JP2007155950A - 液晶装置、液晶装置の製造方法及びプロジェクタ - Google Patents
液晶装置、液晶装置の製造方法及びプロジェクタ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007155950A JP2007155950A JP2005348704A JP2005348704A JP2007155950A JP 2007155950 A JP2007155950 A JP 2007155950A JP 2005348704 A JP2005348704 A JP 2005348704A JP 2005348704 A JP2005348704 A JP 2005348704A JP 2007155950 A JP2007155950 A JP 2007155950A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid crystal
- ion beam
- alignment
- crystal device
- inorganic material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
【解決手段】配向膜16、22が、第1の凸部51と、当該第1の凸部51よりも寸法が小さく長手方向が液晶分子50aの配向方向に沿うように設けられた第2の凸部52とを有する無機材料からなるので、第1の凸部51及び第2の凸部52の2種類の凸部によって液晶層50を構成する液晶分子50aの配向を規制することができる。これにより、液晶分子50aの配向規制力を高めることができる。また、液晶分子50aの配向規制力を高めることによって、所望のプレティルト角を容易に得ることが可能となる。
【選択図】図3
Description
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、配向膜にラビングすることなく、液晶分子の配向を規制する配向規制力と所定のプレティルト角とを同時に得ることができる液晶装置、液晶装置の製造方法及びプロジェクタを提供することにある。
無機材料のうち酸化アルミニウムによって形成した薄膜は安定性に優れ、液晶装置の配向膜としての特性に優れている。本発明によれば、無機材料が酸化アルミニウムであるため、信頼性に優れた液晶装置を得ることができる。
また、前記第1の角度及び前記第2の角度が前記基板面の法線方向に対する角度であり、前記第2の角度が前記第1の角度よりも大きいことが好ましい。
本発明によれば、凸部を荒く形成する第1のイオンビームを無機材料膜に対して深く照射することができ、凸部を細かく形成する第2のイオンビームを無機材料膜に対して浅く照射することができる。これにより、無機材料膜の表面を容易に形成することができる。
本発明によれば、無機材料膜が多孔質膜であるため、第1のイオンビーム照射及び第2のイオンビーム照射によって照射されるイオンビームが無機材料膜表面の原子を弾き飛ばしやすくなる。すなわち照射されたイオンや弾き飛ばされた分子が多孔質膜の空孔部を埋めていくため、配向膜の形成が容易になる。
本発明によれば、第2のイオンビームを加速する加速電圧を第1のイオンビームを加速する加速電圧よりも小さくすることによって、第1のイオンビームのエネルギーよりも第2のイオンビームのエネルギーを小さくすることができる。すなわち、イオンビームのエネルギーに強弱をつけることができる。これにより、例えばエネルギーの大きい第1のイオンビームによって無機材料膜表面を荒く形成し、エネルギーの小さい第2のイオンビーム照射によって傾斜の角度を細かく調整する、という使い分けが可能となる。
本発明によれば、第2のイオンビームの電流密度を第1のイオンビームの電流密度よりも小さくすることによって、加速電圧を異ならせた場合と同様に、第1のイオンビームのエネルギーよりも第2のイオンビームのエネルギーを小さくすることができ、イオンビームのエネルギーに強弱をつけることができる。
本発明によれば、液晶分子の配向を規制する配向規制力と所定のプレティルト角とを同時に得ることができる液晶装置を備えているので、表示の信頼性が高いプロジェクタを得ることができる。
以下、図面を参照して、本発明の第1実施形態を説明する。
本実施形態では、薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor, 以下、TFTと略記する)を画素スイッチング素子として用いたTFTアクティブマトリクス方式の液晶装置を例に挙げて説明する。
図1は、本実施形態に係る液晶装置の構成を示す図である。図1(a)は、同液晶装置の平面構成図、(b)は(a)図のH−H’線に沿う断面構成図である。
図1(a)及び図1(b)に示すように、本実施形態の液晶装置100は、TFTアレイ基板(アクティブマトリクス基板)10と、対向基板20とが平面視略矩形枠状のシール材42を介して貼り合わされ、このシール材42に囲まれた領域内に液晶層50が封入された構成になっている。液晶層50としては、例えば正の誘電率異方性を有する液晶材料が用いられている。シール材42内周側に沿って平面視矩形枠状の周辺見切り53が形成され、この周辺見切りの内側の領域が表示領域11となっている。
同図に示すように、液晶装置の表示領域11には、複数の画素領域12がマトリクス状に配置されており、これら画素領域12には、それぞれ画素電極9が配置されている。また、その画素電極9の側方にはTFT素子30が形成されている。TFT素子30は、該画素電極9への通電制御を行うスイッチング素子である。このTFT素子30のソース側にはデータ線6aが接続されている。各データ線6aには、例えばデータ線駆動素子から画像信号S1、S2、…、Snが供給されるようになっている。
図3は、配向膜16、22の構成を示す図である。図3(a)は、配向膜16、22の表面を拡大して撮影した写真である。図3(b)は、配向膜16、22の表面の形状を模式的に表した図である。
次に、本発明の液晶装置100の製造工程について説明する。図4は、液晶装置100の製造工程を示すフローチャートである。本実施形態では、大面積のマザー基板を用いて複数の液晶装置を一括して形成し、切断することによって個々の液晶装置100に分離する方法を例に挙げて説明する。
ガラスや石英等の透光性材料からなる大判の基材に走査線、データ線等の配線を形成し、画素電極9及びTFT素子30を形成する(ST1)。走査線やデータ線等の配線については、例えば基材の表面全体にアルミニウム等の金属をスパッタし、これをエッチングすることによって、各表示領域に対して一括的に形成することができる。
まず、TFTアレイ側マザー基板の周囲の圧力を約4×10−3Pa程度に減圧した状態で、TFTアレイ側マザー基板上に多孔質のAl2O3膜(無機材料膜)を蒸着法によって約100nmの膜厚に形成する(ST201)。
このような手順によって、無機材料膜55に第1の凸部51及び第2の凸部52を形成して、配向膜16を形成する。
TFTアレイ側マザー基板の場合と同様に、ガラスや石英等の透光性材料からなる大判の基材の各表示領域に共通電極21を形成し(ST4)、当該共通電極21上に配向膜22を形成する(ST5)。配向膜22の形成方法は、上述した配向膜16の形成方法と同様の方法によって行うことができる。
無機材料膜55に第1イオンビーム照射工程のみ行った場合、無機材料膜55の表面は図7(a)及び図7(b)に示すように、比較的寸法と傾斜角度の大きいの凸部59のみが形成されることになる。この状態では、凸部59による液晶分子のプレティルト角に対する配向規制力は大きいが、傾斜角度が大きいため、場所によっては一軸方向の配向規制力が不足し、液晶分子の配向が十分に規制されない部分が生じてしまう。
次に、本発明の第2実施形態を説明する。第1実施形態と同様、以下の図では、各部材を認識可能な大きさとするため、縮尺を適宜変更している。また、第1実施形態と同一の構成要素については、同一の符号を付してその説明を省略する。本実施形態では、配向処理の工程が第1実施形態と異なっているため、この点を中心に説明する。
このようにして得られた無機材料膜には、第1実施形態と同様に、第1のイオンビームを照射して第1の凸部51を形成し(ST205)、第2のイオンビームを照射して第2の凸部52を形成する(ST206)ことによって、配向膜16、22が得られる。
次に、各実施形態の液晶装置を光変調装置として用いたプロジェクタの実施形態を説明する。
図10は、投射型表示装置の一例としてのプロジェクタ302の内部の構成を概略的に示す図である。
プロジェクタ302は、光源307と、フライアイレンズ308、309と、ダイクロイックミラー310、311と、反射ミラー312、313、314と、液晶ライトバルブ315、316、317と、クロスダイクロイックプリズム318と、投射レンズ319とを主体として構成されており、例えばR(赤)、G(緑)、B(青)の異なる色毎に透過型液晶ライトバルブを備えた3板式の間欠表示型カラー液晶プロジェクタである。
投射レンズ319は、映像光をスクリーン303に向けて投射する光学部品である。
プロジェクタ302を駆動させると、ランプ307aから白色光が射出される。ランプ307aから直接射出された白色光及びリフレクタ307bで反射された白色光がコリメータレンズ307cにより平行光にされる。この平行光は、フライアイレンズ308、309によりその照度分布が均一化される。
例えば、上記実施形態では、無機材料としてAl2O3を例に挙げて説明したが、これに限られることは無く、例えば、SiO2、Ta2O5、MgF2、MgOなどの他の無機材料によって配向膜16、22を形成することも勿論可能である。
Claims (8)
- 対向する一対の基板と、
前記一対の基板に挟持される液晶層と、
前記一対の基板の前記液晶層側に設けられ、前記液晶層を構成する液晶分子の配向を規制する配向膜と
を具備し、
前記一対の基板のうち少なくとも一方の基板に設けられた配向膜は無機材料からなり、前記配向膜は第1の凸部と、第2の凸部とを有し、
前記第2の凸部は、当該第2の凸部の長手方向が前記液晶分子の配向方向に沿うように設けられ、且つ前記第2の凸部の長手方向の寸法が前記第1の凸部の長手方向の寸法よりも小さいことを特徴とする液晶装置。 - 前記無機材料が酸化アルミニウムであることを特徴とする請求項1に記載の液晶装置。
- 対向する一対の基板に液晶層が挟持される液晶装置の製造方法であって、
前記一対の基板に無機材料膜を形成する工程と、
前記無機材料膜に第1の角度で第1のイオンビームを照射する工程と、
前記無機材料膜に前記第1の角度とは異なる第2の角度で第2のイオンビームを照射する工程と
を具備することを特徴とする液晶装置の製造方法。 - 前記第1の角度及び前記第2の角度が前記基板面の法線方向に対する角度であり、
前記第2の角度が前記第1の角度よりも大きいことを特徴とする請求項3に記載の液晶装置の製造方法。 - 前記無機材料膜が多孔質膜であることを特徴とする請求項3又は請求項4に記載の液晶装置の製造方法。
- 前記第2のイオンビームを照射する工程では、前記第2のイオンビームを加速する加速電圧が前記第1のイオンビームを加速する加速電圧よりも小さいことを特徴とする請求項3乃至請求項5のうちいずれか一項に記載の液晶装置の製造方法。
- 前記第2のイオンビームを照射する工程では、前記第2のイオンビームの電流密度が前記第1のイオンビームの電流密度よりも小さいことを特徴とする請求項3乃至請求項6のうちいずれか一項に記載の液晶装置の製造方法。
- 請求項1又は請求項2に記載の液晶装置を備えたことを特徴とするプロジェクタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005348704A JP4736759B2 (ja) | 2005-12-02 | 2005-12-02 | 液晶装置、液晶装置の製造方法及びプロジェクタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005348704A JP4736759B2 (ja) | 2005-12-02 | 2005-12-02 | 液晶装置、液晶装置の製造方法及びプロジェクタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007155950A true JP2007155950A (ja) | 2007-06-21 |
JP4736759B2 JP4736759B2 (ja) | 2011-07-27 |
Family
ID=38240421
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005348704A Expired - Fee Related JP4736759B2 (ja) | 2005-12-02 | 2005-12-02 | 液晶装置、液晶装置の製造方法及びプロジェクタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4736759B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009047779A (ja) * | 2007-08-15 | 2009-03-05 | Seiko Epson Corp | 液晶装置、電子機器、及び電子デバイス用基板 |
JP2009048143A (ja) * | 2007-08-23 | 2009-03-05 | Seiko Epson Corp | 液晶装置、液晶装置の製造方法、電子機器 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0553115A (ja) * | 1991-08-28 | 1993-03-05 | Tokuyama Soda Co Ltd | 強誘電液晶表示素子 |
JP2001005003A (ja) * | 1999-06-18 | 2001-01-12 | Victor Co Of Japan Ltd | 反射型液晶表示デバイスの作製方法 |
JP2002277879A (ja) * | 2001-03-15 | 2002-09-25 | Seiko Epson Corp | 液晶装置及び液晶装置用基板の製造方法 |
JP2004045784A (ja) * | 2002-07-12 | 2004-02-12 | Sony Corp | 液晶パネルおよびその製造方法 |
JP2004279653A (ja) * | 2003-03-14 | 2004-10-07 | Seiko Epson Corp | 液晶装置および液晶装置の製造方法並びに電子機器 |
JP2005031196A (ja) * | 2003-07-08 | 2005-02-03 | Seiko Epson Corp | 液晶装置及びその製造方法並びに電子機器 |
JP2005077925A (ja) * | 2003-09-02 | 2005-03-24 | Seiko Epson Corp | 無機配向膜の形成方法、無機配向膜、電子デバイス用基板、液晶パネルおよび電子機器 |
JP2005300721A (ja) * | 2004-04-08 | 2005-10-27 | Sharp Corp | 液晶素子 |
JP2007033881A (ja) * | 2005-07-27 | 2007-02-08 | Citizen Miyota Co Ltd | 無機配向膜の形成方法 |
-
2005
- 2005-12-02 JP JP2005348704A patent/JP4736759B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0553115A (ja) * | 1991-08-28 | 1993-03-05 | Tokuyama Soda Co Ltd | 強誘電液晶表示素子 |
JP2001005003A (ja) * | 1999-06-18 | 2001-01-12 | Victor Co Of Japan Ltd | 反射型液晶表示デバイスの作製方法 |
JP2002277879A (ja) * | 2001-03-15 | 2002-09-25 | Seiko Epson Corp | 液晶装置及び液晶装置用基板の製造方法 |
JP2004045784A (ja) * | 2002-07-12 | 2004-02-12 | Sony Corp | 液晶パネルおよびその製造方法 |
JP2004279653A (ja) * | 2003-03-14 | 2004-10-07 | Seiko Epson Corp | 液晶装置および液晶装置の製造方法並びに電子機器 |
JP2005031196A (ja) * | 2003-07-08 | 2005-02-03 | Seiko Epson Corp | 液晶装置及びその製造方法並びに電子機器 |
JP2005077925A (ja) * | 2003-09-02 | 2005-03-24 | Seiko Epson Corp | 無機配向膜の形成方法、無機配向膜、電子デバイス用基板、液晶パネルおよび電子機器 |
JP2005300721A (ja) * | 2004-04-08 | 2005-10-27 | Sharp Corp | 液晶素子 |
JP2007033881A (ja) * | 2005-07-27 | 2007-02-08 | Citizen Miyota Co Ltd | 無機配向膜の形成方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009047779A (ja) * | 2007-08-15 | 2009-03-05 | Seiko Epson Corp | 液晶装置、電子機器、及び電子デバイス用基板 |
JP2009048143A (ja) * | 2007-08-23 | 2009-03-05 | Seiko Epson Corp | 液晶装置、液晶装置の製造方法、電子機器 |
US8023083B2 (en) | 2007-08-23 | 2011-09-20 | Seiko Epson Corporation | Liquid crystal device, method for manufacturing the same, and electronic apparatus including the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4736759B2 (ja) | 2011-07-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7924356B2 (en) | Electrooptical device, electronic apparatus, and projector | |
TWI386717B (zh) | 液晶顯示裝置及液晶面板 | |
US9551896B2 (en) | Liquid crystal device and electronic apparatus including a plurality of microlenses separated by a liquid crystal layer | |
JP6337604B2 (ja) | 電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器 | |
JP2005203596A (ja) | 電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
US10241363B2 (en) | Lens array substrate, method of manufacturing lens array substrate, electro-optical device, and electronic apparatus | |
JP2006285001A (ja) | シール構造、液晶装置、その製造方法およびプロジェクタ | |
JP4736759B2 (ja) | 液晶装置、液晶装置の製造方法及びプロジェクタ | |
JP2009048143A (ja) | 液晶装置、液晶装置の製造方法、電子機器 | |
JP2021148813A (ja) | 光学基板、電気光学装置、及び電子機器 | |
JP2008209860A (ja) | マイクロレンズアレイ基板の製造方法、光変調装置の製造方法及び光変調装置 | |
JP2008020725A (ja) | 液晶表示装置及び映像表示装置 | |
JP4172283B2 (ja) | 液晶装置、及び電子機器 | |
US9857622B2 (en) | Microlens array substrate, electro-optical device, and electronic apparatus | |
US11204519B2 (en) | Liquid crystal apparatus and electronic device | |
US11676738B2 (en) | Electro-optical device with ion-adsorbing adsorption film in contact with sealing material and electronic apparatus having the same | |
WO2022064999A1 (ja) | 液晶表示装置および投射型表示装置 | |
JP4862460B2 (ja) | 反射型液晶表示素子及びその製造方法並びに液晶表示装置 | |
JPH05119295A (ja) | 投影画像表示装置とその装置に用いる基板の製造方法 | |
JP2012088417A (ja) | 電気光学装置の製造方法および電気光学装置 | |
JP2008191264A (ja) | 液晶装置、配向膜の製造方法、液晶装置の製造方法 | |
JP2007155957A (ja) | 液晶装置、液晶装置の製造方法及びプロジェクタ | |
JP2008008939A (ja) | 集光基板、電気光学装置、電子機器及びプロジェクタ | |
JP2022038106A (ja) | 電気光学装置、及び電子機器 | |
JP2007171867A (ja) | 反射型液晶表示基板、反射型液晶表示装置、電子機器及び投射型表示装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080722 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20080724 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101005 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101019 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101220 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20101221 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110405 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110418 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4736759 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140513 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |