JP2007173604A - 圧電素子の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板110上に下電極60を形成する工程と、前記下電極60上に圧電材料からなる圧電体前駆体膜71を形成して、該圧電体前駆体膜71を焼成して結晶化させた圧電体膜72からなる圧電体層70を形成する工程と、前記圧電体層70上に上電極を形成する工程とを具備し、前記下電極60を形成する工程では、最下層に密着層61を形成する工程と、白金からなる白金層62をX線回折広角法による(111)面半価幅が0.46度以上で形成する工程と、最上層に拡散防止層63を形成する工程とを有し、且つ前記圧電体層70を形成する工程では、前記圧電体前駆体膜71を昇温レート50℃/sec以上で焼成する。
【選択図】図4
Description
かかる第1の態様では、圧電体層を焼成して形成する前の白金層の(111)面の半価幅及び圧電体層の焼成時の昇温レートを規定することによって、優れた結晶性の圧電体層、すなわち、小さな電圧で大きな変位を得られる優れた圧電特性の圧電体層を得ることができる。また、加熱工程における下電極膜内の応力緩和を促進し、下電極膜内の密着力を向上して、下電極膜内の層間剥離を確実に防止することができる。これにより、信頼性を向上することができると共に歩留まりを向上して製造コストを低減することができる。
かかる第2の態様では、圧電体層を焼成する際に比較的速い所望の昇温レートで行うことができる。
かかる第3の態様では、下電極膜と基板とを確実に密着させることができる。
かかる第4の態様では、所定の拡散防止層を用いることで、密着層の成分が圧電体層側に拡散するのを防止することができると共に、圧電体層の成分が下電極に拡散するのを防止することができ、優れた圧電特性の圧電体層を得ることができる。
かかる第5の態様では、所定厚さの圧電体層を高品質及び高精度に形成することができる。
かかる第6の態様では、液体の噴射特性の優れた液体噴射ヘッドを得ることができる。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの概略を示す分解斜視図であり、図2は、図1の平面図及びそのA−A′断面図である。
上述した実施形態1と同様の製造方法により、シリコンウェハからなる流路形成基板用ウェハを熱酸化することにより二酸化シリコン(SiO2)からなる弾性膜を形成し、この弾性膜上に酸化ジルコニウム(ZrO2)からなる絶縁体膜を形成する。そして、絶縁体膜上に下電極膜として、厚さが20nmのチタン(Ti)からなる密着層と、厚さが130nmの白金(Pt)からなり、X線回折広角法によって測定された白金の(111)面の半価幅が0.46度以上の白金層と、厚さが10nmのイリジウム(Ir)からなる拡散防止層とを順次積層形成する。さらに、拡散防止層上に厚さが4nmのチタン(Ti)からなるチタン層を形成した。なお、このような下電極膜の各層及びチタン層は、DCマグネトロンスパッタリング法によってスパッタリング装置内の真空状態から開放せずに連続して成膜した。
白金層をX線回折広角法により測定された白金の(111)面の半価幅が0.46度より小さくなるように形成した以外、上述した実施例1と同様の構成及び製造方法によって形成した。
これら実施例1〜9及び比較例1〜6の下電極膜上に、上述した実施形態1と同様の製造方法により圧電体層及び上電極膜を形成した。すなわち、各下電極膜上に、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)を塗布し、180℃で10分間乾燥工程を行った後、400℃で10分間脱脂工程を行い、その後、昇温レートが50℃/secで加熱し、700℃で30分間焼成工程を行うことで圧電体膜を形成する圧電体膜形成工程を行い、0.1μmの圧電体層を形成した。このように圧電体層を形成する前の下電極膜に含まれる白金の(111)面の半価幅をGXR300(Cu管球;リガク株式会社製)を用いて広角測定法により求めた。また、各圧電体層の(100)面の回折強度を測定した。これらの結果を下記表1及び図7に示す。なお、図7は、圧電体層形成前の白金の(111)面の半価幅及び圧電体層の(100)面の回折強度との関係を示すグラフである。
以上、本発明の実施形態1を説明したが、インクジェット式記録ヘッドの基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態1では、圧電体前駆体膜71を塗布、乾燥及び脱脂した後、焼成して圧電体膜72を形成するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、圧電体前駆体膜71を塗布、乾燥及び脱脂する工程を複数回、例えば、2回繰り返し行った後、焼成することで圧電体膜72を形成するようにしてもよい。
Claims (6)
- 基板上に下電極を形成する工程と、前記下電極上に圧電材料からなる圧電体前駆体膜を形成して、該圧電体前駆体膜を焼成して結晶化させた圧電体膜からなる圧電体層を形成する工程と、前記圧電体層上に上電極を形成する工程とを具備し、
前記下電極を形成する工程では、最下層に密着層を形成する工程と、白金からなる白金層をX線回折広角法による(111)面半価幅が0.46度以上で形成する工程と、最上層に拡散防止層を形成する工程とを有し、
且つ前記圧電体層を形成する工程では、前記圧電体前駆体膜を昇温レート50℃/sec以上で焼成することを特徴とする圧電素子の製造方法。 - 前記圧電体層を形成する工程では、RTA法によって焼成することを特徴とする請求項1記載の圧電素子の製造方法。
- 前記密着層を形成する工程では、チタン、クロム、タンタル、ジルコニウム、タングステンからなる群から選択される少なくとも1つを主成分として当該密着層を形成することを特徴とする請求項1又は2に記載の圧電素子の製造方法。
- 前記拡散防止層を形成する工程では、イリジウム、パラジウム、ロジウム、ルテニウム及びオスミウムからなる群から選択される少なくとも1つを主成分として、当該拡散防止層を形成することを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の圧電素子の製造方法。
- 前記圧電体層を形成する工程では、前記圧電体膜を複数層形成することを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の圧電素子の製造方法。
- 請求項1〜5の何れかに記載の製造方法により製造された圧電素子を用いることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007173604A true JP2007173604A (ja) | 2007-07-05 |
JP5105040B2 JP5105040B2 (ja) | 2012-12-19 |
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JP2005370580A Expired - Fee Related JP5105040B2 (ja) | 2005-12-22 | 2005-12-22 | 圧電素子の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP5105040B2 (ja) |
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