JP2007141424A - 光記録媒体の製造方法及び製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】コストを抑制しつつ良好な形状のカバー層を形成できる信頼性が高い光記録媒の製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】中心孔１２Ａを有する円板形状の基板１２を略水平に載置すると共に該基板１２の上に中心孔１２Ａを閉塞するように外径が基板１２の中心孔１２Ａの直径よりも大きく記録領域Ａｒの内径よりも小さい円形フィルム１８を同心的に載置し、且つ、略平坦な上面部１６Ａに多数の吸引孔を有する吸引器１６で基板１２の中心孔１２Ａを介して円形フィルム１８下面において吸引して保持し、円形フィルム１８の上に放射線硬化性の樹脂材料２２を流動状態で供給し、基板１２及び円形フィルム１８を回転させて樹脂材料２２を遠心力により径方向外側に流動させて基板１２上に展延し、円形フィルム１８を基板１２から剥離し、基板１２に放射線を照射して樹脂材料２２を硬化させる。
【選択図】図１

Description

本発明は、中心孔を有する基板の上に基板よりも薄いカバー層が形成された光記録媒体の製造方法及び製造装置に関する。

情報記録媒体としてＣＤ（Ｃｏｍｐａｃｔ Ｄｉｓｃ）、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ Ｄｉｓｃ）等の光記録媒体が急速に普及している。光記録媒体は一般的に外径が１２０ｍｍ、厚さが１．２ｍｍに統一されているが、ＤＶＤは照射光としてＣＤよりも波長が短いレーザ光を用いると共に、照射光のレンズの開口数をＣＤよりも大きくすることでＣＤよりも高密度で大容量の情報を記録・再生できるようになっている。

尚、照射光の波長が短く、レンズの開口数が大きいほどディスクの傾き、反りにより情報の記録・再生精度が低下しやすい傾向があるため、ＤＶＤはカバー層の厚さをＣＤの半分の０．６ｍｍとすることで、ディスクの傾き、反りに対するマージンを確保し、情報の記録・再生精度を維持している。

更に近年、一層高密度で大容量の情報の記録を実現すべく、更に照射光の波長を短くすると共にレンズの開口数を大きくし、これに対応して一層薄いカバー層を形成した光記録媒体が普及しつつある。具体的には、照射光として波長が約４０５ｎｍの青紫色のレーザ光を用いると共に開口数を０．８５とし、カバー層の厚さを約１００μｍとしたブルーレイディスク（登録商標）と称される光記録媒体が普及しつつある。

この光記録媒体のうち片面単層記録式のものは、全体の厚さが１．２ｍｍとなるように基板の厚さは１．１ｍｍとなっている。基板は、一般的に量産性に優れた射出成形により、ポリカーボネート等の樹脂が一対の型の間に射出されて所定の温度に冷却、保温され、円板形状に成形される。射出成形後、中心部が打ち抜かれて、例えば直径が１５ｍｍの中心孔が形成される。

カバー層は、スピンコート法等により形成することができる。具体的には、まず、透光性を有し紫外線硬化性や電子線硬化性等の放射線が照射されることで硬化する性質を有する放射線硬化性の樹脂材料を流動状態で基板の中心孔の周りに環状に供給する。

次に、基板を回転させて、供給した樹脂材料を遠心力で径方向外側に流動させることにより基板の全面に展延する。

又、基板の中心孔をプラグで閉塞し、このプラグの上に樹脂材料を供給して基板上に展延する技術も知られている（例えば、特許文献１、２、３、４参照）。又、基板に円形のシールを貼着して中心孔を閉塞し、この円形のシールの上に樹脂材料を供給して基板上に展延する技術も知られている（例えば、特許文献５参照）。又、中心孔がない円板形状に基板を成形し、この基板の中心近傍に樹脂材料を供給して基板上に展延する技術も知られている。

展延後、紫外線、電子線等の放射線を基板に照射し、樹脂材料を硬化させる。これによりカバー層が形成され光記録媒体が完成する。中心孔がない基板上にカバー層を形成する場合、カバー層の形成後に基板及びカバー層の中心部を打ち抜いて中心孔を形成する。

尚、両面単層記録式の場合は、基板の厚さを１．０ｍｍとし、基板の両面それぞれに１００μｍのカバー層を形成すればよい。又、２層以上の記録層が片面又は両面に設けられる場合、１００μｍよりも薄いカバー層が形成されることがある。

特開平１１―１９５２５０号公報 特開平１１―１９５２５１号公報 特開平１１―２１３４５９号公報 特開平１１―６６６４７号公報 特開２００３―２０３３９９号公報

しかしながら、基板の中心孔の周りに樹脂材料を環状に供給し、基板を回転させると、展延した樹脂の厚さが不均一となりやすく、高密度な情報の記録や再生が困難となることがある。具体的には、展延した樹脂は径方向の外側ほど厚くなりやすい。

厚さが不均一になる理由は必ずしも明らかではないが、概ね次のように考えられている。樹脂材料を中心孔の周辺に供給すると基板の回転により樹脂材料に直ちに遠心力が作用し、径方向外側に流動する。径方向の外側ほど遠心力が強いため、樹脂材料の流動量が径方向にばらつきやすい。又、全周に同時、且つ、均一に樹脂材料を供給することは困難であるため、樹脂材料の流動量が周方向にもばらつくことがある。このように流動量がばらついた状態で樹脂材料が展延されるためカバー層の厚さが不均一になると考えられる。

これに対し、基板の中心孔をプラグで閉塞し、このプラグの上に樹脂材料を供給すれば、樹脂材料を基板の中心部に供給することができ、供給した樹脂材料に直ちに遠心力が作用することを回避できる。この場合、基板の中心部が樹脂材料の貯留部のような役割を果たし、基板上における樹脂材料の流動量を安定させる効果が得られるため、樹脂材料を均一な厚さで展延することが可能である。しかしながら、プラグを用いる手法は、樹脂材料が付着したプラグを毎回洗浄する必要があり、洗浄設備のために生産設備が複雑であると共に生産効率が低いという問題がある。又、プラグの除去後の樹脂材料の内周部分を良好な形状とするため、外周が薄く剛性が高い円錐形状のプラグを用いることが好ましいが、このような形状のプラグは高い加工精度が要求され高コストである。更に、プラグを用いる手法でも展延される樹脂材料の膜形状にばらつきが生じることがある。

又、基板に円形のシールを貼着して中心孔を閉塞する場合は、樹脂材料を硬化させた後に円形のシールの外周に沿って樹脂材料にカッターで切り込みを入れて円形のシールを剥離する必要があり、切り込みが基板に及ぶことによる品質の低下が懸念される。又、切り込みが基板に及ぶことを防止するためにはカッターのハンドリング装置が複雑で高価なものになるという問題がある。

又、中心孔がない基板の中心近傍に樹脂材料を供給する場合は、展延した樹脂を硬化させてから、カバー層及び基板を円形工具等で打ち抜いて中心孔を形成することになるが、カバー層は厚さが１００μｍ以下の極めて薄い層であるため、円形工具等で打ち抜く際、カバー層の内周部にバリが発生したり、カバー層の内周部が剥離することがある。

本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであって、コストを抑制しつつ良好な形状のカバー層を形成できる信頼性が高い光記録媒体の製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。

本発明は、中心孔を有する円板形状の基板を略水平に載置すると共に該基板の上に前記中心孔を閉塞するように外径が該中心孔の直径よりも大きく記録領域の内径よりも小さい円形フィルムを同心的に載置し、且つ、略平坦な上面部に多数の吸引孔を有する吸引器で基板の中心孔を介して円形フィルムを下面において吸引して保持するようにこれら基板及び円形フィルムを設置し、円形フィルムの上に透光性を有する放射線硬化性の樹脂材料を流動状態で供給し、基板及び円形フィルムを回転させて樹脂材料を遠心力により径方向外側に流動させて基板上に展延し、円形フィルムを基板から剥離し、基板に放射線を照射して樹脂材料を硬化させることにより上記目的を達成するものである。

本発明に想到する過程で発明者らは、プラグを用いる手法でも展延される樹脂材料の膜形状がばらつくことがある原因を鋭意検討したところ、プラグの僅かな加工精度の差が展延される樹脂材料の膜形状に少なからぬ影響を与えていることを見出した。その原因は必ずしも明らかではないが、外周が薄く剛性が高い円錐形状のプラグを用いても、プラグや基板の形状のばらつきにより、プラグの外周と基板との間に部分的に隙間が生じてしまうことがあり、このような隙間が樹脂材料の膜形状に影響を及ぼすと推察される。

これに対し、薄い円形フィルムであれば、剛性が低いので外周が全周において基板に確実に密着する。又、多数の吸引孔を有する吸引器で円形フィルムを吸引して保持することで薄い円形フィルムの変形を抑制しつつ円形フィルムを確実に保持できる。更に、円形フィルムは薄く、基板への接着によらず吸引器で吸引されて保持されるので、樹脂材料を硬化させる前であっても、例えば吸引器を上昇させることで基板上の樹脂材料の内周の変形を抑制しつつ円形フィルムを基板から滑らかに剥離できる。又、吸引器の負圧を解放することで吸引器から使用済みの円形フィルムを容易に取り外すことができる。

このように本発明は、外周が薄く充分な剛性を有する円錐形状のようなプラグを用いることが好ましいと考えられていた従来技術に対し、剛性が低い円形フィルムを用いると共に多数の吸引孔を有する吸引器で円形フィルムを吸引し、薄い円形フィルムの変形を抑制しつつ円形フィルムを確実に保持することでカバー層の成形精度を向上させたものであり従来技術とは異なるコンセプトに基づいてなされたものである。

即ち、以下の発明により上記目的を達成できる。

（１）中心孔を有する円板形状の基板を略水平に載置すると共に該基板の上に前記中心孔を閉塞するように外径が該中心孔の直径よりも大きく記録領域の内径よりも小さい円形フィルムを同心的に載置し、且つ、略平坦な上面部に多数の吸引孔を有する吸引器で前記基板の中心孔を介して前記円形フィルムを下面において吸引して該円形フィルムを保持するようにこれら基板及び円形フィルムを設置する設置工程と、前記円形フィルムの上に透光性を有する放射線硬化性の樹脂材料を流動状態で供給する樹脂材料供給工程と、前記基板及び前記円形フィルムを回転させて前記樹脂材料を遠心力により径方向外側に流動させて前記基板上に展延する展延工程と、前記円形フィルムを前記基板から剥離する剥離工程と、前記基板に放射線を照射して前記樹脂材料を硬化させる照射工程と、をこの順で実行することを特徴とする光記録媒体の製造方法。

（２） （１）において、前記吸引器として少なくとも前記上面部が微多孔質の材料で構成された吸引器を用いることを特徴とする光記録媒体の製造方法。

（３） （１）又は（２）において、前記剥離工程において前記吸引器を前記基板に対して相対的に上昇させて前記円形フィルムを前記基板から剥離することを特徴とする光記録媒体の製造方法。

（４） （１）乃至（３）のいずれかにおいて、前記円形フィルムとして厚さが１ｍｍ以下の円形フィルムを用いることを特徴とする光記録媒体の製造方法。

（５） （１）乃至（４）のいずれかにおいて、前記円形フィルムとして厚さが前記展延工程で前記記録領域に展延される前記樹脂層の厚さ以下の円形フィルムを用いることを特徴とする光記録媒体の製造方法。

（６） （１）乃至（５）のいずれかにおいて、前記剥離工程において前記基板及び前記円形フィルムを回転させつつ前記円形フィルムを前記基板から剥離することを特徴とする光記録媒体の製造方法。

（７） （６）において、前記展延工程から前記照射工程まで前記基板及び前記円形フィルムを継続して回転させることを特徴とする光記録媒体の製造方法。

（８） （１）乃至（７）のいずれかにおいて、前記剥離工程と前記照射工程との間に前記基板及び前記円形フィルムを回転させつつ少なくとも前記円形フィルムに放射線を照射して該円形フィルム上の樹脂材料を少なくとも流動性が消失する程度に硬化させる予備照射工程が設けられ、前記照射工程において前記基板上の樹脂材料を完全に硬化させることを特徴とする光記録媒体の製造方法。

（９） （８）において、前記展延工程から前記予備照射工程まで前記基板及び前記円形フィルムを継続して回転させることを特徴とする光記録媒体の製造方法。

（１０） （１）乃至（７）のいずれかにおいて、前記展延工程と前記剥離工程との間に前記円形フィルムの外周を含む該外周近傍の環状領域を避けて少なくとも該環状領域よりも径方向外側の領域に放射線を照射して前記樹脂材料を少なくとも流動性が消失する程度に硬化させる予備照射工程が設けられ、前記照射工程において前記基板上の樹脂材料を完全に硬化させることを特徴とする光記録媒体の製造方法。

（１１） （１０）において、前記予備照射工程において前記環状領域よりも径方向内側の領域にも前記放射線を照射することを特徴とする光記録媒体の製造方法。

（１２） （１）乃至（１１）のいずれかにおいて、前記剥離工程と前記照射工程との間に前記基板を回転させて前記樹脂材料を再度流動させ、前記基板上に展延する再展延工程が設けられたことを特徴とする光記録媒体の製造方法。

（１３） （１）乃至（１２）のいずれかにおいて、前記照射工程において前記基板を回転させつつ前記放射線を照射することを特徴とする光記録媒体の製造方法。

（１４） （１）乃至（１３）のいずれかにおいて、前記基板としてその中心孔の周囲、且つ、前記記録領域よりも径方向の内側に厚さ方向に凹み深さが前記円形フィルムの厚さとほぼ等しく前記円形フィルムが嵌合可能である円形凹部が形成された基板を用い、前記設置工程において前記円形フィルムの上面の高さと該円形フィルムよりも径方向外側の前記基板の上面の高さとがほぼ一致するように前記円形フィルムを前記基板の円形凹部に設置することを特徴とする光記録媒体の製造方法。

（１５）中心孔を有する円板形状の基板を略水平に設置するためのテーブル部及び略平坦な上面部に多数の吸引孔を有し前記テーブル部の中央近傍に配置されて前記基板の中心孔を挿通可能であり、外径が前記基板の中心孔の直径よりも大きく記録領域の内径よりも小さい、前記基板の上に前記中心孔を閉塞するように同心的に載置される円形フィルムを下面において吸引することにより保持可能である吸引器を備える回転テーブルと、前記円形フィルムの上に透光性を有する放射線硬化性の樹脂材料を流動状態で供給するための樹脂材料供給装置と、前記基板に放射線を照射して前記樹脂材料を硬化させるための照射装置と、を含むことを特徴とする光記録媒体の製造装置。

（１６） （１５）において、前記吸引器は少なくとも前記上面部が微多孔質の材料で構成されたことを特徴とする光記録媒体の製造装置。

（１７） （１５）又は（１６）において、前記回転テーブルは、前記吸引器が前記テーブル部に対して相対的に上昇することにより前記円形フィルムを前記基板から剥離可能であることを特徴とする光記録媒体の製造装置。

（１８） （１５）乃至（１７）のいずれかにおいて、前記照射装置は、前記円形フィルムの外周を含む該外周近傍の環状領域を避けて少なくとも該環状領域よりも径方向外側の領域に放射線を照射可能であることを特徴とする光記録媒体の製造装置。

尚、本出願において「放射線」という用語は、流動状態の特定の樹脂材料を硬化させる性質を有する、例えば紫外線等の電磁波、電子線等の粒子線の総称という意義で用いることとする。

本発明によれば、コストを抑制しつつ良好な形状のカバー層を形成できる。

以下、本発明を実施するための好ましい形態について図面を参照して詳細に説明する。

本発明の第１実施形態に係る光記録媒体の製造装置１０は、図１及び図２に示されるように、中心孔１２Ａを有する円板形状の基板１２を略水平に設置するためのテーブル部１４及び略平坦な上面部１６Ａに多数の吸引孔１６Ｂを有しテーブル部１４の中央近傍に配置されて基板１２の中心孔１２Ａを挿通して上下動可能であり、外径が基板１２の中心孔１２Ａの直径よりも大きく記録領域Ａｒの内径よりも小さい、基板１２の上に中心孔１２Ａを閉塞するように同心的に載置される円形フィルム１８を下面において吸引することにより保持可能である吸引器１６を備える回転テーブル２０と、円形フィルム１８の上に透光性を有する放射線硬化性の樹脂材料２２を流動状態で供給するための樹脂材料供給装置２４と、基板１２に放射線を照射して樹脂材料２２を硬化させるための照射装置２６（図８参照）と、円形フィルム１８を搬送するための搬送装置２８と、を備えている。

基板１２は、外径が約１２０ｍｍ、厚さが約１．１ｍｍで、中心孔１２Ａの直径は約１５ｍｍである。基板１２の材料としては、例えばポリカーボネート、アクリル、エポキシ等の樹脂等を用いることができる。

又、基板１２におけるピット、グルーブが形成された面の上には図示しない情報層が形成されている。情報層は、用途に応じて一又は複数の機能層で構成される。例えば、光記録媒体がＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）タイプの場合、情報層は材料がＡｌ、Ａｇ、Ａｕ等の反射層で構成される。又、ＲＷ（Ｒｅ−Ｗｒｉｔａｂｌｅ）タイプの場合は、反射層に加え、相変化材料層、光磁気材料層、誘電体材料層等の層で構成される。又、Ｒ（Ｒｅｃｏｒｄａｂｌｅ）タイプの場合は、反射層に加え、相変化材料層、有機色素層や無機材料層の記録層、誘電体材料層等の層で構成される。

記録領域Ａｒは、例えばφ４８ｍｍ〜φ１１６ｍｍの範囲に設定される。尚、基板１２を記録／再生装置にクランプするためのクランプ領域は、例えばφ２３ｍｍ〜φ３３ｍｍの範囲である。

回転テーブル２０のテーブル部１４は略水平に配置された円板状体で、このテーブル部１４の上面の中央近傍には、上方に突出する環状体で外周において基板１２の中心孔１２Ａと嵌合して基板１２をテーブル部１４に同心的に位置決めするための環状突部１４Ａが備えられている。テーブル部１４の下面の中央部には下方に突出する軸部３０が設けられ、テーブル部１４及び軸部３０にはこれらを上下方向に貫通する中心孔３２が形成されている。中心孔３２は、環状突部１４Ａの近傍の上部３２Ａの直径がこれよりも下側の下部３２Ｂの直径よりも大きい段付形状である。尚、テーブル部１４は図示しない負圧機構により基板１２を吸着するようになっている。

吸引器１６は上面部１６Ａを備える上部１６Ｃがテーブル部１４の中心孔３２の上部３２Ａに嵌合し、上部１６Ｃよりも下側の下部１６Ｄが中心孔３２の下部３２Ｂに嵌合する段付形状で、図示しない駆動機構により上下動自在とされている。尚、吸引器１６は、軸部３０及びテーブル部１４と共に一体で回転するように軸部３０に係合されている（図示省略）。

吸引器１６の上部１６Ｃは、微多孔質の材料で構成され、これにより上面部１６Ａに多数の吸引孔１６Ｂが備えられている。上部１６Ｃの具体的な材料としては、例えば、サンマップ（日東電工株式会社製：登録商標）等の多孔質構造のポリエチレン、ポーラスアルミナ等のセラミック、ポーラスアルミニウム、焼結金属、ポーラス超硬金属等を挙げることができる。金属材料を用いる場合には、アルミニウム、ステンレス、ブロンズ等の錆が発生しにくい材料を用いることが好ましい。尚、上部１６Ｃは、このような多孔質材料をパイプ状の側壁部材の内側に収容した構成としてもよい。一方、下部１６Ｄは、パイプ状体で中心孔が上端において上面部１６Ａの微多孔に連通し、下方において図示しない負圧供給機構に連通している。

樹脂材料２２は、具体的には、例えば紫外線や電子線等の放射線が照射されることにより硬化する性質を有する透光性のアクリル系やエポキシ系の樹脂である。ここで透光性とは、透明であるという意味に限定されず、例えば紫外光や青紫色の光線が透過できれば着色されていてもよい。

樹脂材料供給装置２４は、樹脂材料２２を基板１２上に吐出するためのノズル２４Ａを備えている。ノズル２４Ａは可動であり、基板１２の中心孔１２Ａの近傍に接近／離間自在とされている。

円形フィルム１８の材料としては、例えばポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリカーボネート等を用いることができる。円形フィルム１８の厚さは１０μｍ〜２．０ｍｍ程度であり、２０〜１５０μｍであることが好ましく、２０〜７５μｍであればより好ましい。

照射装置２６は、基板１２に対して紫外線、電子線等の放射線を上方から照射して、基板１２の上に展延された樹脂材料２２を硬化させるように構成されている。

搬送装置２８は、円形フィルム１８を負圧により吸着して搬送するように構成されている。

次に、図３のフローチャートに沿って、光記録媒体の製造装置１０を用いた光記録媒体の製造方法について説明する。

まず、図４に示されるように基板１２の中心孔１２Ａを回転テーブル２０のテーブル部１４の環状突部１４Ａに嵌合させて情報層が形成された面が上向きになるように基板１２をテーブル部１４に略水平に装着する。更に、搬送装置２８で円形フィルム１８を保持し、円形フィルム１８の中心と回転テーブル２０の中心とが一致する位置まで円形フィルム１８を移送してから下降させ、図４に示されるように、円形フィルム１８を基板１２の上に載置して中心孔１２Ａを上側において閉塞し、更に回転テーブル２０の吸引器１６で円形フィルム１８を下面において吸引して保持する（Ｓ１０２）。

次に、図１に示されるように、樹脂材料供給装置２４のノズル２４Ａの下端を円形フィルム１８の上に配置し、ノズル２４Ａの下端から所定量の樹脂材料２２を円形フィルム１８上に供給する（Ｓ１０４）。

次に、図５に示されるように、搬送装置２８を上昇させてから、回転テーブル２０を回転させて樹脂材料２２を遠心力により径方向外側に流動させて基板１２上に展延する（Ｓ１０６）。この際、円形フィルム１８は回転テーブル２０の中心近傍に設置されているので円形フィルム１８の上の樹脂材料２２に作用する遠心力は小さい。言い換えれば、円形フィルム１８の上の部分は樹脂材料２２の貯留部のような役割を果たし、基板１２上における樹脂材料２２の流動量を緩衝して安定させる。これにより、樹脂材料２２は、基板１２上に均一な厚さで展延される。樹脂材料２２が径方向外側に流動し、図６に示されるように、樹脂材料２２が基板１２の全面に展延されて記録領域Ａｒにおける厚さが約１００μｍとなったところで、回転テーブル２０の回転を停止させる。円形フィルム１８の厚さは、この展延工程（Ｓ１０６）で展延される樹脂材料２２の記録領域Ａｒにおける厚さ（本第１実施形態では１００μｍ）以下であることが好ましい。尚、樹脂材料２２は外周部２２Ａが若干盛り上がった形状に成形されることがあるが、外周部２２Ａは記録領域Ａｒの外側であるので実用上問題はない。

次に、図７に示されるように、吸引器１６を上昇させて樹脂材料２２から円形フィルム１８を剥離する（Ｓ１０８）。この際、基板１２上の樹脂材料２２の内周部２２Ｂは円形フィルム１８に引かれて若干上方に盛り上がることがあるが円形フィルム１８が薄いため突出量は小さく抑制される。尚、内周部２２Ｂも記録領域Ａｒの内側であるので実用上問題はない。

次に、図８に示されるように、照射装置２６から基板１２に放射線を照射して樹脂材料２２を硬化させる（Ｓ１１０）。この工程では、基板１２を回転させながら放射線を照射することが好ましい。このようにすることで基板１２上の樹脂材料２２の内周部２２Ｂの突出量を抑制した形状で樹脂材料２２を硬化させることができる。尚、円形フィルム１８の上の樹脂材料２２も放射線が照射されて硬化する。

次に、図９に示されるように、吸引器１６の負圧を解放すると共に搬送装置２８で円形フィルム１８を保持して円形フィルム１８を搬出する。円形フィルム１８の上の樹脂材料２２は硬化しているので、所定の位置で搬送装置２８の負圧を解放することで円形フィルム１８を搬送装置２８から容易に解放できる。これにより、図１０に示されるような（記録領域Ａｒの外側の部分を除いて）厚さが均一なカバー層４０が形成され、光記録媒体４２が完成する。

このように、基板１２の中心孔１２Ａを閉塞する円形フィルム１８の上に樹脂材料２２を供給するので、基板１２上における樹脂材料２２の流動が安定する。又、円形フィルム１８は薄く、剛性が低いので外周が全周において基板に確実に密着する。又、多数の吸引孔１６Ｂを有する吸引器１６で円形フィルム１８を吸引して保持することで薄い円形フィルム１８の変形を抑制しつつ円形フィルム１８を確実に保持できる。更に、円形フィルム１８は薄く、基板１２への接着によらず吸引器１６で吸引されて保持されているので、樹脂材料２２を硬化させる前であっても、吸引器１６を上昇させることで基板１２上の樹脂材料２２の内周部２２Ｂの変形を抑制しつつ円形フィルム１８を基板１２から滑らかに剥離できる。従って、記録領域Ａｒにカバー層４０を均一な厚さで形成できる。

次に、本発明の第２実施形態について説明する。

本第２実施形態は、前記第１実施形態に対し、図１１に示されるように、照射装置２６が円形フィルム１８の外径よりも若干外径が大きい円板状のマスク４４を備え、図１２のフローチャートに示されるように展延工程（Ｓ１０６）と剥離工程（Ｓ１０８）との間に円形フィルム１８の外周を含む該外周近傍の環状領域Ａｃを避けて環状領域Ａｃよりも径方向外側の領域に放射線を照射して樹脂材料２２を少なくとも流動性が消失する程度に硬化させる予備照射工程（Ｓ２０２）が設けられ、照射工程（Ｓ１１０）において基板１２上の樹脂材料２２を完全に硬化させることを特徴としている。他の工程については前記第１実施形態と同様であるので図１〜図１０と同一符号を用いることとして説明を適宜省略する。

このように、剥離工程（Ｓ１０８）の前に環状領域Ａｃよりも径方向外側の領域の樹脂材料２２を少なくとも流動性が消失する程度に硬化させることで、剥離工程（Ｓ１０８）において基板１２上の樹脂材料２２の変形を防止でき、良好な形状のカバー層４０が確実に得られる。尚、予備照射工程（Ｓ２０２）において環状領域Ａｃの樹脂材料２２は硬化しないので、剥離工程（Ｓ１０８）において円形フィルム１８を容易に剥離できる。

次に、本発明の第３実施形態について説明する。

本第３実施形態は、前記第２実施形態に対し、図１３に示されるように、照射装置２６が環状領域Ａｃと内径及び外径が等しい環状のマスク４６を備え、予備照射工程（Ｓ２０２）において環状領域Ａｃよりも径方向外側の領域だけでなく環状領域Ａｃよりも径方向内側の領域にも放射線を照射して円形フィルム１８の上の樹脂材料２２も少なくとも流動性が消失する程度に硬化させることを特徴としている。他の工程については前記第２実施形態と同様であるので図１１〜図１２と同一符号を用いることとして説明を適宜省略する。

このように、剥離工程（Ｓ１０８）の前に円形フィルム１８の上の樹脂材料２２も少なくとも流動性が消失する程度に硬化させることで、これら円形フィルム１８及びその上の樹脂材料２２の剛性が高まり、剥離工程（Ｓ１０８）において円形フィルム１８の変形を抑制できる。従って、環状領域Ａｃの近傍の樹脂材料２２の変形を抑制する効果が得られる。

次に、本発明の第４実施形態について説明する。

本第４実施形態は、前記第１実施形態に対し、図１４のフローチャートに示されるように、剥離工程（Ｓ１０８）と照射工程（Ｓ１１０）との間に、図１５に示されるように基板１２を回転させて樹脂材料２２を再度流動させ、基板１２上に展延する再展延工程（Ｓ３０２）が設けられたことを特徴としている。他の工程については前記第１実施形態と同様であるので図１〜図１０と同一符号を用いることとして説明を適宜省略する。

このように剥離工程（Ｓ１０８）と照射工程（Ｓ１１０）との間に再展延工程（Ｓ３０２）を設けることで、剥離工程（Ｓ１０８）において基板１２上の樹脂材料２２の内周部２２Ｂが盛り上がっても、盛り上がった部分が再度流動して内周部２２Ｂの突出量が抑制される。従って、良好な形状のカバー層４０が得られる。

次に、本発明の第５実施形態について説明する。

前記第１実施形態に係る基板１２は両面が平坦であるのに対し、本第５実施形態は、図１６及び図１７に示されるように、中心孔４８Ａの周囲、且つ、記録領域Ａｒよりも径方向の内側に厚さ方向に凹み深さが円形フィルム１８の厚さとほぼ等しく円形フィルム２２が嵌合可能である円形凹部４８Ｂが形成された基板４８を用い、設置工程（Ｓ１０２）において円形フィルム１８の上面の高さと円形フィルム１８よりも径方向外側の基板４８の上面の高さとがほぼ一致するように円形フィルム１８を基板４８の円形凹部４８Ｂに設置することを特徴としている。他の工程については前記第１実施形態と同様であるので図１〜図１０と同一符号を用いることとして説明を適宜省略する。

このように円形フィルム１８の上面の高さと円形フィルム１８よりも径方向外側の基板４８の上面の高さとをほぼ一致させることで、図１８に示されるように展延工程（Ｓ１０６）において樹脂材料２２は円形フィルム１８から基板４８上に段部を形成することなく展延される。従って、図１９に示されるように剥離工程（Ｓ１０８）において、基板４８上の樹脂材料２２の内周部２２Ｂの盛り上がりが抑制され、良好な形状のカバー層４０が得られる。

次に、本発明の第６実施形態について説明する。

本第６実施形態は、前記第１実施形態に対し、図２０に示されるように、剥離工程（Ｓ１０８）において、基板１２及び円形フィルム１８を回転させつつ円形フィルム１８を基板１２から剥離することを特徴としている。

又、本第６実施形態は、前記第１実施形態に対し、図２１のフローチャートに示されるように、剥離工程（Ｓ１０８）と照射工程（Ｓ１１０）との間に基板１２及び円形フィルム１８を回転させつつ円形フィルム１８に放射線を照射して該円形フィルム１８上の樹脂材料２２を少なくとも流動性が消失する程度に硬化させる予備照射工程（Ｓ４０２）が設けられ、展延工程（Ｓ１０８）から予備照射工程（Ｓ４０２）まで基板１２及び円形フィルム１８を継続して回転させることを特徴としている。

尚、予備照射工程（Ｓ４０２）では基板１２にも放射線を照射して基板１２上の樹脂材料２２も少なくとも流動性が消失する程度にある程度硬化させるが、照射工程（Ｓ１１０）において、基板１２上の樹脂材料２２を完全に硬化させる。

又、予備照射工程（Ｓ４０２）後に搬送装置２８で円形フィルム１８を保持して円形フィルム１８を搬出する。

他の工程については前記第１実施形態と同様であるので図１〜図１０と同一符号を用いることとして説明を適宜省略する。

このように剥離工程（Ｓ１０８）において、基板１２及び円形フィルム１８を回転させつつ円形フィルム１８を基板１２から剥離することにより、基板１２上の樹脂材料２２は遠心力で径方向外側に付勢されるので、樹脂材料２２が中心孔１２Ａ内に入り込むことを防止できる。又、円形フィルム１８の上昇と共に基板１２上の樹脂材料２２の内周部２２Ｂが盛り上がっても、盛り上がった部分は遠心力により径方向外側に再度流動するので内周部２２Ｂの突出量が抑制される。従って、良好な形状のカバー層４０が得られる。

尚、円形フィルム１８も回転しているので円形フィルム１８上の樹脂材料２２にも遠心力が作用するが、円形フィルム１８上の樹脂材料２２は展延工程（Ｓ１０６）において充分に展延されているので、円形フィルム１８から基板１２上に飛散することなく、円形フィルム１８上に残留する。

又、剥離工程（Ｓ１０８）と照射工程（Ｓ１１０）との間に予備照射工程（Ｓ４０２）を設け、円形フィルム１８上の樹脂材料２２を少なくとも流動性が消失する程度に硬化させてから搬送装置２８で円形フィルム１８を保持して円形フィルム１８を搬出するので、未硬化の樹脂材料２２が搬送装置２８に付着することを防止できる。

又、予備照射工程（Ｓ４０２）でも基板１２及び円形フィルム１８を回転させるので、一層確実に樹脂材料２２の内周部２２Ｂの突出を抑制し、樹脂材料２２が中心孔１２Ａ内に入り込むことを防止できる。又、基板１２は、射出成形の条件等により若干歪んだ形状に成形されることがあるが、基板１２を回転させることで、遠心力により基板１２の歪みをある程度是正でき、この点でも良好な形状のカバー層４０の形成に寄与する。従って、照射工程（Ｓ１１０）では基板１２を回転させなくても良好な形状のカバー層４０を確実に形成できる。

更に、予備照射工程（Ｓ４０２）において基板１２上の樹脂材料２２も少なくとも流動性が消失する程度にある程度硬化させるので、照射工程（Ｓ１１０）の前に、基板１２上の樹脂材料２２が変形することを防止できる。例えば、予備照射工程（Ｓ４０２）後、基板１２を搬送し、照射工程（Ｓ１１０）を、剥離工程（Ｓ１０８）や予備照射工程（Ｓ４０２）と別の場所で行っても良好な形状のカバー層４０を形成できる。

又、展延工程（Ｓ１０８）から予備照射工程（Ｓ４０２）まで基板１２及び円形フィルム１８を継続して回転させるので、展延工程（Ｓ１０８）後、一旦回転を停止させてから再度基板１２及び円形フィルム１８を回転させる場合と比較して、展延工程（Ｓ１０８）から予備照射工程（Ｓ４０２）までに要する時間を大幅に短縮でき、生産性の向上に寄与する。

尚、前記第１〜第６実施形態において、吸引器１６を上昇させて円形フィルム１８を基板１２（４８）から剥離しているが、テーブル部１４を下降させることにより吸引器１６を基板１２（４８）に対して相対的に上昇させて円形フィルム１８を基板１２（４８）から剥離してもよい。又、吸引器１６を上昇させると共にテーブル部１４を下降させることにより円形フィルム１８を基板１２（４８）から剥離してもよい。又、吸引器１６を上昇させることなく搬送装置２８で円形フィルム１８を吸着して上昇させることにより、基板１２（４８）から円形フィルム１８を剥離してもよい。

又、前記第１〜第６実施形態において、吸引器１６は上面部１６Ａが多孔質の材料で構成されているが、機械加工やプレス加工により例えば１０以上の多数の微細な吸引孔が上面部に形成された吸引器を用いてもよい。

又、前記第１〜第５実施形態において、円形フィルム１８の上の樹脂材料２２を硬化させてから使用済みの円形フィルム１８を搬送装置２８で吸着して搬出しているが、円形フィルム１８の上の樹脂材料２２を硬化させずに流動状態の樹脂材料２２の粘着力により円形フィルム１８を治具等に付着させて使用済みの円形フィルム１８を搬出してもよい。この場合、治具等に付着した使用済みの円形フィルム１８に更に他の使用済みの円形フィルム１８を付着させ、所定の数の円形フィルム１８が付着したところで、これらを回収してもよい。

又、前記第１〜第６実施形態において、カバー層４０の厚さは約１００μｍであるが、カバー層の厚さは情報層の積層数等に応じて適宜設定すればよい。例えば、情報層を２層形成する場合は、第１の情報層と第２の情報層との間に厚さ２５μｍの中間層（スペーサ層）を設け、カバー層の厚さを７５μｍとしてもよい。

又、前記第６実施形態において、展延工程（Ｓ１０８）から予備照射工程（Ｓ４０２）まで基板１２及び円形フィルム１８を継続して回転させているが、例えば、剥離工程（Ｓ１０８）と予備照射工程（Ｓ４０２）との間で、基板１２及び円形フィルム１８の回転を一旦停止させてもよい。

又、前記第６実施形態において、予備照射工程（Ｓ４０２）で基板１２にも放射線を照射し、基板１２上の樹脂材料２２も少なくとも流動性が消失する程度にある程度硬化させているが、予備照射工程（Ｓ４０２）では円形フィルム１８に限定して放射線を照射してもよい。

又、前記第６実施形態において、剥離工程（Ｓ１０８）と照射工程（Ｓ１１０）との間に予備照射工程（Ｓ４０２）が設けられ、展延工程（Ｓ１０８）から予備照射工程（Ｓ４０２）まで基板１２及び円形フィルム１８を継続して回転させているが、予備照射工程（Ｓ４０２）を省略し、展延工程（Ｓ１０８）から照射工程（Ｓ１１０）まで基板１２及び円形フィルム１８を継続して回転させてもよい。

又、前記第１〜第６実施形態において、カバー層４０は基板の片面だけに形成されているが、情報層が基板の両面に形成される両面記録式の光記録媒体についても本発明は適用可能である。この場合、前記第１〜第６実施形態のような手法でカバー層を両面に形成すればよい。尚、前記第１〜第６実施形態において、基板の厚さは約１．１ｍｍであるが、両面記録式の場合は、例えば、基板の厚さを１．０ｍｍとすればよい。

表１に示されるような、材料がポリエチレンテレフタレート、外径がφ２０ｍｍ（共通）で、厚さが３８μｍ、５０μｍ、７５μｍ、１００μｍのＡ〜Ｄの４種類の円形フィルム１８を用意し、これら４種類の円形フィルム１８を用いて前記第１実施形態のとおり４種類の光記録媒体４２を作製した。主な製造条件を以下に示す。

樹脂材料供給工程（Ｓ１０４）では、樹脂材料２２として粘度が約２０００ｃｐの紫外線硬化性樹脂を用いた。又、回転テーブル２０の回転速度を約１５ｒｐｍに設定し、上記の樹脂材料２２を約３ｇ、円形フィルム１８の中心近傍に供給した。

展延工程（Ｓ１０６）では、回転テーブル２０の回転速度をまず約３００ｒｐｍまで増加させて一定時間この回転速度を保持した後、１３００ｒｐｍまで回転速度を増加させた。

以上の製造条件の下で製造された光記録媒体４２のカバー層４０の厚さを複数の部位で測定した。測定結果を図２２に示す。尚、図２２の横軸は、光記録媒体の中心から測定部位までの径方向の距離を示す。又、図２２中の符号Ａ〜Ｄは、これらが付された曲線が、それぞれＡ〜Ｄの円形フィルム１８を用いて製造された光記録媒体４２のデータであることを示す。

実施例１に対し、表２に示されるような、材料がポリエチレンテレフタレート、厚さが７５μｍ（共通）で、外径がφ１６．７ｍｍ、φ１８ｍｍ、φ２０ｍｍ、φ２１ｍｍ、φ２２ｍｍのＥ〜Ｈ及びＪの５種類の円形フィルム１８を用意し、これら５種類の円形フィルム１８を用いて前記第１実施形態のとおり５種類の光記録媒体４２を作製した。他の製造条件は上記実施例１と同様である。

製造された光記録媒体４２のカバー層４０の厚さを複数の部位で測定した。測定結果を図２３に示す。尚、図２３中の符号Ｅ〜Ｈ及びＪは、これらが付された曲線が、それぞれ号Ｅ〜Ｈ及びＪの円形フィルム１８を用いて製造された光記録媒体４２のデータであることを示す。

［比較例］
上記実施例１及び２に対し、円形フィルム１８を用いないで１種類の光記録媒体を作製した。具体的には、樹脂材料供給工程（Ｓ１０４）において、上記の樹脂材料２２を約３ｇ、基板１２の中心孔１２Ａの周囲に環状に供給した。他の製造条件は実施例１及び２と同様とした。

この光記録媒体のカバー層の厚さを複数の部位で測定した。測定結果を図２２及び図２３に併記する。図２２及び２３中において符号Ｘが付された曲線が、円形フィルム１８を用いないで製造された比較例に係る光記録媒体のデータである。

図２２及び２３に示されるように、Ａ〜Ｈ及びＪの円形フィルム１８を用いて製造された光記録媒体４２はいずれも、円形フィルム１８を用いないで製造された比較例に係る光記録媒体よりもカバー層の厚さのばらつきが小さく抑制されていることが確認された。

上記実施例１に対し、厚さが１００μｍ、１５０μｍ、２００μｍ、４００μｍ、６００μｍ、１．０ｍｍ、２．０ｍの７種類の円形フィルム１８を用意し、これら７種類の円形フィルム１８を用いて前記第１実施形態のとおり７種類の光記録媒体４２を作製した。

これらの光記録媒体４２の記録領域Ａｒにおけるカバー層４０の厚さを測定したところ、いずれも厚さのばらつきが２．０〜２．５μｍの範囲内であり良好であった。即ち、円形フィルム１８の厚さが２．０ｍｍ以下であれば、厚さのばらつきが充分に抑制されたカバー層４０を形成できることが確認された。

又、これらの光記録媒体４２のカバー層４０の外観を観察したところ、厚さが２．０ｍｍの円形フィルム１８を用いた場合、カバー層４０の内周部に多数の気泡が内包されていた。一方、厚さが１．０ｍｍ以下の円形フィルム１８を用いた場合は、カバー層４０の内部に気泡は確認されなかった。即ち、円形フィルム１８の厚さが１．０ｍ以下であれば、カバー層４０の内部に気泡が形成されることを防止又は充分に抑制できることが確認された。

又、これらの光記録媒体４２の製造工程において、円形フィルム１８と基板１２との密着の度合いを観察したところ、厚さが２００μｍ以上の円形フィルム１８を用いた場合、吸引器１６でカバー層４０を吸着しても、円形フィルム１８が歪んだ状態となり、基板１２に密着していない部分があった。一方、厚さが１５０μｍ以下の円形フィルム１８を用いた場合は、円形フィルム１８は歪むことなく、全周において基板１２に密着していた。即ち、円形フィルム１８の厚さが１５０μｍ以下であれば、円形フィルム１８が全周において基板１２に確実に密着することが確認された。

本発明は、中心孔を有する基板の上に基板よりも薄いカバー層が形成された光記録媒体の製造に利用することができる。

本発明の第１実施形態に係る光記録媒体の製造装置の主要部の構造を模式的に示す側断面図 同光記録媒体の製造装置の吸引機周辺の構造を拡大して模式的に示す側断面図 同光記録媒体の製造装置を用いた光記録媒体の製造工程の概要を示すフローチャート 同製造装置により基板上に円形フィルムを設置する工程を模式的に示す側断面図 同樹脂材料が前記基板上の一部に展延された状態を模式的に示す側断面図 同樹脂材料が前記基板上の全面に展延された状態を模式的に示す側断面図 同樹脂材料から前記円形フィルムを剥離する工程を模式的に示す側断面図 同基板に放射線を照射する工程を模式的に示す側断面図 前記円形フィルムを搬送する工程を模式的に示す側断面図 同光記録媒体の製造装置により製造された光記録媒体の構造を模式的に示す側断面図 本発明の第２実施形態に係る光記録媒体の製造装置の照射装置の構造を模式的に示す側断面図 同第２実施形態に係る光記録媒体の製造工程の概要を示すフローチャート 本発明の第３実施形態に係る光記録媒体の製造装置の照射装置の構造を式的に示す側断面図 本発明の第４実施形態に係る光記録媒体の製造工程の概要を示すフローチャート 同第４実施形態において樹脂材料を再展延する工程を模式的に示す側断面図 本発明の第５実施形態に係る円形フィルムを設置する工程を模式的に示す側断面図 同円形フィルム周辺を拡大して模式的に示す側断面図 同円形フィルム及び基板上に樹脂材料を展延する工程を拡大して模式的に示す側断面図 同円形フィルムを剥離する工程を拡大して模式的に示す側断面図 本発明の第６実施形態に係る円形フィルムを剥離する工程を模式的に示す側断面図 同第６実施形態に係る光記録媒体の製造工程の概要を示すフローチャート 本発明の実施例１及び比較例に係る光記録媒体のカバー層の厚さのばらつきを対比して示すグラフ 本発明の実施例２及び同比較例に係る光記録媒体のカバー層の厚さのばらつきを対比して示すグラフ

符号の説明

１０…光記録媒体の製造装置
１２、４８…基板
１２Ａ、４８Ａ…中心孔
１４…テーブル部
１６…吸引器
１６Ａ…上面部
１６Ａ…吸引孔
１８…円形フィルム
２０…回転テーブル
２２…樹脂材料
２４…樹脂材料供給装置
２６…照射装置
２８…搬送装置
４０…カバー層
４２…光記録媒体
４４、４６…マスク
４８Ｂ…円形凹部
Ａｒ…記録領域
Ａｃ…環状領域
Ｓ１０２…設置工程
Ｓ１０４…樹脂材料供給工程
Ｓ１０６…展延工程
Ｓ１０８…剥離工程
Ｓ１１０…照射工程
Ｓ２０２、Ｓ４０２…予備照射工程
Ｓ３０２…再展延工程

Claims (18)

1. 中心孔を有する円板形状の基板を略水平に載置すると共に該基板の上に前記中心孔を閉塞するように外径が該中心孔の直径よりも大きく記録領域の内径よりも小さい円形フィルムを同心的に載置し、且つ、略平坦な上面部に多数の吸引孔を有する吸引器で前記基板の中心孔を介して前記円形フィルムを下面において吸引して該円形フィルムを保持するようにこれら基板及び円形フィルムを設置する設置工程と、前記円形フィルムの上に透光性を有する放射線硬化性の樹脂材料を流動状態で供給する樹脂材料供給工程と、前記基板及び前記円形フィルムを回転させて前記樹脂材料を遠心力により径方向外側に流動させて前記基板上に展延する展延工程と、前記円形フィルムを前記基板から剥離する剥離工程と、前記基板に放射線を照射して前記樹脂材料を硬化させる照射工程と、をこの順で実行することを特徴とする光記録媒体の製造方法。
2. 請求項１において、
   前記吸引器として少なくとも前記上面部が微多孔質の材料で構成された吸引器を用いることを特徴とする光記録媒体の製造方法。
3. 請求項１又は２において、
   前記剥離工程において前記吸引器を前記基板に対して相対的に上昇させて前記円形フィルムを前記基板から剥離することを特徴とする光記録媒体の製造方法。
4. 請求項１乃至３のいずれかにおいて、
   前記円形フィルムとして厚さが１ｍｍ以下の円形フィルムを用いることを特徴とする光記録媒体の製造方法。
5. 請求項１乃至４のいずれかにおいて、
   前記円形フィルムとして厚さが前記展延工程で前記記録領域に展延される前記樹脂層の厚さ以下の円形フィルムを用いることを特徴とする光記録媒体の製造方法。
6. 請求項１乃至５のいずれかにおいて、
   前記剥離工程において前記基板及び前記円形フィルムを回転させつつ前記円形フィルムを前記基板から剥離することを特徴とする光記録媒体の製造方法。
7. 請求項６において、
   前記展延工程から前記照射工程まで前記基板及び前記円形フィルムを継続して回転させることを特徴とする光記録媒体の製造方法。
8. 請求項１乃至７のいずれかにおいて、
   前記剥離工程と前記照射工程との間に前記基板及び前記円形フィルムを回転させつつ少なくとも前記円形フィルムに放射線を照射して該円形フィルム上の樹脂材料を少なくとも流動性が消失する程度に硬化させる予備照射工程が設けられ、前記照射工程において前記基板上の樹脂材料を完全に硬化させることを特徴とする光記録媒体の製造方法。
9. 請求項８において、
   前記展延工程から前記予備照射工程まで前記基板及び前記円形フィルムを継続して回転させることを特徴とする光記録媒体の製造方法。
10. 請求項１乃至７のいずれかにおいて、
    前記展延工程と前記剥離工程との間に前記円形フィルムの外周を含む該外周近傍の環状領域を避けて少なくとも該環状領域よりも径方向外側の領域に放射線を照射して前記樹脂材料を少なくとも流動性が消失する程度に硬化させる予備照射工程が設けられ、前記照射工程において前記基板上の樹脂材料を完全に硬化させることを特徴とする光記録媒体の製造方法。
11. 請求項１０において、
    前記予備照射工程において前記環状領域よりも径方向内側の領域にも前記放射線を照射することを特徴とする光記録媒体の製造方法。
12. 請求項１乃至１１のいずれかにおいて、
    前記剥離工程と前記照射工程との間に前記基板を回転させて前記樹脂材料を再度流動させ、前記基板上に展延する再展延工程が設けられたことを特徴とする光記録媒体の製造方法。
13. 請求項１乃至１２のいずれかにおいて、
    前記照射工程において前記基板を回転させつつ前記放射線を照射することを特徴とする光記録媒体の製造方法。
14. 請求項１乃至１３のいずれかにおいて、
    前記基板としてその中心孔の周囲、且つ、前記記録領域よりも径方向の内側に厚さ方向に凹み深さが前記円形フィルムの厚さとほぼ等しく前記円形フィルムが嵌合可能である円形凹部が形成された基板を用い、前記設置工程において前記円形フィルムの上面の高さと該円形フィルムよりも径方向外側の前記基板の上面の高さとがほぼ一致するように前記円形フィルムを前記基板の円形凹部に設置することを特徴とする光記録媒体の製造方法。
15. 中心孔を有する円板形状の基板を略水平に設置するためのテーブル部及び略平坦な上面部に多数の吸引孔を有し前記テーブル部の中央近傍に配置されて前記基板の中心孔を挿通可能であり、外径が前記基板の中心孔の直径よりも大きく記録領域の内径よりも小さい、前記基板の上に前記中心孔を閉塞するように同心的に載置される円形フィルムを下面において吸引することにより保持可能である吸引器を備える回転テーブルと、前記円形フィルムの上に透光性を有する放射線硬化性の樹脂材料を流動状態で供給するための樹脂材料供給装置と、前記基板に放射線を照射して前記樹脂材料を硬化させるための照射装置と、を含むことを特徴とする光記録媒体の製造装置。
16. 請求項１５において、
    前記吸引器は少なくとも前記上面部が微多孔質の材料で構成されたことを特徴とする光記録媒体の製造装置。
17. 請求項１５又は１６において、
    前記回転テーブルは前記吸引器が前記テーブル部に対して相対的に上昇することにより前記円形フィルムを前記基板から剥離可能であることを特徴とする光記録媒体の製造装置。
18. 請求項１５乃至１７のいずれかにおいて、
    前記照射装置は、前記円形フィルムの外周を含む該外周近傍の環状領域を避けて少なくとも該環状領域よりも径方向外側の領域に放射線を照射可能であることを特徴とする光記録媒体の製造装置。

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