JP2007160834A5 - - Google Patents
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Claims (14)
- インクを吐出する複数のノズルと、吐出エネルギーを発生する複数の記録素子とが配列された複数の記録素子基板がノズル配列方向に沿って配置されているインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記各記録素子基板における前記複数のノズルから吐出されるインクの平均吐出量の大きさの順に複数の前記記録素子基板が配置されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 - インクを吐出する複数のノズルと、吐出エネルギーを発生する複数の記録素子とが配列された複数の記録素子基板がノズル配列方向に沿って配置されているインクジェット記録ヘッドにおいて、
N個の前記記録素子基板を備え、前記記録素子基板を一端側から順に1番目からN番目としたときに、1番目とN番目の前記記録素子基板における前記複数のノズルから吐出されるインクの各平均吐出量がほぼ等しく、1からN番目の前記記録素子基板間でそれぞれ隣接する前記各記録素子基板における前記複数のノズルから吐出されるインクの平均吐出量の差がほぼ一定にされていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 - 前記各記録素子基板に形成される複数の吐出口の、吐出口径の平均値の順に複数の前記記録素子基板が配置されている請求項1または2に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記各記録素子基板は、複数の前記記録素子がそれぞれ設けられた複数の発泡室を有し、
前記各記録素子基板における前記複数の発泡室の、インクの吐出方向の高さの平均値の順に複数の前記記録素子基板が配置されている請求項1または2に記載のインクジェット記録ヘッド。 - 前記各記録素子基板は、複数の前記記録素子がそれぞれ設けられた複数の発泡室を有し、
前記各記録素子基板における前記複数の発泡室の、発泡室体積の平均値の順に複数の前記記録素子基板が配置されている請求項1または2に記載のインクジェット記録ヘッド。 - 前記記録素子は電気熱変換素子であり、吐出方向が前記電気熱変換素子面に直交する方向である請求項1ないし5のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 発泡時に発生した気泡が外気と連通することでインクの吐出が完了するように構成されている請求項1ないし6のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記ノズルは、フォトリソグラフィ技術によって形成されている請求項1ないし7のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記ノズルが被記録媒体の記録領域の全幅にわたって配設されてなるフルラインタイプのものである請求項1ないし8のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 請求項1ないし8のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッドを備え、
前記インクジェット記録ヘッドを前記ノズル配列方向と異なる方向に、被記録媒体に対して相対的に主走査させながら、被記録媒体上にインクを吐出し、該主走査毎に前記インクジェット記録ヘッドと前記被記録媒体とを相対的に前記ノズル配列方向に副走査することによって記録を行うインクジェット記録装置。 - インクを吐出する複数のノズルと、吐出エネルギーを発生する複数の記録素子と、複数の前記記録素子がそれぞれ設けられた複数の発泡室とが配列された複数の記録素子基板がノズル配列方向に沿って配置され、前記各記録素子基板上には、フォトリソグラフィ技術によって前記ノズルと共にノズル形成材で形成されたダミーパターンを有するインクジェット記録ヘッドの製造装置であって、
複数の前記記録素子基板における前記吐出口の吐出口径、前記発泡室の、インクの吐出方向の高さ、前記発泡室の体積、または前記ダミーパターンの形状寸法の少なくとも1つの寸法を測定する寸法測定ユニット部と、前記寸法測定ユニット部が測定した測定データに基づいて、同一のインクジェット記録ヘッドに使用する複数の前記記録素子基板とその配列位置を決定するコントローラ部と、前記コントローラ部で決定された情報に基づいて、前記各記録素子基板を配列し、位置決め固定する組立ユニット部とを備えるインクジェット記録ヘッドの製造装置。 - 前記寸法測定ユニット部は、ウエハーに形成されている前記記録素子基板の寸法を測定する請求項11に記載のインクジェット記録ヘッドの製造装置。
- インクを吐出する複数のノズルと、吐出エネルギーを発生する複数の記録素子と、複数の前記記録素子がそれぞれ設けられた複数の発泡室とが配列された複数の記録素子基板がノズル配列方向に沿って配置され、前記各記録素子基板上には、フォトリソグラフィ技術によって前記ノズルと共にノズル形成材で形成されたダミーパターンを有するインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
複数の前記記録素子基板における前記吐出口の吐出口径、前記発泡室の、インクの吐出方向の高さ、前記発泡室の体積、または前記ダミーパターンの形状寸法の少なくとも1つの寸法を測定する寸法測定工程と、
前記寸法測定工程で測定された測定データに基づいて、同一の前記インクジェット記録ヘッドに使用する複数の前記記録素子基板とその配列位置をコントローラ部で決定する工程と、
前記コントローラ部で決定された情報に基づいて、前記各記録素子基板を配列し、位置決めして固定する組立工程とを備えるインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 前記寸法測定工程では、ウエハーに形成されている前記記録素子基板の寸法を測定する請求項13に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
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