JP2007189121A - セラミック積層基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数枚のセラミックグリーンシート11をそれぞれ枠体12に貼り付けた後、それぞれのセラミックグリーンシート11に導体パターンを印刷、乾燥し、複数枚を積層し、焼成して形成するセラミック積層基板10の製造方法において、セラミックグリーンシート11の外周端面が枠体12の内周端面と対向するようにしてセラミックグリーンシート11の外周部と、枠体12の内周部とを接着テープ13で貼り合わせた後、セラミックグリーンシート11に溶剤を塗布する工程を有する。
【選択図】図1
Description
また、従来のセラミック積層基板を作製するための製造装置には、枠体と、この枠体に設けられた歪ゲージと、枠体に周縁が貼り付けられたセラミックグリーンシートを載置して加熱するホットプレートと、歪ゲージの検出する応力が予め設定した状態になった時にホットプレートの加熱を停止させる制御部とを含むものが提案されている。そして、この製造装置で作製されるセラミック積層基板には、セラミックグリーンシートの加熱による収縮量を一定に保つことで、パターンずれを防ぐようにしている。(例えば、特許文献2参照)。
更に、セラミック積層基板を作製するための枠体へのセラミックグリーンシートの貼り付け装置、及び貼り付け方法には、セラミックグリーンシートの厚み方向にローラで加圧してセラミックグリーンシートの歪を矯正して平坦にしてから、セラミックグリーンシートを枠体の上面外周部に粘着テープで貼り付ける装置、及び方法が提案されている(例えば、特許文献3参照)。
(1)セラミックグリーンシートは、枠体に外周部を貼り付けていることで、セラミックグリーンシートに収縮があった場合にはこの収縮による寸法変化を拘束することができるが、枠体に外周部を貼り付けたとしてもセラミックグリーンシートに発生する伸びについては拘束することができない。この枠体に貼り付けられたセラミックグリーンシートには、導体ペーストを用いてスクリーン印刷機でビア導体や、スルーホール導体や、配線パターン等を設けているが、導体ペースト中の溶剤がセラミックグリーンシート内に浸透し、セラミックグリーンシート内のバインダーが膨潤してセラミックグリーンシートに弛みを発生させている。また、枠体に貼り付けられたセラミックグリーンシートは、配線パターンの形成後に平板のプレス機で両面を温度と圧力をかけて押さえつけられて表面が平滑とされているが、これによって、セラミックグリーンシートには弛みを発生させている。これらの弛みによって、それぞれのセラミックグリーンシートは、位置精度が低下して、複数枚を積層する時の作業が困難となったり、積層できたとしても大きな積層ずれを発生させている。
(2)特開平4−201512号公報で開示されるように、枠体内周辺部上にセラミックグリーンシートを重ね合わせて両面テープで貼着固定し、枠体に加工のための位置決め手段を設けたとしても、セラミックグリーンシートは、セラミックグリーンシートに発生する伸びについては拘束することができないので、セラミックグリーンシートの位置精度を低下させてしまうこととなっている。また、セラミックグリーンシートは、枠体内周辺部上に重ね合わせて接合しているので、セラミックグリーンシートに加工台上で加工を施す時に段差ができ、作業性の低下となっている。
(3)特開平6−270120号公報で開示されるように、枠体に歪ゲージを取り付けたとしても、セラミックグリーンシートは、セラミックグリーンシートに発生する伸びについて拘束することを考慮していないので、セラミックグリーンシートの位置精度が低下していることとなっている。
(4)特開2004−167745号公報で開示されるように、セラミックグリーンシートの厚み方向にローラで加圧してセラミックグリーンシートの歪を矯正して平坦にしたとしても、セラミックグリーンシートは、枠体に貼り付ける前の歪矯正であり、枠体に貼り付けた後のセラミックグリーンシートに発生する歪について矯正することを考慮していないので、セラミックグリーンシートの位置精度が低下していることとなっている。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、枠体に貼り付けられたセラミックグリーンシートの加工工程途中での伸びの発生を抑え、積層ずれを防止する作業性のよいセラミック積層基板の製造方法を提供することを目的とする。
ここで、セラミック積層基板の製造方法は、接着テープがポリエステル系テープからなるのがよい。
また、上記のセラミック積層基板の製造方法は、溶剤がセラミックグリーンシート中のバインダーと反応しやすく、且つ揮発性が高いのがよい。
ここに、図1(A)〜(E)はそれぞれ本発明の一実施の形態に係るセラミック積層基板の製造方法の一部説明図、図2(A)〜(D)はそれぞれ同セラミック積層基板の製造方法の一部説明図である。
図2(A)に示すように、複数枚のセラミックグリーンシート11は、重ね合わせて積層するために、枠体12に貼り付けた最下層のセラミックグリーンシート11以外の上層となるそれぞれのセラミックグリーンシート11の枠体12をセラミックグリーンシート11の外周部から切断して切り離している。そして、枠体12に貼り付けた最下層のセラミックグリーンシート11上には、枠体12を切り離したセラミックグリーンシート11を順次重ね合わせて載置し、上、下面を加熱できる加熱プレス機で押圧して積層している。あるいは、図示しないが、複数枚のセラミックグリーンシート11は、枠体12に貼り付けた状態で順次重ね合わせ、加熱プレス機で押圧して積層してもよい。
Claims (3)
- 複数枚のセラミックグリーンシートをそれぞれ枠体に貼り付けた後、それぞれの前記セラミックグリーンシートに導体パターンを印刷、乾燥し、複数枚を積層し、焼成して形成するセラミック積層基板の製造方法において、
前記セラミックグリーンシートの外周端面が前記枠体の内周端面と対向するようにして前記セラミックグリーンシートの外周部と、前記枠体の内周部とを接着テープで貼り合わせた後、前記セラミックグリーンシートに溶剤を塗布する工程を有することを特徴とするセラミック積層基板の製造方法。 - 請求項1記載のセラミック積層基板の製造方法において、前記接着テープがポリエステル系テープからなることを特徴とするセラミック積層基板の製造方法。
- 請求項1又は2記載のセラミック積層基板の製造方法において、前記溶剤が前記セラミックグリーンシート中のバインダーと反応しやすく、且つ揮発性が高いことを特徴とするセラミック積層基板の製造方法。
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JP2015093459A (ja) * | 2013-11-13 | 2015-05-18 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミック積層体の製造方法 |
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