JP2007145633A - 異方形状シリカゾルの製造方法 - Google Patents
異方形状シリカゾルの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007145633A JP2007145633A JP2005341086A JP2005341086A JP2007145633A JP 2007145633 A JP2007145633 A JP 2007145633A JP 2005341086 A JP2005341086 A JP 2005341086A JP 2005341086 A JP2005341086 A JP 2005341086A JP 2007145633 A JP2007145633 A JP 2007145633A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silica sol
- silica
- average particle
- anisotropic
- silicate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N silicic acid Chemical compound O[Si](O)(O)O RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 175
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 43
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 90
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims abstract description 36
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims abstract description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 22
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 18
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 90
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 33
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims description 27
- IJKVHSBPTUYDLN-UHFFFAOYSA-N dihydroxy(oxo)silane Chemical compound O[Si](O)=O IJKVHSBPTUYDLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims description 10
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims description 9
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 8
- 229910052910 alkali metal silicate Inorganic materials 0.000 claims description 8
- ZRALSGWEFCBTJO-UHFFFAOYSA-N Guanidine Chemical compound NC(N)=N ZRALSGWEFCBTJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000000017 hydrogel Substances 0.000 claims description 6
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 claims description 6
- 125000001453 quaternary ammonium group Chemical group 0.000 claims description 6
- 230000003301 hydrolyzing effect Effects 0.000 claims description 4
- CHJJGSNFBQVOTG-UHFFFAOYSA-N N-methyl-guanidine Natural products CNC(N)=N CHJJGSNFBQVOTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O ammonium group Chemical group [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 claims description 3
- SWSQBOPZIKWTGO-UHFFFAOYSA-N dimethylaminoamidine Natural products CN(C)C(N)=N SWSQBOPZIKWTGO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000003472 neutralizing effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000001935 peptisation Methods 0.000 claims description 3
- 150000003377 silicon compounds Chemical class 0.000 claims description 3
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 abstract description 24
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 5
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 42
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 30
- 238000004438 BET method Methods 0.000 description 23
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 20
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 20
- NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(ethenyl)benzene;1-ethenyl-2-ethylbenzene;styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1.CCC1=CC=CC=C1C=C.C=CC1=CC=CC=C1C=C NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 18
- 239000008119 colloidal silica Substances 0.000 description 17
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 14
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 13
- 239000003729 cation exchange resin Substances 0.000 description 10
- 239000003456 ion exchange resin Substances 0.000 description 10
- 229920003303 ion-exchange polymer Polymers 0.000 description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 9
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 6
- -1 silica and alumina Chemical class 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 5
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 5
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 5
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 5
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N Formaldehyde Chemical compound O=C WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 3
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000001340 alkali metals Chemical group 0.000 description 3
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 3
- 238000002242 deionisation method Methods 0.000 description 3
- 238000002296 dynamic light scattering Methods 0.000 description 3
- XPFVYQJUAUNWIW-UHFFFAOYSA-N furfuryl alcohol Chemical compound OCC1=CC=CO1 XPFVYQJUAUNWIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011164 primary particle Substances 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- MYRTYDVEIRVNKP-UHFFFAOYSA-N 1,2-Divinylbenzene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1C=C MYRTYDVEIRVNKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SVTBMSDMJJWYQN-UHFFFAOYSA-N 2-methylpentane-2,4-diol Chemical compound CC(O)CC(C)(C)O SVTBMSDMJJWYQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonium chloride Substances [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Natural products CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YRKCREAYFQTBPV-UHFFFAOYSA-N acetylacetone Chemical compound CC(=O)CC(C)=O YRKCREAYFQTBPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 2
- 150000008044 alkali metal hydroxides Chemical class 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003957 anion exchange resin Substances 0.000 description 2
- 239000002585 base Substances 0.000 description 2
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 2
- 159000000007 calcium salts Chemical class 0.000 description 2
- 238000005341 cation exchange Methods 0.000 description 2
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N diacetone alcohol Chemical compound CC(=O)CC(C)(C)O SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 2
- 159000000003 magnesium salts Chemical class 0.000 description 2
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000002609 medium Substances 0.000 description 2
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 2
- 150000007530 organic bases Chemical class 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 2
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000019353 potassium silicate Nutrition 0.000 description 2
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 2
- NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N sodium silicate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][Si]([O-])=O NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- WHOZNOZYMBRCBL-OUKQBFOZSA-N (2E)-2-Tetradecenal Chemical compound CCCCCCCCCCC\C=C\C=O WHOZNOZYMBRCBL-OUKQBFOZSA-N 0.000 description 1
- SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxyethoxy)ethanol Chemical compound COCCOCCO SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethanol Chemical compound CCCCOCCO POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AGBXYHCHUYARJY-UHFFFAOYSA-N 2-phenylethenesulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)C=CC1=CC=CC=C1 AGBXYHCHUYARJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000004111 Potassium silicate Substances 0.000 description 1
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M Propionate Chemical compound CCC([O-])=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 1
- 239000004115 Sodium Silicate Substances 0.000 description 1
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001089 [(2R)-oxolan-2-yl]methanol Substances 0.000 description 1
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 1
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 1
- KXKVLQRXCPHEJC-UHFFFAOYSA-N acetic acid trimethyl ester Natural products COC(C)=O KXKVLQRXCPHEJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WDJHALXBUFZDSR-UHFFFAOYSA-M acetoacetate Chemical compound CC(=O)CC([O-])=O WDJHALXBUFZDSR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000003377 acid catalyst Substances 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 229910000272 alkali metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 239000000908 ammonium hydroxide Substances 0.000 description 1
- 150000003863 ammonium salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000012736 aqueous medium Substances 0.000 description 1
- 239000003125 aqueous solvent Substances 0.000 description 1
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 229940023913 cation exchange resins Drugs 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910002026 crystalline silica Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol monoethyl ether Chemical compound CCOCCOCCO XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940075557 diethylene glycol monoethyl ether Drugs 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000004821 distillation Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000000635 electron micrograph Methods 0.000 description 1
- 238000001493 electron microscopy Methods 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 229910021485 fumed silica Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001879 gelation Methods 0.000 description 1
- 229940051250 hexylene glycol Drugs 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- PAZHGORSDKKUPI-UHFFFAOYSA-N lithium metasilicate Chemical compound [Li+].[Li+].[O-][Si]([O-])=O PAZHGORSDKKUPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052912 lithium silicate Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000011707 mineral Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 1
- 125000000962 organic group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 229940044654 phenolsulfonic acid Drugs 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229910001414 potassium ion Inorganic materials 0.000 description 1
- NNHHDJVEYQHLHG-UHFFFAOYSA-N potassium silicate Chemical compound [K+].[K+].[O-][Si]([O-])=O NNHHDJVEYQHLHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052913 potassium silicate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 229910001415 sodium ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052911 sodium silicate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- BSYVTEYKTMYBMK-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofurfuryl alcohol Chemical compound OCC1CCCO1 BSYVTEYKTMYBMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFQCEHFDDXELDD-UHFFFAOYSA-N tetramethyl orthosilicate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)OC LFQCEHFDDXELDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000108 ultra-filtration Methods 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Silicon Compounds (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
【解決手段】 平均粒子径が3〜20nmの範囲にあるシリカゾルを脱陽イオン処理してpH2〜5の範囲に調整し、次いで脱陰イオン処理した後、アルカリ性水溶液を添加してpH7〜9に調整した後、60〜250℃で加熱することにより製造する。得られる異方形状シリカゾルは、平均粒子径が4〜25nmの範囲にあり、短径/長径比が0.05〜0.5の範囲にある。
【選択図】 なし
Description
研磨用粒子としては、従来、シリカゾルやヒュームドシリカ、ヒュームドアルミナなどが用いられている。
また、その製造方法として、(a)所定の活性珪酸のコロイド水溶液又は酸性シリカゾルに、水溶性金属塩の水溶液を、前記コロイド水溶液又は酸性シリカゾルのSiO2に対して、金属酸化物として1〜10重量%となる量を加えて混合液1を調製する工程、(b)前記混合液1に、平均粒子径10〜80nm、pH2〜6の酸性球状シリカゾルを、この酸性球状シリカゾルに由来するシリカ含量(A)とこの混合液1に由来するシリカ含量(B)の比A/B(重量比)が5〜100、かつ、この酸性球状シリカゾルとこの混合液1との混合により得られる混合液2の全シリカ含量(A+B)が混合液2においてSiO2濃度5〜40重量%となる量加えて混合する工程、および、(c)得られた混合液2にアルカリ金属水酸化物、水溶性有機塩基又は水溶性珪酸塩をpHが7〜11となるように加えて混合し、加熱する工程からなる前記シリカゾルの製造方法が記載されている。
1)アルカリ金属珪酸塩、第3級アンモニウム珪酸塩、第4級アンモニウム珪酸塩またはグアニジン珪酸塩から選ばれる水溶性珪酸塩を、脱アルカリすることにより得られる珪酸液をアルカリ存在下で加熱することにより珪酸を重合する工程を含むシリカゾルの製造方法
2)珪酸塩を酸で中和して得られるシリカヒドロゲルを洗浄して、塩類を除去し、アルカリを添加した後、加熱することによりシリカヒドロゲルを解膠する工程を含むシリカゾルの製造方法
3)加水分解性基を有する珪素化合物を加水分解して、得られた珪酸を重合する工程を含むシリカゾルの製造方法
本発明に係る異方形状シリカゾルは、研磨剤として優れた研磨特性を有する。特に実用上問題となるレベルのスクラッチを抑制できるものである。即ち、当該異方形状シリカゾルは研磨時において研磨面で粒子配列が起こり、スクラッチの少ない各種の基板研磨面を提供することができる。
原料シリカゾル
本発明に係る異方形状シリカゾルの製造方法では、平均粒子径が3〜20nmの範囲にあるシリカ微粒子が分散したシリカゾルが、原料として必要である。
シリカゾルの平均粒子径が3nm未満の場合、安定性が悪い。他方、20nmを越える場合は、粒子反発力が強いことと、粒子同志の反応性が低く、粒子連結がしにくいため、好ましくない。なお、好適には、平均粒子径4〜18nmの範囲にあるシリカ微粒子が分散したシリカゾルが推奨される。なお、この平均粒子径については、BET法により測定された比表面積から算定される平均粒子径を意味する。
また、シリカゾルの比表面積については、通常、50〜700m2/gの範囲にあるものが使用される。
代表的なシリカゾルの製造方法としては、次の1)〜3)の何れかの製法により調製されたものである異方形状シリカゾルの製造方法を挙げることができる。
2)珪酸塩を酸で中和して得られるシリカヒドロゲルを洗浄して、塩類を除去し、アルカリを添加した後、加熱することによりシリカヒドロゲルを解膠する工程を含むシリカゾルの製造方法
3)加水分解性基を有する珪素化合物を加水分解して、得られた珪酸を重合する工程を含むシリカゾルの製造方法
前記平均粒子径3〜20nmの範囲にあるシリカゾルに対して、脱陽イオン処理を行い、更に脱陰イオン処理を行なう。これらの脱陽イオン処理および脱陰イオン処理により、本発明製造方法ではシリカゾルの安定性を阻害し、ゲル化の原因となる塩類を除去するものである。
脱陽イオン処理は、シリカゾルのpHが2〜5の範囲になるまで繰返し行う必要がある。脱陽イオン処理については、通常、pH1以下まで行なうことは困難である。pH5以上では粘性が高く、pH7以上に至っては更に増粘するため、好ましくない。この脱陽イオン処理により、ナトリウムイオン、カリウムイオン等の陽イオンなどを除去する。
シリカゾルとイオン交換体を接触させる際の速度に格別限定はない。
脱陰イオン処理を行なうことにより、pHは脱陽イオン処理直後より大きな値を示すようになるものの、脱陰イオン処理を繰り返しても、通常はpH3〜6程度となる。この脱陰イオン処理によりSO4 2-、塩素イオン等の陰イオンを除去する。
前記強塩基性陰イオン交換体としては公知のものが使用でき、水酸基型強塩基性陰イオン交換樹脂、Cl型陰イオン交換樹脂などが挙げられる。
前記脱イオン処理を行った後、アルカリ性水溶液を添加してpH7〜9に調整し、60〜250℃で加熱する。
ここで使用されるアルカリ性水溶液としては、格別に制限はないが、通常は、アンモニア水溶液、アルカリ金属珪酸塩の水溶液(珪酸ナトリウム水溶液、珪酸カリウム水溶液、珪酸リチウム水溶液等)、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、第4級アンモニウムハイドロオキサイドなどが使用される。これらのアルカリ性水溶液の使用量は、シリカゾルのpHが7〜9の範囲になるように添加される。
pHを7〜9の範囲に調整する目的は、シリカ微粒子の異方性を向上させることと、シリカ微粒子間の連結の強化を安定なpH領域で行うことにある。加熱時のpHが7未満の場合は、シリカ微粒子の電荷が低減するため、不安定である。他方、pHが9を越える場合は、シリカ微粒子同志の反発力が高く、粒子の連結は起こり難いため、異方化が生じ難くなり、好ましくない。pHについては、好適には7.5〜8.8の範囲に調整することが推奨される。
本発明の異方形状シリカゾルは、前記した製造方法によって得られる非球状のシリカ微粒子が分散したゾルであり、シリカ微粒子の平均粒子径が4〜25nmであり、短径/長径比が0.05〜0.50の範囲にある。
前記平均粒子径については、BET法により測定された比表面積から算定する。平均粒子径が4nm未満の場合は、不安定である。他方、25nmを越える場合については、粒子が安定で、異方性を発現できにくい。平均粒子径については、好適には4〜23nmの範囲のものが望ましい。
短径/長径比が0.05未満の場合は、粘度が高くなり、高濃度のものが得れない。他方、0.5を越える場合は、異方性の特性が発現できない。短径/長径比については、好適には、0.08〜0.45の範囲にあるものが望ましい。
本発明の異方形状シリカゾルのSiO2濃度は、通常は、1〜50重量%の範囲にあるものが好適に使用される。
pH調整したシリカゾルを150℃にて3時間加熱した。このシリカゾルをエバポレーターにてSiO2濃度20重量%まで濃縮して異方形状シリカゾルを調製した。
BET法により測定される比表面積から算定される平均粒子径については、シリカゾルを凍結乾燥機で乾燥させた後、110℃で20時間乾燥した試料について比表面積を測定した後、比表面積測定装置(湯浅アイオニクス製、マルチソーブ12)を用いて窒素吸着法(BET法)により測定する。そして、BET法による窒素吸着量から比表面積(SA)を求め、粒子径(Dp)=6000/SA×密度の式から平均粒子径を求めた。
なお、全ての実施例および比較例において原料シリカゾルは、珪酸液をアルカリ存在下で加熱することにより、珪酸を重合させる製造方法により調製されたものを使用した。
このシリカゾルのBET法により測定された平均粒子径は8nmとなった。また、このシリカゾルの短径/長径比は、0.3となった。
このシリカゾルのBET法により測定された平均粒子径は、6nmとなった。また、このシリカゾルの短径/長径比は、0.2となった。
このシリカゾルのBET法により測定された平均粒子径は、7nmとなった。また、このシリカゾルの短径/長径比は、0.2となった。
このシリカゾルのBET法により測定された平均粒子径は、7nmとなった。また、このシリカゾルの短径/長径比は、0.3となった。
このシリカゾルのBET法により測定された平均粒子径は15nmとなった。また、このシリカゾルの短径/長径比は0.4となった。
このシリカゾルのBET法により測定された平均粒子径は7nmとなった。また、このシリカゾルの短径/長径比は、0.02となった。
このシリカゾルのBET法により測定された平均粒子径は、30nmとなった。また、このシリカゾルの短径/長径比は、0.01となった。
pH調整したシリカゾルを40℃にて30時間加熱した。このシリカゾルをエバポレーターにてSiO2濃度20重量%まで濃縮して異方形状シリカゾルを調製した。
このシリカゾルの平均粒子径は5nmとなった。また、このシリカゾルの短径/長径比は0.03となった。
Claims (3)
- 平均粒子径が3〜20nmの範囲にあるシリカゾルを脱陽イオン処理してpH2〜5の範囲に調整し、次いで脱陰イオン処理した後、アルカリ性水溶液を添加してpH7〜9に調整した後、60〜250℃で加熱することを特徴とする異方形状シリカゾルの製造方法。
- 前記平均粒子径3〜20nmのシリカゾルが、次の1)〜3)の何れかの製法により調製されたものである請求項1記載の異方形状シリカゾルの製造方法。
1)アルカリ金属珪酸塩、第3級アンモニウム珪酸塩、第4級アンモニウム珪酸塩またはグアニジン珪酸塩から選ばれる水溶性珪酸塩を、脱アルカリすることにより得られる珪酸液をアルカリ存在下で加熱することにより珪酸を重合する工程を含むシリカゾルの製造方法
2)珪酸塩を酸で中和して得られるシリカヒドロゲルを洗浄して、塩類を除去し、アルカリを添加した後、加熱することによりシリカヒドロゲルを解膠する工程を含むシリカゾルの製造方法
3)加水分解性基を有する珪素化合物を加水分解して、得られた珪酸を重合する工程を含むシリカゾルの製造方法
- 請求項1又は2記載の方法によって得られる平均粒子径が4〜25nmの範囲にあり、短径/長径比が0.05〜0.5の範囲にある異方形状シリカゾル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005341086A JP4911955B2 (ja) | 2005-11-25 | 2005-11-25 | 異方形状シリカゾルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005341086A JP4911955B2 (ja) | 2005-11-25 | 2005-11-25 | 異方形状シリカゾルの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007145633A true JP2007145633A (ja) | 2007-06-14 |
JP4911955B2 JP4911955B2 (ja) | 2012-04-04 |
Family
ID=38207487
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005341086A Active JP4911955B2 (ja) | 2005-11-25 | 2005-11-25 | 異方形状シリカゾルの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4911955B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007153671A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Catalysts & Chem Ind Co Ltd | 異方形状シリカゾルの製造方法 |
JP2008266080A (ja) * | 2007-04-23 | 2008-11-06 | Nippon Chem Ind Co Ltd | 低ナトリウムで非球状のコロイダルシリカ |
JP2011132108A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-07-07 | Jgc Catalysts & Chemicals Ltd | 高濃度珪酸液 |
WO2013069623A1 (ja) * | 2011-11-08 | 2013-05-16 | 株式会社 フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物 |
US9272916B2 (en) | 2007-11-30 | 2016-03-01 | Jgc Catalysts And Chemicals Ltd. | Non-spherical silica sol, process for producing the same, and composition for polishing |
CN111186840A (zh) * | 2020-01-17 | 2020-05-22 | 山东百特新材料有限公司 | 一种提高硅溶胶颗粒球形度的方法 |
JP2020098924A (ja) * | 2014-12-26 | 2020-06-25 | 花王株式会社 | シリコンウェーハ用研磨液組成物、又はシリコンウェーハ用研磨液組成物キット |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01317115A (ja) * | 1988-03-16 | 1989-12-21 | Nissan Chem Ind Ltd | 細長い形状のシリカゾル及びその製造法 |
-
2005
- 2005-11-25 JP JP2005341086A patent/JP4911955B2/ja active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01317115A (ja) * | 1988-03-16 | 1989-12-21 | Nissan Chem Ind Ltd | 細長い形状のシリカゾル及びその製造法 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007153671A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Catalysts & Chem Ind Co Ltd | 異方形状シリカゾルの製造方法 |
JP2008266080A (ja) * | 2007-04-23 | 2008-11-06 | Nippon Chem Ind Co Ltd | 低ナトリウムで非球状のコロイダルシリカ |
US9272916B2 (en) | 2007-11-30 | 2016-03-01 | Jgc Catalysts And Chemicals Ltd. | Non-spherical silica sol, process for producing the same, and composition for polishing |
US10160894B2 (en) | 2007-11-30 | 2018-12-25 | Jgc Catalysts And Chemicals Ltd. | Non-spherical silica sol, process for producing the same, and composition for polishing |
JP2011132108A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-07-07 | Jgc Catalysts & Chemicals Ltd | 高濃度珪酸液 |
WO2013069623A1 (ja) * | 2011-11-08 | 2013-05-16 | 株式会社 フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物 |
JPWO2013069623A1 (ja) * | 2011-11-08 | 2015-04-02 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物 |
RU2620836C2 (ru) * | 2011-11-08 | 2017-05-30 | Фудзими Инкорпорейтед | Полирующий состав |
JP2020098924A (ja) * | 2014-12-26 | 2020-06-25 | 花王株式会社 | シリコンウェーハ用研磨液組成物、又はシリコンウェーハ用研磨液組成物キット |
CN111186840A (zh) * | 2020-01-17 | 2020-05-22 | 山东百特新材料有限公司 | 一种提高硅溶胶颗粒球形度的方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4911955B2 (ja) | 2012-04-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4911960B2 (ja) | 異方形状シリカゾルの製造方法 | |
JP5127452B2 (ja) | 異形シリカゾルの製造方法 | |
JP5602358B2 (ja) | 非球状シリカゾル、その製造方法および研磨用組成物 | |
JP4963825B2 (ja) | 研磨用シリカゾルおよびそれを含有してなる研磨用組成物 | |
JP5587957B2 (ja) | 金平糖状シリカ系ゾル | |
JP4911955B2 (ja) | 異方形状シリカゾルの製造方法 | |
KR100459580B1 (ko) | 무겔형 콜로이드상 연마제 폴리싱 조성물 및 관련 방법 | |
WO2010052945A1 (ja) | 非球状シリカゾル、その製造方法および研磨用組成物 | |
JP4911961B2 (ja) | 異方形状シリカゾルの製造方法 | |
JP2003109921A (ja) | 研磨用シリカ粒子分散液、その製造方法および研磨材 | |
JP4549878B2 (ja) | 高純度水性シリカゾルの製造方法 | |
JP6207345B2 (ja) | シリカ粒子の製造方法 | |
JP4190198B2 (ja) | 研磨用粒子および研磨材 | |
JP2009126741A (ja) | 非球状アルミナ−シリカ複合ゾル、その製造方法および研磨用組成物 | |
JP4979930B2 (ja) | 異方形状シリカゾルの製造方法 | |
JP2006080406A (ja) | 研磨用組成物 | |
JP5346167B2 (ja) | 粒子連結型アルミナ−シリカ複合ゾルおよびその製造方法 | |
JP2010192904A (ja) | 研磨用組成物 | |
JP2006036605A (ja) | 高純度水性シリカゾルの製造方法 | |
JP2010024119A (ja) | 金平糖状シリカゾルの製造方法 | |
JP2004002723A (ja) | 研磨用粒子とその製造方法および研磨材 | |
JP2009091197A (ja) | 金平糖状無機酸化物ゾル、その製造方法および前記ゾルを含む研磨剤 | |
JP7261630B2 (ja) | 研磨用組成物、研磨用組成物の製造方法、研磨方法、および半導体基板の製造方法 | |
JP7482699B2 (ja) | 異形シリカ粒子分散液の製造方法 | |
TW202344473A (zh) | 帶負電之矽石粒子、此種粒子之產製方法、包含此種粒子之組合物及使用此種粒子之化學機械拋光方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081024 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110204 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110215 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110404 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120117 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120117 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4911955 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150127 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |