JP7300152B2 - 光検査装置 - Google Patents
光検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7300152B2 JP7300152B2 JP2019077550A JP2019077550A JP7300152B2 JP 7300152 B2 JP7300152 B2 JP 7300152B2 JP 2019077550 A JP2019077550 A JP 2019077550A JP 2019077550 A JP2019077550 A JP 2019077550A JP 7300152 B2 JP7300152 B2 JP 7300152B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- optical
- led
- optical inspection
- optical imaging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 51
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 49
- 238000012634 optical imaging Methods 0.000 claims description 30
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 14
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 7
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 7
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Description
Claims (3)
- 並設された複数の発光体の光を検査する光検査装置において、
一側面が前記各発光体の側方で該各発光体の並設方向に沿って配置され且つ該各発光体の光軸中心の方向に沿って配置されるとともに、該各発光体から該一側面に照射された光が他側面側に実像として結像される板状の光結像手段を有し、前記光結像手段は、該各発光体から照射された光のうち、入射角が44°以上の照射範囲の照射光を結像するよう設定した
ことを特徴とする光検査装置。 - 前記光結像手段により結像される位置に光を検出する受光センサを設けた
ことを特徴とする請求項1記載の光検査装置。 - 前記光結像手段により結像された実像を撮影する撮影手段を有する
ことを特徴とする請求項1記載の光検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019077550A JP7300152B2 (ja) | 2019-04-16 | 2019-04-16 | 光検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019077550A JP7300152B2 (ja) | 2019-04-16 | 2019-04-16 | 光検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020176861A JP2020176861A (ja) | 2020-10-29 |
JP7300152B2 true JP7300152B2 (ja) | 2023-06-29 |
Family
ID=72935527
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019077550A Active JP7300152B2 (ja) | 2019-04-16 | 2019-04-16 | 光検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7300152B2 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003329940A (ja) | 2002-05-16 | 2003-11-19 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 波長可変フィルタ装置 |
JP2005173086A (ja) | 2003-12-10 | 2005-06-30 | Fuji Xerox Co Ltd | レンズアレイユニット |
JP2009296045A (ja) | 2008-06-02 | 2009-12-17 | Canon Finetech Inc | 画像読取装置と画像形成装置 |
JP2010206401A (ja) | 2009-03-02 | 2010-09-16 | Sharp Corp | 画像読取装置及び画像形成装置 |
JP2016136381A (ja) | 2015-01-15 | 2016-07-28 | 株式会社アスカネット | 非接触入力装置及び方法 |
WO2018190221A1 (ja) | 2017-04-11 | 2018-10-18 | 株式会社アスカネット | 顕微鏡装置及びこれを用いた試料観察方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3168599B2 (ja) * | 1991-04-05 | 2001-05-21 | 富士ゼロックス株式会社 | イメ−ジセンサ |
JP3628344B2 (ja) * | 1993-12-28 | 2005-03-09 | 株式会社リコー | 半導体検査装置 |
-
2019
- 2019-04-16 JP JP2019077550A patent/JP7300152B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003329940A (ja) | 2002-05-16 | 2003-11-19 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 波長可変フィルタ装置 |
JP2005173086A (ja) | 2003-12-10 | 2005-06-30 | Fuji Xerox Co Ltd | レンズアレイユニット |
JP2009296045A (ja) | 2008-06-02 | 2009-12-17 | Canon Finetech Inc | 画像読取装置と画像形成装置 |
JP2010206401A (ja) | 2009-03-02 | 2010-09-16 | Sharp Corp | 画像読取装置及び画像形成装置 |
JP2016136381A (ja) | 2015-01-15 | 2016-07-28 | 株式会社アスカネット | 非接触入力装置及び方法 |
WO2018190221A1 (ja) | 2017-04-11 | 2018-10-18 | 株式会社アスカネット | 顕微鏡装置及びこれを用いた試料観察方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020176861A (ja) | 2020-10-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN109804238B (zh) | 光学检查装置 | |
EP3009886B1 (en) | Handling system | |
KR20160004099A (ko) | 결함 검사 장치 | |
JP3354131B2 (ja) | 物品表面検査用照明 | |
US20070008538A1 (en) | Illumination system for material inspection | |
JP2013531307A (ja) | 物体に適用される光学的可変マーキングの光学特性を測定するための方法およびデバイス | |
KR20080033847A (ko) | 선형 집광기 | |
KR20090133097A (ko) | 반도체 패키지의 검사를 위한 시스템 및 방법 | |
TW201915467A (zh) | 檢查裝置及檢查方法 | |
JP2008026255A (ja) | 傷検査装置、傷検査方法 | |
KR101658700B1 (ko) | 표면 검사 광학장치 및 표면 검사방법 | |
JP7300152B2 (ja) | 光検査装置 | |
JP4575202B2 (ja) | 透明板状体の欠点検査方法及び欠点検査装置 | |
JP2024018963A (ja) | 欠陥を分析するための検査システム及び方法 | |
CN106896109A (zh) | 光学检测系统及其检测方法 | |
KR101920552B1 (ko) | 조명 장치 및 검사 장치 | |
JP6917751B2 (ja) | 描画装置 | |
TWI721720B (zh) | 光源裝置及光學檢測系統 | |
TW201934982A (zh) | 光學檢測設備及其光源尋邊機構 | |
JP2009092481A (ja) | 外観検査用照明装置及び外観検査装置 | |
JP7560149B2 (ja) | 照明装置及び撮像システム | |
US7508522B2 (en) | Reflected light measuring apparatus and reflected light measuring method | |
JP7656675B2 (ja) | 光学システム、及びサンプル面の照明方法 | |
CN214252054U (zh) | 用于曲面检测的光学检测装置 | |
JP7043577B2 (ja) | 光学検査装置、方法及びプログラム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220216 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20221128 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221207 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20230203 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230403 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230607 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230612 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7300152 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |