JP2007178384A - 検査装置および検査方法 - Google Patents
検査装置および検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007178384A JP2007178384A JP2005379954A JP2005379954A JP2007178384A JP 2007178384 A JP2007178384 A JP 2007178384A JP 2005379954 A JP2005379954 A JP 2005379954A JP 2005379954 A JP2005379954 A JP 2005379954A JP 2007178384 A JP2007178384 A JP 2007178384A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- defect
- unit
- wall surface
- inspection
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
Abstract
【解決手段】検査装置1は、シリンダボア4等の筒状内壁面を検査する際、支持体6に取り付けられたラインセンサカメラ2により撮像された画像に基づき筒状内壁面の欠陥候補を選出し、選出された欠陥候補から、渦流センサ10による筒状内壁面の磁束の変化を用いて欠陥の有無を判定するため、筒状内壁面の残留洗浄液や埃の有無にかかわらず、筒状内壁面の巣穴等を確実に検出することができる。
【選択図】図1
Description
この装置では、被検査シリンダの内壁面に、その法線が斜めに傾いた方向から照射し、同様に斜めに傾いた方向からCCDリニアイメージセンサにより検出することにより、凹凸状の欠陥部を影として検出でき、巣穴等による欠陥部を感度良く検出することができるものとしている。
図1は、アルミ製シリンダブロックのボアの鋳巣を検査するための検査装置1の構成を示した正面図であり、図2は、図1の平面図である。
図1,図2に示すように、検査装置1は、ローラーコンベヤ3等で搬送されてきた検査対象のシリンダブロックのボア4の内壁面の画像を、順次撮像するラインセンサカメラ2を備えている。
尚、支持体6に取り付けられた上記ラインセンサカメラ2と照明部8とミラー9と渦流センサ10は、X軸サーボモータ11、Y軸サーボモータ12、Z軸サーボモータ13と、図示していないボールネジとの機械的な構成とにより、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向に支持体6と一体的に移動可能になっているとともに、θモータ14により支持体6と一体的に360度回転可能になっている。このように、X軸サーボモータ11、Y軸サーボモータ12、Z軸サーボモータ13の駆動により、支持体6の鏡筒部7がボア4の内部に位置決めされ、さらにθモータ14の駆動により1回または複数回、回転されると、ラインセンサカメラ2によるボア4の内壁表面の撮像が行われる。
X軸サーボモータ11、Y軸サーボモータ12、Z軸サーボモータ13の駆動により支持体6の鏡筒部7がボア4の内部に位置決めされ、さらにθモータ14の駆動により回転されると、ラインセンサカメラ2によるボア4の内壁表面の撮像が行われる。この処理は、ラインセンサカメラ2がボア4の内部を一回転してボア4の内壁表面全面の撮影が終了したときに実行される。
一方、検査順位nが欠陥候補データ数n*に値1を加えた値より小さければ、ステップS7に戻って、欠陥が見つかるまで、あるいは、検査順位nが欠陥候補データ数n*に値1を加えた値以上となるまで、ステップS7の処理を繰り返し行う。
2 ラインセンサカメラ
4 シリンダブロックボア
6 支持体
7 鏡筒部
8 照明部
9 ミラー
10 渦流センサ
11 X軸サーボモータ
12 Y軸サーボモータ
13 Z軸サーボモータ
14 θモータ
Claims (12)
- 被検査対象としての筒状体の内壁表面の欠陥を検出する検査装置であって、
前記内壁表面の画像を撮像する撮像手段と、
該撮像手段により撮像された画像に基づき前記内壁表面の欠陥候補を選出する選出手段と、
該選出手段により選出された前記欠陥候補から磁束の変化を用いて欠陥の有無を判定する判定手段と、
前記選出手段により前記欠陥候補が選出された場合にのみ、前記判定手段を駆動するよう制御する駆動制御手段と、
を備える検査装置。 - 前記駆動制御手段は、前記選出手段により前記欠陥候補が選出され次第、前記判定手段を駆動するよう制御する手段である請求項1に記載の検査装置。
- 前記撮像手段は、前記内壁表面を照射する照射手段と、該照射手段により照射された前記内壁表面を、前記筒状体の軸心方向に反射する反射手段と、該反射手段により反射された前記内壁表面の撮影を行う撮影手段と、前記照射手段と前記反射手段と前記撮影手段とを支持する支持手段とを有し、
前記判定手段は、前記欠陥候補の表面性状を磁束の変化を用いて検出する検出部が、前記支持手段における前記反射手段の反射領域外の位置に配置されてなる請求項1または請求項2に記載の検査装置。 - 前記検出部は、前記反射手段の反射面とは反対側に対応した位置に配置されてなる請求項3記載の検査装置。
- 前記検出部は、渦流センサである請求項3または請求項4に記載の検査装置。
- 前記撮影手段は、ラインセンサカメラであり、
前記撮像手段は、前記支持手段を前記筒状体内で一回転させることで、該筒状体全周の前記内壁表面の画像を撮像する手段である請求項3乃至請求項5の何れかに記載の検査装置。 - 前記選出手段は、前記筒状体全周の前記内壁表面の画像から前記欠陥候補を選出する手段であり、
前記判定手段は、該欠陥候補の全てについて欠陥の有無を判定する手段である請求項6に記載の検査装置。 - 前記照射手段は、前記反射手段を挟んで前記軸心方向に第1照射手段と第2照射手段とが2列に配置されてなる請求項3乃至請求項7の何れかに記載の検査装置。
- 前記撮像手段は、前記第1照射手段のみにより照射された前記内壁表面を第1画像として撮像するとともに、前記第2照射手段のみにより照射された前記内壁表面を第2画像として撮像する手段であり、
前記選出手段は、前記第1画像と前記第2画像とに基づき前記欠陥候補を選出する手段である請求項8に記載の検査装置。 - 前記照射手段は、赤外線光である請求項1乃至請求項9の何れかに記載の検査装置。
- 被検査対象としての筒状体の内壁表面の欠陥を検出する検査方法であって、
(a)前記内壁表面の画像を撮像し、
(b)撮像した画像に基づき前記内壁表面の欠陥候補を選出し、
(c)該欠陥候補が選出された場合のみ該欠陥候補から磁束の変化を用いて欠陥の有無を判定する検査方法。 - 前記ステップ(c)は、前記欠陥候補が選出され次第、該欠陥候補の欠陥の有無を判定するステップである請求項11に記載の検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005379954A JP5005218B2 (ja) | 2005-12-28 | 2005-12-28 | 検査装置および検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005379954A JP5005218B2 (ja) | 2005-12-28 | 2005-12-28 | 検査装置および検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007178384A true JP2007178384A (ja) | 2007-07-12 |
JP5005218B2 JP5005218B2 (ja) | 2012-08-22 |
Family
ID=38303702
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005379954A Expired - Fee Related JP5005218B2 (ja) | 2005-12-28 | 2005-12-28 | 検査装置および検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5005218B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010134232A1 (ja) * | 2009-05-21 | 2010-11-25 | 本田技研工業株式会社 | 表面検査装置 |
JP2010271177A (ja) * | 2009-05-21 | 2010-12-02 | Honda Motor Co Ltd | 表面検査装置 |
JP2012529024A (ja) * | 2009-06-05 | 2012-11-15 | ヌオーヴォ ピニォーネ ソシエタ ペル アチオニ | ガスタービン内の点食を検出するためのシステムおよび方法 |
JP2013190357A (ja) * | 2012-03-14 | 2013-09-26 | Dainippon Printing Co Ltd | ムラ情報生成装置、ムラ情報生成プログラム及びムラ情報生成方法 |
CN103433239A (zh) * | 2013-09-03 | 2013-12-11 | 青岛艾孚科技有限公司 | 一种电表自动除尘装置 |
WO2021241535A1 (ja) * | 2020-05-29 | 2021-12-02 | 富士フイルム株式会社 | 構造物の検査方法及び検査システム |
JP2023514753A (ja) * | 2020-03-20 | 2023-04-07 | シェフラー テクノロジーズ アー・ゲー ウント コー. カー・ゲー | 電気化学電池、特に燃料電池のバイポーラプレートを検査するための方法および検査装置 |
CN118362049A (zh) * | 2024-06-20 | 2024-07-19 | 山东达驰电气有限公司 | 一种干式变压器线圈绕制的检测装置及其检测方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01134238A (ja) * | 1987-11-19 | 1989-05-26 | Nippon Steel Corp | 鋼板の表面疵検査装置 |
JPH05196581A (ja) * | 1992-01-20 | 1993-08-06 | Nkk Corp | 鋼板の欠陥有害度測定装置 |
WO2000060344A1 (fr) * | 1999-03-31 | 2000-10-12 | Hitachi, Ltd. | Procede et appareil d'essai non destructif |
JP2001021500A (ja) * | 1999-07-05 | 2001-01-26 | Dainippon Printing Co Ltd | 金属表面検査方法及び装置 |
JP2001281226A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-10 | Daido Steel Co Ltd | 蛍光磁粉探傷方法および蛍光磁粉探傷装置 |
JP2005010008A (ja) * | 2003-06-19 | 2005-01-13 | Nippon Steel Corp | 表面疵検査方法およびその装置 |
JP2005283599A (ja) * | 2005-05-26 | 2005-10-13 | Hitachi Ltd | 欠陥検査方法,欠陥検査装置及び欠陥検査支援方法 |
-
2005
- 2005-12-28 JP JP2005379954A patent/JP5005218B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01134238A (ja) * | 1987-11-19 | 1989-05-26 | Nippon Steel Corp | 鋼板の表面疵検査装置 |
JPH05196581A (ja) * | 1992-01-20 | 1993-08-06 | Nkk Corp | 鋼板の欠陥有害度測定装置 |
WO2000060344A1 (fr) * | 1999-03-31 | 2000-10-12 | Hitachi, Ltd. | Procede et appareil d'essai non destructif |
JP2001021500A (ja) * | 1999-07-05 | 2001-01-26 | Dainippon Printing Co Ltd | 金属表面検査方法及び装置 |
JP2001281226A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-10 | Daido Steel Co Ltd | 蛍光磁粉探傷方法および蛍光磁粉探傷装置 |
JP2005010008A (ja) * | 2003-06-19 | 2005-01-13 | Nippon Steel Corp | 表面疵検査方法およびその装置 |
JP2005283599A (ja) * | 2005-05-26 | 2005-10-13 | Hitachi Ltd | 欠陥検査方法,欠陥検査装置及び欠陥検査支援方法 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010134232A1 (ja) * | 2009-05-21 | 2010-11-25 | 本田技研工業株式会社 | 表面検査装置 |
JP2010271177A (ja) * | 2009-05-21 | 2010-12-02 | Honda Motor Co Ltd | 表面検査装置 |
GB2482438A (en) * | 2009-05-21 | 2012-02-01 | Honda Motor Co Ltd | Surface inspecting device |
GB2482438B (en) * | 2009-05-21 | 2013-05-08 | Honda Motor Co Ltd | Surface inspecting device |
JP2012529024A (ja) * | 2009-06-05 | 2012-11-15 | ヌオーヴォ ピニォーネ ソシエタ ペル アチオニ | ガスタービン内の点食を検出するためのシステムおよび方法 |
JP2013190357A (ja) * | 2012-03-14 | 2013-09-26 | Dainippon Printing Co Ltd | ムラ情報生成装置、ムラ情報生成プログラム及びムラ情報生成方法 |
CN103433239A (zh) * | 2013-09-03 | 2013-12-11 | 青岛艾孚科技有限公司 | 一种电表自动除尘装置 |
CN103433239B (zh) * | 2013-09-03 | 2015-05-13 | 青岛元启工业智能技术有限公司 | 一种电表自动除尘装置 |
JP2023514753A (ja) * | 2020-03-20 | 2023-04-07 | シェフラー テクノロジーズ アー・ゲー ウント コー. カー・ゲー | 電気化学電池、特に燃料電池のバイポーラプレートを検査するための方法および検査装置 |
JP7438382B2 (ja) | 2020-03-20 | 2024-02-26 | シェフラー テクノロジーズ アー・ゲー ウント コー. カー・ゲー | 電気化学電池、特に燃料電池のバイポーラプレートを検査するための方法および検査装置 |
WO2021241535A1 (ja) * | 2020-05-29 | 2021-12-02 | 富士フイルム株式会社 | 構造物の検査方法及び検査システム |
CN118362049A (zh) * | 2024-06-20 | 2024-07-19 | 山东达驰电气有限公司 | 一种干式变压器线圈绕制的检测装置及其检测方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5005218B2 (ja) | 2012-08-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5005218B2 (ja) | 検査装置および検査方法 | |
JP5638517B2 (ja) | 光学検査プローブ | |
RU2735806C1 (ru) | Способ проверки печатного цилиндра и соответствующая установка | |
US8508743B2 (en) | Crankshaft testing method | |
JP6040930B2 (ja) | 表面欠陥検出方法及び表面欠陥検出装置 | |
JP5109633B2 (ja) | 測定方法及び検査方法並びに測定装置及び検査装置 | |
CN112697800B (zh) | 一种缺陷检测装置及方法 | |
JP2004317190A (ja) | 高速凹凸判定可能な表面検査方法及び表面検査システム | |
JP3914500B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
EP3447725B1 (en) | Apparatus for inspecting appearance of article and method for inspecting appearance of article using same | |
WO2008119550A1 (en) | Inspection apparatus and method | |
JP6149990B2 (ja) | 表面欠陥検出方法及び表面欠陥検出装置 | |
JP2009109263A (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
EP3594665A1 (en) | Optical inspection device and method | |
JP7134253B2 (ja) | ワーク検査装置及びワーク検査方法 | |
JP2003322516A (ja) | 形状測定方法及び形状測定装置 | |
JP2007315946A (ja) | 3次元形状計測方法及びこれを用いた3次元形状計測装置 | |
JP2002148029A (ja) | 円筒状被検物の表面凹凸検査装置及び方法 | |
JP2016080517A (ja) | 表面検査装置 | |
JP2005077272A (ja) | 欠陥検査方法 | |
JP2007003332A (ja) | 板状体側面の欠陥検出方法及び欠陥検出装置 | |
JP4216062B2 (ja) | 欠陥検査方法 | |
JP4258401B2 (ja) | 凹凸面の表面欠陥検査装置 | |
JP2006003168A (ja) | 表面形状の測定方法およびその装置 | |
JP2021196189A (ja) | 検査装置及び検査方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081203 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20090724 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110517 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110711 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20110711 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20110712 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111101 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111202 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120515 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120523 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150601 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5005218 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |