JP2007128049A - 表示パネル - Google Patents

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Abstract

【課題】ELパネルの各EL素子に均一な電力を供給する。
【解決手段】EL素子に電力を供給する駆動電流配線が、表示領域内に配置される枝配線の他に、表示領域の周辺部の2辺以上に沿って、枝配線20よりも断面積の大きい幹配線26,28(72,74)を備える。幹配線を、表示領域を囲うように配置することで、電源端子から画素までの駆動電源配線の経路のうち、幹配線の割合を高める。これにより、駆動電源の電圧降下を小さくし、ELパネルの各EL素子へ均一な電力供給を実現する。
【選択図】図2

Description

本発明は、複数の画素がマトリクス配置された表示パネル、特に、各画素の表示素子に電力を供給する配線に関する。
電流駆動型表示素子として、自発光型のエレクトロルミネッセンス(EL)素子、特に発光層に有機発光材料を用いた有機EL素子が知られている。また、各画素に画素トランジスタ(薄膜トランジスタ:TFT)を設け、このトランジスタによって画素毎に表示素子を制御するいわゆるアクティブマトリクス型の表示装置は、高品質の表示を実現する上で有利であり、表示素子として、上記EL素子を採用したアクティブマトリクス型表示装置の開発も進められている。
図9は、アクティブマトリクス型EL表示装置の1画素当たりの等価回路の一例を示している。表示装置の水平走査方向(行方向)にゲートラインGLが、また垂直走査方向(列方向)にはデータラインDLおよび電源ラインPLが設けられている。各画素は、nチャネル型薄膜トランジスタからなる選択トランジスタTs、保持容量Cs、pチャネルの素子駆動トランジスタTd、有機EL素子55を有する。選択トランジスタTsは、そのドレインが垂直走査方向に並んだ各画素にデータ信号を供給するデータラインDLに接続され、そのゲートは水平走査方向に並んだ画素を選択するゲートラインGLに接続され、さらにソースは、素子駆動トランジスタTdのゲートに接続されている。
また、素子駆動トランジスタTdは、そのソースが電源ラインPLに接続され、ドレインは有機EL素子55のアノードに接続されている。なお、この有機EL素子55のカソードは、各画素共通に形成されたカソード電源CVに接続されている。また、素子駆動トランジスタTdのゲートおよび選択トランジスタTsのソースとの間には、保持容量Csの一方の電極が接続され、その保持容量Csの他方の電極は、例えばグランドや、電源ラインなどの一定電圧の電源に接続されている。
このような回路において、選択信号が出力されて、ゲートラインGLがHighレベルになると、選択トランジスタTsがオンし、データラインDLのデータ信号が、選択トランジスタTsを介して保持容量Csに供給されるとともに、素子駆動トランジスタTdのゲートに供給され、素子駆動トランジスタTdが、そのゲート信号電圧に応じた駆動電流を電源ラインPLより有機EL素子55に供給し、EL素子55は、この駆動電流に応じた輝度で発光する。なお、保持容量Csが供給されたデータ信号に応じた電荷を保持することで、素子駆動トランジスタTdのゲート電圧が、一定期間データ信号に応じた電圧に維持される。したがって、ゲートラインGLがLowレベルになっても、保持容量Csの保持電圧により素子駆動トランジスタTdが動作して駆動電流の供給が維持され、有機EL素子55の発光が継続される。
図10は、下記特許文献1に開示された有機EL表示パネル100の概略構成を示す平面図である。この図において、一番外側の実線は透明のパネル基板102を示す。また、パネル基板102には、その中央やや上側に、上述の画素がマトリクス状に配置された破線で示す表示領域104が設けられている。表示領域104の外側で、パネルの水平走査方向に沿った辺の一方(ここでは上辺側)には、データラインDLにデータ信号を出力する水平走査駆動回路(以下、H系ドライバと記す)106が形成されている。また、パネルの水平走査方向に沿った辺の他方(ここでは下辺側)には、パネル100にデータ信号や、各種タイミング信号、電源などを供給するための外部接続端子Tが設けられている。表示領域104の外側で、パネルの垂直走査方向に沿った左右の辺には、ゲートラインGLに順次選択信号(ゲート信号)を出力する垂直走査駆動回路(以下、V系ドライバと記す)108が形成されている。なお、これらのドライバ106,108は、各画素に形成された画素トランジスタと同時に作り込まれた薄膜トランジスタなどから構成されている。
表示領域104内で垂直走査方向に延びる太い実線は、電源ラインPLを示している。個々の電源ラインPLは、表示領域104の下側の辺に沿って延びる水平方向の幅広部110につながり、全体で櫛歯形状になっている。幅広部110は更に、その中央付近で、垂直方向に延びる幅広の配線引き出し部112につながっている。さらに、この幅広の配線引き出し部112は、外部接続端子の内、対応する駆動電源端子T1に接続されている。
ここで、有機EL表示パネル100の下辺に複数併設された外部接続端子は、上記駆動電源端子T1の他、カソード端子T2、V系ドライバ108にタイミング信号等を供給する端子T3、H系ドライバ106にタイミング信号やデータ信号を供給する端子T4などである。
特開2001−102169号公報
各画素のEL素子に素子駆動トランジスタTdを介して接続され、電流をEL素子に供給する各電源ラインPLは、上記特許文献1に記載されるように、表示領域の周辺部の1辺に沿って設けられた幅広部110に接続され、この幅広部110は、やはり幅広に形成された引き出し配線112を介して電源端子T1に接続されている。幅広部110、幅広の引き出し配線112を採用するのは、各電源ラインPLに対してできるだけ少ない電力損失にて、駆動電流を供給するためである。しかし、各EL素子に接続された表示領域内の電源ラインPLについては、端子T1からの配線距離が長くなるほどその配線抵抗によって発生する電圧降下が大きくなる。このため、電源端子T1からの配線距離が長い位置にある画素のEL素子ほど、短い位置にある画素のEL素子と比較して発光輝度が低くなってしまう。すなわち、表示領域の中でEL素子の発光輝度に勾配が発生し、このような表示領域内での発光輝度の差は、輝度ムラとして認識され、表示装置としての表示品質の低下が避けられない。さらに、このような発光輝度の勾配は、表示パネル面積が大きくなるほど、また、画素数が増えて高精細化するほど顕著となり、表示装置の大型化や高精細化の妨げにつながる。
本発明は、表示素子に供給される電力の表示領域内での均一化を図る。
本発明は、表示領域内にマトリクス状に配置された複数の画素を備える表示パネルにおいて、各画素には、電源配線から供給される電力に応じた表示動作を行う表示素子が設けられ、前記電源配線は、該表示領域内に配置され、前記表示素子に電気的に接続されて該表示素子に電力を供給する複数の枝配線と、該表示領域の周辺部に配置され、前記複数の枝配線に電気的に接続された幹配線と、を有し、前記表示領域の周辺部の少なくとも2辺に沿って、前記幹配線が形成されており、前記幹配線の配線幅は、前記枝配線の配線幅よりも太い。
本発明の他の態様では、表示領域内にマトリクス状に配置された複数の画素を備える表示パネルにおいて、各画素には、電源配線から供給される電力に応じた表示動作を行う表示素子が設けられ、前記電源配線は、該表示領域内に配置され、前記表示素子に電気的に接続されて該表示素子に電力を供給する複数の枝配線と、該表示領域の周辺部に配置され、前記複数の枝配線に電気的に接続された幹配線と、を有し、前記表示領域の周辺部の少なくとも3辺に沿って、前記幹配線が形成されている。また、この表示パネルにおいて、前記表示領域の周辺部の少なくとも2辺で、前記幹配線の配線幅は、前記枝配線の配線幅よりも太くすることができる。
本発明の他の態様では、表示領域内にマトリクス状に配置された複数の画素を備える表示パネルにおいて、各画素には、電源配線から供給される電力に応じた表示動作を行う表示素子が設けられ、前記電源配線は、該表示領域内に配置され、前記表示素子に電気的に接続されて該表示素子に電力を供給する複数の枝配線と、該表示領域の周辺部に配置され、前記複数の枝配線に電気的に接続された幹配線と、を有し、前記電源配線が電気的に接続される外部接続端子は、前記表示領域の垂直走査方向に沿った第1辺に設けられ、前記幹配線は、前記第1辺から延び、少なくとも前記表示領域の水平走査方向に沿った第2辺と、前記第2辺に前記表示領域を挟んで対向する第4辺と、に沿って設けられ、前記複数の枝配線は、該第2辺及び第4辺にそれぞれ接続され、かつそれぞれ垂直走査方向に沿って形成されている。
本発明の他の態様では、前記幹配線は、前記表示領域の周辺部において、前記外部接続端子の設けられた前記第1辺と前記表示領域を挟んで対向する第3辺にも設けられ、前記第1辺に配置された前記幹配線の断面積よりも前記第3辺に配置された前記幹配線の断面積が大きい。
上記表示パネルにおいて、前記電源配線が電気的に接続される外部接続端子は、前記表示領域の垂直走査方向に沿った第1辺に設けられ、前記幹配線は、少なくとも前記第1辺から前記表示領域の水平走査方向に沿った第2辺に沿って設けられ、該第2辺から垂直走査方向に向かって前記複数の枝配線が設けられている。
本発明の他の態様では、上記表示パネルにおいて、前記幹配線は、前記表示領域の周辺部において、前記外部接続端子の設けられた前記第1辺と前記表示領域を挟んで対向する第3辺と、前記第2辺と前記表示領域を挟んで対向する第4辺にも設けられ、前記第1辺に配置された前記幹配線の断面積よりも前記第3辺に配置された前記幹配線の断面積が大きい。
本発明の他の態様では、前記幹配線の断面積が前記枝配線の断面積より大きい。この幹配線は、前記表示領域の周辺部の4辺に沿って配置してもよく、前記幹配線は表示領域の全周を囲って配置してもよい。
さらに、前記表示素子は、例えば、電流駆動型のエレクトロルミネッセンス素子が採用できる。
本発明の他の態様では、上記表示パネルにおいて、前記幹配線は、前記枝配線と同時に形成され同一材料からなる第1配線層の他に、該第1配線層とは別に形成され、該第1配線層に電気的に接続された第2配線層を備える。
本発明の他の態様では、上記表示パネルにおいて、前記表示素子は、画素毎に個別の下部電極と、各画素で共通の上部電極とを有し、前記第2配線層は、前記上部電極と同時に形成され、同一材料から構成されている。また、この第2配線層としては、前記表示領域の周辺領域において、前記第1配線層の上に形成された絶縁層のさらに上層に形成された層を用いることができる。
表示領域に設けられて各画素の表示素子に電気的に接続された枝配線とは別に、表示領域の周辺部の少なくとも2辺以上に、枝配線に電気的に接続された幹配線を設けることにより、表示パネル全体として電源配線の配線抵抗を低減することができる。また、表示領域の周辺部に幹配線を設けることで、画素ピッチなどに制約されず、幹配線の線幅や、断面積などを増やすことができる。
例えば、この幹配線を表示領域の周辺部の複数辺に沿って配置することにより、外部接続端子から、表示領域内の一端から枝配線を経由して電力が各表示素子に供給されるだけでなく、表示領域の周辺部を回り込むように幹配線を経由して枝配線の他端側からも電力が供給される。よって、画素領域を1方向に配置される場合の枝配線であってもその両端部の電圧値を近づけることが可能となる。
さらに、表示領域の周辺部の複数辺に対して幹配線が設けられる場合に、電源配線が電気的に接続される外部接続端子に近い辺より遠い辺の配線幅、断面積を大きくすることで、電圧降下が大きくなる端子からの遠距離側で配線抵抗を下げ、電圧降下を小さくすることができる。つまり、外部電源端子から画素までの駆動電源配線の経路のうち、配線抵抗の低い幹配線の割合を高めることができ、電圧降下を小さくすることができる。
また、幹配線として、枝配線と同時に形成され同一材料からなる第1配線層の他に、第1配線層とは別に形成され、第1配線層に電気的に接続された第2配線層を設けることで、パネル平面方向での面積を抑制しながら、幹配線としての断面積を増やすことができる。よって、表示面積を減らさずに電源配線の配線抵抗の低減を図ることができる。
(実施形態1)
以下、本発明の実施形態を、図面に従って説明する。図1は、本実施形態に係る表示装置として、各画素にEL素子とこれを駆動する薄膜トランジスタを備えるアクティブマトリクス型EL表示装置10のパネル部分の概略構成を示す。パネル基板12は、例えばガラスやプラスチックなどの絶縁基板が用いられ、このパネル基板12上の表示領域14には、複数の画素がマトリクス状に配置されている。表示領域14のマトリクスの水平走査(行)方向には、行毎にゲートライン16(GL)が設けられ、各ゲートライン16に順次選択信号が出力される。垂直走査(列)方向には、列毎にデータライン18(DL)が設けられ、データ信号が出力される。また、電源ライン20(PL)が、データライン18と同じく列毎に設けられており、各画素の表示素子(被駆動素子)であるEL素子に動作電力(ここでは特に電流)(PVDD)を供給する。
各画素は、概ねこれらのラインによって規定された領域に構成されており、1画素は、例えば、表示素子として有機EL素子、選択トランジスタTr1、素子駆動トランジスタTr2、保持容量Csを備える。
選択トランジスタTr1は、ここでは、nチャネル型薄膜トランジスタ(TFT)より構成され、素子駆動トランジスタTr2は、ここでは、pチャネル型TFTより構成される。選択トランジスタTr1は、そのドレインが垂直走査方向に並ぶ各画素にデータ電圧を供給するデータライン18に接続され、ゲートが1水平走査ライン上に並ぶ画素を選択するためのゲートライン16に接続されている。
素子駆動トランジスタTr2は、ゲートが選択トランジスタTr1のソースに接続され、そのソースが電源ライン20に接続され、ドレインが有機EL素子55の第1電極(ここでは、アノード)に接続されている。また、本実施形態では、有機EL素子55の上記第1電極(アノード)は、各画素個別のパターンに形成され、一方の第2電極(カソード)は、各画素共通で形成され、そして、共通のカソード電源CVに接続されている。また、素子駆動トランジスタTr2のゲートおよび選択トランジスタTr1のソースには、保持容量Csの一方電極(第1電極)が接続され、他方の電極(第2電極)は、定電圧に維持され、ここでは、電源ライン20に接続され、電源電圧(PVDD)に保たれている。
なお、上記選択トランジスタTr1および素子駆動トランジスタTr2は、いずれも能動層には、半導体材料、例えば非晶質シリコンや、例えばレーザアニール等によって多結晶化された多結晶シリコンなどの結晶性のシリコンを用いることができる。また、結晶性シリコンを能動層に用いた場合、ゲートをマスクとして、能動層にn導電型不純物と、p導電型不純物をそれぞれドープして、nチャネル型、pチャネル型の薄膜トランジスタを容易に形成できる。
上記結晶性シリコン薄膜トランジスタは、各画素回路だけでなく、各画素回路のトランジスタ等を順次選択、制御するための周辺駆動回路の回路素子としても用いることができる。そこで、本実施形態の有機EL表示装置10においては、パネル基板12上に、前述の画素用トランジスタの製造と同時に、画素用トランジスタと同様の構成の結晶性シリコン薄膜トランジスタを形成し、周辺駆動回路を内蔵している。周辺駆動回路は、ここでは、具体的にはH系ドライバ22とV系ドライバ24であり、図1に示されるように、H系ドライバ22は表示領域14の周辺の水平走査方向に沿った領域に設け、V系ドライバ24は、表示領域14の垂直走査方向に沿った領域に設けている。
さらに、表示領域14の上記H系ドライバ22と対向する辺領域(図1では、パネル基板の下辺領域)には、駆動電源PVDDからの駆動電流を各画素に供給するための駆動電流配線の一部である駆動電流幹配線26が配置される。前述の表示領域中に延びる各電源ライン(枝配線)20は、この幹配線26の形成領域まで延びて該幹配線26と電気的に接続されており、電源ライン20と幹配線26とは、駆動電流配線(駆動電源配線)を構成している。本実施形態では、上記H系ドライバ22と間に表示領域14を挟んで対向する周辺に形成された幹配線26だけでなく、この幹配線(以下第1幹配線)26と対向する辺、即ち、H系ドライバ22の形成辺にも幹配線(以下第2幹配線)28が形成されている。より具体的には、この例では、上記第2幹配線28には、H系ドライバ22と表示領域14との間に設けられており、電源ライン20の第1幹配線26と接続された端部と反対側の端部がそれぞれ接続されている。
ここで、本実施形態に係るEL表示パネルでは、パネル内のH系、V系ドライバ22,24や、上記駆動電流配線(20,26,28)等に対し、各種タイミング信号、データ信号、電源等を供給するための外部回路に接続される外部接続端子32が、パネルの垂直走査方向に沿った対向する2辺の内の1辺に設けられている。もちろん、本実施形態は、H系ドライバ22と対向する水平走査方向に沿った辺(図1ではパネル下辺)等、他の辺にこの外部接続端子32が形成されている場合にも適用でき、いずれの辺に設ける場合にも、枝配線(電源ライン20)と接続された幹配線を、2以上の複数の辺に沿って設ける。
なお、外部接続端子32は、図1の例では、上述のようにパネル基板12の左辺に配置され、表示領域14を挟んでV系ドライバ24と対向配置されている。また、この外部接続端子32には、フレキシブル・プリンテッド・サーキット(以下、FPCと記す)30が接続されており、このFPC30を介して外部回路に接続されている。外部接続端子32をパネル基板12の左辺(第1辺)に設ける場合、H系ドライバ用の信号が供給されるH系端子からH系ドライバ22への配線、V系ドライバ用の信号が供給されるV系端子からV系ドライバ24への配線、PVDD端子から駆動電流幹配線26への配線、クロック信号やスタート信号の電圧レベルをシフトするレベルシフタ(LS)、カソード電源(CV)端子から共通カソードへの引き出し配線が、いずれもパネルの第1辺に沿って配置される。
図2は、図1に示す有機EL表示装置10のパネル部分における駆動電流配線の構成を説明する図である。前述したように、駆動電流配線の第1の幹配線26および第2の幹配線28は、表示領域14周辺の水平走査方向に沿った2辺にそれぞれ設けられ、垂直走査方向に沿って延びる枝配線20の両端が、それぞれ第1、第2の幹配線26,28に接続されている。
そして、本実施形態では、第1、第2の幹配線26,28の断面積を枝配線20より大きく形成しており、より具体的には2倍以上大きくすることが好ましい。これらの駆動電流配線を同一の導電層をパターニングして同時に形成する場合、膜厚は共通であるから、配線の断面積の調整は、配線の幅(配線の延在方向に直交する方向の長さ)で調整する。つまり、図2のように、第1,第2幹配線26,28は、それぞれ枝配線20の線幅の2倍以上の線幅で形成されている。枝配線20は、表示領域14内において垂直走査方向に配線されており、表示面積(開口率)の減少につながるためその線幅には制限がある。しかし、幹配線26,28は、表示領域の周辺部に形成するため、レイアウトの余裕の許容範囲内で幅を広げることが可能である。よって、枝配線20の線幅が広げられずに電圧降下が発生しやすい状況であっても、この幹配線26,28の幅を広げることで、第1及び第2幹配線26,28での配線抵抗を下げ、さらに、この第1及び第2幹配線26,28は複数の枝配線20に共通に接続されているため、枝配線間での電圧差と、各枝配線の端部間での電圧差を低減することが可能となる。よって、外部接続端子32からの配線距離の長い位置にある画素に対しても配線距離の短い位置にある画素と同等の電力を対応する枝配線20から供給することが容易となる。なお、もちろん、駆動電流配線の各部に、膜厚や材質の異なる導電層をそれぞれに用いた場合であっても、レイアウトの許容範囲内で第1、第2幹配線26,28の線幅はできるだけ広くすることが好適である。
図3は、本実施形態に係る駆動電流配線の他の構成例を示す。なお、上記図2と共通する部分には同一符号を付し、説明を省略する。
図3では、表示領域14の周辺部の3以上の辺に沿って幹配線を設けた例を示しており、より具体的には、矩形の表示領域の周辺部の4辺全てに幹配線が設けられ、かつ、互いに電気的に接続されて設けられている。即ち、図2の駆動電流配線と同様にパネルの水平走査方向に沿った下辺及び上辺に沿って第1幹配線26および第2幹配線28が形成され、さらに、これら第1,第2の幹配線の水平走査方向の両端部をそれぞれ接続するように、表示領域14の周辺部の垂直走査方向に沿った2辺にそれぞれ幹配線72、74が形成されている。外部接続端子32は、図2と同様垂直走査方向に沿ったパネル左辺(第1辺)に設けられている。また、第1の幹配線26は、この端子32の一部に接続され、かつ、第1辺から延び、第2辺に沿うように設けられ、この第1の幹配線26と対向する第4辺に沿って第2幹配線28が設けられ、さらに、外部接続端子32と同じ第1辺に沿って、第3の幹配線72が設けられ、第1辺に表示領域14を挟んで対向する第3辺に、第4幹配線74が形成されている。
なお、第3および第4の幹配線72,74は、どちらか一方のみ設けるようにしてもよい。外部接続端子32から供給される電流は、一部が第3,第4の幹配線72,74を通って、上辺の第2の幹配線28に流れ、第1幹配線26からの電流とあわせ、各枝配線20を介して対応する画素に供給される。第3,第4の幹配線72,74は、第1,第2の幹配線26,28と同様、その断面積が枝配線20より大きく、好適には2倍以上である。また、第3幹配線72の線幅(断面積)よりも第4幹配線74の線幅(断面積)が大きいことが好適である。このような関係とすることで、外部接続端子32から遠い位置に設けられる第4の幹配線74における電圧降下をできる限り小さくする。逆に、端子32に非常に近い位置に第3幹配線72を設けるが、その線幅を小さくすることで、上記第4幹配線74側との電位差を低減する。これにより、図3の構成において、外部接続端子32に対して最も遠い位置にある右上隅の画素に印加される電圧と、最も近い左下隅の画素に印加される電圧との電圧差を小さくすることを可能としている。また、少なくとも第4幹配線74の断面積は、第2幹配線28の断面積より大きく、第3の幹配線72の断面積は、第2幹配線28の断面積と同程度であればよく、第2幹配線28の断面積より小さくしても良い。なお、第4幹配線74の断面積は、第1幹配線26と同程度かそれ以下程度に形成する。
次に、H系ドライバ22と、表示領域14との間に設ける第2幹配線28の設置方法について図4を参照して説明する。
図4は、図1のA−A線に沿った位置での表示パネルの概略断面構造を示す。なお、駆動配線パターンが図2の場合でも図3の場合でも、第2幹配線28の形成領域の断面構造は図4と同じである。
H系ドライバ22からは垂直走査方向に沿ってデータライン18が延びており、このデータライン18と、表示領域14内で、同様に垂直走査方向に沿って形成された駆動電源配線の枝配線20とは、同じ導電層(例えばAl層)を用いて形成される。幹配線も、この枝配線20と同じ導電層をパターニングにより同時に、かつ枝配線20と一体的に形成することができる。この場合、H系ドライバ22と表示領域14との間に単純に第2幹配線28を設けると、第2幹配線28と、データライン18とが短絡しないようにする必要がある。
そこで、本実施形態では、図4に示すように、H系ドライバ22内の出力段TFT、より正確にはデータ信号をサンプリングして出力するためのHスイッチ用TFTのソース(又はドレイン)から延びるデータライン18を、平面上、第2幹配線28と交差する位置において、一端、別の導電層を交差用配線46として用いて配線することで実現している。この交差用配線46としては、データライン18等を構成するAl層よりも先に(下に)形成された導電層であって、画素部及びドライバ(22,24)のトランジスタのゲート電極(図中44で示す)と同じ導電層を利用することで、特別な工程の追加なく、交差用配線46を形成することができる。このゲート電極用導電層としては、Cr等の高融点金属層が採用される。
データライン18と、第2幹配線28との交差部分において、第2幹配線28ではなく、データライン18を交差用配線46によって別層に配線することで、他の電源やデータ信号等と比較しても非常に高電圧(例えば+12V)が印加され、配線抵抗による電圧降下の大きい駆動電流配線経路での配線抵抗の上昇を抑制することができる。
ここで、図4に示されたパネル内に内蔵されるTFT、EL素子の構造や製造方法について簡単に説明する。ガラス等からなるパネル基板12上には、例えばSiN膜とSiO2膜との積層構造のバッファ層38が形成され、この上に、非晶質状態で形成された後レーザアニール等によって結晶化された多結晶シリコン層が形成されている。この多結晶シリコン層は、主として、パネルに内蔵されるTFTの能動層40に用いられ、その他、補助容量用の電極や、部分的な配線にも利用される。結晶性シリコン層を含む基板の全面を覆って、SiO2膜、SiN膜がこの順に積層されたゲート絶縁層42が形成され、ゲート絶縁層42の上には、上記Cr等の高融点金属層を形成し、この金属層をパターニングして、所望パターンのTFTのゲート電極44及びこれと一体のゲートライン(図1の符号16)、そして、上記交差用配線46が形成されている。
ゲート電極44は、能動層40上において、TFTのチャネル領域を形成する位置に選択的に残され、このゲート電極44をマスクとして能動層40に不純物をドープする。能動層40のゲート電極44に覆われた領域は不純物のドープされない真性チャネル領域が形成され、チャネル領域の両側のゲート電極で覆われていない領域に不純物がドープされドレイン領域、ソース領域が形成される。不純物ドープ後、基板全面を覆うように、SiN膜、SiO2膜がこの順で積層された層間絶縁層48が形成される。
次に、TFTのソース・ドレイン領域に対応する位置に、層間絶縁層48及びゲート絶縁層42を貫通するコンタクトホールを形成し、上述の交差用配線46と上層のデータライン18とのコンタクト形成位置に、層間絶縁層48を貫通するコンタクトホールを形成する。そして、層間絶縁層48の上に、下層から順にMo、Al、Moの積層金属導電層を形成し、これをパターニングすることで、データライン18、電源ライン(枝配線)20及び電源ライン20と一体の幹配線(26,28,72,74)が形成されている。なお、このMo、Al、Moの積層体は、外部接続端子32にも用いることができる。
次に、これらの配線を覆う基板全面に、例えばアクリル系樹脂などからなる絶縁材料を用いて第1平坦化絶縁層54を形成し、これを貫通するコンタクトホールを素子駆動トランジスタTr2のソース(またはドレイン)対応領域に形成する。その後、ITO(Indium Tin Oxide)や、IZO(Indium Zinc Oxide)などの導電性透明金属酸化層を第1平坦化絶縁層54の上に形成し、所望形状にパターニングして、画素毎に個別パターンの画素電極(有機EL素子の第1電極)56を形成する。なお、画素電極56の形成と同時に、端子部で第1平坦化絶縁層54を除去して露出させた上記Mo/Al/Moの金属端子層78の上にも透明導電性金属酸化物層を形成しても良い。これにより、上記金属端子層を金属酸化物層80で覆うことで、端子が外界雰囲気に曝されても表面酸化などによる接続抵抗の増大を抑制できる。
画素電極56を形成した後、基板全体を覆うようにアクリル系樹脂などの絶縁材料からなる第2平坦化絶縁層58を形成し、画素電極56の形成領域ではそのエッジ部分を除き、開口し、画素電極56の表面を露出させる。この上に有機発光材料を含む発光素子層60を真空蒸着法などによって積層し、さらに、その上に、Alや、Al合金、MgAg合金等を用い、これを例えば真空蒸着法により積層して各画素で共通の第2電極62を形成する。
発光素子層60は、少なくとも発光機能を備える有機化合物を含む発光層を備えるが、用いる化合物の機能などにより、単層構造でも多層構造でもよい。本実施形態のように第1電極56が陽極、これに対向する第2電極62が陰極の場合において、一例として、第1電極側から正孔注入層601、正孔輸送層602、発光層603、電子輸送層604などの積層構造を有する。
発光層以外の電荷輸送層や、注入層は、全画素共通で形成してもよい。各画素のEL素子の発光色が白色で、カラーフィルタを用いてR,G,Bの光を得てフルカラー表示を行う場合、有機EL素子の発光層603は、真空蒸着によって形成する場合にもマスクを用いた画素毎の個別パターンとすることは不要で全画素共通で成膜できる。各画素のEL素子が対応するR,G,Bの光を発光する場合には、発光色毎に異なる有機発光材料を用いる必要があり、少なくとも発光層603は、画素毎のパターンとする。なお、第2電極62は、図4には示していないが、パネルの第1辺において、CV端子から引き出された共通カソード配線と接続されている。
ここで、図4の構成から分かるように、図3の第3幹配線72は、パネルの垂直走査方向に沿った第1辺に形成されるが、第1辺においては、CV端子から引き出された共通カソード配線は、EL素子の最上層の第2電極62とコンタクトすれば良く、この第2電極62と第3幹配線72との層間には、第1平坦化絶縁層58及び層間絶縁層54が形成されていて絶縁されている。よって、第3幹配線72をこの第1辺に形成しても、特別な立体交差構造を形成する必要がない。
また、パネルの第3辺に沿って形成される第4幹配線74は、V系ドライバ24と表示領域14との間に設けられる。しかし、V系ドライバ24から延びるゲートライン16と第4幹配線74とは、別の導電層であり、層間には、層間絶縁層54が存在する。従って、第4幹配線74についても、これを第3辺に形成しても、特別な立体交差構造を形成する必要はない。
なお、表示領域内において、例えば、枝配線20を格子状、即ち、水平走査方向にもレイアウトした場合などには、H系ドライバ22と表示領域との間に設ける第2幹配線を省略し、垂直走査方向に沿った2辺(第1辺と第3辺)と、水平走査方向に沿った1辺(第2辺)の合計3辺に幹配線を形成しても良い。
以上のELパネルのレイアウトでは、外部接続端子をパネルの垂直走査方向に沿った1辺に形成した場合を例に説明したが、もちろん、本実施形態では、図5に示すように外部接続端子92を、パネルの水平走査方向に沿った1辺(ここでは下辺)に設けても効果を得ることができる。
この場合、枝配線20に接続されて電力を供給するために2辺以上に沿って設けられ、かつ枝配線20よりも大きな断面積となるように形成される幹配線は、例えば図5のように、表示領域14の周辺部において、その4辺を取り囲むように形成しても良い。つまり、この幹配線は、パネルの下辺であって、ここでは外部端子92の直近の辺に沿って第1幹配線26が形成され、パネルの上辺、即ち、H系ドライバと表示領域との間に第2幹配線28が設けられている。またパネルの左右の辺(垂直走査方向に沿った2辺)に沿って、第3幹配線94、第4幹配線96が形成され、これら4本の幹配線は4隅で接続され、またこれら4つの幹配線により表示領域14が取り囲まれている。
左右の辺に配置される幹配線94,96の線幅(断面積)は、外部接続端子92の位置が、水平走査方向の中央部分に近いため、同一とすることができる。また、上辺に設けられる第2幹配線28の線幅(断面積)は、ここでは、端子から最も遠い位置にあるため、第3,第4幹配線94,96の線幅よりも大きくしても良い。なお、幹配線を図2に示すように、パネルの上下辺のみに形成する構成としても良い。
(実施形態2)
図6は、実施形態2に係るELパネルの駆動電流配線の構成を概念的に示す図であり、図7は、このパネルの下辺付近の概略断面構造である。なお、実施形態1において既に説明した構成と同一の構成については、同一符号を付す。本実施形態の駆動電流配線では、例えば図4に示すように、データライン18や、電源ライン20と同層に形成される駆動電流配線の幹配線26,28,72,74(第1配線層)に加えて、これとは別の導電層を用いて補助駆動電流配線(第2配線層)を形成することである。具体的にはこの補助駆動電流配線82,84,86は、EL素子の上部電極、つまり、第2電極62と同じ金属層を用い、幹配線の形成領域とほぼ重なる位置に形成している。図6の例では、外部接続端子32は、図3と同様、パネルの垂直走査方向に沿った1辺に配置され、パネルの下辺、すなわち第1の幹配線26に並列して第1の補助駆動電流配線82が設けられ、上辺、すなわち第2の幹配線28に並列して第2の補助駆動電流配線84が設けられ、さらに右辺には第3の補助駆動電流配線86が設けられている。外部接続端子の配置される第1辺(左辺)にはこの補助駆動電流配線を形成していない。これは、既に説明したように第1辺では、CV端子から引き出されたカソード配線76が、EL素子の第2電極62とコンタクトしているためである。つまり、カソード配線76は、幹配線や枝配線と同じ金属層(Al)が用いられており、このカソード配線76が、補助駆動電流配線と同じ金属層から構成される第2電極62とコンタクトするためである。但し、CV配線76の形成領域のさらに外側(パネルの外縁側)に配線すれば、第1辺にも補助駆動電流配線を形成することができる。これらの補助駆動電流配線と各幹配線を接続するためにコンタクトホール88が、表示領域14の周辺部の隅付近に設けられている。なお、これらの補助駆動電流配線は、図6に示す3つを全て設ける必要はなく、必要に応じて選択して設けるようにできる。
また、コンタクトホール88の位置も適宜変更することができる。このコンタクトホール88は、図7に示すように、幹配線(ここでは第1幹配線26)を覆って形成される第1および第2平坦化絶縁層54,58を開口して幹配線を露出するようにして形成する。そして、第2電極62を例えば真空蒸着形成する際に、補助駆動電流配線と該第2電極のパターンに応じた蒸着マスクを用いることで、第2電極62と同時に、幹配線と重なるように補助駆動電流配線を形成することができ、上記コンタクトホール88を介してこの補助駆動電流配線は、下層の幹配線と電気的に接続する。もちろん、他の補助駆動電流配線についても、同様に形成され幹配線と接続される。このように、幹配線とは別に、EL素子の電極層を利用して、この幹配線と電気的に接続された補助駆動電流配線を設けることで、幹配線の線幅を広げずに、幹配線の実質的な断面積をこの補助駆動電流配線によって拡大することが可能となり、配線効率良く補助駆動電流配線によって幹配線の配線抵抗を低減することができる。また、補助駆動電流配線をEL素子の第2電極と同時に形成するので、特別な工程の追加なく配線抵抗の一層の低減を図ることができる。
図8は、図7に示した補助駆動電流配線と幹配線の接続方法の変形例を示す図である。図7と相違する点は、図8では、補助駆動電流配線と幹配線が透明導電性金属酸化物層80を介して接続されていることである。第1平坦化絶縁層54上にEL素子の第1電極(画素電極)56を形成する前に、第1平坦化絶縁層54の表示領域14の周辺位置にもコンタクトホール88aを形成する。そして、ITOなどを積層し、これを有機EL素子の画素電極に応じた形状にパターニングするのと同時に、コンタクトホール88aの形成領域にも透明導電性金属酸化物層80を選択的に残す。さらに、第2平坦化絶縁層58を形成し、コンタクトホール88aと同じ位置にコンタクトホール88bを形成し、第2電極62の形成と同時に、補助駆動電流配線となる金属蒸着層を形成する。補助駆動電流配線82は、透明導電性金属酸化物層80を介して幹配線26に接続される。なお、図7,図8に示すコンタクトホール88,88a,88bは、円形、方形、その他どのような形状でもよい。
また、図5に示すように、外部接続端子92がパネルの他の辺(例えば下辺)に形成された場合であっても、本実施形態2のように、幹配線に重ねてEL素子の第2電極などの材料層を用いて補助駆動電流配線を同様に形成することで、効果を得ることができる。
本発明の実施形態1に係るELパネルの概略構成を示す図である。 ELパネルの駆動電流配線の構成例を示す概念図である。 本発明の実施形態1に係る駆動電流配線の他の構成例を示す概念図である。 図1のA−A線に沿った断面を示す概略図である。 本発明の実施形態1に係る駆動電流配線のさらに別の構成例を示す概念図である。 本発明の実施形態2に係るELパネルの駆動電流配線の構成を説明する図である。 図6のパネルの下辺部分の概略断面構造を示す図である。 図7に示す断面構造とは別の構造を示す図である。 有機EL素子の1画素の等価回路を示す図である。 従来の有機EL表示装置の端子、配線および回路等の配置を示す図である。
10 有機EL表示装置、12 パネル基板、14 表示領域、20 枝配線(電源ライン)、22 H系ドライバ、24 V系ドライバ、26 幹配線(第1の幹配線)、28 幹配線(第2の幹配線)、30 フレキシブル・プリンテッド・サーキット、32,92 外部接続端子、72 幹配線(第3の幹配線)、74 幹配線(第4の幹配線)、82,84,86 補助駆動電流配線、94,96 幹配線。

Claims (13)

  1. 表示領域内にマトリクス状に配置された複数の画素を備える表示パネルにおいて、
    各画素には、電源配線から供給される電力に応じた表示動作を行う表示素子が設けられ、
    前記電源配線は、
    該表示領域内に配置され、前記表示素子に電気的に接続されて該表示素子に電力を供給する複数の枝配線と、
    該表示領域の周辺部に配置され、前記複数の枝配線に電気的に接続された幹配線と、を有し、
    前記表示領域の周辺部の少なくとも2辺に沿って、前記幹配線が形成されており、前記幹配線の配線幅は、前記枝配線の配線幅よりも太いことを特徴とする表示パネル。
  2. 表示領域内にマトリクス状に配置された複数の画素を備える表示パネルにおいて、
    各画素には、電源配線から供給される電力に応じた表示動作を行う表示素子が設けられ、
    前記電源配線は、
    該表示領域内に配置され、前記表示素子に電気的に接続されて該表示素子に電力を供給する複数の枝配線と、
    該表示領域の周辺部に配置され、前記複数の枝配線に電気的に接続された幹配線と、を有し、
    前記表示領域の周辺部の少なくとも3辺に沿って、前記幹配線が形成されていることを特徴とする表示パネル。
  3. 請求項2に記載の表示パネルにおいて、
    前記表示領域の周辺部の少なくとも2辺で、前記幹配線の配線幅は、前記枝配線の配線幅よりも太いことを特徴とする表示パネル。
  4. 請求項1〜請求項3に記載の表示パネルにおいて、
    前記幹配線は、前記表示領域の周辺部の4辺に沿って配置されていることを特徴とする表示パネル。
  5. 請求項1〜請求項4に記載の表示パネルにおいて、
    前記幹配線は表示領域の全周を囲って配置されることを特徴とする表示パネル。
  6. 表示領域内にマトリクス状に配置された複数の画素を備える表示パネルにおいて、
    各画素には、電源配線から供給される電力に応じた表示動作を行う表示素子が設けられ、
    前記電源配線は、
    該表示領域内に配置され、前記表示素子に電気的に接続されて該表示素子に電力を供給する複数の枝配線と、
    該表示領域の周辺部に配置され、前記複数の枝配線に電気的に接続された幹配線と、を有し、
    前記電源配線が電気的に接続される外部接続端子は、前記表示領域の垂直走査方向に沿った第1辺に設けられ、
    前記幹配線は、前記第1辺から延び、少なくとも前記表示領域の水平走査方向に沿った第2辺と、前記第2辺に前記表示領域を挟んで対向する第4辺と、に沿って設けられ、
    前記複数の枝配線は、該第2辺及び第4辺にそれぞれ接続され、かつそれぞれ垂直走査方向に沿って形成されていることを特徴とする表示パネル。
  7. 請求項6に記載の表示パネルにおいて、
    前記幹配線は、前記表示領域の周辺部において、前記外部接続端子の設けられた前記第1辺と前記表示領域を挟んで対向する第3辺にも設けられ、
    前記第1辺に配置された前記幹配線の断面積よりも前記第3辺に配置された前記幹配線の断面積が大きいことを特徴とする表示パネル。
  8. 請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載の表示パネルにおいて、
    前記幹配線の断面積は、前記枝配線の断面積より大きいことを特徴とする表示パネル。
  9. 請求項1〜請求項8のいずれか1項に記載の表示パネルにおいて、
    前記幹配線の断面積は、前記枝配線の2倍以上であることを特徴とする表示パネル。
  10. 請求項1〜請求項9のいずれか1項に記載の表示パネルにおいて、
    前記表示素子は、電流駆動型のエレクトロルミネッセンス素子であることを特徴とする表示パネル。
  11. 請求項1〜請求項10のいずれか1項に記載の表示パネルにおいて、
    前記幹配線は、前記枝配線と同時に形成され同一材料からなる第1配線層の他に、該第1配線層とは別に形成され、該第1配線層に電気的に接続された第2配線層を備えることを特徴とする表示パネル。
  12. 請求項11に記載の表示パネルにおいて、
    前記表示素子は、画素毎に個別の下部電極と、各画素で共通の上部電極とを有し、
    前記第2配線層は、前記上部電極と同時に形成され、同一材料から構成されていることを特徴とする表示パネル。
  13. 請求項12に記載の表示パネルにおいて、
    前記第2配線層は、前記表示領域の周辺領域において、前記第1配線層の上に形成された絶縁層のさらに上層に形成されていることを特徴とする表示パネル。
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