JP2007147589A - プローブ装置およびシステム - Google Patents
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- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 146
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 105
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 25
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 17
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 9
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- ARXHIJMGSIYYRZ-UHFFFAOYSA-N 1,2,4-trichloro-3-(3,4-dichlorophenyl)benzene Chemical compound C1=C(Cl)C(Cl)=CC=C1C1=C(Cl)C=CC(Cl)=C1Cl ARXHIJMGSIYYRZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000011990 functional testing Methods 0.000 description 2
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 2
- RKUAZJIXKHPFRK-UHFFFAOYSA-N 1,3,5-trichloro-2-(2,4-dichlorophenyl)benzene Chemical compound ClC1=CC(Cl)=CC=C1C1=C(Cl)C=C(Cl)C=C1Cl RKUAZJIXKHPFRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】プローブ装置は、複数のテスターを配置するために、より大きいプリント基板を使用する。それに応じて回路基板上の各テスターのレイアウトは変更され、そのため、より多くの数のテスターを回路基板上に配置することができ、プローブ装置のピン総数を増加させる。さらに、プローブ装置はテストツールに取り付けることができる。従って、本テストツールのテスト効率を実質的に促進でき、テストの全体コストを効果的に低減できる。
【選択図】図2(a)
Description
210 回路基板
220 ポゴパッド
230 リレー
240 コンデンサー
250 セラミックヘッド
260 プローブピン
300 プローブシステム
310 テストユニット
311 テストヘッド
320 プローブツール
330 マザーボード
340 プローブ装置
350 固定ユニット
360 ポゴパッド
370 プローブピン
380 テストウエハ
390 チャック
Claims (14)
- 半導体装置をテストするのに適したプローブ装置であって、
第1の面および第2の面を備え、各面が中心を有する回路基板と、
前記第1の面の中心と一致する中心を有する少なくとも1つのリング状の配列で前記第1の面上に配置された複数のポゴパッドと、
前記回路基板の第2の面上に配置されそれに応じて前記ポゴパッドに電気的に接続された複数のプローブピンと、
前記回路基板の第1の面上のポゴパッドのリング状の配列の外側にリング状の配列で配置された複数のコンデンサーであって、前記コンデンサーのリングの中心が前記第1の面の中心と一致する複数のコンデンサーと、
前記回路基板の第1の面上の前記ポゴパッドの外側にリング状の配列で配置され、前記ポゴパッドおよび前記コンデンサーにそれぞれ電気的に接続された複数のリレーであって、前記リレーのリングの中心が前記第1の面の中心と一致する複数のリレーと
を備えるプローブ装置。 - 前記プローブピンを配置するために前記回路基板の第2の面上に配置されたセラミックヘッドをさらに備える請求項1記載のプローブ装置。
- 前記リレーが前記回路基板の第1の面上の前記コンデンサーのリング状の配列の外側に配置され、前記リレーのリングの中心が前記第1の面の中心と一致する請求項1記載のプローブ装置。
- 前記コンデンサーが前記回路基板の第1の面上の前記リレーのリング状の配列の外側に配置され、前記コンデンサーのリングの中心が前記第1の面の中心と一致する請求項1記載のプローブ装置。
- 前記回路基板の形状には円形が含まれる請求項1記載のプローブ装置。
- 前記ポゴパッドが多数の同心リング状配列で配置されている請求項1記載のプローブ装置。
- 前記プローブピンが正方形配列で配置されている請求項1記載のプローブ装置。
- テスト半導体装置をテストするのに必要なテスト信号を送受信するためのテストユニットと、
固定ユニットおよびチャックを備え、前記チャックが前記テスト半導体装置を搭載するのに適したプローブツールと、
前記テスト半導体装置の電気特性および機能をテストするために、前記テストユニットから前記プローブツールの前記チャック上の前記テスト半導体装置へテスト信号を送信するのに適したプローブツールの固定ユニット上に取り付けられた、請求項1記載のプローブ装置と
を備えるプローブシステム。 - 前記テストユニットは、前記テスト半導体装置をテストするのに必要な前記テスト信号を送受信するために、前記マザーボードを前記プローブ装置のポゴパッドに接続するのに適した複数のポゴピンを有するマザーボードを備える請求項8記載のプローブシステム。
- 前記プローブ装置は、前記プローブピンを配置するために、前記回路基板の第2の面上に配置されたセラミックヘッドをさらに備える請求項8記載のプローブシステム。
- 前記プローブ装置における前記回路基板の形状には円形が含まれる請求項8記載のプローブシステム。
- 前記固定ユニットは、前記プローブ装置を配置するための溝を備え、前記溝の形状は、前記プローブ装置の形状に対応した請求項8記載のプローブシステム。
- 前記プローブ装置の前記ポゴパッドは、多数の同心リング状配列で配置された請求項8記載のプローブシステム。
- 前記プローブ装置の前記プローブピンが正方形配列で配置された請求項8記載のプローブシステム。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW094141255A TWI269399B (en) | 2005-11-24 | 2005-11-24 | Probe apparatus and system |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007147589A true JP2007147589A (ja) | 2007-06-14 |
JP4422127B2 JP4422127B2 (ja) | 2010-02-24 |
Family
ID=38052870
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006217744A Active JP4422127B2 (ja) | 2005-11-24 | 2006-08-10 | プローブ装置およびシステム |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7298154B2 (ja) |
JP (1) | JP4422127B2 (ja) |
TW (1) | TWI269399B (ja) |
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- 2005-11-24 TW TW094141255A patent/TWI269399B/zh active
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- 2006-04-20 US US11/308,670 patent/US7298154B2/en active Active
- 2006-08-10 JP JP2006217744A patent/JP4422127B2/ja active Active
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2007
- 2007-06-13 US US11/762,065 patent/US7449902B2/en active Active
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---|---|
US7449902B2 (en) | 2008-11-11 |
TW200721338A (en) | 2007-06-01 |
US20070115011A1 (en) | 2007-05-24 |
US7298154B2 (en) | 2007-11-20 |
JP4422127B2 (ja) | 2010-02-24 |
TWI269399B (en) | 2006-12-21 |
US20070229108A1 (en) | 2007-10-04 |
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Legal Events
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121211 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
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S533 | Written request for registration of change of name |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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