JP2007192691A - レーザーイオン化ガス検出装置およびレーザーイオン化ガス分析方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザー透過窓7を通して光反応セル4に入射するレーザー光6によりイオン化した測定対象ガス分子をイオン検出器9で検出し、質量分析を行うレーザーイオン化ガス検出装置に、キャピラリカラム1、仕事関数が大きい物質からなるイオン加速電極8、所定の範囲から外れたレーザー光6およびその散乱光を遮る散乱光除去バッフル11、光反応セル4などを加熱するヒーター12、レーザー透過窓7に不活性ガスを吹き付けるためのノズル18を備える。
【選択図】図1
Description
Claims (14)
- 分子をレーザー光でイオン化して検出するレーザーイオン化ガス検出装置において、
容器と、
試料ガスを前記容器の内部に導入するガス導入手段と、
導入された試料ガスの少なくとも一部にレーザー光を照射するレーザー光照射手段と、
前記レーザー光の光子1個あたりのエネルギーよりも仕事関数が大きい物質からなる表面を具備するイオン加速電極と、
前記試料ガスの分子のうち、前記レーザー光でイオン化され、前記イオン加速電極で加速されたイオンを検出するイオン検出器と、
前記容器内のガスを排気する排気手段と、
を有することを特徴とするレーザーイオン化ガス検出装置。 - 分子をレーザー光でイオン化して検出するレーザーイオン化ガス検出装置において、
容器と、
試料ガスを前記容器の内部に導入するガス導入手段と、
導入された試料ガスの少なくとも一部にレーザー光を照射するレーザー光照射手段と、
内部の物質の仕事関数よりも仕事関数が大きい物質からなる表面を具備するイオン加速電極と、
前記試料ガスの分子のうち、前記レーザー光でイオン化され、前記イオン加速電極で加速されたイオンを検出するイオン検出器と、
前記容器内のガスを排気する排気手段と、
を有することを特徴とするレーザーイオン化ガス検出装置。 - 分子をレーザー光でイオン化して検出するレーザーイオン化ガス検出装置において、
容器と、
試料ガスを前記容器の内部に導入するガス導入手段と、
導入された試料ガスの少なくとも一部にレーザー光を照射するレーザー光照射手段と、
所定の光路範囲から外れた前記レーザー光および前記レーザー光の散乱光を遮る遮光手段と、
イオン加速電極と、
前記試料ガスの分子のうち、前記レーザー光でイオン化され、前記イオン加速電極で加速されたイオンを検出するイオン検出器と、
前記容器内のガスを排気する排気手段と、
を有することを特徴とするレーザーイオン化ガス検出装置。 - 前記遮光手段は、前記レーザー光の光路を囲む遮光板であることを特徴とする請求項3記載のレーザーイオン化ガス検出装置。
- 前記遮光板は、前記レーザー光が前記測定対象ガス分子に照射される領域に対して凹で、中央に前記レーザー光よりも大きな貫通孔があいた円錐形状をしていることを特徴とする請求項4記載のレーザーイオン化ガス検出装置。
- 分子をレーザー光でイオン化して検出するレーザーイオン化ガス検出装置において、
容器と、
試料ガスを前記容器の内部に導入するガス導入手段と、
導入された試料ガスの少なくとも一部にレーザー光を照射するレーザー光照射手段と、
イオン加速電極と、
前記試料ガスの分子のうち、前記レーザー光でイオン化され、前記イオン加速電極で加速されたイオンを検出するイオン検出器と、
前記容器の内部の少なくとも一部を加熱する加熱手段と、
前記容器内のガスを排気する排気手段と、
を有することを特徴とするレーザーイオン化ガス検出装置。 - 分子をレーザー光でイオン化して検出するレーザーイオン化ガス検出装置において、
容器と、
試料ガスを前記容器の内部に導入するガス導入手段と、
導入された試料ガスの少なくとも一部にレーザー光を照射するレーザー光照射手段と、
イオン加速電極と、
前記試料ガスの分子のうち、前記レーザー光でイオン化され、前記イオン加速電極で加速されたイオンを検出するイオン検出器と、
前記容器の内部の少なくとも一部を洗浄する洗浄手段と、
前記容器内のガスを排気する排気手段と、
を有することを特徴とするレーザーイオン化ガス検出装置。 - 分子をレーザー光でイオン化して検出するレーザーイオン化ガス検出装置において、
容器と、
試料ガスを前記容器の内部に導入するガス導入手段と、
導入された試料ガスの少なくとも一部にレーザー光を照射するレーザー光照射手段と、
イオン加速電極と、
前記測定対象ガス分子よりも前記レーザー光によりイオン化されにくいガスを、前記レーザー光が透過する物質の表面に吹き付けるガス導入手段と、
前記試料ガスの分子のうち、前記レーザー光でイオン化され、前記イオン加速電極で加速されたイオンを検出するイオン検出器と、
前記容器内のガスを排気する排気手段と、
を有することを特徴とするレーザーイオン化ガス検出装置。 - 分子をレーザー光でイオン化して検出するレーザーイオン化ガス検出装置において、
容器と、
温度制御可能なキャピラリカラムを備えた、試料ガスを前記容器の内部に導入する試料ガス導入手段と、
導入された試料ガスの少なくとも一部にレーザー光を照射するレーザー光照射手段と、
イオン加速電極と、
前記試料ガスの分子のうち、前記レーザー光でイオン化され、前記イオン加速電極で加速されたイオンを検出するイオン検出器と、
前記容器内のガスを排気する排気手段と、
を有することを特徴とするレーザーイオン化ガス検出装置。 - 試料ガスが前記キャピラリカラムを通過する時間およびイオン化した測定対象ガス分子の飛行時間に基づいて、前記イオン検出器で検出したガス分子を同定するデータ処理器、
を有することを特徴とする請求項9記載のレーザーイオン化ガス検出装置。 - 分子をレーザー光でイオン化して検出するレーザーイオン化ガス分析方法において、
試料ガスを容器の内部に導入するガス導入工程と、
前記ガス導入工程で導入された試料ガスの一部にレーザー光を照射する照射工程と、
前記照射工程でレーザー光によりイオン化されたイオンを電気的に加速するイオン加速工程と、
前記イオン加速工程で加速されたイオンを検出する検出工程と、
前記容器を加熱する加熱工程と、
を有することを特徴とするレーザーイオン化ガス分析方法。 - 分子をレーザー光でイオン化して検出するレーザーイオン化ガス分析方法において、
試料ガスを容器の内部に導入するガス導入工程と、
前記ガス導入工程で導入された試料ガスの一部にレーザー光を照射する照射工程と、
前記照射工程でレーザー光によりイオン化されたイオンを電気的に加速するイオン加速工程と、
前記イオン加速工程で加速されたイオンを検出する検出工程と、
前記容器の内部に残留した試料ガスを洗浄する洗浄工程と、
を有することを特徴とするレーザーイオン化ガス分析方法。 - 前記洗浄工程は、有機溶剤を残留した試料ガスに接触させ、気化した前記有機溶剤を取り除くものであることを特徴とする請求項12記載のレーザーイオン化ガス分析方法。
- 分子をレーザー光でイオン化して検出するレーザーイオン化ガス分析方法において、
所定の期間、試料ガスをキャピラリカラムに取り入れるガス収集工程と、
前記ガス収集工程で取り入れられた試料ガスを容器の内部に導入するガス導入工程と、
前記ガス導入工程で導入された試料ガスの一部にレーザー光を照射する照射工程と、
前記照射工程でレーザー光によりイオン化されたイオンを電気的に加速するイオン加速工程と、
前記イオン加速工程で加速されたイオンを検出する検出工程と、
試料ガスが前記キャピラリカラムを通過するのに要する時間、および、イオン化からイオンが検出されるまでに要する時間に基づいて試料ガスの成分およびその割合を求めるデータ処理工程と、
を有することを特徴とするレーザーイオン化ガス分析方法。
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