含む。
蛍光層42は、赤色、緑色及び青色蛍光層42R、42G、42Bを含み、カソード電極32とゲート電極34の交差領域ごとに赤、緑、青いずれか一色の基本色蛍光層が対応するように位置することができる。黒色層44は、各蛍光層42の間でマトリックス形態に位置でき、画面のコントラストを高める役割を果たす。なお、基本色は赤、緑、青に限られるものではなく、カラー表示に使える色ならば、“シアン、マゼンタ、イエロー、黒”など、どのような組み合わせでもよい。なお図3において、yz平面に平行な面の赤色、緑色及び青色蛍光層42R、42G、42Bと黒色層44の記載は省略してある。
アノード電極46は、第1基板201に向かった蛍光層42と黒色層44の前面又は背面に位置するアルミニウム(Al)のような金属膜で構成されることができる。アノード電極46は、外部から電子ビーム加速に必要な高電圧の印加を受けて蛍光層42を高電位状態に維持させ、蛍光層42から放射された可視光のうち、第1基板201に向かって放射された可視光を第2基板221側に反射して、画面の輝度を高める。
一方、アノード電極は、ITO(インジウム錫酸化物)のような透明導電膜で構成されることができ、この場合、アノード電極は第2基板221に向かった蛍光層42と黒色層44の前面又は背面に位置する。また、アノード電極として上記の金属膜と透明導電膜を同時に形成する構造も可能である。
第1スペーサ161は、蛍光層42を侵さないように黒色層44に対応して位置する。第1スペーサ161は、ほぼ0.1〜0.13μmの表面粗度を有する母体101と、母体101表面に位置して、ほぼ0.5〜1μmの厚さと10〜10Ωcmの比抵抗値を有する抵抗層121と、抵抗層121表面に位置して、ほぼ1〜1.5μmの厚さと0.01〜0.1μmの表面粗度を有する平坦化層141で構成される。
そして導電接着層(図示せず。)が第1基板201に向かった第1スペーサ161の一面または第2基板221に向かった第1スペーサ161の一面に位置して、抵抗層121と集束電極36または抵抗層121とアノード電極46を電気的に連結する。
また、図示は省略したが、第1基板201と第2基板221の非有効領域には第1スペーサ161より大きい幅を有する第2スペーサが位置する。第2スペーサも母体の幅を除いては上記の第1スペーサ161と同じ構成となる。
前述した構成の電子放出表示デバイスは、外部からカソード電極32、ゲート電極34、集束電極36及びアノード電極46に所定の電圧を供給して駆動する。
例えば、カソード電極32とゲート電極34のうち、一方の電極が走査駆動電圧の印加を受けて、他方の電極がデータ駆動電圧の印加を受ける。そして、集束電極36は、電子ビーム集束に必要な電圧、例えば、0Vまたは陰の直流電圧の印加を受け、アノード電極46は電子ビーム加速に必要な電圧、例えば数百〜数千ボルトの直流電圧の印加を受ける。
それにより、カソード電極32とゲート電極34の電圧差が臨界値以上の画素で電子放出部30周囲に電界が形成されて、これから電子が放出される。放出された電子は、集束電極36の開口部361を通過しながら、電子ビーム束の中心部に集束されて、アノード電極36に印加された高電圧に引き寄せられて、対応する画素の蛍光層42に衝突することによってこれを発光させる。
前述した駆動過程で、各電子放出部30から放出された電子は、集束電極36の作用にもかかわらず、動作条件で決まる発散角で広がって進行する。これによって、電子の一部が第1スペーサ161の表面と衝突するが、これらの電子は抵抗層121を通じて、集束電極36またはアノード電極46に流れるため、第1スペーサ161の表面帯電を抑制することができる。
また、第1スペーサ161の平坦化層141が、誘電物質で構成される母体101の表面露出を防止することによって、抵抗層121が形成されない部位で表面チャージングを抑制することができる。これと同時に、第1スペーサと第2スペーサは平坦化層によってなめらかな表面を有するため、スペーサによって誘導されるアーク放電を効果的に予防できる。
図5を参照すると、SCE型電子放出表示装置において、電子放出ユニット220は互いに離隔して位置する第1電極48及び第2電極50と、第1電極48及び第2電極50各々に形成される第1導電薄膜52及び第2導電薄膜54と、第1導電薄膜52と第2導電薄膜54の間に形成される電子放出部56を含む。
第1電極48と第2電極50は、導電性を有する多様な材料で形成されることができ、第1導電薄膜52と第2導電薄膜54は、ニッケル(Ni)、金(Au)、白金(Pt)、パラジウム(Pd)等の導電性材料(例えば、導電ペースト)を利用した微粒子薄膜で構成することができる。
電子放出部56は、第1導電薄膜52と第2導電薄膜54の間に形成される微細クラックで構成したり、炭素化合物を含む任意の層で構成したりすることができる。炭素化合物を含む任意の層で構成する場合、電子放出部56は炭素ナノチューブ、黒鉛、黒鉛ナノファイバー、ダイヤモンド、ダイヤモンド状炭素及びC60(フラーレン)のうち、いずれか一つまたはこれらの組み合わせ物質を含むことができる。
発光ユニット320は、前述したFEA型電子放出表示装置の発光ユニットと同じ構成であってもよい。有効領域に位置する第1スペーサ161と非有効領域に位置する第2スペーサ(図示せず。)も、前述したFEA型電子放出表示装置のスペーサと同じ構成が使える。便宜上、FEA型電子放出表示装置と同じ構成要素については、これと同じ引用符号を付け、これに対する詳しい説明は省略する。
SCE型電子放出表示装置においては、第1電極48と第2電極50に所定の駆動電圧を印加すると、第1導電薄膜52と第2導電薄膜54を通して、電子放出部56の表面と水平の方向に電流が流れながら、表面伝導形電子放出が行われて、放出された電子はアノード電極46に印加された高電圧に引き寄せられて、第2基板222に向かいながら、対応する蛍光層42と衝突してこれを発光させる。
前述した駆動過程で、各電子放出部56から放出された電子群は、動作条件で決まる発散角で広がって進行し、電子の一部が第1スペーサ161表面に衝突するようになる。しかし、この電子は抵抗層121を通して、アノード電極46に流れるため、第1スペーサ161の表面帯電を抑制することができる。
また、第1スペーサ161の平坦化層141が母体101の表面露出を防止することによって、抵抗層121が形成されない部位で第1スペーサ161の表面チャ−ジングを抑制でき、平坦化層が極めて小さい表面粗度を有することによって、第1スペーサと第2スペーサはスペーサによって誘導されるアーク放電を効果的に予防できる。
以上,添付図面を参照して本発明の好適な実施形態について説明したが,本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば,特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において,各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり,それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
本発明は,スペーサとその製造方法及びこのスペーサを備えた電子放出表示装置に適用可能である。
本発明のスペーサの製造方法の第1実施形態を説明するために示した母体10を形成段階での概略図である。 本発明のスペーサの製造方法の第1実施形態を説明するために示した抵抗層12の形成段階での概略図である。 本発明のスペーサの製造方法の第1実施形態を説明するために示した平坦化層14の形成段階での概略図である。 本発明の第1実施形態による電子放出表示装置の概略断面図である。 本発明の第1実施形態による電界放出アレイ(FEA)型電子放出表示装置の部分分解斜視図である。 本発明の第1実施形態による電界放出アレイ(FEA)型電子放出表示装置の部分断面図である。 本発明の第1実施形態による表面電導エミッション(SCE)型電子放出表示装置の部分断面図である。
符号の説明
10、101、102 母体
12、121、122 抵抗層
14、141、142 平坦化層
16、161、162 スペーサ
20、22、201,221,222 基板
24 密封部材
26 有効領域
28 非有効領域
30、56 電子放出部
32 カソード電極
34 ゲート電極
36 集束電極
38、40 絶縁層
42 蛍光層
44 黒色層
46 アノード電極
52、54 導電薄膜
210,220 電子放出ユニット
310,320 発光ユニット
381、341、361、401 開口部

Claims (18)

  1. 密封部材とともに真空容器を構成する第1基板と第2基板の間に配置され、前記真空容器に加えられる圧縮力を受け止める複数のスペーサにおいて:
    前記スペーサは、
    所定の表面粗度を有する母体と;
    前記母体の少なくとも一部の表面に位置する抵抗層と;
    前記母体と前記抵抗層の表面全体を覆い、前記抵抗層より大きい厚さと前記母体より小さい表面粗度を有する平坦化層と;
    を含むことを特徴とするスペーサ。
  2. 前記抵抗層は、ほぼ10〜10Ωcmの比抵抗と、ほぼ0.5〜1μmの厚さを有することを特徴とする、請求項1に記載のスペーサ。
  3. 前記平坦化層は、ほぼ1〜1.5μmの厚さと、ほぼ0.01〜0.1μmの表面粗度を有することを特徴とする、請求項1または2に記載のスペーサ。
  4. 前記平坦化層は、絶縁物質または前記抵抗層より比抵抗が大きい抵抗物質を含むことを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載のスペーサ。
  5. 母体材料をパターニングして、所定の表面粗度を有する母体を形成する段階と;
    前記母体の表面に抵抗物質をコーティングして、前記母体の少なくとも一部の表面を覆う抵抗層を形成する段階と;
    前記母体と前記抵抗層の表面全体に前記抵抗層より大きい厚さと前記母体より小さい表面粗度を有する平坦化層を形成する段階と;
    を含むことを特徴とするスペーサの製造方法。
  6. 前記抵抗層は、ほぼ10〜10Ωcmの比抵抗とほぼ0.5〜1μmの厚さを有するように形成されることを特徴とする、請求項5に記載のスペーサの製造方法。
  7. 前記平坦化層は、ほぼ1〜1.5μmの厚さとほぼ0.01〜0.1μmの表面粗度を有するように形成されることを特徴とする、請求項5または6に記載のスペーサの製造方法。
  8. 前記平坦化層を形成する段階は、噴霧法と浸漬法のうちのいずれか一つで行われ、表面処理過程をさらに含むことを特徴とする、請求項7に記載のスペーサの製造方法。
  9. 前記平坦化層は、絶縁物質または前記抵抗層より大きい比抵抗を有する物質で形成されることを特徴とする、請求項7または8に記載のスペーサの製造方法。
  10. 互いに対向配置される第1基板及び第2基板と;
    前記第1基板上に備えられる電子放出ユニットと;
    前記第2基板の一方の面に備えられる発光ユニットと;
    前記第1基板と前記第2基板の間に配置される複数のスペーサと;
    を備え、
    前記スペーサは、
    所定の表面粗度を有する母体と;
    前記母体の少なくとも一部の表面に位置する抵抗層と;
    前記母体と前記抵抗層の表面全体を覆い、前記抵抗層より大きい厚さと前記母体より小さい表面粗度を有する平坦化層と;
    を有することを特徴とする電子放出表示装置。
  11. 前記抵抗層は、ほぼ10〜10Ωcmの比抵抗と、ほぼ0.5〜1μmの厚さを有することを特徴とする、請求項10に記載の電子放出表示装置。
  12. 前記平坦化層は、ほぼ1〜1.5μmの厚さと、ほぼ0.01〜0.1μmの表面粗度を有することを特徴とする、請求項10または11に記載の電子放出表示装置。
  13. 前記平坦化層は、絶縁物質または前記抵抗層より比抵抗が大きい抵抗物質を含むことを特徴とする、請求項10〜12のいずれかに記載の電子放出表示装置。
  14. 前記電子放出ユニットは、
    互いに絶縁されて位置するカソード電極及びゲート電極と;
    前記カソード電極に電気的に接続される電子放出部と;
    を有することを特徴とする、請求項10〜14のいずれかに記載の電子放出表示装置。
  15. 前記電子放出ユニットは、前記カソード電極および前記ゲート電極の上部に、前記カソード電極および前記ゲート電極から絶縁されて位置する集束電極をさらに有することを特徴とする、請求項14に記載の電子放出表示装置。
  16. 前記電子放出ユニットは、
    互いに離隔して位置する第1導電薄膜及び第2導電薄膜と;
    前記第1導電薄膜に電気的に連結される第1電極及び前記第2導電薄膜に電気的に連結される第2電極と;
    前記第1導電薄膜と前記第2導電薄膜の間に備えられる電子放出部と;
    を有することを特徴とする請求項10〜15のいずれかに記載の電子放出表示装置。
  17. 前記発光ユニットは、
    蛍光層と;
    前記蛍光層の間に位置する黒色層と;
    前記蛍光層と前記黒色層の前面又は背面に位置するアノード電極と;
    を有することを特徴とする、請求項10〜16のいずれかに記載の電子放出表示装置。
  18. 前記第1基板と前記第2基板は、それぞれ前記電子放出ユニットと前記発光ユニットが位置する有効領域と、前記有効領域の外郭に位置する非有効領域と、を有し、
    前記スペーサが前記有効領域に位置する第1スペーサと、前記非有効領域に位置する第2スペーサを有することを特徴とする、請求項10〜17のいずれかに記載の電子放出表示装置。
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