JP2007180200A5 - - Google Patents
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Claims (3)
- 主面側を封止する樹脂層を備えるウェハに形成された識別マークを読み取るための装置であって、
赤外光線を出射する光源を備え、前記ウェハの裏面側から光軸を前記ウェハの主面に対して斜めに交差させつつ前記赤外光線を出射する照明ユニットと、
該照明ユニットから前記ウェハの裏面側に向けて出射された前記赤外光線を受光して撮像する撮像ユニットと、を備え、
前記撮像ユニットは、前記ウェハを通過し前記ウェハの主面側で反射した前記赤外光線の反射光を受光して撮像することを特徴とする識別マークの読取装置。 - 請求項1記載の識別マークの読取装置において、
前記照明ユニットに、前記光源から出射した前記赤外光線の光路を規定するファイバー束が設けられていることを特徴とする識別マークの読取装置。 - 請求項1または請求項2に記載の識別マークの読取装置において、
前記光源から出射した前記赤外光線の光路を規定する反射ミラーが設けられていることを特徴とする識別マークの読取装置。
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