JP2007165594A - 電子部品の実装方法 - Google Patents
電子部品の実装方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007165594A JP2007165594A JP2005360055A JP2005360055A JP2007165594A JP 2007165594 A JP2007165594 A JP 2007165594A JP 2005360055 A JP2005360055 A JP 2005360055A JP 2005360055 A JP2005360055 A JP 2005360055A JP 2007165594 A JP2007165594 A JP 2007165594A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electronic component
- component
- collet
- electronic
- electronic components
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
- H01L2224/8319—Arrangement of the layer connectors prior to mounting
- H01L2224/83192—Arrangement of the layer connectors prior to mounting wherein the layer connectors are disposed only on another item or body to be connected to the semiconductor or solid-state body
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/102—Material of the semiconductor or solid state bodies
- H01L2924/1025—Semiconducting materials
- H01L2924/10251—Elemental semiconductors, i.e. Group IV
- H01L2924/10253—Silicon [Si]
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【課題】コレットを用いて電子部品を吸着して基板の一面上に搭載するようにした電子部品の実装方法において、隣り合う電子部品間においてコレットの干渉を回避し、これら両電子部品間の距離を短くする。
【解決手段】搭載後の状態において隣り合う電子部品11、12間にて互いの上端部の位置が高低差h1を持つように、電子部品11、12の配置を決めるとともに、搭載後の状態において隣り合う電子部品11、12のうち上端部の位置が下方となる第2部品12を、上方となる第1部品11よりも先に搭載するようにし、さらに、コレット200の開口部210のうち第1部品11の上端部を吸着したときに当該上端部外周からはみ出すはみ出し部220の、当該上端部から下方へ向かう長さAを、上記高低差h1未満とする。
【選択図】図3
【解決手段】搭載後の状態において隣り合う電子部品11、12間にて互いの上端部の位置が高低差h1を持つように、電子部品11、12の配置を決めるとともに、搭載後の状態において隣り合う電子部品11、12のうち上端部の位置が下方となる第2部品12を、上方となる第1部品11よりも先に搭載するようにし、さらに、コレット200の開口部210のうち第1部品11の上端部を吸着したときに当該上端部外周からはみ出すはみ出し部220の、当該上端部から下方へ向かう長さAを、上記高低差h1未満とする。
【選択図】図3
Description
本発明は、コレットを用いて電子部品を吸着して基板の一面上に搭載するようにした電子部品の実装方法に関する。
この種の電子部品の実装方法は、複数個の電子部品を基板の一面上に搭載する部品搭載工程を有するもので、この部品搭載工程では、吸着穴としての開口部を有するコレットを用いて部品の搭載が行われる(たとえば、特許文献1、特許文献2参照)。
具体的には、コレットは、ダイボンダにおける上下動作、水平動作や旋回動作が可能なピックアンドプレースユニットの先端に配置されるもので、電子部品を吸着し且つ昇降機能およびスクラブ機能を持つ。
そして、各電子部品毎に、このコレットの開口部に電子部品の上端部を吸着し、この状態で電子部品を、はんだなどを介して基板の一面上に搭載するとともに、必要に応じて、はんだを広げるなどの目的でスクラブを行い、接合を行うものである。
特許2738069号公報
特許3479005号公報
しかしながら、従来のコレットは、その開口部が電子部品よりも大きいため、上記特許文献2になどにも示されているように、開口部に電子部品の上端部を吸着したとき、コレットの開口部の周辺部が、電子部品の上端部外周からはみ出すとともに当該上端部よりも下方へ向かって突出するはみ出し部となる。
そのため、複数個の電子部品を基板の一面に搭載する場合、隣り合う電子部品の間にて先に搭載されている電子部品に対し、上記コレットのはみ出し部がぶつからないように、これら両電子部品間の距離を大きくする必要があり、高密度実装などの面で問題となってくる。
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、コレットを用いて電子部品を吸着して基板の一面上に搭載するようにした電子部品の実装方法において、隣り合う電子部品間においてコレットの干渉を回避し、これら両電子部品間の距離を短くすることを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明は、部品搭載工程では、電子部品(11〜13)の搭載後の状態において隣り合う電子部品(11〜13)間にて互いの上端部の位置が高低差(h1、h2、h3)を持つように、電子部品(11〜13)の配置を決めるとともに、搭載後の状態において隣り合う電子部品(11〜13)のうち上端部の位置が上方にあるものを第1の電子部品とし、下方にあるものを第2の電子部品としたとき、第2の電子部品、第1の電子部品の順に搭載するようにし、さらに、開口部(210)のうち第1の電子部品の上端部を吸着したときに当該上端部外周からはみ出すはみ出し部(220)の、当該上端部から下方へ向かう長さ(A)を、上記の高低差(h1〜h3)未満とすることを、第1の特徴とする。
それによれば、搭載後にて上端部の位置が低くなる方の第2の電子部品を搭載した後、上端部の位置が高くなる方の第1の電子部品をコレット(200)に吸着して、第2の電子部品の隣に配置したときに、コレット(200)の開口部(210)における第1の電子部品の上端部から下方へ突出するはみ出し部(220)が、第2の電子部品に干渉しなくなる。
よって、隣り合う電子部品(11〜13)間においてコレット(200)の干渉を回避し、これら両電子部品(11〜13)間の距離を短くすることができる。
ここで、上記の高低差(h1〜h3)を持つように電子部品(11〜13)の配置を決めることは、隣り合う電子部品(11〜13)において厚さを異ならせ、厚い方を第1の電子部品に用い、薄い方を第2の電子部品に用いることにより、実現できる。それによれば、上記長さAと高低差との関係を適切に実現できる。
また、上記の高低差(h1〜h3)を持つように電子部品(11〜13)の配置を決めることは、基板(100)の一面(110)に段差(130)を設け、隣り合う電子部品(11a、11b)において段差(130)における高い方の部位に配置するものを第1の電子部品とし、低い方の部位に配置するものを第2の電子部品とすることによっても、実現できる。それによれば、電子部品の厚さによらず、上記長さAと高低差との関係を適切に実現できる。
また、本発明は、コレット(200)として、開口部(210)を有する一端部(230)のサイズが、開口部(210)に各々の電子部品(11、12)の上端部を吸着した状態のときに当該上端部の範囲内に位置するものを用いることを、第2の特徴とする。
それによれば、隣り合う電子部品(11、12)を搭載するときに、コレット(200)における開口部(210)側の一端部(230)が、これに吸着されている電子部品(11)の上端部の範囲内に位置しているため、先に搭載してある電子部品(12)にコレット(200)が干渉することはなくなる。
よって、隣り合う電子部品(11、12)間においてコレット(200)の干渉を回避し、これら両電子部品(11、12)間の距離を短くすることができる。
また、このようなコレットを用いた場合、コレット(200)の一端部(230)に、電子部品(11、12)との接触持の衝撃を緩和する緩和部材(300)を設ければ、コレット(200)に吸着された時の電子部品(11、12)のダメージの低減が可能となる。
また、このようなコレットを用いた場合、電子部品(11、12)として、その上端部のうちコレット(200)の一端部(230)と接触する部位を、素子が形成されていない領域(K)とすれば、この場合も、コレット(200)に吸着された時の電子部品(11、12)のダメージの低減が可能となる。
なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。
(第1実施形態)
図1は、本発明の第1実施形態に係る電子装置の概略断面構成を示す図である。なお、この図1および後述する各図において、電子部品11、12、13などの厚さに関しては多少デフォルメしてある。
図1は、本発明の第1実施形態に係る電子装置の概略断面構成を示す図である。なお、この図1および後述する各図において、電子部品11、12、13などの厚さに関しては多少デフォルメしてある。
この電子装置は、基板100の一面110上に、複数個の電子部品11〜13が搭載され、はんだ20を介して接合されてなる。
基板100は、板状のものであり、セラミック基板、プリント基板、金属基板など各種の配線基板を採用することができる。基板100の一面110には、基板電極120が設けられており、この基板電極120の上に、はんだ20を介して電子部品11〜13が搭載され接合されている。
電子部品11〜13は、Siチップ、ダイオード、コンデンサ、ヒートシンクなど基板100上に搭載可能な部品である。本実施形態では、電子部品11〜13は、シリコン半導体チップである。
ここで、隣り合う電子部品11〜13間において後述するコレットの干渉を回避し、これら電子部品11〜13間の距離m1、m2、m3を短くするために、当該隣り合う電子部品11〜13の厚さd1、d2、d3を異ならせている。これは、電子部品11〜13が本例のような半導体チップの場合、ウェハ厚さを変えることで可能である。
図1に示される例では、3種類の厚さd1、d2、d3の異なる電子部品11〜13が示されており、これらのうち最も厚い厚さd1を持つ電子部品11を第1部品11、最も薄い厚さd2を持つ電子部品12を第2部品12、これら両者の中間の厚さd3を持つ電子部品13を第3部品13とする。
そして、図1では、図の左方から、第1部品11、第2部品12、第3部品13、第1部品11というように、基板100の一面110上において、各電子部品11〜13が配置されている。つまり、図1の左方から、電子部品の厚さの関係は、d1>d2<d3<d1となっている。
また、はんだ20の厚さは、各電子部品11〜13において、ほぼ一定であり、50μm〜100μm程度の厚さである。なお、はんだ20としては、通常用いられる共晶はんだ、鉛フリーはんだなどを採用できる。
それにより、各電子部品11〜13の搭載状態において隣り合う電子部品11〜13間では、互いの電子部品11〜13の上端部の位置が高低差h1、h2、h3を持ち、この高低差h1〜h3は、それぞれ隣り合う電子部品11〜13の厚さd1〜d3の差に実質的に相当する。以下、このような搭載後における電子部品11〜13間の上端部の高低差h1〜h3を、単に、部品間高低差h1〜h3ということにする。
具体的に、図1において、第1部品11と第2部品12の間の部品間高低差h1は、これら両部品11、12間の厚さの差(d1−d2)に相当し、第2部品12と第3部品13の間の部品間高低差h2は、これら両部品12、13間の厚さの差(d3−d2)に相当し、第3部品13と第1部品11の間の部品間高低差h3は、これら両部品13、11間の厚さの差(d1−d3)に相当する。
次に、本実施形態の電子部品の実装方法について述べる。本実装方法は、複数個の電子部品11〜13を基板100の一面110上に搭載する部品搭載工程を有する。図2、図3は、この電子部品11〜13の基板100への実装方法を示す工程図である。
なお、本実施形態の実装方法では、隣り合う電子部品11〜13間の搭載方法に工夫を施したものであるため、図2、図3では、第1部品11および第2部品12の隣り合う2個の例を代表して示す。
この部品搭載工程では、コレット200を用い、このコレット200に各々の電子部品11〜13の上端部を吸着した状態で、電子部品11〜13を基板100の一面110上に、はんだ20を介して搭載する。
まず、本実装方法においては、基板100を用意し、部品搭載工程では、搭載後の状態において隣り合う電子部品11〜13の間にて互いの上端部の位置が、上記部品間高低差h1〜h3(図1参照)を持つように、各電子部品11〜13の配置を決める。
それとともに、搭載後の状態において隣り合う電子部品11〜13の間において、上端部の位置が上方にあるものを第1の電子部品とし、下方にあるものを第2の電子部品として、第2の電子部品、第1の電子部品の順に搭載する。
図2、図3に示される例では、隣り合う電子部品11、12において、厚い方の第1部品11を第1の電子部品11に用い、薄い方の第2部品12を第2の電子部品12に用いる。
それにより、部品間高低差h1を持つようにこれら両部品11、12の配置を決め(図3(a)参照)、これら両部品11、12において第2部品12、第1部品11の順に、基板100へ搭載する。
ここで、コレット200は、一般的なもので、これら図2、図3に示されるように、底部側の端部が開口した開口部210となっている中空角錐形状をなす。そして、図示しない頭部側から図示しない真空ポンプなどにより吸引したときに開口部210に発生する吸引力によって、電子部品11〜13を拾い上げるようになっている。
このように、コレット200は、角錐形状をなすことにより、吸引された電子部品11〜13が、その内側に位置する傾斜した側面に当たり、吸引力によってコレット200に吸着され保持される。
また、図3(a)に示されるように、このコレット200においては、開口部210のうち第1部品11の上端部を吸着したときに当該上端部外周からはみ出すはみ出し部220が存在する。
ここでは、このはみ出し部220がはみ出している幅を寸法Bで示しており、以下、このような電子部品を吸着したときのコレット200におけるはみ出し部220の幅Bを、単に、はみ出し幅Bということにする。
そして、本実施形態では、このはみ出し部220の第1部品11の上端部から下方へ向かう長さAを、上記した第1部品11と第2部品12との間の高低差h1よりも小さい寸法としている。以下、このような電子部品を吸着したときのコレット200におけるはみ出し部220の長さAを、単に、はみ出し部の突出長さAということにする。
このようなコレット200を用いて、本実装方法では、先に第2部品12を搭載するために、まず、図2(a)に示されるように、第2部品12を吸着し、基板100の一面110に、はんだ20を介して搭載する。ここで、はんだ20は、基板100の電極120上に配置されたはんだワイヤなどである。
そして、図2(b)に示されるように、第2部品12をはんだ20におしあて、スクラブを行う。
このスクラブの際には、基板100は、たとえばその下方からヒータなどにより加熱されており、この熱により軟化したはんだ20が押し広がって、図2(c)に示されるように、第2部品12のはんだ接合が完了する。
こうして、薄い方の第2部品12を搭載した後、次に、図3(a)に示されるように、コレット200により厚い方の第1部品12を吸着し、基板100の一面110に、はんだ20を介して搭載する。ここで、はんだ20は、上記同様、基板100の電極120上に配置されたはんだワイヤなどである。
本例では、上記のはみ出し部の突出長さAが、両部品11、12間の部品間高低差h1よりも小さいため、両部品11、12間の距離m1を、はみ出し幅Bよりも小さくしても、コレット200のはみ出し部220が、先に搭載されている第2部品12にぶつかることはない。
なお、両部品11、12間の距離m1は、第1部品11のスクラブによる振れ幅を考慮する。具体的には、第1部品11の設計上の搭載位置からスクラブにより第1部品11がはみ出す幅をCとしたとき、両部品11、12間の距離m1は、このスクラブによる幅Cよりも大きくする。つまり、本例では、両部品11、12間の距離m1は、C<m1<Bとできる。
ちなみに、従来では、本実施形態のようにコレット200のはみ出し部の突出長さAが上記部品間高低差h1未満であるという関係が設定されておらず、逆に、当該突出長さAが当該部品間高低差h1以上となっていた。
そのため、従来では、先に搭載されている電子部品に対し、コレットのはみ出し部がぶつからないように、両電子部品間の距離を、上記はみ出し幅Bよりも大きくする必要があり、高密度実装に制約をもたらしていた。
こうして第1部品11を搭載した後、本実施形態の実装方法では、図3(b)に示されるように、第1部品11をはんだ20におしあて、スクラブを行う。
このスクラブの際には、第2部品12の時と同様、基板100は加熱されており、この熱により軟化したはんだ20が押し広がって、図3(c)に示されるように、第1部品11のはんだ接合が完了する。以上が、本実施形態の電子部品の実装方法である。
なお、図2、図3では、主として第1部品11と第2部品12との隣り合う2個の場合を代表して示したが、隣り合う第1部品11と第3部品13との場合、および第2部品12と第3部品13との場合も、厚い方を第1の電子部品とし、薄い方を第2の電子部品として、同様に、実装すればよい。
具体的に、第1部品11と第3部品13との場合、上記したコレット200のはみ出し部の突出長さAを、第1部品11と第3部品13との間の部品間高低差h3よりも小さい寸法とし、この部品間高低差h3を持つようにこれら両部品11、13の配置を決め、第3部品13、第1部品11の順に、基板100へ搭載する。
一方、第2部品12と第3部品13との場合、上記したコレット200のはみ出し部の突出長さAを、第2部品12と第3部品13との間の部品間高低差h2よりも小さい寸法とし、この部品間高低差h2を持つようにこれら両部品12、13の配置を決め、第2部品12、第3部品13の順に、基板100へ搭載する。
それにより、第1部品11と第3部品13との距離m3、および第2部品12と第3部品13との距離m2を、上記スクラブによる幅Cよりも大きく上記はみ出し幅Bよりも小さくすることができる。
このように、本実施形態によれば、搭載後において上端部の位置が低くなる方の第2の電子部品12、13を搭載した後、上端部の位置が高くなる方の第1の電子部品11、13をコレット200に吸着して、第2の電子部品12、13の隣に配置したときに、コレット200の開口部210におけるはみ出し部220が、第2の電子部品12、13に干渉しなくなる。
したがって、本実施形態によれば、隣り合う電子部品11〜13間においてコレット200の干渉を回避し、これら両電子部品11〜13間の距離m1〜m3を短くすることができる。
このような本実施形態の効果を適切に作用させる寸法の具体例を示す。たとえば、コレット200におけるはみ出し部の突出長さが0.1mm、はみ出し幅Bが0.2mm、第1部品11の厚さd1が400μmである場合を例にとる。
この場合、第3部品13の厚さd3が300μmより薄く、第2部品12の厚さd2が、第3部品13の厚さd3に対して更に100μmより薄ければ、隣り合う各電子部品11〜13の間の距離m1〜m3を、はみ出し幅Bの0.2mmよりも縮めることが可能になる。
(第2実施形態)
図4は、本発明の第2実施形態に係る部品搭載工程すなわち電子部品の基板への実装方法を示す工程図である。
図4は、本発明の第2実施形態に係る部品搭載工程すなわち電子部品の基板への実装方法を示す工程図である。
上記実施形態では、隣り合う電子部品11〜13において厚さを異ならせ、厚い方を第1の電子部品に用い、薄い方を第2の電子部品に用いることにより、高低差h1〜h3を持つように電子部品11〜13の配置を決めていた。
それに対して、本実施形態では、図4に示されるように、隣り合う電子部品11、11が互いに同じ厚さd1を有する場合、さらには、隣り合う電子部品において厚い方の電子部品を先に搭載したい場合であっても、上記実施形態と同様の効果を奏する実装方法を提供する。
すなわち、本実施形態においても、部品搭載工程では、搭載後の状態において隣り合う電子部品11、11の間にて互いの上端部の位置が、部品間高低差h1を持つように、各電子部品11、11の配置を決める。
それとともに、隣り合う電子部品11、11の間において、上端部の位置が上方にあるものを第1の電子部品とし、下方にあるものを第2の電子部品として、第2の電子部品、第1の電子部品の順に搭載する。
ここで、本実装方法では、同じ厚さd1の電子部品11同士を隣り合って配置するを考慮して、まず、図4に示されるように、基板100の一面110に、高さh1の段差130を設ける。
この段差130は、セラミック基板、プリント基板の場合は、たとえば積層基板として最表層に開口部を開けることで形成することができ、金属基板の場合は、たとえばプレスなどにより形成できる。
次に、隣り合う電子部品11、11において段差130における高い方の部位に配置するものを第1の電子部品11aとし、低い方の部位に配置するものを第2の電子部品11bとすることにより、部品間高低差h1を持つように、電子部品11、11の配置を決める。
このように段差130を設ければ、隣り合う電子部品の厚さが同じであっても、搭載後の状態では部品間高低差h1を持たせることができる。
さらには、段差130における高い方の部位に配置する第1の電子部品の方が、低い方の部位に配置する第2の電子部品よりも薄いものであっても、段差の高さを電子部品間の厚さの差よりも大きくしてやればよい。それにより、段差の高い方に位置する第1の電子部品の方を高くして部品間高低差を持たせることができる。
このようにして、電子部品の配置位置および搭載順を決めた後、本実施形態の実装方法では、図4に示されるように、段差130の低い方に位置する第2の電子部品11bを、コレット200にて先に搭載し、はんだ接合する。
続いて、段差130の高い方に位置するべき第1の電子部品11aをコレット200で吸着して、はんだ20を介して搭載する。このとき、上記実施形態と同様に、コレット200のはみ出し部220の突出長さAを、部品間高低差h1未満とする。
それにより、両部品11、11間の距離m1を、はみ出し幅Bよりも小さくしても、コレット200のはみ出し部220が、先に搭載されている第2の電子部品11bにぶつかることはない。
そのため、本実施形態においても、隣り合う電子部品11、11間の距離m1を、上記したスクラブによる幅Cよりも大きく且つはみ出し幅Bよりも小さいものとすることができる。
そして、このように第1の電子部品11aを搭載した後、上記同様、スクラブを行い、第1の電子部品11aをはんだ接合する。以上が、本実施形態の電子部品の実装方法である。
このように、本実施形態によっても、隣り合う電子部品11、11間においてコレット200の干渉を回避し、これら両電子部品11、11間の距離m1を短くすることができる。
なお、図4では、2個の電子部品11、11の搭載例を示したが、3個以上ある場合には、それぞれの隣り合う電子部品間において、上記図4の例に準じて基板に段差を設けることにより、実装を行えばよい。
(第3実施形態)
図5(a)は、本発明の第3実施形態に係る部品搭載工程すなわち電子部品の基板への実装方法を示す工程図であり、図5(b)は、(a)中の電子部品11を吸着した状態のコレット200を、その上方から眺めた図である。
図5(a)は、本発明の第3実施形態に係る部品搭載工程すなわち電子部品の基板への実装方法を示す工程図であり、図5(b)は、(a)中の電子部品11を吸着した状態のコレット200を、その上方から眺めた図である。
本実施形態の実装方法も、上記実施形態と同様に、一端部230に開口部210を有するコレット200を用いて、開口部210に各々の電子部品11、12の上端部を吸着した状態で、複数の電子部品11、12を基板100の一面110上に搭載する。
ここにおいて、本実施形態では、独自の方法として、コレット200として、開口部210を有する一端部230のサイズが、開口部210に第1部品11の上端部を吸着した状態のときに第1部品11の上端部の範囲内に位置するものを用いる。
なお、図5では、コレット200は第1部品11を吸着した状態を示しているが、このコレット200が第2部品12を吸着した状態においても、開口部210を有する一端部230のサイズは、第2部品12の上端部の範囲内に位置するものである。
このようなサイズ関係を有するコレット200を用いているため、本実装方法によれば、隣り合う電子部品11、12を搭載するときに、コレット200における開口部210側の一端部230が、これに吸着されている第1部品11の上端部の範囲内に位置している。
そのため、コレット200における開口部210の周辺部が第1部品11の上端部からはみ出すことが無くなる。それゆえ、先に搭載してある第2部品12にコレット200が干渉することはなくなる。なお、本実施形態においても、コレット200によるスクラブを行い、はんだ接合することは上記実施形態と同様である。
このように、本実施形態の実装方法によっても、隣り合う電子部品11、12間においてコレット200の干渉を回避し、これら両電子部品11、12間の距離を短くすることができる。
また、本実装方法では、そもそもコレット200における上記はみ出し部がなくなるため、複数個の電子部品11、12の搭載順序は任意であり、たとえば、図5において、第2部品12の方を先に搭載してもよい。
さらに、本実施形態の実装方法においては、図5(a)に示されるように、コレット200として、その一端部230に、電子部品11、12との接触時の衝撃を緩和する緩和部材300が設けられたものを用いている。
この緩和部材300は、コレット200の開口部210と同形状の開口部310を有しており、電子部品11、12の上端部は、結果的に、この緩和部材300の開口部310を介して、コレット200の開口部210に吸着されるようになっている。
このような緩和部材300は、コレット200に吸着されたときの衝撃による電子部品11、12のダメージを防止するものであり、剛性の高いゴムやスポンジなどよりなる。緩和部材300のコレット200への取付は、コレット200と緩和部材300との間に隙間が生じないように高温でも剥れない接着剤などを用いて接合する。
(第4実施形態)
図6(a)は、本発明の第4実施形態に係る部品搭載工程すなわち電子部品の基板への実装方法を示す工程図であり、図6(b)は、(a)中の電子部品11の上端部を、その上方から眺めた平面図である。
図6(a)は、本発明の第4実施形態に係る部品搭載工程すなわち電子部品の基板への実装方法を示す工程図であり、図6(b)は、(a)中の電子部品11の上端部を、その上方から眺めた平面図である。
本実施形態の実装方法は、上記第3実施形態において、コレット200と電子部品11、12とが接触する部位において、上記緩和部材300に代えて、突起400を設けたものである。
また、図6(b)に示されるように、本実装方法では、電子部品11、12として、上端部のうちコレット200の一端部230と接触する部位が、素子が形成されていない領域Kとなっている。なお、この領域Kは、図6(b)に示される第1部品11と同様に、第2部品12にも形成されている。
このような領域Kは、たとえば半導体チップにおいては、下部にトランジスタ等のアクティブ領域がないデッド領域Kとして構成されるものである。そして、コレット200の一端部230に設けられた突起400は、たとえば矩形枠状のデッド領域Kに対応した矩形枠状となっている。
そのため、電子部品11、12を吸着したとき、電子部品のアクティブ領域には突起400は接触せず、ダメージを与えることはない。
(第5実施形態)
図7は、本発明の第5実施形態に係る実装方法に用いるコレット200の概略斜視図である。
図7は、本発明の第5実施形態に係る実装方法に用いるコレット200の概略斜視図である。
上記第3および第4実施形態の実装方法では、コレット200のはみ出し部を無くすことで、隣り合う電子部品の搭載工程におけるコレット200と電子部品との干渉を回避していた。
本実施形態では、この考えを一部取り入れ、コレット200として、図7に示されるように、電子部品11の上端部の外周において、開口部210の周辺部がはみ出し部220となっている部分と、はみ出していない部分とを設けたものを用いる。
図7に示される例では、角錐コレット200において、対向する1組の2辺をはみ出し部220とし、これらはみ出し部220によって電子部品11をはさみ、他の2辺は、はみ出させず、電子部品11の上端部の範囲内に位置している。
この場合、はみ出し部220の存在する方向では、隣り合う電子部品の搭載時にコレット200の干渉が起こりうるが、はみ出し部の存在しない方向では、電子部品間の距離を短くすることが可能になる。
さらに、図8は、本実施形態のもう一つの例を示す斜視図であり、(a)は電子部品11を吸着する前の状態、(b)は吸着後の状態を示す。
この例のコレット200では、はみ出し部220の存在しない方向に位置する開口部210の周辺部が、図8中の上下にスライド可能な板部材240として構成されている。そして、板部材240は、電子部品11の吸着時には、電子部品11の上端部に押し上げられて電子部品11の吸着方向(図8中の上方)にスライドする。
つまり、この図8に示されるコレット200では、上記図7に示されるものと同様の効果を発揮することに加えて、板部材240が吸着時には電子部品11の上端に密着するため、吸引力の確保のためには好ましい。
(他の実施形態)
なお、上記第1実施形態では、3種類の異なる厚さd1、d2、d3の電子部品11〜13を、最も厚いものから順次薄くなるように配列したが、厚さは2種類、または4種類以上異なっていてもよい。
なお、上記第1実施形態では、3種類の異なる厚さd1、d2、d3の電子部品11〜13を、最も厚いものから順次薄くなるように配列したが、厚さは2種類、または4種類以上異なっていてもよい。
そして、その配列形態は、隣り合う異なる厚さの電子部品において、厚い方を第1の電子部品に用い、薄い方を第2の電子部品に用いることにより、コレットとの寸法関係が満足されるように上記高低差を持つように電子部品の配置を決めればよい。
また、スクラブは、コレット側あるいは基板側から超音波をかけて行ってもよい。それによれば、コレットや基板の振幅量は、上記したスクラブによる幅Cよりも小さいため、電子部品間の距離をより短くできる。なお、コレット側に超音波をかける場合は、基板を動かないように抑え、また、基板側に超音波をかける場合は、コレットを動かないように抑えることが重要である。
さらに、はんだ20はスクラブにより押し広げているが、加熱のみで濡れ広がらせることができれば、スクラブは行わなくてもよい。この場合、隣り合う電子部品間の距離は、上記したスクラブによる幅Cの制約を受けることがなくなり、さらに短くすることが可能になる。
また、コレットを用いて複数個の電子部品を基板の一面上に搭載する場合、はんだを介するものでなくてもよく、たとえば、Agペースト、接着剤を介して実装するものであってもよい。さらには、電子部品はフリップチップなどであってよく、コレットを用いたフリップチップのフェイスダウン実装にも、適用できる。
また、本発明の実装方法は、コレットを用いて複数個の電子部品を基板の一面上に搭載する部品搭載工程を有するものであればよく、この部品搭載工程以外にも、たとえばワイヤボンディング工程などを有していてもよい。
11、11a、11b、12、13…電子部品、
100…基板、110…基板の一面、130…基板の段差、
200…コレット、210…コレットの開口部、220…コレットのはみ出し部、
230…コレットの一端部、300…緩和部材、A…はみ出し部の突出長さ、
h1…第1部品と第2部品との部品間高低差、
h2…第2部品と第3部品との部品間高低差、
h3…第1部品と第3部品との部品間高低差、
K…素子が形成されていない領域。
100…基板、110…基板の一面、130…基板の段差、
200…コレット、210…コレットの開口部、220…コレットのはみ出し部、
230…コレットの一端部、300…緩和部材、A…はみ出し部の突出長さ、
h1…第1部品と第2部品との部品間高低差、
h2…第2部品と第3部品との部品間高低差、
h3…第1部品と第3部品との部品間高低差、
K…素子が形成されていない領域。
Claims (6)
- 複数個の電子部品(11〜13)を基板(100)の一面(110)上に搭載する部品搭載工程を有し、
この部品搭載工程では、開口部(210)を有するコレット(200)を用い、前記開口部(210)に各々の前記電子部品(11〜13)の上端部を吸着した状態で、前記電子部品(11〜13)を前記基板(100)の一面(110)上に搭載する電子部品の実装方法において、
前記部品搭載工程では、前記電子部品(11〜13)の搭載後の状態において隣り合う前記電子部品(11〜13)間にて互いの上端部の位置が高低差(h1、h2、h3)を持つように、前記電子部品(11〜13)の配置を決めるとともに、
前記搭載後の状態において前記隣り合う電子部品(11〜13)のうち上端部の位置が上方にあるものを第1の電子部品とし、下方にあるものを第2の電子部品としたとき、前記第2の電子部品、前記第1の電子部品の順に搭載するようにし、
さらに、前記開口部(210)のうち前記第1の電子部品の上端部を吸着したときに当該上端部外周からはみ出すはみ出し部(220)の、当該上端部から下方へ向かう長さ(A)を、前記高低差(h1〜h3)未満とすることを特徴とする電子部品の実装方法。 - 前記隣り合う電子部品(11〜13)において厚さを異ならせ、厚い方を前記第1の電子部品に用い、薄い方を前記第2の電子部品に用いることにより、前記高低差(h1〜h3)を持つように前記電子部品(11〜13)の配置を決めることを特徴とする請求項1に記載の電子部品の実装方法。
- 前記基板(100)の一面(110)に段差(130)を設け、前記隣り合う電子部品(11a、11b)において前記段差(130)における高い方の部位に配置するものを前記第1の電子部品とし、低い方の部位に配置するものを前記第2の電子部品とすることにより、前記高低差(h1)を持つように前記電子部品の配置を決めることを特徴とする請求項1に記載の電子部品の実装方法。
- 複数個の電子部品(11、12)を基板(100)の一面(110)上に搭載する部品搭載工程を有し、
この部品搭載工程では、一端部に開口部(210)を有するコレット(200)を用い、前記コレット(200)の前記開口部(210)に各々の前記電子部品(11、12)の上端部を吸着した状態で、前記電子部品(11、12)を前記基板(100)の一面(110)上に搭載する電子部品の実装方法において、
前記コレット(200)として、前記開口部(210)を有する前記一端部(230)のサイズが、前記開口部(210)に各々の前記電子部品(11、12)の上端部を吸着した状態のときに当該上端部の範囲内に位置するものを用いることを特徴とする電子部品の実装方法。 - 前記コレット(200)の前記一端部(230)には、前記電子部品(11、12)との接触持の衝撃を緩和する緩和部材(300)が設けられていることを特徴とする請求項4に記載の電子部品の実装方法。
- 前記電子部品(11、12)として、前記上端部のうち前記コレット(200)の前記一端部(230)と接触する部位が、素子が形成されていない領域(K)となっているものを、用いることを特徴とする請求項4に記載の電子部品の実装方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005360055A JP2007165594A (ja) | 2005-12-14 | 2005-12-14 | 電子部品の実装方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005360055A JP2007165594A (ja) | 2005-12-14 | 2005-12-14 | 電子部品の実装方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007165594A true JP2007165594A (ja) | 2007-06-28 |
Family
ID=38248157
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005360055A Pending JP2007165594A (ja) | 2005-12-14 | 2005-12-14 | 電子部品の実装方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007165594A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013102128A (ja) * | 2011-10-19 | 2013-05-23 | Fuji Xerox Co Ltd | 保持具、搭載装置、基板装置の製造方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04188840A (ja) * | 1990-11-22 | 1992-07-07 | Toshiba Corp | ダイボンディング方法 |
JPH09116197A (ja) * | 1995-10-18 | 1997-05-02 | Nichia Chem Ind Ltd | Ledチップのダイボンド方法 |
JP2001257221A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-21 | Murata Mfg Co Ltd | 電子デバイスの製造方法 |
JP2002231734A (ja) * | 2001-02-06 | 2002-08-16 | Oki Data Corp | 基板ユニット、半導体素子、半導体素子の実装方法及びその製造方法 |
JP2005243834A (ja) * | 2004-02-25 | 2005-09-08 | Nitto Denko Corp | コレット及びそれを用いたチップのピックアップ方法 |
-
2005
- 2005-12-14 JP JP2005360055A patent/JP2007165594A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04188840A (ja) * | 1990-11-22 | 1992-07-07 | Toshiba Corp | ダイボンディング方法 |
JPH09116197A (ja) * | 1995-10-18 | 1997-05-02 | Nichia Chem Ind Ltd | Ledチップのダイボンド方法 |
JP2001257221A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-21 | Murata Mfg Co Ltd | 電子デバイスの製造方法 |
JP2002231734A (ja) * | 2001-02-06 | 2002-08-16 | Oki Data Corp | 基板ユニット、半導体素子、半導体素子の実装方法及びその製造方法 |
JP2005243834A (ja) * | 2004-02-25 | 2005-09-08 | Nitto Denko Corp | コレット及びそれを用いたチップのピックアップ方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013102128A (ja) * | 2011-10-19 | 2013-05-23 | Fuji Xerox Co Ltd | 保持具、搭載装置、基板装置の製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5205867B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2009123770A (ja) | 放熱部材 | |
JP7232123B2 (ja) | 配線基板、電子装置、及び配線基板の製造方法 | |
JP2007165594A (ja) | 電子部品の実装方法 | |
JP2001257437A (ja) | 電子回路基板及びその製造方法 | |
JP2006190834A (ja) | 半導体パッケージ及びフレキシブルサーキット基板 | |
JPH08111578A (ja) | ボールグリッドアレイパッケージ実装用基板の製造方法 | |
JP2009164511A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2006303103A (ja) | 導電性ボールの搭載方法および搭載装置 | |
JPH10233417A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2008277660A (ja) | Lga半導体実装構造 | |
JP5067107B2 (ja) | 回路基板および半導体装置 | |
JP6536397B2 (ja) | 電子装置、電子装置の製造方法及び電子機器 | |
JP4853276B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP4952527B2 (ja) | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 | |
KR100666990B1 (ko) | Bga 패키지 및 그 제조방법 | |
JP2001291729A (ja) | 半導体素子の孔版印刷樹脂封止方法、及び該方法に用いる孔版及びスキージ | |
JP2008091650A (ja) | フリップチップ実装方法、および半導体パッケージ | |
JPH09260420A (ja) | 回路モジュールの製造方法及び回路モジュール | |
JP4736948B2 (ja) | 電子部品の実装方法 | |
TWI249212B (en) | Chip package manufacturing process | |
JP2000174039A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2003318204A (ja) | チップ吸着用ノズル、チップの実装体及びチップの実装方法 | |
JP3161648B2 (ja) | 電子部品の半田付け方法 | |
JP4343082B2 (ja) | 電子回路ユニット、及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080205 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091214 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091222 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100420 |