JP2007140516A - 表示基板、これの製造方法、及びこれを有する表示装置 - Google Patents

表示基板、これの製造方法、及びこれを有する表示装置 Download PDF

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Abstract

【課題】表示不良を除去しうる表示基板、これの製造方法、及びこれを有する表示装置が開示される。
【解決手段】表示基板100は、薄膜トランジスタ層280、カラーフィルタ層120、画素電極、第1カバー層141、及び配向膜150を含む。薄膜トランジスタ層280は、画素部を含む。カラーフィルタ層120は、薄膜トランジスタ層280上に形成される。画素電極は、前記カラーフィルタ層120上形成される。隣接する画素電極の間に少なくとも一つのギャップが定義される。第1カバー層141は、隣接する画素電極の間のギャップ内に配置され、隣接する画素電極の間のギャップによって露出されたカラーフィルタ層の一部をカバーする。配向膜150は、画素電極と第1カバー層141に形成される。したがって、カラーフィルタ層120と配向膜150との間の直接的な接触を遮断して残像などの表示不良を除去することができる。
【選択図】図2

Description

本発明は、表示基板、これの製造方法、及びこれを有する表示装置に関わり、より詳細には、残像などの表示不良を防止しうる表示基板、これの製造方法、及びこれを有する表示装置に関する。
一般的に、ノートブック、モニター、テレビなどの電子機器には、画像を表示するための表示装置が具備される。表示装置としては、電子機器の特性上、平板形状を有する液晶表示装置(Liquid Crystal Display)が主に用いられる。
液晶表示装置は、薄膜トランジスタ(TFT)を有する下部基板、下部基板と対向するように結合されたカラーフィルタを有する上部基板、及び二枚の基板の間に配置された液晶層を含む。
下部基板は、複数の画素を独立的に駆動するために絶縁基板上に形成された信号配線、薄膜トランジスタ、及び画素電極などを含む。上部基板は、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の色画素からなるカラーフィルタ層及び画素電極に対向する共通電極を含む。
液晶表示装置は、下部基板と上部基板との結合精度によって表示品質に大きな影響を受ける。下部基板と上部基板との結合時、ミスアラインが発生すると、液晶表示装置の表示品質が低下する。
ミスアラインによる液晶表示装置の品質低下を防止するために、最近にはCOA(Color filter On Array)構造の液晶表示装置が提案された。COA構造の液晶表示装置は、下部基板上にR、G、B色画素で構成されたカラーフィルタ層が形成される。
しかし、COA構造の液晶表示装置では、画素電極の間に開口された領域を通じてカラーフィルタ層が配向膜と接触するようになる。ここで、カラーフィルタ層内に残存するイオン不純物が配向膜に直接伝達され、配向膜上に位置した液晶層を汚染させて残像を誘発するという問題点がある。
本発明の技術的な課題は、上述した従来の問題点を解決するためのものであって、本発明の目的は、表示不良を除去して表示品質を向上させることができる表示基板を提供することにある。
本発明の他の目的は、前記表示基板の製造方法を提供することにある。
本発明の更に他の目的は、前記表示基板を具備する表示装置を提供することにある。
本発明の一特徴による表示基板は、薄膜トランジスタ層、カラーフィルタ層、画素電極、第1カバー層、及び配向膜を含む。前記薄膜トランジスタ層は、画素部を含む。前記カラーフィルタ層は、前記薄膜トランジスタ層上に形成される。前記画素電極は、前記カラーフィルタ層上に形成され、少なくとも一つのギャップを定義する。前記第1カバー層は、前記隣接する画素電極の間の前記ギャップ内に配置され、前記隣接する画素電極の間の前記ギャップによって露出された前記カラーフィルタ層の一部をカバーする。前記配向膜は、前記画素電極と前記第1カバー層上に形成される。
本発明の一特徴による表示基板の製造方法によると、絶縁基板上に画素部を含む薄膜トランジスタ層を形成し、前記薄膜トランジスタ層上にカラーフィルタ層を形成し、前記カラーフィルタ層上に複数の画素電極を形成し、前記画素電極の間の前記カラーフィルタ層をカバーする第1カバー層を形成し、前記画素電極と前記第1カバー層上に配向膜を形成する。
本発明の一特徴による表示装置は、表示基板、前記表示基板と対向して結合された対向基板、及び前記表示基板と前記対向基板との間に配置された液晶層を含む。表示基板は、薄膜トランジスタ層、カラーフィルタ層、画素電極、少なくとも一つのギャップ、第1カバー層、及び配向膜を含む。前記薄膜トランジスタ層は、マトリクス形状の画素部を含む。前記カラーフィルタ層は、前記薄膜トランジスタ層上に形成される。前記画素電極は、前記カラーフィルタ層上に形成される。前記少なくとも一つのギャップは、隣接する画素電極の間に配置される。前記カバー層は、前記画素電極の間の前記ギャップ内に配置され、前記ギャップによって露出する前記カラーフィルタ層の一部をカバーする。前記配向膜は、前記画素電極と前記第1カバー層上に形成される。
前記対向基板は、前記表示基板と向い合う絶縁基板の対向面に形成された共通電極及び前記共通電極上に形成された第2配向膜を含む。
このような表示基板、これの製造方法、及びこれを有する表示装置によると、カラーフィルタ層と配向膜との間の直接的な接触を遮断して残像などの表示不良を除去することができる。
以下、添付した図面を参照して本発明の望ましい実施形態をより詳細に説明する。
図1は、本発明の第1実施形態による表示基板の平面図であり、図2は、図1のI−I’に沿って見た断面図である。
図1及び図2を参照すると、本発明の一実施形態による表示基板100は、薄膜トランジスタ層280、カラーフィルタ層120、画素電極層130、第1カバー層141、及び配向膜150を含む。
薄膜トランジスタ層280は、絶縁基板110及び画素層200を含む。
絶縁基板110は、光の透過可能な透明物質からなる。例えば、絶縁基板110はガラスからなる。
画素層200は、絶縁基板110上に形成される。画素層200は、絶縁基板110上にマトリクス形状に形成された画素部(P1、P2)を含む。画素層200は、ゲートライン220、ゲート絶縁膜230、データライン240、薄膜トランジスタ250、及び保護膜260を含む。
ゲートライン220は、絶縁基板110上に形成され、ゲートライン220を基準として互いに隣接する第1画素部(P1)と、前記第1画素部(P1)の下部に形成された第3画素部(図示せず)を定義する。
ゲート絶縁膜230は、ゲートライン220が形成された絶縁基板110上に形成され、ゲートライン220をカバーする。ゲート絶縁膜230は、例えば、シリコン窒化膜(SiNx)またはシリコン酸化膜(SiOx)で形成してもよい。ゲート絶縁膜230は、一例として、約4500Åの厚さに形成することが望ましい。
データライン240は、ゲート絶縁膜230上に形成され、データライン240を基準として互いに隣接する第1画素部(P1)と前記第1画素部(P1)の側部に形成された第2画素部(P2)を定義する。
薄膜トランジスタ250は、ゲートライン220、及びデータライン240に連結され、該当する第1画素部(P1)内に形成される。薄膜トランジスタ250は、ゲートライン220を通じて印加されるスキャン信号に反応してデータライン240を通じて印加される画像信号を第1画素電極(PE1)に印加する。第2画素部(P2)に形成された薄膜トランジスタ(図示せず)は、第2画素電極(PE2)にゲートライン220を通じて印加されるスキャン信号に反応して該当するデータライン(図示せず)を通じて印加された画像信号を第2画素電極(PE2)に印加する。
薄膜トランジスタ250は、ゲート電極251、アクティブ層252、ソース電極253、及びドレイン電極254を含む。
ゲート電極251は、ゲートライン220と連結され、薄膜トランジスタ250のゲート端子を構成する。
アクティブ層252は、ゲート電極251に対応してゲート絶縁膜230上に形成される。アクティブ層252は、半導体層252a及びオーミックコンタクト層252bを含む。半導体層252aは、非晶質シリコン(a−Si)で構成することができ、オーミックコンタクト層252bは、n型不純物が高濃度でドープされた非晶質シリコン(以下、n+a−Si)で形成してもよい。
ソース電極253は、データライン240と連結され、アクティブ層252の上部にまで延長されるように形成することができる。ソース電極253は、薄膜トランジスタ250のソース端子を構成する。
ドレイン電極254は、ソース電極253と離隔されるようにアクティブ層252上に形成される。ドレイン電極254は、薄膜トランジスタ250のドレイン端子を構成する。ドレイン電極254は、保護膜260、及びカラーフィルタ層120に形成されたコンタクトホール122を通じて第1画素電極(PE1)と連結される。
ソース電極253とドレイン電極254は、アクティブ層252上に互いに離隔するように配置され、薄膜トランジスタ250のチャンネルを形成する。
保護膜260は、データライン240及び薄膜トランジスタ250が形成されたゲート絶縁膜230上に形成され、データライン240及び薄膜トランジスタ250をカバーする。保護膜260は、例えば、シリコン窒化膜(SiNx)またはシリコン酸化膜(SiOx)で形成することができる。保護膜260は、一例として、約2000Åの厚さに形成されることが望ましい。
一方、画素層200は、ストレージライン270、及びストレージ電極272を更に含むことができる。ストレージライン270は、ゲートライン220の間でゲートライン220と同一の方向に延長されるように形成される。ストレージ電極272は、ストレージライン270と連結され、第1画素部(P1)内に形成される。ストレージライン270及びストレージ電極272は、ゲートライン220と同一の層に同一の物質で同時に形成される。ストレージ電極272は、ゲート絶縁膜230を挟んでドレイン電極254と向い合い、ストレージキャパシタ(Cst)を形成する。薄膜トランジスタ250を通じて第1画素電極(PE1)に印加された画像信号はストレージキャパシタ(Cst)によって一フレームの期間に維持される。
カラーフィルタ層120は、画素層200上に形成される。カラーフィルタ層120は、赤色(R)、緑色(G)、及び青色(B)のカラーフィルタを含み、具体的に、第1カラーフィルタ120aは、第1画素部(P1)に形成され、第2カラーフィルタ120bは、第2画素部(P2)に形成される。カラーフィルタ層120は、画素層200上に前記R、G、Bカラーフィルタが一定のパターンを有するように規則的に形成される。一方、カラーフィルタ層120は、白色を具現するための透明なカラーフィルタを更に含むことができる。
画素電極層130は、画素部(P1、P2)に形成された画素電極(PE1、PE2)を含む。具体的に、第1画素電極(PE1)は、第1画素部(P1)に形成された第1カラーフィルタ120a上に形成される。第1画素電極(PE1)は、保護膜260及びカラーフィルタ120aに形成されたコンタクトホール122を通じて薄膜トランジスタ250のドレイン電極254と連結される。
画素電極層130は、光の透過可能な透明な導電性物質からなる。例えば、画素電極層130は、インジウム亜鉛酸化物(IZO)またはインジウムスズ酸化物(ITO)で構成される。
画素電極層130は、画素電極(PE1、PE2)でパターニングされ、隣接する画素電極(PE1、PE2)の間に、即ち、ゲートライン220及びデータライン240に対応する領域で開口される。したがって、カラーフィルタ層120は、画素電極(PE1、PE2)の間、即ち、ゲートライン220及びデータライン240に対応する領域で外部に露出される。
第1カバー層141は、画素電極(PE1、PE2)の間から外部に露出されたカラーフィルタ層120をカバーする。即ち、第1カバー層141は、ゲートライン220及びデータライン240に対応してカラーフィルタ層120の上部に形成される。第1カバー層141は、画素電極(PE1、PE2)の間に開口された領域を通じてカラーフィルタ層120と配向膜150とが直接的に接触することを防止する。
第1カバー層141は、画素電極(PE1、PE2)の間に開口された領域を完全カバーするように形成される。例えば、第1カバー層141は、約0.4μm〜約0.6μmの高さで形成されることが望ましい。また、第1カバー層141は、約5μm〜約8μmの線幅に形成されることが望ましい。
第1カバー層141は、光硬化性樹脂または熱硬化性樹脂で形成することができる。光硬化性樹脂からなる第1カバー層141は、フォトリソグラフィ工程を通じて形成することができ、熱硬化性樹脂からなる第1カバー層141は、インクジェット工程または平板印刷工程を通じて形成することができる。例えば、光硬化性樹脂からなる第1カバー層141は、ネガティブフォトレジストまたはポジティブフォトレジストで形成することができる。
配向膜150は、画素電極層130と第1カバー層141上に形成される。配向膜150は、上部に配置される液晶を特定の方向に配列させる。
一方、表示基板100は、上部に配置される対向基板とのセルギャップを維持するための柱状スペーサ142を更に含む。柱状スペーサ142は、ゲートライン220とデータライン240が交差する領域で第1カバー層141より高い高さに突出するように形成することができる。即ち、柱状スペーサ142は、薄膜トランジスタ250の上部に形成される。柱状スペーサ142は、例えば、約1.0μm〜約1.5μmの高さと、約10μm〜約15μmの線幅に形成される。
柱状スペーサ142は、第1カバー層141と同一の物質で同時に形成することができる。柱状スペーサ142は、例えば、ネガティブフォトレジストまたはポジティブフォトレジストで構成される。
図3は、本発明の第2実施形態による表示基板の平面図である。図3は、画素電極(PE1、PE2)を除いた構成が図1と同一であるので、その重複する詳細な説明は省略する。
図3を参照すると、第1画素電極(PE1)は、第1画素部(P1)を複数の領域(domain)に分割するための開口部132を有する。第1画素電極(PE1)の開口部132を通じてそれぞれの領域で液晶は互いに異なる方向に配列されるので、光視野角を向上させることができる。
表示基板100は、第1画素電極(PE1)の開口部132を通じて露出されたカラーフィルタ層120(図2に示す)をカバーするための第2カバー層144を更に含む。第2カバー層144は、第1画素電極(PE1)の開口部132を通じてカラーフィルタ層120と配向膜150が直接的に接触することを防止する。これによってカラーフィルタ層120から排出される不純物を遮断して、不純物による液晶の汚染によって誘発される残像の問題を解決することができる。
第2カバー層144は、第1カバー層141及び柱状スペーサ142と同一の物質で同時に形成することができる。
図4ないし図7は、図1及び図2に示した表示基板の製造過程を示す工程図である。
図1及び図4を参照すると、絶縁基板110上にマトリクス形状の画素部210を含む画素層200を形成する。
具体的に、絶縁基板110上に第1金属膜を蒸着した後、フォトリソグラフィ工程を通じてゲートライン220及びゲート電極251を形成する。
ゲートライン220は、第1画素部(P1)と、第1画素部(P1)およびゲートライン220を基準として下部に形成された第3画素部(図示せず)とを定義する。ゲート電極251は、ゲートライン220と連結され、薄膜トランジスタ250のゲート端子を構成する。一方、ゲートライン220及びゲート電極251と同時に、ストレージライン270及びストレージ電極272が絶縁基板110上に形成される。これとは違って、別途の工程を通じてストレージライン270及びストレージ電極272を透明の材質で形成して開口率を向上させることもできる。
その後、ゲートライン220及びゲート電極251が形成された絶縁基板110上にゲート絶縁膜230を形成する。ゲート絶縁膜230は、例えば、シリコン窒化膜(SiNx)またはシリコン酸化膜(SiOx)で構成され、約4500Åの厚さに形成される。
図1及び図5を参照すると、ゲート絶縁膜230上にa−Si(amorphous silicon)で形成された半導体層252a及びn+a−Si(n+ amorphous silicon)で形成されたオーミックコンタクト層252bを順次に積層した後、フォトリソグラフィ工程を通じてゲート電極251に対応するようにアクティブ層252を形成する。
その後、ゲート絶縁膜230及びアクティブ層252上に第2金属膜を蒸着した後、フォトリソグラフィ工程を通じてデータライン240、ソース電極253、及びドレイン電極254を形成する。
データライン240は、第1画素部(P1)と、第1画素部(P1)およびデータライン240を基準として側部に形成された第2画素部(P2)とを定義する。ソース電極253は、データライン240と連結され、薄膜トランジスタ250のソース端子を構成する。ドレイン電極254は、ソース電極253と離隔して薄膜トランジスタ250のドレイン端子を構成する。ドレイン電極254は、ゲート絶縁膜230を挟んでストレージ電極272と向い合い、ストレージキャパシタ(Cst)を形成する。
その後、ソース電極253とドレイン電極254との間に位置したオーミックコンタクト層252bをエッチングして、半導体層252aを露出させる。
図1及び図6を参照すると、データライン240、ソース電極253、及びドレイン電極254が形成されたゲート絶縁膜230上に保護膜260を形成する。保護膜260は、例えば、シリコン窒化膜(SiNx)またはシリコン酸化膜(SiOx)からなり、約2000Åの厚さに形成される。
その後、保護膜260上にカラーフィルタ層120を形成する。カラーフィルタ層120は、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)のカラーフィルタを含み、カラーフィルタは画素部(P1、P2)に対応するように形成される。
その後、カラーフィルタ層120及び保護膜260にドレイン電極254を露出させるためのコンタクトホール122を形成する。
図1及び図7を参照すると、カラーフィルタ層120上に画素電極層130を蒸着した後、フォトリソグラフィ工程を通じて画素部(P1、P2)に対応するように画素電極(PE1、PE2)を形成する。
画素電極層130は、光の透過可能な透明な導電性物質からなる。例えば、画素電極層130は、インジウム亜鉛酸化物(IZO)またはインジウムスズ酸化物(ITO)からなる。
具体的に、第1画素電極(PE1)は、カラーフィルタ層120及び保護膜260に形成されたコンタクトホール122を通じてドレイン電極254と電気的に連結される。
その後、画素電極(PE1、PE2)の間に露出されたカラーフィルタ層120をカバーする第1カバー層141及び柱状スペーサ142を形成する。
第1カバー層141は、画素電極(PE1、PE2)の境界領域であるゲートライン220及びデータライン240に対応してカラーフィルタ層120の上部に形成される。第1カバー層141は、画素電極層(PE1、PE2)の間に開口された領域を完全にカバーするように形成される。例えば、第1カバー層141は、約0.4μm〜約0.6μmの高さと、約5μm〜約8μmの線幅に形成される。
柱状スペーサ142は、ゲートライン220とデータライン240とが交差する領域で第1カバー層141より高い高さに突出するように形成される。即ち、柱状スペーサ142は、薄膜トランジスタ250の上部に形成される。柱状スペーサ142は、例えば、約1.0μm〜約1.5μmの高さと、約10μm〜15μmの線幅に形成される。
第1カバー層141及び柱状スペーサ142は、ネガティブフォトレジストまたはポジティブフォトレジストなどの光硬化性樹脂を蒸着した後、フォトリソグラフィ工程を通じて同時に形成することが望ましい。これとは違って、第1カバー層141は、熱硬化性樹脂を用いるインクジェット工程または平板印刷工程を通じて形成することができる。他にも、第1カバー層141は、カラーフィルタ層120のイオン不純物が配向膜150に伝達されることを防止することさえできれば、多様な物質で多様な方法によって形成することができる。
図1及び図2を参照すると、第1カバー層141及び柱状スペーサ142が形成された画素電極層130上に配向膜150を形成する。したがって、配向膜150は、画素電極層130及び第1カバー層141によってカラーフィルタ層120と直接的に接触しない。
一方、図3を参照すると、光視野角の具現のために、画素電極(PE1、PE2)にはパターニングすることができる。
具体的に、第1画素電極(PE1)に第1画素部(P1)を複数の領域に分割するための開口部132を形成することができる。第1画素電極(PE1)に開口部132を形成する場合、開口部132を通じて露出されたカラーフィルタ層120をカバーするための第2カバー層144を更に形成する。第2カバー層144は、第1画素電極(PE1)の開口部132を通じてカラーフィルタ層120と配向膜150とが直接的に接触することを防止する。第2カバー層144は、第1カバー層141及び柱状スペーサ142と同一の物質で同時に形成される。
図8は、本発明の第3実施形態による表示基板の断面図である。図8は、図3に示したII−II’に沿って見た断面図であって、同一の構成要素に対しては同一の図面符号を記載して説明する。
図3及び図8を参照すると、表示基板は薄膜トランジスタ層280、カラーフィルタ層120、画素電極層130、第1カバー層(141a、141b)、第2カバー層144、及び配向膜150を含む。
薄膜トランジスタ層280は、絶縁基板110および絶縁基板110上に形成された画素層200を含む。画素層200は、ゲートライン220、ゲート絶縁膜230、データライン240、薄膜トランジスタ250、及び保護膜260を含む。薄膜トランジスタ層280は、図2に説明したものと同一であるので、詳細な説明は省略する。
カラーフィルタ層120は、画素層200上に形成される。カラーフィルタ層120は、複数のカラーフィルタ層を含む。望ましくは、データライン240を基準として互いに隣接する第1画素部(P1)と第2画素部(P2)は、互いに異なるカラーフィルタ(120a、120b)がそれぞれ形成される。
ゲートライン220を基準として第1画素部(P1)と隣接する第3画素部(P3)には、第1画素部(P1)と同一のカラーフィルタ120aが形成される。例えば、第1及び第3画素部(P1、P3)には第1カラーフィルタ120aが形成され、第2画素部(P2)には、第2カラーフィルタ120bが形成される。
カラーフィルタ層120は、画素部(P1、P2、P3)間の境界領域に対応してカラーフィルタ層120が除去され溝が形成される。第1画素部(P1)と第3画素部(P3)との間の第1境界領域(B1)には、第1カラーフィルタ120aが除去された第1溝(H1)が形成され、第1画素部(P1)と第2画素部(P2)との間の第2境界領域(B2)には、オーバラップされた第1カラーフィルタ120a及び第2カラーフィルタ120bが除去された第2溝(H2)が形成される。また、各画素部(P1)を複数の領域に分割する開口部132に対応する第3境界領域(B3)には、第1カラーフィルタ120aが除去された第3溝(H3)を形成することができる。
第1、第2、及び第3境界領域(B1、B2、B3)は、画素電極層130がパターニングされ、カラーフィルタ層120を露出させる領域にカラーフィルタ層120から不純物が直接的に排出される領域である。これによって、第1、第2、及び第3境界領域(B1、B2、B3)のカラーフィルタ層120を完全に除去することで不純物による残像を除去することができる。
しかし、第1、第2、及び第3境界領域(B1、B2、B3)に全て溝を形成しなければならないことではなく、必要に応じて第1溝(H1)および第2溝(H2)のみ存在することもでき、第2溝(H2)のみ存在する場合も可能である。なお、溝の深さは、カラーフィルタ層120の厚さと同一であってもよく、カラーフィルタ層120の厚さより薄くてもよい。
画素電極層130は、画素部に対応して複数の画素電極でパターニングされる。具体的に、第1画素部(P1)には、第1画素電極(PE1)、第2画素部(P2)には、第2画素電極(PE2)、及び第3画素部(P3)には、第3画素電極(PE3)が形成される。各画素電極(PE1、PE2、PE3)は、複数の領域を具現するための開口部132が形成され、コンタクトホール122を通じて該当する薄膜トランジスタ250のドレイン電極254と電気的に連結される。
第1カバー層(141a、141b)は、第1カバーパターン141aと第2カバーパターン141bを含む。第1カバーパターン141aは、第1境界領域(B1)に形成され、第1溝(H1)を満たし、第1画素電極(PE1)及び第3画素電極(PE3)の両端部をカバーするように形成される。第2カバーパターン141bは、第2境界領域(B2)の第2溝(H2)を満たし、第1画素電極(PE1)及び第2画素電極(PE2)の両端部をカバーするように形成される。第1カバーパターン141a及び第2カバーパターン141bは、カラーフィルタ層120の露出を完全に遮断する。
望ましくは、第1カバーパターン141a及び第2カバーパターン141bは、約0.4μm〜0.6μmの高さと約5μm〜8μmの線幅に形成され、フラットな形状に形成される。第1カバーパターン141a及び第2カバーパターン141bは、液晶の動作と関係ない領域に形成されるので、フラットな形状に形成されることが望ましい。
柱状スペーサ142は、第1カバー層(141a、141b)と同一の物質で同時に形成される。柱状スペーサ142は、例えば、約1.0μm〜1.5μmの高さと、約10μm〜約15μmの線幅に形成される。
第2カバー層144は、第3境界領域(B3)に形成され、第3溝(H3)を満たし、開口部132によって離隔された第1画素電極(PE1)の両端部をカバーするように形成される。第2カバー層144は、カラーフィルタ層120の露出を完全に遮断する。
望ましくは、第2カバー層144は、液晶の動作に関わる画素部内に形成されることによって、約12°〜15°以下の傾斜角を有するプリズム形状に形成される。第2カバー層144の高さ及び線幅は、開口部132の幅とプリズム形状の傾斜角とによって決定される。望ましくは、第2カバー層144の高さは、約0.4μm〜0.6μmであり、線幅は約5μm〜10μmである。
配向膜150は、画素電極層130、柱状スペーサ142、第1カバー層(141a、141b)、及び第2カバー層144上に形成される。配向膜150は、上部に配置される液晶を特定の方向に配列させる。第1カバー層(141a、141b)、及び第2カバー層144によって配向膜150とカラーフィルタ層120とは完全に遮断され、これによってカラーフィルタ層120の不純物が配向膜150上に配向される液晶層に流入されることを遮断することができる。
図9ないし図13は、図8に示した表示基板の製造過程を示す工程図である。
図3及び図9を参照すると、絶縁基板110上にマトリクス形状に形成された画素部を含む画素層を形成する。画素層を形成する工程は、図7を参照して前述した内容と同一であるので、重複される説明は省略する。
保護膜260が形成された絶縁基板110上にカラーフィルタ層120を形成する。保護膜260が形成された絶縁基板110上に複数のカラーフィルタを順次に形成する。
具体的に、赤色フィルタ層を絶縁基板110上に蒸着及びパターニングして該当する画素部に赤色フィルタを形成し、緑色フィルタ層を蒸着及びパターニングして該当する画素部に緑色フィルタを形成し、青色フィルタ層を蒸着及びパターニングして該当する画素部に青色フィルタを形成する。
このように形成されたカラーフィルタは、ゲートライン220上の第1境界領域(B1)では一つのカラーフィルタ120aが形成され、データライン240上の第2境界領域(B2)で他のカラーフィルタ(120a、120b)が重なって形成される。
図3及び図10を参照すると、カラーフィルタが形成された絶縁基板110に薄膜トランジスタのドレイン電極254を露出させるコンタクトホール122を形成する。コンタクトホール122を形成する工程時、第1、第2、及び第3境界領域(B1、B2、B3)のカラーフィルタ(120a、120b)を除去して第1、第2、及び第3溝(H1、H2、H3)を形成する。
ここで、第1、第2、及び第3溝(H1、H2、H3)は、保護膜260が露出されるようにカラーフィルタ(120a、120b)を完全に除去するか、あるいは一定の厚さを除去して凹んだ溝形状に除去することができる。ここでは、カラーフィルタ層120が完全に除去されることを例とする。
コンタクトホール122、第1、第2、及び第3溝(H1、H2、H3)が形成された絶縁基板110上に画素電極層130を蒸着する。画素電極層130は、コンタクトホール122を通じてドレイン電極254と接触され、電気的に連結される。
ここでは、第1、第2、及び第3溝(H1、H2、H3)をコンタクトホールを形成する工程で同時に形成されることを例として挙げたが、第1溝(H1)及び第3溝(H3)は、カラーフィルタ層120を形成する工程でそれぞれのカラーフィルタをパターニングするときに形成し、第2溝(H2)は、コンタクトホールの形成工程で形成することもできる。
図3及び図11を参照すると、画素電極層130をパターニングして画素部(P1、P2、P3)に画素電極(PE1、PE2、PE3)をそれぞれ形成し、各画素電極(PE1)には、開口部132を形成する。即ち、第1、第2、及び第3境界領域(B1、B2、B3)に対応して画素電極層130をパターニングする。画素電極層130の開口部132にプリズム形状に突起を形成することによって、開口部132の幅は、約1μm〜5μmに形成することでき、これによって画素部の開口率を向上させることができる。
図3及び図12を参照すると、画素電極層130がパターニングされた絶縁基板110上に光硬化性樹脂140を塗布する。光硬化性樹脂は、ネガティブフォトレジスト物質またはポジティブフォトレジスト物質で形成される。光硬化性樹脂140は、十分な厚さに塗布され、第1、第2、及び第3溝(H1、H2、H3)を満たし、カラーフィルタ層120より厚い厚さに塗布される。
マスク400を通じて光硬化性樹脂140をパターニングして、画素電極(PE1、PE2、PE3)の間の第1及び第2境界領域(B1、B2)には、第1及び第2カバーパターン(141a、141b)を形成し、薄膜トランジスタ250上に柱状スペーサ142を形成し、開口部132に対応する第3境界領域(B3)には第2カバー層144を形成する。
具体的に、マスク400は、第1境界領域(B1)及び第2境界領域(B2)に対応してスリット部421が形成され、柱状スペーサ142に対応して第1透過部422が形成され、第2カバー層144に対応して第1透過部422より小さい大きさの第2透過部424が形成される。
図3及び図13を参照すると、スリット部421によって第1境界領域(B1)及び第2境界領域(B2)には第1溝(H1)及び第2溝(H2)を満たし、フラットな形状で突出された第1カバーパターン141a及び第2カバーパターン141bが形成される。第1境界領域(B1)及び第2境界領域(B2)は、液晶の動作と関係ない領域であって、第1カバーパターン141a及び第2カバーパターン141bは、第1画素電極(PE1)と第3画素電極(PE3)との間と、第1画素電極(PE1)と第2画素電極(PE2)との間にフラットな形状で形成される。第1カバーパターン141a及び第2カバーパターン141bは、約0.4μm〜0.6μmの高さ、約5μm〜10μmの線幅に形成される。
第1透過部422によって柱状スペーサ142が形成され、第2透過部424によって第3境界領域(B3)には、第2カバー層144が形成される。柱状スペーサ142は、約1.0μm〜1.5μmの高さと、約10μm〜15μmの線幅とに形成される。
第2カバー層144は、第3溝(H3)を満たし、プリズム形状に突出して形成される。第2カバー層144は、第1画素部(P1)内に形成されることによって、液晶の動作と密接な関係を有する。これによって、第2カバー層144は、約12°〜15°以下の傾斜角(θ)を有するプリズム形状に形成する。
第2カバー層144は、所定の幅(L)で形成された開口部132をカバーするようにプリズム形状で形成することで液晶の応答速度を向上させるとともに開口率を向上させることができる。第2カバー層144の高さ(h)及び線幅(L’)は、開口部132の幅(L)とプリズム形状の傾斜角(θ)によって決定され、望ましくは、第2カバー層144の高さ(h)は、約0.4μm〜0.6μmであり、線幅(L’)は、約5μm〜10μmである。
以上、第1カバー層(141a、141b)、第2カバー層144、及び柱状スペーサ142全て同一の物質を用いてフォトリソグラフィ工程を通じて形成する場合を例としたが、第1カバー層(141a、140b)は、熱硬化性樹脂を用いるインクジェット工程または平板印刷工程を通じて形成することもできる。
その後、絶縁基板110の全面に配向膜150(図8に図示)を形成する。
図14は、本発明の第4実施形態による表示基板の平面図であり、図15は、図14のIII−III’に沿って見た断面図である。
図14及び図15を参照すると、表示基板は、薄膜トランジスタ層280、カラーフィルタ層120、画素電極130、第1カバー層(341a、341b)、第2カバー層344、及び配向膜150を含む。
薄膜トランジスタ層280は、図1及び図2で前述した内容と実質的に同一であるので、概略的に説明する。薄膜トランジスタ層280は、絶縁基板110及び絶縁基板110上に形成された画素層200を含む。画素層200は、ゲートライン220、ゲート絶縁膜230、データライン240、薄膜トランジスタ250、及び保護層260を含む。ゲートライン220とデータライン240とによって複数の画素部(P1、P2、P3)が定義される。
具体的に、第1画素部(P1)は、データライン240側に隣接する第2画素部(P2)と、ゲートライン220側に隣接する第3画素部(P3)とを有する。第1画素部(P1)には、薄膜トランジスタ250、ストレージ配線270に連結されたストレージ電極272が形成される。薄膜トランジスタ250は、ゲート電極251、アクティブ層252、ソース電極253、及びドレイン電極254を含む。
カラーフィルタ層120は、複数の画素部に形成された複数のカラーフィルタを含む。各カラーフィルタは、ジグザグ形状で折り曲げられて形成される。具体的に、第1カラーフィルタ120aは折り曲げられて第1画素部(P1)の一部領域と第2画素部(P2)の一部領域に形成される。第2カラーフィルタ120bは折り曲げられて第2画素部(P2)の一部領域に形成される。即ち、第2画素部(P2)には、第1カラーフィルタ120aおよび第2カラーフィルタ120bが全部形成される。
ゲートライン220側で第1画素部(P1)と隣接する第3画素部(P3)には、第3カラーフィルタ120a’が第2画素部(P1)と同一の形状で折り曲げられて形成される。
カラーフィルタ層120は、ゲートライン220に対応する第1境界領域(B1)には第1カラーフィルタ120aが除去された第1溝(H1)が形成され、互いに異なるカラーフィルタ(120a、120b)が重なった第2境界領域(B2)には、第1カラーフィルタ120a及び第2カラーフィルタ120bが除去された第2溝(H2)が形成される。また、第2カラーフィルタ120b上に形成された第2画素電極(PE2)の開口部133に対応する第3境界領域(B3)には第2カラーフィルタ120bが除去された第3溝(H3)が形成される。一方、必要に応じて第1溝(H1)、第2溝(H2)、第3溝(H3)のうち、少なくとも一つ以上のみ形成することもできる。例えば、第1溝(H1)と第2溝(H2)のみ形成される場合も可能である。また、本発明の一実施形態では、第1溝(H1)、第2溝(H2)、第3溝(H3)がカラーフィルタ層120を全部除去するように形成されたが、第1溝(H1)、第2溝(H2)、第3溝(H3)の深さは、カラーフィルタ層120の厚さより低く形成することもできる。
画素電極層130は、カラーフィルタ(120a、120b)に対応して形成された複数の画素電極(PE1、PE2)を含む。第1画素電極(PE1)は、第1画素部(P1)を複数の領域(domain)に分割するための開口部133を含む。
具体的に、ジグザグ形状に折り曲げられた第1カラーフィルタ120a上に第1カラーフィルタ120aと同一に折り曲げられた第1画素電極(PE1)が形成される。即ち、第1画素電極(PE1)は、第1画素部(PE1)及び第2画素電極(PE2)内に折り曲げられてが形成される。第3画素電極(PE3)は、ゲートライン220を基準として第1画素電極(PE)と対称になるよう形成される。
一方、それぞれの画素電極(PE1、PE2)は、コンタクトホール122を通じて該当する薄膜トランジスタ250のドレイン電極254と電気的に連結される。
第1カバー層は、第1カバーパターン341aおよび第2カバーパターン341bを含む。第1カバーパターン341aは、第1境界領域(B1)に形成されて第1溝(H1)を満たし、第1画素電極(PE1)及び第3画素電極(PE3)の両端部をカバーするように形成される。望ましくは、第1カバーパターン341aは約0.4μm〜0.6μmの高さと約5μm〜8μmの線幅で形成され、フラットな形状に形成される。第1カバーパターン341aは、液晶の動作と関係ない領域に形成されるので、フラットな形状に形成されることが望ましい。
第2カバーパターン341bは、第2境界領域(B2)の第2溝(H2)を満たし、第1画素電極(PE1)及び第2画素電極(PE2)の両端部をカバーするように形成される。望ましくは、第2カバーパターン341bは、液晶の動作に関わる第1画素部(P1)内に形成されることによって、約12°〜15°以下の傾斜角を有するプリズム形状に形成する。第2カバーパターン341bの高さは約0.4μm〜0.6μmであり、線幅は5μm〜10μmである。
柱状スペーサ342は、第1カバー層(341a、341b)と同一の物質で同時に形成される。柱状スペーサ342は、例えば、約1.0μm〜1.5μmの高さと、約10μm〜15μmの線幅に形成される。
第2カバー層344は、第3境界領域(B3)に形成され、第3溝(H3)を満たし、開口部133によって離隔された第1画素電極(PE1)の両端部をカバーするように形成される。
望ましくは、第1カバー層344は、液晶の動作に関わる第2画素部(P2)内に形成されることによって約12°〜15°以下の傾斜角を有するプリズム形状に形成される。第2カバー層344の高さ及び幅は、開口部133の幅とプリズムの傾斜角とによって決定される。望ましくは、第2カバー層344の高さは、約0.4μm〜0.6μmであり、幅は約5μm〜10μmである。
配向膜150は、画素電極層130、柱状スペーサ342、第1カバー層(341a、341b)、及び第2カバー層344上に形成される。配向膜150は、上部に配置される液晶を特定の方向に配列させる。第1カバー層(341a、341b)及び第2カバー層344によって配向膜150とカラーフィルタ層120とは完全に遮断され、これによってカラーフィルタ層120の不純物によって配向膜150上に配向される液晶層に流入されることを防止することができる。
図14及び図15に示した第4実施形態による表示基板は、図9ないし図13を参照して説明した第3実施形態による表示基板の製造方法と実質的に同一である。
ただし、図15に示した第2カバーパターン341bはプリズム形状に突出されて形成されるが、図13ではフラットな形状で突出されて形成される。即ち、図15に示した第2カバーパターン341bは、折り曲げられた画素電極(PE1、PE2)の間に形成されることによって第2画素部(P2)内に形成される。即ち、第2カバーパターン341bは、液晶の動きと密接な領域に形成されることによって12°〜15°の傾斜角を有するプリズム形状のパターンに形成される。
したがって、第4実施形態による第2カバーパターン341bは、図13で説明された第2カバー層144と同一の工程によってプリズム形状にパターニングされる。その他の製造方法は第3実施形態の製造方法と実質的に同一である。
図16は、本発明の第5実施形態による表示装置を示す断面図である。
図16を参照すると、表示装置300は、表示基板100、表示基板100と対向して結合された対向基板500、及び表示基板100と対向基板500との間に配置された液晶層600を含む。
表示基板100は、図2に示したものと同一の構造を有するので、同一の構成要素に対しては同一の参照番号を用い、その重複される詳細な説明は省略する。
対向基板500は、絶縁基板510、絶縁基板510上に形成された共通電極520、及び共通電極520上に形成された配向膜530を含む。
共通電極520は、表示基板100と向い合う絶縁基板510の対向面に形成される。共通電極520は、光の透過のために透明の導電性物質からなる。例えば、共通電極520は、画素電極層130と同一のインジウム亜鉛酸化物(IZO)またはインジウムスズ酸化物(ITO)からなる。
液晶層600は、異方性屈折率、異方性誘電率などの光学的、電気的特性を有する液晶が一定の形態で配列された構造を有する。液晶層600は、画素電極層130と共通電極520との間に形成される電界によって液晶の配列が変化し、液晶の配列変化によって通過する光の透過率を制御する。
このような表示基板、これの製造方法、及びこれを有する表示装置によると、第一に、表示基板上に形成されたカラーフィルタ層が画素電極層の開口された領域を通じて配向膜と直接的に接触されることを遮断して液晶が汚染されることを防止し、液晶の汚染による残像などの表示不良を除去することができる。
第2に、液晶の動作と関係ない画素電極の間には、フラットな形状に突出されたカバー層が形成され、液晶の動作と密接な画素電極間には、プリズム形状に突出されたカバー層を形成する。これによって、画素電極間の開口幅を最小化して透過率を向上させるとともに液晶の応答速度を維持及び向上させることができる。
以上、本発明の実施形態によって詳細に説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明が属する技術分野において通常の知識を有するものであれば本発明の思想と精神を離脱することなく、本発明を修正または変更できる。
本発明の第1実施形態による表示基板の平面図である。 図1のI−I’に沿って見た断面図である。 本発明の第2実施形態による表示基板の平面図である。 図1及び図2に示した表示基板の製造過程を示す工程図である。 図1及び図2に示した表示基板の製造過程を示す工程図である。 図1及び図2に示した表示基板の製造過程を示す工程図である。 図1及び図2に示した表示基板の製造過程を示す工程図である。 本発明の第3実施形態による表示基板の断面図である。 図8に示した表示基板の製造過程を示す工程図である。 図8に示した表示基板の製造過程を示す工程図である。 図8に示した表示基板の製造過程を示す工程図である。 図8に示した表示基板の製造過程を示す工程図である。 図8に示した表示基板の製造過程を示す工程図である。 本発明の第4実施形態による表示基板の平面図である。 図14のIII−III’に沿って見た断面図である。 本発明の第5実施形態による表示装置の断面図である。
符号の説明
100 表示基板、
110 絶縁基板、
120 カラーフィルタ層、
130 画素電極層、
132 開口部、
141 第1カバー層、
141a 第1カバーパターン、
141b 第2カバーパターン、
142 柱状スペーサ、
144 第2カバー層、
150 配向膜、
220 ゲートライン、
240 データライン、
250 薄膜トランジスタ、
260 保護膜、
280 薄膜トランジスタ層、
300 表示装置、
400 マスク、
500 対向基板、
520 共通電極、
600 液晶層。

Claims (26)

  1. 画素部を含む薄膜トランジスタ層と、
    前記薄膜トランジスタ層上に形成されたカラーフィルタ層と、
    前記カラーフィルタ層上に形成され、少なくとも一つのギャップを定義する画素電極と、
    前記隣接する画素電極の間の前記ギャップ内に配置され、前記隣接する画素電極の間の前記ギャップによって露出された前記カラーフィルタ層の一部をカバーする第1カバー層と、
    前記画素電極および前記第1カバー層上に形成された配向膜と、
    を含むことを特徴とする表示基板。
  2. 前記カラーフィルタ層は、前記画素電極の間の前記ギャップに対応する第1溝が形成されることを特徴とする請求項1記載の表示基板。
  3. 前記第1カバー層は、前記第1溝に形成されることを特徴とする請求項2記載の表示基板。
  4. 前記薄膜トランジスタ層は、
    絶縁基板上に形成されたゲートラインと、
    前記ゲートラインと交差して形成されたデータラインと、
    前記ゲートラインおよび前記データラインに連結された薄膜トランジスタと、
    を含むことを特徴とする請求項1記載の表示基板。
  5. 前記第1カバー層は、
    前記ゲートライン及び前記データラインに対応する制御できない領域上に形成された第1カバーパターンと、
    前記ゲートラインと前記データラインとの間に対応する前記画素部内に形成された第2カバーパターンと、
    を含むことを特徴とする請求項4記載の表示基板。
  6. 前記第1カバーパターンは、フラットな形状であることを特徴とする請求項5記載の表示基板。
  7. 前記第2カバーパターンは、プリズム形状であることを特徴とする請求項5記載の表示基板。
  8. 前記画素電極上の前記第1カバー層は、0.4μm〜0.6μmの高さを有することを特徴とする請求項1記載の表示基板。
  9. 前記第1カバー層は、5μm〜8μmの線幅を有することを特徴とする請求項1記載の表示基板。
  10. 前記カラーフィルタ層は、ジグザグ形状を有することを特徴とする請求項9記載の表示基板。
  11. 前記画素電極は、前記カラーフィルタ層と同一の形状を有することを特徴とする請求項10記載の表示基板。
  12. 各画素電極は、少なくとも一つの開口部によって分割された複数の領域を含むことを特徴とする請求項1記載の表示基板。
  13. 前記開口部を通じて露出された前記カラーフィルタ層をカバーする第2カバー層をさらに含むことを特徴とする請求項12記載の表示基板。
  14. 前記第2カバー層は、前記第1カバー層と同一の物質で形成されることを特徴とする請求項13記載の表示基板。
  15. 前記第2カバー層は、プリズム形状であることを特徴とする請求項13記載の表示基板。
  16. 前記カラーフィルタ層は、前記開口部に対応して第2溝が形成されることを特徴とする請求項13記載の表示基板。
  17. 前記第2カバー層は、前記第2溝に形成され、前記開口部を通じて露出された前記カラーフィルタ層をカバーすることを特徴とする請求項16記載の表示基板。
  18. 前記第1カバー層より高い高さに突出して形成された柱状スペーサを更に含むことを特徴とする請求項1記載の表示基板。
  19. 前記第1カバー層および前記柱状スペーサは、同一の物質で形成されることを特徴とする請求項18記載の表示基板。
  20. 各画素電極は、前記画素電極を複数の領域に分割する少なくとも一つの開口部を含み、前記表示基板は、前記開口部に対応する前記カラーフィルタ層上の第2溝を更に含むことを特徴とする請求項1記載の表示基板。
  21. 各画素電極は、前記画素電極を複数の領域に分割する少なくとも一つの開口部を含み、少なくとも一つの領域は、複数の画素領域を貫通して延長されることを特徴とする請求項1記載の表示基板。
  22. 各画素電極は、前記画素電極を複数の領域に分割する少なくとも一つの開口部を含み、各領域は、ジグザグ形状を有することを特徴とする請求項1記載の表示基板。
  23. 各画素電極は、前記画素電極を複数の領域に分割する少なくとも一つの開口部を含み、前記表示基板は、前記少なくとも一つの開口部を通じて露出される前記カラーフィルタ層の露出された部分をカバーする第2カバー層を更に含むことを特徴とする請求項1記載の表示基板。
  24. 絶縁基板上に画素部を含む薄膜トランジスタ層を形成する段階と、
    前記薄膜トランジスタ層上にカラーフィルタ層を形成する段階と、
    前記カラーフィルタ層上に複数の画素電極を形成する段階と、
    前記画素電極の間の前記カラーフィルタ層をカバーする第1カバー層を形成する段階と、
    前記画素電極と前記第1カバー層上に配向膜を形成する段階と、
    を含むことを特徴とする表示基板の製造方法。
  25. 表示基板と、
    前記表示基板と対向して結合された対向基板と、
    前記表示基板と前記対向基板との間に配置された液晶層と、を含み、
    前記表示基板は、
    画素部を含む薄膜トランジスタ層と、
    前記薄膜トランジスタ層上に形成されたカラーフィルタ層と、
    前記カラーフィルタ層上に形成され、少なくとも一つのギャップを定義する画素電極、
    前記画素電極の間の前記ギャップ内に配置され、前記ギャップによって露出すされる前記カラーフィルタ層の一部をカバーするカバー層と、
    前記画素電極と前記カバー層上に形成された第1配向膜と、を含むことを特徴とする表示装置。
  26. 前記対向基板は、
    前記表示基板と向い合う絶縁基板の対向面に形成された共通電極と、
    前記共通電極上に形成された第2配向膜と、
    を含むことを特徴とする請求項35記載の表示装置。
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