KR101728599B1 - 조명장치 및 이를 포함하는 검사장치 - Google Patents

조명장치 및 이를 포함하는 검사장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101728599B1
KR101728599B1 KR1020150036204A KR20150036204A KR101728599B1 KR 101728599 B1 KR101728599 B1 KR 101728599B1 KR 1020150036204 A KR1020150036204 A KR 1020150036204A KR 20150036204 A KR20150036204 A KR 20150036204A KR 101728599 B1 KR101728599 B1 KR 101728599B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
plate
light emitting
light
case
groove
Prior art date
Application number
KR1020150036204A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20160111267A (ko
Inventor
유광룡
Original Assignee
유광룡
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 유광룡 filed Critical 유광룡
Priority to KR1020150036204A priority Critical patent/KR101728599B1/ko
Publication of KR20160111267A publication Critical patent/KR20160111267A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101728599B1 publication Critical patent/KR101728599B1/ko

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21—LIGHTING
    • F21S—NON-PORTABLE LIGHTING DEVICES; SYSTEMS THEREOF; VEHICLE LIGHTING DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR VEHICLE EXTERIORS
    • F21S2/00—Systems of lighting devices, not provided for in main groups F21S4/00 - F21S10/00 or F21S19/00, e.g. of modular construction
    • F21S2/005—Systems of lighting devices, not provided for in main groups F21S4/00 - F21S10/00 or F21S19/00, e.g. of modular construction of modular construction
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21—LIGHTING
    • F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F21V15/00—Protecting lighting devices from damage
    • F21V15/01—Housings, e.g. material or assembling of housing parts
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21—LIGHTING
    • F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F21V9/00—Elements for modifying spectral properties, polarisation or intensity of the light emitted, e.g. filters
    • F21V9/14—Elements for modifying spectral properties, polarisation or intensity of the light emitted, e.g. filters for producing polarised light
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/62—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21—LIGHTING
    • F21W—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES F21K, F21L, F21S and F21V, RELATING TO USES OR APPLICATIONS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS
    • F21W2131/00—Use or application of lighting devices or systems not provided for in codes F21W2102/00-F21W2121/00
    • F21W2131/40—Lighting for industrial, commercial, recreational or military use
    • F21W2131/403—Lighting for industrial, commercial, recreational or military use for machines
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21—LIGHTING
    • F21Y—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES F21K, F21L, F21S and F21V, RELATING TO THE FORM OR THE KIND OF THE LIGHT SOURCES OR OF THE COLOUR OF THE LIGHT EMITTED
    • F21Y2101/00—Point-like light sources
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21—LIGHTING
    • F21Y—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES F21K, F21L, F21S and F21V, RELATING TO THE FORM OR THE KIND OF THE LIGHT SOURCES OR OF THE COLOUR OF THE LIGHT EMITTED
    • F21Y2115/00—Light-generating elements of semiconductor light sources
    • F21Y2115/10—Light-emitting diodes [LED]
    • Y02B20/34—
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S362/00—Illumination
    • Y10S362/80—Light emitting diode

Abstract

본 발명은 빛을 발생시키는 발광부, 상기 발광부에서 발생한 빛이 내부로 유입되고, 제1 바디 및 제1 바디와 분리 가능하게 결합되는 제2 바디를 포함하며, 상기 발광부와 분리 가능하게 결합되는 케이스; 및 상기 제1 바디 및 상기 제2 바디 사이에 구비되고, 상기 발광부에서 발생되는 빛을 일부는 투과시키고, 다른 일부는 반사시키는 플레이트를 포함하는 조명장치 및 이를 포함하는 검사장치를 개시한다.

Description

조명장치 및 이를 포함하는 검사장치{LIGHTING DEVICE AND TESTING DEVICE INCLUDING THE SAME}
본 발명은 조명장치 및 이를 포함하는 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 빛의 일부는 반사하고, 일부는 투과시키는 플레이트가 고정되는 케이스에 플레이트가 삽입되는 홈이 형성되고, 케이스 및 조명부가 분리 가능한 다수개의 바디로 구성되는 조명장치 및 이를 포함하는 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 웨이퍼 기판이나 액정 유리 기판 등의 제조는 다수의 공정을 거치며, 최종 공정에서 결함을 검출하기 위하여 기판 등을 검사하는 장치는 피검사체면을 조명하는 조명장치를 구비하여 회절광, 산란광 등을 수광하여 촬상하는 방식으로 표면의 결함 등을 검출할 수 있다.
종래에는 조명장치의 빛을 반사 및 투과시키는 반사 미러가 구비되었으며, 기판에서 반사된 빛의 일부는 반사시키고, 일부는 투과시키는 방식으로 결함을 검출하였다. 일례로, 하프 미러(Half Mirror)가 반사 미러로 사용될 수 있었으며, 조명장치에서 얻어지는 파장대가 상이한 광을 반사시켜 피검사체에 조사하고, 피검사체로부터 반사되는 광을 투과시키는 역할을 할 수 있었다. 종래의 하프 미러는 검사장치 내부에 비스듬하게 슬라이드되는 방식으로 결합하였고, 설치된 하프 미러의 각도에 따라 하프 미러가 휘어져서 고스트 현상이 발생하여 피검사체를 촬상한 카메라에 잔상이 남아 번져보이는 문제점이 발생하였고, 피검사체의 포커스가 맞지 않는 문제점이 있었다.
또한, 종래의 하프 미러가 구비된 검사장치는 조명 장치가 일체형으로 구비되었으며, 하프 미러가 분리되지 않고 고정된 형태로 구비되어 교체 및 수리가 어려운 문제점이 있었다.
전술한 바와 같이 하프 미러가 휘어져 고스트 현상이 발생하는 문제점을 해결하고, 교체 또는 수리가 용이하도록 조명 장치가 일체형이 아닌 분리 가능하게 결합되는 형태로 개선해야 할 필요성이 대두되었다.
대한민국 공개특허 제2004-0005355호(2014.01.16 공개), "펠리클 분리형 프레임구조" 대한민국 공개특허 특2001-0084145호(2001.09.06 공개), "포토마스크 보호를 위한 착탈식 펠리클" 대한민국 공개특허 제2007-0069341호(2007.07.03 공개), "반도체 제조용 레티클"
본 발명은 조명 장치의 빛을 반사 및 투과시키는 플레이트로서 펠리클 재질을 이용하여 반도체 기판이나 유리 액정 기판의 결함을 판단할 수 있는 조명 장치 및 이를 포함하는 검사장치를 제공한다.
본 발명은 펠리클 재질 또는 하프글라스 재질의 플레이트가 고정되는 검사장치에 펠리클 재질의 플레이트가 삽입되는 홈이 형성되어 처짐을 방지할 수 있는 조명 장치 및 이를 포함하는 검사 장치를 제공한다.
본 발명은 조명 장치가 분리 가능한 두 개의 몸체로 구성되어 펠리클 재질 또는 하프글라스 재질의 플레이트의 교체 또는 수리가 용이한 조명장치 및 이를 포함하는 검사장치를 제공한다.
본 발명에 의한 조명장치는, 빛을 발생시키는 발광부; 상기 발광부에서 발생한 빛이 내부로 유입되고, 제1 바디 및 상기 제1 바디와 분리 가능하게 결합되는 제2 바디를 포함하며, 상기 발광부와 분리 가능하게 결합되는 케이스; 및 상기 제1 바디 및 상기 제2 바디 사이에 구비되고, 상기 발광부에서 발생되는 빛의 일부를 투과시키고, 다른 일부는 반사시키는 플레이트를 포함할 수 있다.
또한, 상기 발광부는 발광 다이오드(LED)인 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 발광부는 상기 케이스와 분리 가능하게 결합될 수 있다.
또한, 상기 발광부와 상기 케이스 사이에는 PCB케이스가 결합될 수 있고, 상기 PCB케이스는 상기 발광부와 분리 가능하게 결합될 수 있다.
또한, 상기 제1 바디 및/또는 상기 제2 바디에는 상기 플레이트의 적어도 일부분이 삽입되는 홈이 형성될 수 있다.
또한, 상기 제1 바디 및 상기 제2 바디는 내부에 중공부가 형성된 삼각기둥으로 형성되고, 상기 제1 바디 및 상기 제2 바디의 경사면은 서로 밀착될 수 있다.
또한, 제1 바디 및 제2 바디의 경사면 가운데 적어도 하나에는 상기 플레이트의 테두리가 삽입되는 홈이 형성될 수 있다.
또한, 상기 플레이트는 펠리클 재질 또는 하프 글라스 재질로 형성될 수 있다.
또한, 상기 플레이트가 펠리클 재질로 형성되는 경우에, 상기 플레이트 표면에 인코넬 또는 유전체가 코팅될 수 있다.
또한, 상기 제1 바디 및 상기 제2 바디는 체결부재에 의하여 분리 가능하게 결합될 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 검사장치는, 빛을 발생시키는 발광부; 상기 발광부에서 발생한 빛이 내부로 유입되고, 제1 바디 및 상기 제1 바디와 분리 가능하게 결합되는 제2 바디를 포함하는 케이스; 상기 제1 바디 및 상기 제2 바디 사이에 구비되고, 상기 발광부에서 발생되는 빛을 일부는 투과시키고, 다른 일부는 반사시키는 플레이트; 상기 플레이트에서 투과 또는 반사된 빛에 의한 제1 이미지와, 상기 플레이트에서 투과 또는 반사된 다음 피검사체에서 반사된 빛에 의한 제2 이미지가 획득되는 카메라; 및 상기 카메라에서 획득된 제1 이미지 및 제2 이미지를 비교하여 피검사체의 이상 유무를 판단하는 제어부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 플레이트는 펠리클 재질 또는 하프 글라스 재질로 형성될 수 있다.
본 발명에 따르면, 케이스의 제1 바디 및/또는 제2 바디에 형성된 홈에 반투광성 플레이트가 완전히 밀착될 수 있으므로 처짐의 문제점을 해결할 수 있고, 카메라에 잔상이 남는 고스트 현상을 방지할 수 있다.
또한, 반투광성 플레이트가 펠리클(Pellicle) 재질로 형성되어 종래의 하프 미러 방식에서의 초점 불량 현상 및 고스트 현상을 방지할 수 있다.
또한, 펠리클 재질의 플레이트 표면에 인코넬이나 유전체와 같은 물질을 코팅하여, 플레이트에서의 반사도와 투과도가 조절될 수 있다.
또한, 반투광성 플레이트의 모서리와 제1 바디 또는 제2 바디에 형성된 홈의 모서리 사이에 빈 공간을 형성하여 플레이트를 제1 바디 또는 제2 바디로부터 쉽게 분리할 수 있다.
또한, 발광부가 케이스에 분리 가능하게 결합되어, 필요에 따라 발광부만을 분리하여 다른 용도로 사용할 수 있는 융통성이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 조명장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 조명장치를 다른 각도에서 바라본 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 조명장치의 분해 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 조명장치를 다른 각도에서 바라본 분해 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 조명장치의 플레이트가 홈에 결합되었을 때의 플레이트의 모서리 부분의 부분 확대도이다.
도 6(a)는 도 1의 A-A선을 절개하여 바라본 본 발명의 일 실시예에 따른 조명장치의 플레이트가 제1 바디에 결합되는 형상을 도시한 단면도이다.
도 6(b)는 도 1의 A-A선을 절개하여 바라본 본 발명의 다른 실시예에 따른 조명장치의 플레이트가 제1 바디와 제2 바디의 일부분에 형성된 홈에 결합되는 형상을 도시하는 단면도이다.
도 6(c)는 도 1의 A-A선을 절개하여 바라본 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 조명장치의 플레이트가 제2 바디에 결합되는 형상을 도시하는 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 조명장치를 포함하는 검사장치의 단면도이다.
이하 첨부 도면들 및 첨부 도면들에 기재된 내용들을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
본 명세서에서 사용되는 "실시예", "예", "측면", "예시" 등은 기술된 임의의 양상(aspect) 또는 설계가 다른 양상 또는 설계들보다 양호하다거나, 이점이 있는 것으로 해석되어야 하는 것은 아니다.
또한, '또는'이라는 용어는 배타적 논리합 'exclusive or'이기보다는 포함적인 논리합 'inclusive or'를 의미한다. 즉, 달리 언급되지 않는 한 또는 문맥으로부터 명확하지 않는 한, 'x가 a 또는 b를 이용한다'라는 표현은 포함적인 자연 순열들(natural inclusive permutations) 중 어느 하나를 의미한다.
또한, 본 명세서 및 청구항들에서 사용되는 단수 표현("a" 또는 "an")은, 달리 언급하지 않는 한 또는 단수 형태에 관한 것이라고 문맥으로부터 명확하지 않는 한, 일반적으로 "하나 이상"을 의미하는 것으로 해석되어야 한다.
또한, 본 명세서에 사용된 "및/또는"이라는 용어는 열거된 관련 아이템들 중 하나 이상의 아이템의 가능한 모든 조합을 지칭하고 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
또한, "포함한다" 및/또는 "포함하는"이라는 용어는, 해당 특징, 단계, 동작, 모듈, 구성요소 및/또는 컴포넌트가 존재함을 의미하지만, 하나 이상의 다른 특징, 단계, 동작, 모듈, 구성요소, 컴포넌트 및/또는 이들의 그룹의 존재 또는 추가를 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
한편, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는, 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 그리고, 본 명세서에서 사용되는 용어(terminology)들은 본 발명의 실시예를 적절히 표현하기 위해 사용된 용어들로서, 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 본 발명이 속하는 분야의 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 따라서, 본 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 조명장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 조명장치를 다른 각도에서 바라본 사시도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 조명장치의 분해 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 조명장치를 다른 각도에서 바라본 분해 사시도이며, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 조명장치의 모서리 부분의 부분 확대도이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 조명장치는 케이스(10)와, 플레이트(40)와, 발광부(50)를 포함한다.
케이스(10)는 조명 장치(1)의 외관을 형성할 수 있고, 발광부(50)에서 발생한 빛이 내부로 유입될 수 있다.
케이스(10)는 분리 가능하게 결합되는 제1 바디(11)와 제2 바디(12)로 형성될 수 있다. 제1 바디(11) 및 제2 바디(12)는 케이스 체결부재(130)에 의하여 분리 가능하게 결합될 수 있다. 제1 바디(11)와 제2 바디(12) 각각은 내부에 중공부가 형성된 삼각기둥 형상으로 형성될 수 있다. 제1 바디(11) 및 제2 바디(12)의 내부에는 중공부가 형성될 수 있다.
제2 바디(12)의 정면(128)과 배면(126)에 케이스 체결부재(130)가 체결될 수 있는 제1 케이스 체결홀(122)이 적어도 하나 이상 형성될 수 있다. 케이스 체결부재(130)는 제2 바디(12)에 결합될 수 있고, 케이스 체결부재(130)가 체결되는 제1 케이스 체결홀(122)이 정면에서 바라보았을 때 경사진 형태로 형성될 수 있다. 일례로, 케이스 체결부재(130)는 스크류 또는 볼트가 될 수 있다.
케이스 체결부재(130)는 제2 바디(12)에 형성되는 제1 케이스 체결홀(122)을 통과하여 제1 바디(11)에 형성되는 제2 케이스 체결홀(119)에 끼워져 결합될 수 있다.
제2 바디(12)는 제2 바디(12)의 배면(126)에 수직 방향으로 결합되는 측면(124)을 포함할 수 있다. 다시 말해, 배면(126)과 측면(124)은 직각을 이루고, 배면(126)과 측면(124)에 제2 경사면(121)이 결합되어 삼각기둥 형상을 이룰 수 있다.
제1 바디(11)의 정면(113)은 가운데 일 부분이 뚫려있는 제1 광유출입 개구(115)가 형성될 수 있고, 제1 광유출입 개구(115)을 통하여 플레이트(40)를 투과한 빛이 제1 바디(11)의 외부로 노출될 수 있다. 일례로, 발광부(50)로부터 빛을 받은 플레이트(40)는 빛의 일부를 투과시켜 카메라(70)로 전달할 수 있다.
제2 바디(12)의 정면(128)은 제1 바디(11)의 정면(113)과 마찬가지로 가운데 일 부분이 뚫린 형태의 제2 광유출입 개구(129)를 형성할 수 있고, 제2 광유출입 개구(129)를 통하여 플레이트(40)에 의해 반사된 빛이 제2 바디(12)의 외부로 노출될 수 있다. 일례로, 발광부(50)로부터 빛을 받은 플레이트(40)는 빛의 일부를 반사시켜 피검사체(S)로 전달시킬 수 있다.
제1 바디(11)는 카메라(70)로 빛을 전달하기 위해 정면(113)에 가운데 일 부분이 뚫려 제1 광유출입 개구(115)를 형성하고, 제2 바디(12)는 발광부(50)로부터 빛을 받는 배면(126)에 제2 발광개구(127)가 형성될 수 있다.
또한, 제1 바디(11)와 제1 경사면(116)과 제2 바디(12)의 제2 경사면(121)은 플레이트(40)가 결합될 수 있도록 홈(118, 131)이 형성될 수 있으며, 제1 바디(11)의 제1 경사면(116)에는 제1 경사면 개구(114)가 형성될 수 있고, 제2 바디(12)의 제2 경사면(121)에는 제2 경사면 개구(125)가 형성될 수 있다. 제1 경사면 개구(114) 및 제2 경사면 개구(125)는 제1 바디(11) 및 제2 바디(12)가 결합되면 서로 마주할 수 있고, 플레이트(40)는 제1 경사면 개구(114) 및 제2 경사면 개구(125)에 배치될 수 있다.
제1 바디(11)의 제1 경사면(116)과 제2 바디(12)의 제2 경사면(121) 가운데 적어도 하나에는 플레이트(40)의 일 부분이 삽입되는 제1 홈(118)과, 제2 홈(131)이 형성될 수 있다. 홈(118, 131)은 케이스(10)의 내측에서 외측으로 단턱지게 형성될 수 있다. 다시 말해, 제1 경사면(116)과 제1 홈(118)은 높이 차가 형성되는 형태로서 제1 홈(118)의 높이가 제1 경사면(116)의 높이보다 낮게 형성될 수 있다. 마찬가지로, 제2 경사면(121)과 제2 홈(131)은 단턱지게 형성될 수 있고, 제2 경사면(121)이 제2 홈(131)의 높이보다 낮게 형성될 수 있다.
다시 말해, 제1 경사면(116) 및 제2 경사면(121)은 제1 홈(118) 및 제2 홈(131)의 두께보다 두껍게 형성될 수 있다.
종래의 일체형 조명 장치의 경우에는 조명 장치 내부의 대각선 방향으로 반사막이 슬라이드 되는 방식으로 결합 및 분리될 수 있도록 하는 홈이 형성된 형태였다. 이러한 방식은 반사막의 처짐을 유발하고, 반사막으로부터 반사되는 빛을 카메라로 촬영하는 경우 카메라에 잔상이 남아 번져보이는 문제가 있어 피검사체의 결함을 제대로 판단할 수 없었다.
이에 반하여, 본 발명에 따른 조명 장치(1)는 제1 바디(11)와 제2 바디(12)로 분리될 수 있고, 제1 바디(11) 및 제2 바디(12)에 형성된 홈(118, 131)에 반사막인 플레이트(40)가 완전히 밀착될 수 있으므로 처짐의 문제점을 해결할 수 있고, 카메라에 잔상이 남는 고스트 현상을 방지할 수 있는 장점이 있다.
제1 경사면(115) 및 제2 경사면에 형성되는 홈(118, 131)은 모서리가 둥근 형태로 형성될 수 있다. 도 5를 참조하면, 플레이트(40)의 모서리는 모따기 처리될 수 있어, 플레이트(40)의 모서리 부분이 곡선이 아닌 직선으로 형성될 수 있고, 이로 인하여 플레이트(40)의 모서리와 홈(118, 131)의 모서리 사이에 손가락을 넣어 플레이트(40)를 분리할 수 있는 빈 공간(401)이 형성될 수 있다.
플레이트(40)의 모서리가 홈(118, 131)의 모서리 부분에 빈 공간(401)을 형성하는 경우에는 사용자가 손쉽게 플레이트(40)를 제1 바디(11) 및/또는 제2 바디(12)로부터 분리할 수 있는 장점이 있다. 일례로, 플레이트(40)의 일 면이 먼지입자의 침착 등에 의해 빛을 제대로 반사 또는 투과시키지 못하여 교체 또는 수리가 필요한 경우에는, 홈(118, 131)과 플레이트(40) 사이에 형성되는 빈 공간(401)을 이용하여 용이하게 플레이트(40)를 분리할 수 있다.
플레이트(40)는 케이스(10)의 제1 바디(11)와 제2 바디(12) 사이에 구비될 수 있고, 발광부(50)에서 발생되는 빛의 일부는 투과시키고, 다른 일부는 반사시키는 역할을 할 수 있다.
플레이트(40)는 펠리클(Pellicle) 재질로 형성될 수 있다. 펠리클(Pellicle)은 종래의 하프 미러(Half mirror)와 유사하게 발광부(50)에서 얻어지는 빛의 일부를 반사하고 일부를 투과시키는 특징을 갖는 얇고 투명한 플라스틱으로 반사면으로 이용될 수 있고, 종래 하프 미러를 사용하는 경우보다 초점 불량 및 고스트 현상을 개선할 수 있다. 또한, 펠리클 재질의 플레이트(40) 표면에 인코넬이나 유전체와 같은 물질을 코팅하여, 플레이트(40)에서의 반사도와 투과도가 조절될 수 있다. 물론, 상기 플레이트(40)는 일반적인 하프 글래스로 형성될 수도 있다.
발광부(50)는 빛을 발생시키는 역할을 할 수 있다. 일례로, 발광부(50)는 LED소자(51)가 구비될 수 있다. 발광부(50)에는 다수 개의 LED소자(51)가 구비될 수 있으며, 일반 백열전구나 형광등에 비해 소비전력이 낮은 장점이 있고, 자외선과 같은 유해파의 방출이 없어 친환경적이라는 장점이 있다.
발광부(50)는 케이스(10)의 하단에 분리 가능하게 결합될 수 있다. 조명 장치(1)를 사용하지 않는 경우에는 발광부(50)를 조명장치(1)로부터 분리하여 일반 조명 등의 다양한 용도로 이용할 수 있다.
발광부(50)와 케이스(10) 사이에는 PCB케이스(30)가 결합될 수 있고, PCB케이스(30)는 발광부(50)와 분리 가능하게 결합될 수 있다. 발광부(50)에는 다수 개의 LED소자(51)로 전력을 공급하기 위한 전력공급선(미도시)이 다수 개 연결될 수 있고, 상기 전력공급선을 조명장치(1)의 외부로 노출시킬 수 있도록 PCB케이스(30)의 측면에는 다수 개의 관통홀(31)이 형성될 수 있다.
발광부(50) 상면의 테두리 부분에는 PCB케이스(30)와 발광부(50)를 분리 가능하게 결합시킬 수 있도록 하는 발광부 체결홀(32)이 형성될 수 있다. 발광부 체결홀(32)에는 발광부 체결부재(33)가 다수 개 결합될 수 있다.
LED소자(51)를 장시간 사용함에 따라 발생되는 열의 온도가 높을 경우에는 고장의 원인이 될 수 있기 때문에, 발광부(50)에는 LED소자(51)에서 발생되는 열을 발산시킬 수 있는 방열판(52, 도 7참조)이 결합될 수 있다. 방열판(52)은 일례로, 알루미늄 재질 또는 플라스틱 재질의 방열판(52)으로 결합될 수 있고, 방열판(52)을 코팅하여 방열 효과를 얻는 방법 등이 있다.
도 6(a)는 도 1의 A-A선을 절개하여 바라본 본 발명의 일 실시예에 따른 조명장치의 플레이트가 제1 바디에 결합되는 형상을 도시한 단면도이고, 도 6(b)는 도 1의 A-A선을 절개하여 바라본 본 발명의 다른 실시예에 따른 조명장치의 플레이트가 제1 바디와 제2 바디의 일부분에 형성된 홈에 결합되는 형상을 도시하는 단면도이며, 도 6(c)는 도 1의 A-A선을 절개하여 바라본 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 조명장치의 플레이트가 제2 바디에 결합되는 형상을 도시하는 단면도이다.
도 6(a)를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 조명장치(1)의 플레이트(40)는 제1 바디(11)에 삽입될 수 있다. 다시 말해, 플레이트(40)가 삽입될 수 있는 홈은 제1 바디(11)에만 형성될 수 있다.
제1 바디(11)의 제1 경사면(116)과 제1 홈(118)은 단턱지게 형성될 수 있고, 제1 경사면(116)의 높이보다 낮은 높이로 형성되는 제1 홈(118)에 플레이트(40)가 끼워 맞춤될 수 있다. 다시 말해, 플레이트(40)는 제1 바디(11)에 형성되는 제1 홈(118)에 밀착될 수 있다.
이 때, 플레이트(40)의 모서리는 모따기 처리될 수 있어, 플레이트(40)의 모서리 부분이 곡선이 아닌 직선으로 형성될 수 있고, 이로 인하여 플레이트(40)의 모서리와 제1 홈(118)의 모서리 사이에 손가락을 넣어 플레이트(40)를 분리할 수 있는 빈 공간(401)이 형성될 수 있다.
또한, 플레이트(40)의 높이는 제1 홈(118)의 깊이와 실질적으로 동일하게 형성될 수 있고, 이에 따라 플레이트(40)의 상면과 제1 경사면(116)은 굴곡 없이 동일한 높이로 형성될 수 있다.
제1 바디(11)와 플레이트(40)는 밀착되어 결합될 수 있고, 제1 바디(11)는 제2 바디(12)와 밀착되므로 플레이트(40)의 일 부분이 제2 바디(12)의 정면(128)의 일 부분과 밀착되어 플레이트(40)가 제1 바디(11) 및 제2 바디(12) 사이에서 이탈되는 것을 방지할 수 있다.
도 6(b)를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 조명장치(1)의 플레이트(40)는 제1 바디(11)와 제2 바디(12)의 일 부분에 형성되는 제1 홈(118)과 제2 홈(131)에 결합될 수 있다.
플레이트(40)의 일 측은 제1 바디(11)에 형성되는 제1 홈(118)에 밀착되어 결합될 수 있고, 플레이트(40)의 타 측은 제2 바디(12)에 형성되는 제2 홈(131)에 밀착되어 결합될 수 있다.
플레이트(40)의 높이는 제1 홈(118)의 깊이 및 제2 홈(131)의 깊이보다 더 높게 형성될 수 있고, 플레이트(40)의 높이는 제1 홈(118)의 깊이와 제2 홈(131)의 깊이를 더한 길이와 실질적으로 동일하게 형성될 수 있다.
다시 말해, 플레이트(40)를 제1 홈(118)에 삽입하면 플레이트(40)의 일부분이 제1 바디(11)의 제1 경사면(116)으로부터 돌출된 형태로 보이며, 제2 바디(12)가 제1 바디(11)에 결합되면 돌출된 플레이트(40)의 일부분이 제2 바디(12)의 제2 홈(131)에 그대로 삽입될 수 있다.
다만, 본 실시예에서 플레이트(40)의 분리하는 경우 플레이트(40)가 제1 홈(118) 및 제2 홈(131)보다 돌출되어 있으므로 플레이트(40)를 분리하기 용이하므로 다른 실시예와 같이 별도로 플레이트(40)의 모서리를 모따기 처리할 필요는 크지 않을 수 있다.
도 6(c)를 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 조명장치(1)의 플레이트(40)는 제2 바디(12)에 삽입될 수 있다. 다시 말해, 플레이트(40)가 삽입될 수 있는 홈은 제2 바디(12)에만 형성될 수 있다.
제2 바디(12)의 제2 경사면(121)과 제2 홈(131)은 단턱지게 형성될 수 있고, 제2 경사면(121)의 높이보다 낮은 높이로 형성되는 제2 홈(131)에 플레이트(40)가 끼워맞춤될 수 있다. 다시 말해, 플레이트(40)는 제2 바디(12)에 형성되는 제2 홈(131)에 밀착될 수 있다.
이 때, 플레이트(40)의 모서리는 모따기 처리될 수 있어, 플레이트(40)의 모서리 부분이 곡선이 아닌 직선으로 형성될 수 있고, 이로 인하여 플레이트(40)의 모서리와 제2 홈(131)의 모서리 사이에 손가락을 넣어 플레이트(40)를 분리할 수 있는 빈 공간(401)이 형성될 수 있다.
제2 바디(12)와 플레이트(40)는 밀착되어 결합될 수 있고, 제2 바디(12)는 제1 바디(11)와 밀착되므로 플레이트(40)의 일 부분이 제1 바디(11)의 정면(116)의 일 부분과 밀착되어 플레이트(40)가 제1 바디(11) 및 제2 바디(12) 사이에서 이탈되는 것을 방지할 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 조명장치를 포함하는 검사장치의 단면도이다.
도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 조명장치(1)를 포함하는 검사장치는 케이스(10)와, PCB케이스(30)와, 플레이트(40)와, 발광부(50)와, 카메라(70)를 포함한다.
케이스(10)는 제1 바디(11)와 제2 바디(12)가 분리 가능하게 결합될 수 있다. 제1 바디(11)의 상측 일 부분에는 제1 광유출입 개구(115)가 형성될 수 있고, 플레이트(40)를 투과한 빛이 카메라(70)로 전달될 수 있도록 할 수 있다.
제2 바디(12)의 하측 일 부분에는 제2 광유출입 개구 (129)가 형성될 수 있고, 플레이트(40)를 통해 반사된 빛이 피검사체(S)로 전달될 수 있도록 할 수 있다. 또한, 제2 바디(12)의 우측면에는 발광부(50)가 분리 가능하게 결합될 수 있다. 제2 바디(12)의 우측면은 발광부(50)의 빛을 플레이트(40)로 전달할 수 있도록 발광개구(127)가 형성될 수 있다.
발광부(50)와 제2 바디(12) 사이에는 PCB케이스(30)가 결합될 수 있다. PCB케이스(30)는 발광부(50)와 제2 바디(12) 사이에서 분리 가능하게 결합될 수 있고, LED램프(51)의 빛이 외부로 분산되는 것을 방지할 수 있다.
카메라(70)는 플레이트(40)에서 투과 또는 반사된 빛에 의한 제1 이미지와, 플레이트(40)에서 투과 또는 반사된 다음 피검사체(S)에서 반사된 빛에 의한 제2 이미지를 획득할 수 있다. 이 때, 카메라(70)에서 획득한 상기 제1 이미지 및 상기 제2 이미지를 비교하여 피검사체(S)의 이상 유무를 판단할 수 있는 제어부(미도시)가 더 포함될 수 있다.
상기 피검사체(S)는 반도체 기판이 될 수도 있고, 2d Code와 같은 이미지가 될 수도 있으며, 빛을 조사하여 이상 유무를 판단할 수 있는 어떠한 것이라도 될 수 있다.
상기 제어부(미도시)는 상기 제1 이미지 및 상기 제2 이미지를 비교하여 피검사체(S)의 결함이나 이상 유무를 판단할 수 있다. 상기 제어부에는 결함이 없는 피검사체(S)의 기준 이미지가 저장되어 있을 수 있고, 조명 장치(1)에 의해 반사된 피검사체(S)의 상기 제1 이미지와 상기 제2 이미지를 상기 기준 이미지와 비교하여 결함 여부를 판단할 수 있다.
플레이트(40)는 피검사체(S)와 카메라(70)는 수직 방향으로 동일 선상에 위치할 수 있고, 플레이트(40)에 의해서 반사된 빛이 피검사체(S)에서 다시 반사되어 카메라(70)로 전달되면 이상 유무를 확인할 수 있다.
다시 말해, 플레이트(40)는 제1 바디(11)와 제2 바디(12) 사이에 밀착될 수 있고, 제2 바디(12)의 우측에 결합되는 발광부(50)로부터 빛을 받아 일부는 카메라(70)쪽으로 투과시키고, 일부는 피검사체(S)쪽으로 반사시킬 수 있으며, 피검사체(S)에서 반사된 빛이 플레이트(40)를 투과하여 카메라(70)로 전달될 수 있다.
검사장치의 하단에는 피검사체(S)가 놓일 수 있는 기판(미도시)이 구비될 수 있다. 상기 기판 위에 놓이는 피검사체(S)는 카메라(70)에 의해 촬영되는 동안 움직이지 않도록 고정될 수 있다. 이 때, 피검사체(S)를 상기 기판 위에 고정시키는 고정구(미도시)가 포함될 수 있다.
또한, 상기 기판은 플레이트(40)로부터 전달된 빛을 반사시킬 수 없는 재질로 형성될 수 있다. 상기 기판위에 놓인 피검사체(S)의 상면으로 전달된 빛이 반사되어 정확히 카메라(70)에 의해 촬영될 수 있도록 상기 기판은 빛을 완전히 흡수하는 재질로 형성될 수 있다.
도 7에서는 본 발명에 의한 조명장치에 검사장치에 사용되는 것을 설명하였지만, 본 발명에 의한 조명장치는 이러한 검사장치뿐만 아니라, 금속을 레이져 마킹하거나, 금속베어링에 타각문자를 새기는 경우 등과 같은 경우에도 적용될 수 있을 것이다.
이상과 같이 실시예들이 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.
그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 특허청구범위와 균등한 것들도 후술하는 특허청구범위의 범위에 속한다.
1: 조명장치 10: 케이스
11: 제1 바디 12: 제2 바디
30: PCB케이스 31: 관통홀
32: 발광부 체결홀 33: 발광부 체결부재
40: 플레이트 50: 발광부
51: LED소자 70: 카메라
111: 상면 112, 123: 측면
113, 128: 정면 114: 제1 경사면 개구
115: 제1 광유출입 개구 116: 제1 경사면
118: 제1 홈 119: 제2 케이스 체결홀
121: 제2 경사면 122: 제1 케이스 체결홀
124: 측면 125: 제2 경사면 개구
126: 배면 129: 제2 광유출입 개구
130: 케이스 체결부재 131: 제2 홈
S: 피검사체

Claims (12)

  1. 빛을 발생시키는 발광부;
    상기 발광부에서 발생한 빛이 내부로 유입되고, 제1 바디 및 상기 제1 바디와 분리 가능하게 결합되는 제2 바디를 포함하며, 상기 발광부와 분리 가능하게 결합되는 케이스; 및
    상기 제1 바디 및 상기 제2 바디 사이에 구비되고, 상기 발광부에서 발생되는 빛을 일부는 투과시키고, 다른 일부는 반사시키는 플레이트;
    를 포함하고,
    상기 제1 바디 및 상기 제2 바디는 내부에 중공부가 형성된 삼각기둥 형상으로 형성되고, 상기 제1 바디 및 상기 제2 바디의 경사면은 서로 밀착되는 조명장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 발광부는 발광 다이오드(LED)인 것을 특징으로 하는 조명장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 발광부는 상기 케이스와 분리 가능하게 결합되는 조명장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 발광부와 상기 케이스 사이에는 PCB케이스가 결합될 수 있고, 상기 PCB케이스는 상기 발광부와 분리 가능하게 결합되는 조명장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1 바디 및/또는 상기 제2 바디에는 상기 플레이트의 적어도 일부분이 삽입되는 홈이 형성되는 조명장치.
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제1 바디 및 상기 제2 바디의 경사면 가운데 적어도 하나에는 상기 플레이트의 테두리가 삽입되는 홈이 형성되는 조명장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 플레이트는 펠리클 재질 또는 하프 글라스 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 조명장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 플레이트가 펠리클 재질로 형성되는 경우에, 상기 플레이트 표면에 인코넬 또는 유전체가 코팅되는 것을 특징으로 하는 조명장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 제1 바디 및 상기 제2 바디는 체결부재에 의하여 분리 가능하게 결합되는 조명장치.
  11. 빛을 발생시키는 발광부;
    상기 발광부에서 발생한 빛이 내부로 유입되고, 제1 바디 및 상기 제1 바디와 분리 가능하게 결합되는 제2 바디를 포함하는 케이스;
    상기 제1 바디 및 상기 제2 바디 사이에 구비되고, 상기 발광부에서 발생되는 빛을 일부는 투과시키고, 다른 일부는 반사시키는 플레이트;
    상기 플레이트에서 투과 또는 반사된 빛에 의한 제1 이미지와, 상기 플레이트에서 투과 또는 반사된 다음 피검사체에서 반사된 빛에 의한 제2 이미지가 획득되는 카메라; 및
    상기 카메라에서 획득된 제1 이미지 및 제2 이미지를 비교하여 피검사체의 이상 유무를 판단하는 제어부;
    를 포함하고,
    상기 제1 바디 및 상기 제2 바디는 내부에 중공부가 형성된 삼각기둥 형상으로 형성되고, 상기 제1 바디 및 상기 제2 바디의 경사면은 서로 밀착되는 검사장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 플레이트는 펠리클 재질 또는 하프 글라스 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 검사장치.
KR1020150036204A 2015-03-16 2015-03-16 조명장치 및 이를 포함하는 검사장치 KR101728599B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150036204A KR101728599B1 (ko) 2015-03-16 2015-03-16 조명장치 및 이를 포함하는 검사장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150036204A KR101728599B1 (ko) 2015-03-16 2015-03-16 조명장치 및 이를 포함하는 검사장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20160111267A KR20160111267A (ko) 2016-09-26
KR101728599B1 true KR101728599B1 (ko) 2017-04-20

Family

ID=57068267

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150036204A KR101728599B1 (ko) 2015-03-16 2015-03-16 조명장치 및 이를 포함하는 검사장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101728599B1 (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102150281B1 (ko) * 2019-02-26 2020-09-01 주식회사 엠아이티 솔더링 검사장치 및 이를 이용한 솔더링 검사방법
KR102202832B1 (ko) * 2019-05-31 2021-01-14 유스테크 유한책임회사 조명 조사각도 변경 옵션모듈 및 이를 포함하는 라인조명 어셈블리

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011106912A (ja) 2009-11-16 2011-06-02 Ushio Inc 撮像照明手段およびパターン検査装置
JP5027946B1 (ja) * 2011-12-28 2012-09-19 新明和工業株式会社 検査システム

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010084145A (ko) 2000-02-24 2001-09-06 황인길 포토 마스크 보호를 위한 착탈식 펠리클
KR20040005355A (ko) 2002-07-10 2004-01-16 주식회사 하이닉스반도체 펠리클 분리형 프레임구조
KR20070069341A (ko) 2005-12-28 2007-07-03 주식회사 하이닉스반도체 반도체 제조용 레티클

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011106912A (ja) 2009-11-16 2011-06-02 Ushio Inc 撮像照明手段およびパターン検査装置
JP5027946B1 (ja) * 2011-12-28 2012-09-19 新明和工業株式会社 検査システム

Also Published As

Publication number Publication date
KR20160111267A (ko) 2016-09-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7577353B2 (en) Device and method for optically inspecting a surface
US8223326B2 (en) Dark-field examination device
TWI645182B (zh) 用於晶圓邊緣之小型化成像裝置
EP1805992A2 (en) Inspection system and method for identifying surface and body defects in a glass sheet
KR101728599B1 (ko) 조명장치 및 이를 포함하는 검사장치
KR101525700B1 (ko) 칩 부품의 외관 검사장치
JP2007180200A5 (ko)
KR20170100637A (ko) 소형 프로젝션 시스템 및 관련 구성요소
JP3187902U (ja) 照明装置
TW201348689A (zh) 遠景檢測裝置及其遠景檢測方法
TWI653445B (zh) 視覺檢查模組、視覺檢查模組的焦距修正模組以及具有該模組的元件檢查系統
KR20110125906A (ko) 레티클 검사장치
KR100965409B1 (ko) 기판 검사 장치
US7701569B2 (en) Dark field lighting testing device
KR101746791B1 (ko) 자외선 차단 테스트를 위한 렌즈의 수직 거치대
JP2006208150A (ja) 液晶基板目視検査装置
US8371712B2 (en) Light source module of projector
US20090153860A1 (en) Optical comparator using light- emitting diode light sources
KR101874209B1 (ko) 유기발광다이오드 형광 패턴 검사용 텔레센트릭 광학장치
TWI637165B (zh) 視覺檢測模組及包含該模組的元件檢測系統
JP7300152B2 (ja) 光検査装置
JP2009092481A (ja) 外観検査用照明装置及び外観検査装置
JP7160773B2 (ja) 蛍光撮影装置
CN104696736A (zh) 一种照明灯具及其照明模组
JP6779344B2 (ja) 不良箇所検出器具及び不良箇所検出方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right