JP2007133371A5 - - Google Patents
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- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 2
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006258180A JP5105811B2 (ja) | 2005-10-14 | 2006-09-25 | 表示装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005301022 | 2005-10-14 | ||
JP2005301022 | 2005-10-14 | ||
JP2006258180A JP5105811B2 (ja) | 2005-10-14 | 2006-09-25 | 表示装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011246099A Division JP5417412B2 (ja) | 2005-10-14 | 2011-11-10 | 表示装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007133371A JP2007133371A (ja) | 2007-05-31 |
JP2007133371A5 true JP2007133371A5 (pt) | 2009-10-22 |
JP5105811B2 JP5105811B2 (ja) | 2012-12-26 |
Family
ID=38155042
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006258180A Active JP5105811B2 (ja) | 2005-10-14 | 2006-09-25 | 表示装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5105811B2 (pt) |
Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4932602B2 (ja) * | 2006-11-14 | 2012-05-16 | 三菱電機株式会社 | 多層薄膜パターン及び表示装置の製造方法 |
KR101415561B1 (ko) * | 2007-06-14 | 2014-08-07 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 표시판 및 그의 제조 방법 |
JP5380037B2 (ja) | 2007-10-23 | 2014-01-08 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
KR101448903B1 (ko) | 2007-10-23 | 2014-10-13 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체장치 및 그의 제작방법 |
US7824939B2 (en) | 2007-10-23 | 2010-11-02 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing display device comprising separated and electrically connected source wiring layers |
EP2232561A4 (en) | 2007-12-03 | 2015-05-06 | Semiconductor Energy Lab | METHOD OF MANUFACTURING A THIN FILM TRANSISTOR AND METHOD OF MANUFACTURING A DISPLAY ARRANGEMENT |
JP5377940B2 (ja) * | 2007-12-03 | 2013-12-25 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
US8035107B2 (en) | 2008-02-26 | 2011-10-11 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing display device |
WO2009107686A1 (en) | 2008-02-27 | 2009-09-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Liquid crystal display device and manufacturing method thereof, and electronic device |
US8101442B2 (en) | 2008-03-05 | 2012-01-24 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing EL display device |
US7989275B2 (en) | 2008-03-10 | 2011-08-02 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Thin film transistor, manufacturing method thereof, display device, and manufacturing method thereof |
US7985605B2 (en) | 2008-04-17 | 2011-07-26 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light-emitting device and manufacturing method thereof |
US9041202B2 (en) | 2008-05-16 | 2015-05-26 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method of the same |
US7790483B2 (en) | 2008-06-17 | 2010-09-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Thin film transistor and manufacturing method thereof, and display device and manufacturing method thereof |
US8741702B2 (en) * | 2008-10-24 | 2014-06-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing semiconductor device |
US8207026B2 (en) | 2009-01-28 | 2012-06-26 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Manufacturing method of thin film transistor and manufacturing method of display device |
KR101015850B1 (ko) * | 2009-02-09 | 2011-02-24 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 유기 발광 표시 장치 제조 방법 |
US7989234B2 (en) | 2009-02-16 | 2011-08-02 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing thin film transistor and method for manufacturing display device |
US8461582B2 (en) | 2009-03-05 | 2013-06-11 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
US20100224878A1 (en) | 2009-03-05 | 2010-09-09 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
JP5514474B2 (ja) * | 2009-05-29 | 2014-06-04 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 薄膜トランジスタの作製方法、不揮発性半導体記憶素子の作製方法 |
TWI746064B (zh) | 2009-08-07 | 2021-11-11 | 日商半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置和其製造方法 |
KR101835748B1 (ko) | 2009-10-09 | 2018-03-07 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 발광 표시 장치 및 이를 포함한 전자 기기 |
JP6076626B2 (ja) * | 2012-06-14 | 2017-02-08 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置及びその製造方法 |
CN103258827B (zh) * | 2013-04-28 | 2016-03-23 | 京东方科技集团股份有限公司 | 阵列基板及其制作方法、显示装置 |
TWI649606B (zh) * | 2013-06-05 | 2019-02-01 | 日商半導體能源研究所股份有限公司 | 顯示裝置及電子裝置 |
CN103413898B (zh) * | 2013-08-29 | 2015-11-11 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 有机发光二极管阳极连接结构及其制作方法 |
JP6497876B2 (ja) * | 2014-09-01 | 2019-04-10 | 三菱電機株式会社 | 液晶表示パネル、及びその製造方法 |
KR102651136B1 (ko) * | 2016-04-12 | 2024-03-25 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 |
CN105742299B (zh) * | 2016-05-16 | 2019-11-29 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种像素单元及其制作方法、阵列基板及显示装置 |
JP2019074684A (ja) | 2017-10-18 | 2019-05-16 | シャープ株式会社 | 表示パネル用基板の製造方法 |
WO2023243460A1 (ja) * | 2022-06-15 | 2023-12-21 | ソニーグループ株式会社 | 液晶表示素子および表示装置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3284187B2 (ja) * | 1998-01-29 | 2002-05-20 | シャープ株式会社 | 液晶表示装置およびその製造方法 |
JP2955277B2 (ja) * | 1997-07-28 | 1999-10-04 | シャープ株式会社 | 液晶表示装置 |
JP3281849B2 (ja) * | 1997-10-07 | 2002-05-13 | シャープ株式会社 | アクティブマトリクス型液晶表示装置 |
JP4167335B2 (ja) * | 1998-01-30 | 2008-10-15 | シャープ株式会社 | 液晶表示装置 |
JP2001326360A (ja) * | 2000-05-18 | 2001-11-22 | Sharp Corp | アクティブマトリクス基板の製造方法およびアクティブマトリクス基板および薄膜電界効果トランジスタの製造方法 |
KR100858297B1 (ko) * | 2001-11-02 | 2008-09-11 | 삼성전자주식회사 | 반사-투과형 액정표시장치 및 그 제조 방법 |
JP4302347B2 (ja) * | 2001-12-18 | 2009-07-22 | シャープ株式会社 | 薄膜トランジスタ基板及びその製造方法 |
JP4373086B2 (ja) * | 2002-12-27 | 2009-11-25 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置 |
JP4085094B2 (ja) * | 2004-02-19 | 2008-04-30 | シャープ株式会社 | 導電素子基板の製造方法、液晶表示装置の製造方法 |
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KR101139522B1 (ko) * | 2004-12-04 | 2012-05-07 | 엘지디스플레이 주식회사 | 반투과형 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 |
-
2006
- 2006-09-25 JP JP2006258180A patent/JP5105811B2/ja active Active
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