JP2007121788A - アクティブマトリクス基板およびそれを用いた液晶表示装置 - Google Patents
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Abstract
低温下で良好な画質を維持でき、且つ動作マージンが広く長寿命である。
【解決手段】
薄膜トランジスタを有する画素部と薄膜トランジスアタを有する周辺回路部とを有し、薄膜トランジスタは、ゲート電極,ゲート絶縁層,ソース電極,ドレイン電極,半導体層とを有し、画素領域内の薄膜トランジスタは、ゲート電極配線幅より半導体層幅が大きく、周辺回路部の薄膜トランジスタは、ゲート電極配線幅が半導体層幅より大きい構成とする。
【選択図】図1
Description
TFTは、動作使用中に特性が変化するため、TFT−LCDにおいて動作保証をする必要のある−20℃での動作を確保が難しくなり、寿命が短くなる欠点がある。
Si層を2層にする構成を考案した。この構成では、ゲート電極配線2を形成加工した後、PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 法などによりSiN膜,a−Si膜,n+Si膜を順次形成する。ついで、n+Si/a−Siを島状に加工した後、n+Si膜,金属膜を順次成膜しソース・ドレイン電極配線に加工する。この構成により、n+Si/a−Si界面の酸化を抑制でき良好な特性のTFTを安定的に形成することが可能になる。この構成では、半導体層とソース・ドレイン金属膜の間に挟まれたn+Si膜は2層となるため、その他の部分のn+Si層より厚くなる。半導体島のサイドのn+Si膜は1層であるため、ホールのブロッキング効果は若干劣るもののオン電流を増加できる。特に周辺回路部ではオフ電流よりオン電流の特性が重要になるため、この構成のTFTの効果がある。
Ni及びそれらの合金などが挙げられる。また、これらの金属を積層しても良い。この、金属膜をホトリソグラフィー工程などにより加工しゲート電極配線2を形成する。
Co,Ni及びそれらの合金などが挙げられる。金属膜をホトリソグラフィー工程などにより加工しドレイン電極配線7及びソース電極配線8を形成する。さらに、エッチングによりチャネル部のコンタクト層を除去する。
TFTの断面を示す。
14…配向膜、15…ビーズ、16…対向基板、17…液晶、18…画素部、19…周辺回路部。
Claims (7)
- 複数のゲート電極配線と、複数のドレイン電極配線と、前記複数のゲート電極配線と前記複数のドレイン電極配線との交差部に配置された複数の薄膜トランジスタと、前記ゲート電極配線及び前記ドレイン電極配線を駆動し、薄膜トランジスタを有する周辺回路部と、を有するアクティブマトリクス基板において、
前記ゲート電極配線と前記ドレイン電極配線とが交差された領域を画素領域とし、
前記画素領域内の薄膜トランジスタ及び前記周辺回路部の薄膜トランジスタは、ゲート電極,ゲート絶縁層,ソース電極,ドレイン電極,半導体層とを有し、
前記画素領域内の薄膜トランジスタは、ゲート電極配線幅より半導体層幅が大きく、
前記周辺回路部の薄膜トランジスタは、ゲート電極配線幅が半導体層幅より大きいことを特徴とするアクティブマトリクス基板。 - 請求項1記載のアクティブマトリクス基板において、
前記画素領域内の薄膜トランジスタ及び前記周辺回路部の薄膜トランジスタは、逆スタガ構造であることを特徴とするアクティブマトリクス基板。 - 請求項1記載のアクティブマトリクス基板において、
前記画素領域内の薄膜トランジスタ及び前記周辺回路部の薄膜トランジスタの前記半導体層は、非晶質Siで形成されていることを特徴とするアクティブマトリクス基板。 - 請求項1記載のアクティブマトリクス基板において、
前記画素領域内の薄膜トランジスタ及び前記周辺回路部の薄膜トランジスタの前記半導体層は、結晶質Siあるいは結晶成分を含むSiで形成されていることを特徴とするアクティブマトリクス基板。 - 請求項1記載のアクティブマトリクス基板において、
前記画素領域内の薄膜トランジスタ及び前記周辺回路部の薄膜トランジスタは、リンをドープしたSi層を有し、前記リンをドープしたSi層は、前記ドレイン電極配線あるいは前記ソース電極配線と積層されていることを特徴としたアクティブマトリクス基板。 - 請求項5記載のアクティブマトリクス基板において、
前記リンをドープしたSi層の厚さは、前記半導体層上に形成された部分より、前記ゲート絶縁膜上に形成された部分の方が厚いことを特徴としたアクティブマトリクス基板。 - 一対の基板と、
前記一対の基板間に挟持された液晶層と、を有し、
前記一対の基板の一方は、複数のゲート電極配線と、複数のドレイン電極配線と、前記複数のゲート電極配線と前記複数のドレイン電極配線との交差部に配置された複数の薄膜トランジスタと、前記ゲート電極配線及び前記ドレイン電極配線を駆動し、薄膜トランジスタを有する周辺回路部と、を有するアクティブマトリクス基板であって、
前記ゲート電極配線と前記ドレイン電極配線とが交差された領域を画素領域とし、前記画素領域内の薄膜トランジスタ及び前記周辺回路部の薄膜トランジスタは、ゲート電極,ゲート絶縁層,ソース電極,ドレイン電極,半導体層とを有し、前記画素領域内の薄膜トランジスタは、ゲート電極配線幅より半導体層幅が大きく、前記周辺回路部の薄膜トランジスタは、ゲート電極配線幅が半導体層幅より大きいことを特徴とした液晶表示装置。
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