JP2007123008A - プラズマ生成方法及び装置並びにプラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プラズマ生成室内に複数本の高周波アンテナ2を設置し、高周波電力供給装置(電源4、マッチングボックス3等)から供給される高周波電力をアンテナ2から室内ガスに印加して誘導結合型プラズマを発生させる。アンテナ2は、順次隣り合わせて、且つ、各隣り合うもの同士が互いに向かい合った並列配置となるように設置される。高周波電力供給装置は、各アンテナ2にそれらアンテナ2の同じ側から高周波電力を供給する。
【選択図】図2
Description
すなわち、プラズマ生成室内に高周波アンテナを複数本設置して誘導結合プラズマを生成させる場合、該複数本の高周波アンテナは各隣り合うもの同士が互いに向かい合った並列配置となるように設置するとともに、各高周波アンテナに同じ方向に電流が流れるように、各アンテナに同じ側のアンテナ端部から高周波電力を供給すれば、それら複数本の高周波アンテナにみあった密度の磁束を発生させることができ、それにより、複数本の高周波アンテナにみあった高密度プラズマを得ることができる。
プラズマ生成室内に複数本の高周波アンテナを設置し、該高周波アンテナにて該プラズマ生成室内ガスに高周波電力を印加して誘導結合型プラズマを発生させるプラズマ生成方法であり、該複数本の高周波アンテナのうち少なくとも一部の複数本の高周波アンテナについては、順次隣り合わせて、且つ、各隣り合うもの同士が互いに向かい合った並列配置となるように設置するとともに該各高周波アンテナに同じ方向に電流が流れるように、それら高周波アンテナに同じ側のアンテナ端部から高周波電力を供給するプラズマ生成方法を提供する。
プラズマ生成室、該室内に設置された複数本の高周波アンテナ及び該高周波アンテナに高周波電力を供給する高周波電力供給装置を有し、該高周波電力供給装置から供給される高周波電力を該高周波アンテナから該プラズマ生成室内ガスに印加して誘導結合型プラズマを発生させるプラズマ生成装置であり、該複数本の高周波アンテナのうち少なくとも一部の複数本の高周波アンテナについては、順次隣り合わせて、且つ、各隣り合うもの同士が互いに向かい合った並列配置となるように設置されているとともに、該高周波電力供給装置は、前記順次隣り合わせて、且つ、各隣り合うもの同士が互いに向かい合った並列配置となるように設置された各高周波アンテナに同じ方向に電流が流れるように、それら高周波アンテナに同じ側のアンテナ端部から高周波電力を供給するプラズマ生成装置を提供する。
図1は本発明に係るプラズマ生成装置の1例を示している。図2は図1のプラズマ生成装置における高周波アンテナ等を抽出して示す斜視図である。
各アンテナ2の室天井壁11から室外へ突出した部分21、21’のうち一方の部分21は、各アンテナ2に共通の給電ブスバー22に接続されており、ブスバー22はマッチングボックス3を介して高周波電源4に接続されている。
11 室1の天井壁
2 高周波アンテナ
20 絶縁性部材
10 絶縁性部材
21、21’ アンテナ2の室外突出部分
22 給電ブスバー
3 マッチングボックス
4 高周波電源
5 排気装置
6 基板ホルダ
61 ヒータ
G ガス導入部
7、8 ガス導入管
70 モノシランガス供給装置
80 水素ガス供給装置
Claims (5)
- プラズマ生成室内に複数本の高周波アンテナを設置し、該高周波アンテナにて該プラズマ生成室内ガスに高周波電力を印加して誘導結合型プラズマを発生させるプラズマ生成方法であり、該複数本の高周波アンテナのうち少なくとも一部の複数本の高周波アンテナについては、順次隣り合わせて、且つ、各隣り合うもの同士が互いに向かい合った並列配置となるように設置するとともに該各高周波アンテナに同じ方向に電流が流れるように、それら高周波アンテナに同じ側のアンテナ端部から高周波電力を供給することを特徴とするプラズマ生成方法。
- 前記順次隣り合わせて、且つ、各隣り合うもの同士が互いに向かい合った並列配置となるように設置する各高周波アンテナは2次元構造アンテナである請求項1記載のプラズマ生成装置。
- プラズマ生成室、該室内に設置された複数本の高周波アンテナ及び該高周波アンテナに高周波電力を供給する高周波電力供給装置を有し、該高周波電力供給装置から供給される高周波電力を該高周波アンテナから該プラズマ生成室内ガスに印加して誘導結合型プラズマを発生させるプラズマ生成装置であり、該複数本の高周波アンテナのうち少なくとも一部の複数本の高周波アンテナについては、順次隣り合わせて、且つ、各隣り合うもの同士が互いに向かい合った並列配置となるように設置されているとともに、該高周波電力供給装置は、前記順次隣り合わせて、且つ、各隣り合うもの同士が互いに向かい合った並列配置となるように設置された各高周波アンテナに同じ方向に電流が流れるように、それら高周波アンテナに同じ側のアンテナ端部から高周波電力を供給することを特徴とするプラズマ生成装置。
- 前記順次隣り合わせて、且つ、各隣り合うもの同士が互いに向かい合った並列配置となるように設置された各高周波アンテナは2次元構造アンテナである請求項3記載のプラズマ生成装置。
- 被処理物にプラズマのもとで目的とする処理を施すプラズマ処理装置であって、請求項3又は4記載のプラズマ生成装置を含むことを特徴とするプラズマ処理装置。
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