JP4719012B2 - イオン化法ガス検出装置およびイオン化法ガス検出方法 - Google Patents
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Description
Vladilen. S. Letokhov著、"Laser Photoionization Spectroscopy"、Academic Press, Inc.、1987年、p.100-p.103 濱口宏夫、他4名編著、「レーザー分光計測の基礎と応用」、アイピーシー、1992年、p.631-p.632
Claims (12)
- イオン化室内で、測定対象ガスをイオン化して、そのイオン電流を検知して前記測定対象ガスの分子量を測定するイオン化法ガス検出装置において、
前記測定対象ガスを保持するサンプリング室と、
前記サンプリング室に試料ガスを導入するサンプリング配管と、
前記サンプリング配管に取り付けられたサンプリングバルブと、
前記サンプリング室と前記イオン化室との間に取り付けられた試料導入バルブと、
標準試料を保持する標準試料格納容器と、
前記サンプリング室と前記標準試料格納容器とを接続し、前記標準試料格納容器内の標準試料の飽和蒸気を前記サンプリング室に導入する標準試料配管と、
前記標準試料配管に取り付けられた標準試料配管バルブと、
前記サンプリング室内を真空排気可能な排気ポンプと、
前記排気ポンプと前記サンプリング室とを接続するサンプリング室真空排気配管と、
前記サンプリング室真空排気配管に取り付けられたサンプリング室真空排気バルブと、
を有することを特徴とするイオン化法ガス検出装置。 - 前記標準試料格納容器内の標準試料をその融点以上に加熱する標準試料加熱手段と、
前記標準試料格納容器内の標準試料をその融点以下に冷却する標準試料冷却手段と、
前記排気ポンプと前記標準試料格納容器とを接続する標準試料格納容器真空排気配管と、
前記標準試料格納容器真空排気配管に取り付けられた標準試料格納容器真空排気バルブと、
を有することを特徴とする請求項1に記載のイオン化法ガス検出装置。 - 前記標準試料格納容器内の標準試料の温度を測定する温度測定手段、
を有することを特徴とする請求項2に記載のイオン化法ガス検出装置。 - 希釈用ガスを保持する希釈用ガスボンベと、
前記希釈用ガスボンベと前記サンプリング室とを接続する希釈用ガス配管と、
前記希釈用ガス配管に取り付けられた希釈用ガスバルブと、
を有することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか記載のイオン化法ガス検出装置。 - 前記サンプリング室の内部の気体の圧力を測定する圧力計、
を有することを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか記載のイオン化法ガス検出装置。 - 前記測定対象ガスが接触する部分を加熱する測定対象ガス付着防止手段、
を有することを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか記載のイオン化法ガス検出装置。 - 前記イオン化室内に前記試料導入バルブから導入される物質にレーザー光を照射するレーザー光照射手段と、
前記イオン化室の内部に設置されたイオン加速電極と、
前記イオン化室の内部に設置されたイオン検出器と、
を有することを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか記載のイオン化法ガス検出装置。 - イオン化室内で、測定対象ガスをイオン化して、そのイオン電流を検知して前記測定対象ガスの分子量を測定する測定工程を備えたイオン化法ガス検出方法において、
前記測定対象ガスを保持するサンプリング室を真空に排気する真空排気工程と、
前記真空排気工程の後に、差圧により標準試料の飽和蒸気を、前記サンプリング室に導入する標準試料導入工程と、
前記標準試料導入工程の後に、前記サンプリング室に充満したガスを前記イオン化室に導入し、前記イオン化室で、イオン化して、そのイオン電流を検知する較正データ取得工程と、
を有することを特徴とするイオン化法ガス検出方法。 - 前記標準試料導入工程は、さらに前記サンプリング室の圧力を測定するものであることを特徴とする請求項8記載のイオン化法ガス検出方法。
- 前記標準試料導入工程の後であって、前記較正データ取得工程の前に、前記サンプリング室に希釈ガスを導入する希釈ガス導入工程、
を有することを特徴とする請求項8または請求項9記載のイオン化法ガス検出方法。 - 前記希釈ガス導入工程は、さらに前記サンプリング室の圧力を測定するものであることを特徴とする請求項10記載のイオン化法ガス検出方法。
- 前記標準試料導入工程の前に、標準試料格納容器内に保持された前記標準試料をその融点以下に冷却して、前記標準試料格納容器内に充満した気体を排気した後に、前記標準試料をその融点以上に加熱する工程、
を有することを特徴とする請求項8ないし請求項11のいずれか記載のイオン化法ガス検出方法。
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