JP7300152B2 - 光検査装置 - Google Patents
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- 並設された複数の発光体の光を検査する光検査装置において、
一側面が前記各発光体の側方で該各発光体の並設方向に沿って配置され且つ該各発光体の光軸中心の方向に沿って配置されるとともに、該各発光体から該一側面に照射された光が他側面側に実像として結像される板状の光結像手段を有し、前記光結像手段は、該各発光体から照射された光のうち、入射角が44°以上の照射範囲の照射光を結像するよう設定した
ことを特徴とする光検査装置。 - 前記光結像手段により結像される位置に光を検出する受光センサを設けた
ことを特徴とする請求項1記載の光検査装置。 - 前記光結像手段により結像された実像を撮影する撮影手段を有する
ことを特徴とする請求項1記載の光検査装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2019077550A JP7300152B2 (ja) | 2019-04-16 | 2019-04-16 | 光検査装置 |
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JP2020176861A JP2020176861A (ja) | 2020-10-29 |
JP7300152B2 true JP7300152B2 (ja) | 2023-06-29 |
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Family Applications (1)
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JP2019077550A Active JP7300152B2 (ja) | 2019-04-16 | 2019-04-16 | 光検査装置 |
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JP (1) | JP7300152B2 (ja) |
Citations (6)
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JP3628344B2 (ja) * | 1993-12-28 | 2005-03-09 | 株式会社リコー | 半導体検査装置 |
-
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- 2019-04-16 JP JP2019077550A patent/JP7300152B2/ja active Active
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