JP2007126568A - 含フッ素エラストマー組成物 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(A)(a)テトラフルオロエチレン、(b)パーフルオロ(アルキルビニルエーテル)またはパーフルオロ(アルコキシアルキルビニルエーテル)および(c)シアノ基含有パーフルオロビニルエーテルを含有する共重合体からなる含フッ素エラストマー、(B)架橋剤および(C)一次粒径6〜8nmのシリカ75〜50重量%と一次粒径10〜15nmのシリカ25〜50重量%とのシリカ混合物よりなる含フッ素エラストマー組成物。
Description
CF2=CFOCF2CF(CF3)OCnF2n+1(n:1〜5)
CF2=CFO(CF2)3OCnF2n+1(n:1〜5)
CF2=CFOCF2CF(CF3)O(CF2O)mCnF2n+1(n:1〜5、m:1〜3)
CF2=CFO(CF2)2OCnF2n+1(n:1〜5)
などが用いられる。
CF2=CFO(CF2)nOCF(CF3)CN(n:2〜4)
CF2=CFO(CF2)nCN(n:2〜12)
CF2=CFO[CF2CF(CF3)O]m(CF2)nCN(n:2、m:1〜5)
CF2=CFO[CF2CF(CF3)O]m(CF2)nCN(n:1〜4、m:1〜2)
CF2=CFO[CF2CF(CF3)O]nCF2CF(CF3)CN (n:0〜4)
R:炭素数1〜6のアルキリデン基、炭素数1〜10のパーフルオロアルキリデン基、-SO2-基、-O-基、-C(=O)-基または2つのベンゼン環を直接結合させる炭素−炭素結合
X:水酸基またはアミノ基
n:1〜10の整数
R2:H、NH2
n:1〜10の整数
好ましくは、
n:1〜10の整数
n:1〜10の整数
R3:H、OH
R4:H、NH2
好ましくは、
下記共重合組成を有する含フッ素エラストマーA
テトラフルオロエチレン 68.4モル%
パーフルオロ(メチルビニルエーテル) 30.5モル%
パーフルオロ(2-シアノ-3,7-ジオキサ-8-ノネン) 1.1モル%
ポリマームーニー粘度@121℃ 80pts
100重量部に対して、2,2-ビス(3-アミノ-4-ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン1.4重量部、一次粒径7nmのシリカ(デグサ製品AEROSIL 300V)15重量部および一次粒径12nmのシリカ(同社製品AEROSIL 200V)5重量部を、2本ロールミルを用いて40〜60℃で混練してコンパウンドを得た。
常態値:DIN53505(硬度)、DIN53503(引張試験)準拠
圧縮永久歪:ASTM D 395 Method B(214 O-リング)準拠;275℃、70時間
製品表面状態:製品表面に析出物が確認されないものを「無」、確認されたものを
「有」として評価
プラズマ試験:ULVAC RBH3030(reactive ion etching)により、O2またはCF4雰囲気中、
RF出力 500W、照射時間6時間、真空0.1Paの条件下での重量減少率
(重量%)を測定
実施例1において、含フッ素エラストマーAの代わりに、下記共重合組成を有する含フッ素エラストマーB
テトラフルオロエチレン 71.5モル%
パーフルオロ(メチルビニルエーテル) 27.7モル%
パーフルオロ(1-シアノ-6-オキサ-7-オクテン) 0.8モル%
ポリマームーニー粘度@121℃ 90pts
が同量用いられ、また2,2,3,3,4,4,5,5−オクタフルオロ−ヘキサンジアミドキシム1重量部がさらに用いられた。
実施例1において、一次粒径7nmのシリカ(AEROSIL 300V)量が20重量部に変更されて用いられ、一次粒径12nmのシリカ(AEROSIL 200V)は用いられなかった。
実施例1において、一次粒径12nmのシリカ(AEROSIL 200V)量が20重量部に変更されて用いられ、一次粒径7nmのシリカ(AEROSIL 300V)は用いられなかった。
実施例1において、一次粒径7nmのシリカ(AEROSIL 300V)および一次粒径12nmのシリカ(AEROSIL 200V)の代わりに、一次粒径16nmのシリカ(デグサ製品AEROSIL R972)20重量部が用いられた。
実施例1において、一次粒径7nmのシリカ(AEROSIL 300V)量が18重量部に、また一次粒径12nmのシリカ(AEROSIL 200V)量が2重量部にそれぞれ変更されて用いられた。
実施例1において、一次粒径7nmのシリカ(AEROSIL 300V)量が2重量部に、また一次粒径12nmのシリカ(AEROSIL 200V)量が18重量部にそれぞれ変更されて用いられた。
比較例1において、含フッ素エラストマーAの代わりに、実施例2記載の含フッ素エラストマーBが同量用いられ、また2,2,3,3,4,4,5,5−オクタフルオロ−ヘキサンジアミドキシム1重量部がさらに用いられた。
表
測定・評価項目 実1 実2 比1 比2 比3 比4 比5 比6
常態値
硬度 (shore-A) 79 81 80 79 77 79 79 81
破断強度 (MPa) 18.3 19.8 18.2 18.5 18.0 17.9 18.5 19.5
破断伸び (%) 130 140 130 140 140 130 140 140
圧縮永久歪 (%) 29 34 30 29 27 29 29 36
製品表面析出状態 無 無 有 無 無 有 無 有
O2プラズマ重量減少率 (重量%) 0.37 0.37 0.35 0.43 0.50 0.37 0.41 0.37
CF4プラズマ重量減少率(重量%) 0.20 0.20 0.19 0.21 0.25 0.19 0.22 0.19
Claims (5)
- (A)(a)テトラフルオロエチレン、(b)パーフルオロ(アルキルビニルエーテル)またはパーフルオロ(アルコキシアルキルビニルエーテル)および(c)シアノ基含有パーフルオロビニルエーテルを含有する共重合体からなる含フッ素エラストマー、(B)架橋剤および(C)一次粒径6〜8nmのシリカ75〜50重量%と一次粒径10〜15nmのシリカ25〜50重量%とのシリカ混合物よりなる含フッ素エラストマー組成物。
- シール材の成形材料として用いられる請求項1または2記載の含フッ素エラストマー組成物。
- 請求項3記載の含フッ素エラストマー組成物を加硫成形して得られたシール材。
- 半導体製造装置用シールとして用いられる請求項4記載のシール材。
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