JP2007149282A - 光集積デバイス及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光ディスクに投射するレーザ光を出射すると共に光ディスクで反射したレーザ光を受光する光集積デバイスにおいて、2本の対角線が略直交する四角形の半導体基板10と、半導体基板の一方の対角線AC上に形成された受光部15と、他方の対角線BD上に載置されたサブマウント11と、レーザ光L1を出射する出射面S2を有し出射面が2本の対角線の交点Oを向くようにサブマウント上に載置された半導体レーザ素子12と、レーザ光を反射する反射面S1を有し反射面が出射面側に向くように他方の対角線上に載置されたミラーチップ13と、レーザ光を所定方向に分割する回折格子20と反射光を受光部に照射するホログラム格子21とを備え半導体基板の上方に所定の間隙をもって配置された光学素子4とを有する構成とする。
【選択図】図1
Description
従来例では、シリコンウエハ101として、結晶方位<011>軸方向にオリフラ部Hを有すると共に表面が(100)面であるシリコンウエハを使用した。
また、従来例では、一対の受光部102同士を結ぶ直線がオリフラ部Hと略平行な結晶方位<011>軸方向となるように、各一対の受光部15を形成している。
次に、この半導体ウエハ101を、図6(a)の破線に沿って切断することにより、図6(b)に示すように、1対の受光部102を有する半導体基板105を複数得る。半導体基板105の外形d11×d12は、2.2mm×2.1mmである。
さらに、図7に示すように、この半導体基板105の所定位置にサブマウント106を載置した後、このサブマウント106上に半導体レーザ素子107を載置する。
その後、シリコンウエハを切断して得たミラーチップ109を、そのミラー部109aが1対の受光部102同士を結ぶ線上に位置すると共に半導体レーザ素子107側に向くように、半導体基板105上に載置する。
この半導体基板105を上面が開放された箱状のリードフレームパッケージ110の内部に載置し、このリードフレームパッケージ110の上面側に、一面に回折格子111が形成され他面にホログラム格子112が形成された光学素子113を載置することにより、従来例である光集積デバイス120を得る。
しかしながら、上述した光集積デバイスでは、半導体基板における上述の構成部品が実装されていない領域がデッドスペースとなり、このデッドスペースの削減が望まれている。
1)光ディスクに投射するレーザ光を出射すると共に、前記光ディスクで反射した前記レーザ光の反射光を受光する光集積デバイスにおいて、2本の対角線が略直交する四角形の半導体基板(10)と、前記半導体基板の表面における一方の対角線(B−D)上の所定位置に固定され、所定の高さを有するサブマウント(11)と、前記サブマウントの表面上に、前記レーザ光(L1)を前記半導体基板の表面に沿って出射する出射面(S2)を有し、前記出射面が前記2本の対角線の交点(O)を向くように固定された半導体レーザ素子(12)と、前記半導体レーザ素子から出射された前記レーザ光を反射する反射面(S1)を有し、前記反射面が前記半導体レーザ素子の前記出射面側に向くと共に、前記反射面で反射された前記レーザ光の光路が前記半導体基板の表面に対して垂直方向となるように、前記半導体基板の前記一方の対角線上に固定されたミラーチップ(13)と、前記ミラーチップの前記反射面で反射された前記レーザ光を所定方向に分割して出射する回折格子(20)を一面側に備えると共に、入光した前記反射光(L2)を所定方向に偏向するホログラム格子(21)を他面側に備え、前記半導体基板の表面に対して垂直方向に所定の間隙を有して、前記反射面で反射された前記レーザ光及び前記反射光の光路上に前記回折格子及び前記ホログラム格子が位置するように配置された光学素子(4)と、前記半導体基板の表面の前記他方の対角線(A−C)上に互いに離間して形成され、前記光学素子の前記ホログラム格子により偏向された前記反射光(L21,L22)を受光する一対の受光部(15)と、を有することを特徴とする光集積デバイス(1)である。
2)光ディスクに投射するレーザ光を出射すると共に、前記光ディスクで反射した前記レーザ光の反射光を受光する光集積デバイスの製造方法において、半導体ウエハ(30)の表面及び表面近傍に、互いに離間する一対の受光部(15)を千鳥状に複数列形成する受光部形成工程と、前記半導体ウエハを切断して、外形が2本の対角線が略直交する四角形であり前記一対の受光部が一方の対角線(A−C)上に配置された半導体基板(10)を複数得る切断工程と、前記半導体基板の他方の対角線(B−D)上の所定位置に所定の高さを有するサブマウント(11)を固定するサブマウント載置工程と、前記レーザ光(L1)を出射する出射面(S2)を有する半導体レーザ素子(12)を、前記出射面が前記2本の対角線の交点(O)を向くと共に前記レーザ光が前記半導体基板の表面に沿って出射するように、前記サブマウントの表面上に固定する半導体レーザ素子載置工程と、前記出射面から出射された前記レーザ光を反射する反射面(S1)を有するミラーチップ(13)を、前記反射面が前記半導体レーザ素子の前記出射面側に向くと共に、前記反射面で反射した前記レーザ光の光路が前記半導体基板の表面に対して垂直方向となるように、前記半導体基板の前記他方の対角線上に固定するミラーチップ載置工程と、前記ミラーチップの前記反射面で反射された前記レーザ光を所定方向に分割する回折格子(20)を一面側に備えると共に前記反射光(L2)を所定方向に偏向するホログラム格子(21)を他面側に備えた光学素子(4)を、前記ホログラム格子によって偏向された前記反射光(L21,L22)が前記一対の受光部に入射するように前記半導体基板の表面に対して垂直方向に所定の間隙を有して、前記反射面で反射した前記レーザ光及び前記反射光の光路上に前記回折格子及び前記ホログラム格子が位置するように配置する光学素子配置工程と、を有することを特徴とする光集積デバイス(1)の製造方法である。
図1(a)は本発明の光集積デバイスの実施例における構成及び動作を説明するために上面から光学素子を透視して見た上面透視図であり、図1(b)及び(c)はその模式的断面図である。
図2は、本発明の光集積デバイスの製造方法の実施例における第1工程を説明するための上面図である。
図3及び図4は、本発明の光集積デバイスの製造方法の実施例における第2工程及び第3工程を説明するための図であり、各図の(a)は上面図、(b)及び(c)はその模式的断面図である。
図5は、本発明の光集積デバイスの製造方法の実施例における第4工程を説明するための図であり、(a)は上面から光学素子を透視して見た上面透視図であり、(b)及び(c)はその模式的断面図である。
光集積デバイス1は、上面が開放した箱状のリードフレームパッケージ3と、このリードフレームパッケージ3の底部の上面に載置された光学部品実装基板2と、リードフレームパッケージ3の上面を所定の間隔を有して塞ぐように載置された光学素子4とを有している。
リードフレームパッケージ3は、PPS(ポリフェニレンスルフィド)からなる本体部と、光学部品実装基板2と外部の光ディスク再生装置等とを電気的に接続する図示しない端子をそれぞれ有している。また、実施例では、詳細は後述するが、ホログラム格子21によって偏向された再生光L21,L22が一対の受光部15に入射するように、リードフレームパッケージ3の高さを約3mmとした。
また、このサブマウント11は、半導体基板10の一方の対角線と略直交する他方の対角線上(図1では角Bと角Dとを結ぶ対角線上)の角B側に載置されており、半導体レーザ素子12から出射されたレーザ光L1を後述する全反射ミラーチップ13の反射面S1の略中央部に照射するための高さ設定用部材としての機能を有している。
また、この半導体レーザ素子12は、その一側面がレーザ光L1を出射する出射面S2であり、この出射面S2が上述の一方の対角線と他方の対角線との交点O側に向くと共に半導体基板10の他方の対角線上に位置して、サブマウント11上に実装されている。
また、全反射ミラーチップ13は、図1(a)に示すように、反射面S1が一対の受光部15である各PDを結ぶ直線を跨ぐように位置すると共に半導体レーザ素子12から出射したレーザ光L1がこの反射面S1によって半導体基板1の表面に対して垂直方向に反射するように、半導体基板10の他方の対角線上の角D側に載置されている。
また、光学素子4は、上述の反射面S1で反射したレーザ光L1の光路上に回折格子20及びホログラム格子21が位置すると共に回折格子20が反射面S1側に向くように、リードフレームパッケージ3の開放された上面を所定の間隔を有して覆うようにリードフレームパッケージ3に載置固定されている。
外部の光ディスク再生装置等から光集積デバイス1に電源を供給することにより半導体レーザ素子12の出射面S2からレーザ光L1を半導体基板10の表面に対して略平行方向に出射すると、このレーザ光L1は全反射ミラーチップ13の反射面S1で略全反射する。
反射したレーザ光L1は、まず回折格子20を透過するがその際に光ディスクJに記録された情報を読み出すための読み出し光L11と、トラッキング位置を検出するための検出光L12,L13とに分割される。
そして、この分割された読み出し光L11及び検出光L12,L13は、次に光学素子4、そしてホログラム格子21の順に透過して、光ディスクに達する。
また、ホログラム格子21を透過した読み出し光L11及び検出光L12,L13は、集光レンズ等を透過した後に光ディスクに達する場合もある。
一対の受光部15に入射した偏向光L21,L22は、半導体基板10に形成された回路で光電変換処理されて情報信号となり、この情報信号は光集積デバイス1から外部の光ディスク再生装置等に出力される。
(第1工程)[図2参照]
図2(a)に示すように、シリコンウエハ30の表面及び表面近傍に、所定の半導体プロセスにより、一対の受光部15である一対のPD(Photo Diode)を、千鳥状に複数列形成する。
実施例では、シリコンウエハ30として、結晶方位<011>軸方向にオリフラ31を有すると共に表面が(100)面であるシリコンウエハを使用した。
また、実施例では、一対の受光部15同士を結ぶ直線Fが結晶方位<010>軸方向となるように、各一対の受光部15を形成した。
実施例と従来例とは、用いたシリコンウエハは同じであるが、一対の受光部15同士を結ぶ直線Fが<010>軸方向か<011>軸方向かという点で異なる。
なお、図2(a)では、結晶方位<011>軸方向及び<01−1>軸方向を破線矢印で示している。
この切断によって得られた半導体基板10は、一対の受光部15が半導体基板10の一方の対角線上(図2(b)では角Aと角Cとを結ぶ対角線上)に位置するように形成されている。
また、一対の受光部15を千鳥状に複数列形成したことにより、半導体基板10をマトリクス状に効率良く得ることができる。
例えばシリコン(Si)からなりその外形投影寸法が約0.7mm×約0.6mmであるサブマウント11を、半導体基板10の一方の対角線と略直交する他方の対角線上(図3(a)では角Bと角Dとを結ぶ対角線上)の角B側に位置すると共にサブマウント11の表面に形成されているモニター用PD11aが角B側に位置するように、半導体基板10上に実装する。このモニター用PD11aは、半導体レーザ素子12から出射されたレーザ光の光量を測定する機能を有している。
次に、例えば化合物半導体からなりその外形投影寸法が約0.2mm×0.25mmの直方体でありその一側面がレーザ光を出射する出射面S2である半導体レーザ素子12を、この他方の対角線上に位置すると共に出射面S2が一方の対角線と他方の対角線との交点O側に向くように、サブマウント11上のモニター用PD11aよりも交点O側に導電性接着剤等を用いて載置固定する。
その後、このサブマウント11及び半導体レーザ素子12が載置された半導体基板10を、例えばPPS(ポリフェニレンスルフィド)からなり上面が開放された箱状のリードフレームパッケージ3の底部の上面に載置固定し、リードフレームパッケージ3の図示しない端子とサブマウント11、半導体レーザ素子12、及び半導体基板10とに所定のワイヤボンディングを行って、外部から半導体レーザ素子12に通電できる状態にする。
半導体基板10の他方の対角線上(図4では角Bと角Dとを結ぶ対角線上)の角B側に接着剤18を塗布する。
次に、この接着剤18上に、例えば青板ガラスからなりその一側面が底面に対して略45°の角度を有し外形投影寸法が約0.5mm×約1mmの略直方体であり、この一側面には半導体レーザ素子12から出射されたレーザ光L1を略全反射する反射膜14が形成された全反射ミラーチップ13を、その底面が接着剤18と接すると共に反射膜14が半導体レーザ素子12側に位置すると共に反射膜14が半導体基板10の2つの対角線の交点Oに位置するように、仮載置する。
この状態では、全反射ミラーチップ13は半導体基板10にまだ固定されていない。
なお、レーザ光L1を略全反射する反射膜14の表面を反射面S1と称す。
その後、接着剤18を硬化させて、全反射ミラーチップ13を半導体基板10に固定し、半導体レーザ素子12への通電を終了する。
この接着剤18として、光硬化型の接着剤や熱硬化型の接着剤を用いることができる。光硬化型の接着剤を用いた場合は、所定の波長を有する光をこの接着剤に照射することによってこの接着剤を硬化することができ、熱硬化型の接着剤を用いた場合は、この接着剤に所定の温度で所定の時間加熱することによってこの接着剤を硬化することができる。
このサブマウント11、半導体レーザ素子12、及び全反射ミラーチップ13が実装された半導体基板10を光学部品実装基板2と称す。
例えば外形投影寸法が約8mm×約5mmの青板ガラスでありその一面に回折格子20が形成され他面にホログラム格子21が形成された光学素子4を、回折格子20及びホログラム格子21がレーザ光L1の光路上に位置すると共に、回折格子20が形成された面を光学部品実装基板2側にしてリードフレームパッケージ3の開放された上面を塞ぐように、リードフレームパッケージ3に載置固定する。
従って、この半導体基板の小型化によって、光集積デバイスの小型化が可能になる。
例えば変形例として、一対の受光部15が千鳥状に複数列形成されたシリコンウエハ30の状態で、シリコンウエハ30上に各一対の受光部15毎にサブマウント11、半導体レーザ素子12、及び全反射ミラーチップをそれぞれ載置した後に、このシリコンウエハ30を切断するようにしてもよい。この変形例によれば、シリコンウエハ30の状態で、複数の光学部品実装基板2を複数作製することができるので、より生産効率の向上が期待できる。
例えば、ホログラム格子21により偏向された偏向光L21,L22が一対の受光部15に入射するような高さを有するリードフレームパッケージを用いることにより、光学素子4をホログラム格子21が形成された面を光学部品実装基板2側にしてリードフレームパッケージの開放された上面を塞ぐように、リードフレームパッケージに載置固定するようにしてもよい。
Claims (2)
- 光ディスクに投射するレーザ光を出射すると共に、前記光ディスクで反射した前記レーザ光の反射光を受光する光集積デバイスにおいて、
2本の対角線が略直交する四角形の半導体基板と、
前記半導体基板の表面における一方の対角線上の所定位置に固定され、所定の高さを有するサブマウントと、
前記サブマウントの表面上に、前記レーザ光を前記半導体基板の表面に沿って出射する出射面を有し、前記出射面が前記2本の対角線の交点を向くように固定された半導体レーザ素子と、
前記半導体レーザ素子から出射された前記レーザ光を反射する反射面を有し、前記反射面が前記半導体レーザ素子の前記出射面側に向くと共に、前記反射面で反射された前記レーザ光の光路が前記半導体基板の表面に対して垂直方向となるように、前記半導体基板の前記一方の対角線上に固定されたミラーチップと、
前記ミラーチップの前記反射面で反射された前記レーザ光を所定方向に分割して出射する回折格子を一面側に備えると共に、入光した前記反射光を所定方向に偏向するホログラム格子を他面側に備え、前記半導体基板の表面に対して垂直方向に所定の間隙を有して、前記反射面で反射された前記レーザ光及び前記反射光の光路上に前記回折格子及び前記ホログラム格子が位置するように配置された光学素子と、
前記半導体基板の表面の前記他方の対角線上に互いに離間して形成され、前記光学素子の前記ホログラム格子により偏向された前記反射光を受光する一対の受光部と、
を有することを特徴とする光集積デバイス。 - 光ディスクに投射するレーザ光を出射すると共に、前記光ディスクで反射した前記レーザ光の反射光を受光する光集積デバイスの製造方法において、
半導体ウエハの表面及び表面近傍に、互いに離間する一対の受光部を千鳥状に複数列形成する受光部形成工程と、
前記半導体ウエハを切断して、外形が2本の対角線が略直交する四角形であり前記一対の受光部が一方の対角線上に配置された半導体基板を複数得る切断工程と、
前記半導体基板の他方の対角線上の所定位置に所定の高さを有するサブマウントを固定するサブマウント載置工程と、
前記レーザ光を出射する出射面を有する半導体レーザ素子を、前記出射面が前記2本の対角線の交点を向くと共に前記レーザ光が前記半導体基板の表面に沿って出射するように、前記サブマウントの表面上に固定する半導体レーザ素子載置工程と、
前記出射面から出射された前記レーザ光を反射する反射面を有するミラーチップを、前記反射面が前記半導体レーザ素子の前記出射面側に向くと共に、前記反射面で反射した前記レーザ光の光路が前記半導体基板の表面に対して垂直方向となるように、前記半導体基板の前記他方の対角線上に固定するミラーチップ載置工程と、
前記ミラーチップの前記反射面で反射された前記レーザ光を所定方向に分割する回折格子を一面側に備えると共に前記反射光を所定方向に偏向するホログラム格子を他面側に備えた光学素子を、前記ホログラム格子によって偏向された前記反射光が前記一対の受光部に入射するように前記半導体基板の表面に対して垂直方向に所定の間隙を有して、前記反射面で反射した前記レーザ光及び前記反射光の光路上に前記回折格子及び前記ホログラム格子が位置するように配置する光学素子配置工程と、
を有することを特徴とする光集積デバイスの製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005345265A JP2007149282A (ja) | 2005-11-30 | 2005-11-30 | 光集積デバイス及びその製造方法 |
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Cited By (1)
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JP2015050366A (ja) * | 2013-09-03 | 2015-03-16 | ウシオ電機株式会社 | 半導体レーザ装置 |
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2005
- 2005-11-30 JP JP2005345265A patent/JP2007149282A/ja active Pending
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