JP2007192716A - 光散乱観察装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被測定物5へレーザ光源1からのレーザ光線を照射し、被測定物から出射されるレーザ光線をCCDカメラ6で撮影して被測定物内に存在する散乱体を観察する光散乱観察装置であって、レーザ光源と被測定物との間の光路上に、直線偏光の方位を回転させる2分の1波長板2と、第1のガルバノミラー3および第2のガルバノミラー4が配置されると共に、2分の1波長板を透過したレーザ光線が第1のガルバノミラーおよび第2のガルバノミラーにより反射されて2次元走査され、被測定物の全体に照射されるようになっていることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
被測定物へレーザ光源からのレーザ光線を照射し、被測定物から出射されるレーザ光線をCCDカメラで撮影して被測定物内に存在する散乱体を観察する光散乱観察装置を前提とし、
上記レーザ光源と被測定物との間の光路上に、直線偏光の方位を回転させる2分の1波長板と、第1のガルバノミラーおよび第2のガルバノミラーが配置されると共に、2分の1波長板を透過したレーザ光線が上記第1のガルバノミラーおよび第2のガルバノミラーにより反射されて2次元走査され、被測定物の全体に照射されるようになっていることを特徴とする。
請求項1に記載の発明に係る光散乱測定装置を前提とし、
上記被測定物に対し水平方向からレーザ光線を2次元照射し、被測定物から出射されるレーザ光線を被測定物の真上90度に配置されたCCDカメラにより撮影されるようになっていることを特徴とし、
請求項3に係る発明は、
請求項1または2に記載の発明に係る光散乱測定装置を前提とし、
被測定物に照射されるレーザ光線の偏光を、上記2分の1波長板により水平偏波または垂直偏波に可変できるようになっていることを特徴とし、
請求項4に係る発明は、
請求項1、2または3に記載の発明に係る光散乱測定装置を前提とし、
被測定物全体の散乱体の分布を測定できるようになっていることを特徴とするものである。
2分の1波長板を透過したレーザ光線が第1のガルバノミラーおよび第2のガルバノミラーにより反射されて2次元走査され、被測定物の全体に照射されるようになっているため、2次元ステージ等を用いることなく被測定物全体の散乱体の分布を測定することが可能となる。
2 2分の1波長板
3 第1のガルバノミラー
4 第2のガルバノミラー
5 被測定物
6 CCDカメラ
Claims (4)
- 被測定物へレーザ光源からのレーザ光線を照射し、被測定物から出射されるレーザ光線をCCDカメラで撮影して被測定物内に存在する散乱体を観察する光散乱観察装置において、
上記レーザ光源と被測定物との間の光路上に、直線偏光の方位を回転させる2分の1波長板と、第1のガルバノミラーおよび第2のガルバノミラーが配置されると共に、2分の1波長板を透過したレーザ光線が上記第1のガルバノミラーおよび第2のガルバノミラーにより反射されて2次元走査され、被測定物の全体に照射されるようになっていることを特徴とする光散乱観察装置。 - 上記被測定物に対し水平方向からレーザ光線を2次元照射し、被測定物から出射されるレーザ光線を被測定物の真上90度に配置されたCCDカメラにより撮影されるようになっていることを特徴とする請求項1に記載の光散乱測定装置。
- 被測定物に照射されるレーザ光線の偏光を、上記2分の1波長板により水平偏波または垂直偏波に可変できるようになっていることを特徴とする請求項1または2に記載の光散乱観察装置。
- 被測定物全体の散乱体の分布を測定できるようになっていることを特徴とする請求項1、2または3に記載の光散乱観察装置。
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