JP2007165631A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】親チップ1の表面3の中央部には、子チップ2が接合されるチップ接合領域が設定され、このチップ接合領域内には、複数のバンプ6が互いに適当な間隔を隔てて配置されている。また、親チップ1の表面3の周縁部には、複数の外部接続用パッド11が互いに間隔を隔てて配置されている。各外部接続用パッド11は、親チップ1のチップ接合領域内に形成された内部回路と電気的に接続されており、各外部接続用パッド11と内部回路との間には、外部接続用パッド11からのサージの入力を阻止するための保護素子14が設けられている。一方、子チップ2の表面には、親チップ1の各バンプ6と対向する位置に複数のバンプ22が配置されている。
【選択図】図1
Description
このチップ・オン・チップ構造に適用される各半導体チップは、互いに対向する表面に、金(Au)などの金属からなる複数のバンプを有している。また、各半導体チップの表面の中央部には、機能素子を含む内部回路が形成されており、各バンプは、その内部回路と電気的に接続されている。そして、チップ・オン・チップ構造では、一方の半導体チップのバンプと他方の半導体チップのバンプとを接合することにより、それらの半導体チップ間の機械的な接続が達成されるとともに、各半導体チップの内部回路間の電気的な接続が達成される。
図1は、この発明の一実施形態に係る半導体装置の構成を示す図解的な断面図である。
この半導体装置は、第1の半導体チップとしての親チップ1と第2の半導体チップとしての子チップ2とを重ね合わせて接合したチップ・オン・チップ構造を有している。
図2は、親チップ1と子チップ2との接合体の子チップ2側から見た平面図である。また、図3は、親チップ1の表面付近の図解的な断面図である。
親チップ1の表面3には、その中央部に、子チップ2が接合される略矩形状のチップ接合領域が設定されている。そして、チップ接合領域内には、図2に示すように、金(Au)などの金属材料からなる複数の第1半導体チップ側バンプとしてのバンプ6が、互いに間隔を隔てて、整列して配置されている。各バンプ6は、図3に示すように、親チップ1の表面3を覆う表面保護膜7から突出して形成されている。すなわち、表面保護膜7には、親チップ1の表面の中央部に形成された内部回路と電気的に接続されたパッド8を露出させる開口9が形成されており、各バンプ6は、パッド8上に設けられて、開口9から表面保護膜7上に隆起するように形成されている。
子チップ2は、図2に示すように、平面視において親チップ1よりも小さな略矩形状に形成されており、その表面(内部回路が形成された活性領域側表面)21を下方に向けたフェイスダウン姿勢で、親チップ1の表面3のチップ接合領域に接合されている。
親チップ1と子チップ2とは、親チップ1の各バンプ6と子チップ2の各バンプ22とが互いに頂面を突き合わせて接合されることにより、所定間隔を保つように機械的に連結され、かつ、互いに電気的に接続されている。そして、親チップ1の表面3と子チップ2の表面21との間には、それらの隙間を封止して、各表面3,21を保護するためのアンダーフィル層23が介在されている。このアンダーフィル層23は、親チップ1と子チップ2との接合後に、それらの間に液状樹脂を注入し、これを硬化させることにより形成される。
以上のように、親チップ1の外部接続用パッド11と内部回路との間に保護素子14が介在されているので、親チップ1のバンプ6と内部回路との間に保護素子を設ける必要がない。また、子チップ2の内部回路には、バンプ22を介して親チップ1のバンプ6からのみ信号が入力されるので、親チップ1の外部接続用パッド11と内部回路との間に保護素子14が介在されていれば、子チップ2に外部からのサージの入力を防止するための保護素子を設ける必要がない。そのため、親チップ1および子チップ2において、各表面の内部回路が形成されている中央部の周囲の周縁部に限らず、各表面の中央部にもバンプ6,22を分散して配置することができる。その結果、この半導体装置に外部から力が加わったときに、親チップ1および子チップ2の中央部と周縁部とで発生する応力をほぼ均一にすることができ、応力の不均一による親チップ1および子チップ2の変形を防止することができる。また、バンプ6間の間隔(バンプ22間の間隔)を大きくすることができるので、親チップ1と子チップ2との間にアンダーフィル層23を形成するための液状樹脂をスムーズに注入することができ、そのアンダーフィル層23によって親チップ1および子チップ2間を隙間なく封止することができる。
2 子チップ
3 表面
6 バンプ
11 外部接続用パッド
14 保護素子
21 表面
22 バンプ
Claims (1)
- 第1の半導体チップと第2の半導体チップとを前記第1の半導体チップの表面に前記第2の半導体チップの表面を対向させた状態で接合した、チップ・オン・チップ構造を有する半導体装置であって、
前記第1の半導体チップの表面の周縁部に配置され、前記第1の半導体チップの表面の中央部に形成された内部回路と電気的に接続された外部接続用パッドと、
各前記外部接続用パッドと前記内部回路との間に介在された保護素子と、
前記内部回路と電気的に接続され、前記第1の半導体チップの表面に分散して配置された複数の第1半導体チップ側バンプと、
前記第2の半導体チップの表面の中央部に形成された内部回路と電気的に接続され、前記第2の半導体チップの表面に分散して配置されており、各前記第1半導体チップ側バンプに接続される複数の第2半導体チップ側バンプとを含むことを特徴とする、半導体装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005360590A JP2007165631A (ja) | 2005-12-14 | 2005-12-14 | 半導体装置 |
US11/637,945 US7518230B2 (en) | 2005-12-14 | 2006-12-13 | Semiconductor chip and semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005360590A JP2007165631A (ja) | 2005-12-14 | 2005-12-14 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007165631A true JP2007165631A (ja) | 2007-06-28 |
Family
ID=38248186
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005360590A Pending JP2007165631A (ja) | 2005-12-14 | 2005-12-14 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2007165631A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8981574B2 (en) | 2012-12-20 | 2015-03-17 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor package |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000223653A (ja) * | 1999-02-02 | 2000-08-11 | Rohm Co Ltd | チップ・オン・チップ構造の半導体装置およびそれに用いる半導体チップ |
JP2000228483A (ja) * | 1999-02-04 | 2000-08-15 | Rohm Co Ltd | 半導体装置 |
JP2000232200A (ja) * | 1999-02-12 | 2000-08-22 | Rohm Co Ltd | 半導体チップおよびチップ・オン・チップ構造の半導体装置 |
JP2005260053A (ja) * | 2004-03-12 | 2005-09-22 | Nec Electronics Corp | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
-
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000223653A (ja) * | 1999-02-02 | 2000-08-11 | Rohm Co Ltd | チップ・オン・チップ構造の半導体装置およびそれに用いる半導体チップ |
JP2000228483A (ja) * | 1999-02-04 | 2000-08-15 | Rohm Co Ltd | 半導体装置 |
JP2000232200A (ja) * | 1999-02-12 | 2000-08-22 | Rohm Co Ltd | 半導体チップおよびチップ・オン・チップ構造の半導体装置 |
JP2005260053A (ja) * | 2004-03-12 | 2005-09-22 | Nec Electronics Corp | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8981574B2 (en) | 2012-12-20 | 2015-03-17 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor package |
US9633973B2 (en) | 2012-12-20 | 2017-04-25 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor package |
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