JP2007115955A - 多層プリント配線基板及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フィルム102a、102bを使った複数枚の両面基板114a、114bを、途中にプリプレグ130及び前記プレプリグを貫通する貫通バンプ110を介して、加熱圧着積層し一体化することで、両面基板114a、114bの上に予め形成された第2の配線106a、106b同士を電気的に接続することができ、更に第2の配線106a、106bを前記プリプレグに埋没させることでその配線厚みを吸収することで、多層基板の薄層化のニーズに対応できる。
【選択図】図1
Description
以下、本発明の実施の形態1における多層基板について、図面を参照しながら説明する。
以下、本発明の実施の形態2における多層基板の製造方法について、図2から図4を用いて説明する。図2から図4は、実施の形態2による多層基板の製造方法を説明する断面図である。ここで実施の形態2は4層基板の製造方法の一例であり、例えば実施の形態1で説明した4層基板の製造方法の一例に相当する。
以下、本発明の実施の形態3における多層基板について、図面を参照しながら説明する。実施の形態1と実施の形態3の違いは、多層化に用いているフィルムの枚数(実施の形態1では2枚、実施の形態2では3枚)である。
以下、本発明の実施の形態4における多層基板の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図6、図7は実施の形態4における多層基板の製造方法を説明する断面図である。実施の形態4は、複数枚のフィルムを用いて多層化する製造方法の一例であり、例えば実施の形態3での多層基板の製造方法の一例を示すものである。
以下、本発明の実施の形態5における多層基板について説明する。図8は実施の形態5の多層基板の断面図である。実施の形態5と実施の形態3の違いは、中央部が2層基板(実施の形態3)、中央部が3層以上の多層基板(実施の形態5)である。実施の形態5では、フィルム等を用いた両面基板以外の多様な基板を用いることで、様々な形態の多層基板を形成することとなる。
実施の形態6では多層基板の製造方法について、図9、図10を用いて更に詳しく説明する。図9から図11は実施の形態6における多層基板の製造方法を説明する断面図であり、例えば実施の形態5で説明した図8の多層基板の製造方法に相当する。
次に実施の形態7について、図12を用いて説明する。実施の形態7では、表層に形成したブラインドビアを用いて層間接続及び表層の配線を形成する場合について説明する。
実施の形態8では、めっき法の代わりに薄膜法(あるいは薄膜法とめっき法の組合せ)を用いた場合について説明する。実施の形態8と実施の形態7の違いは、薄膜法(実施の形態8)とめっき法(実施の形態7)の違いだけであり、共通点が多いので図12を用いて説明する。
実施の形態9では、図13を用いて説明する。図13は実施の形態9による多層基板の製造方法を説明する断面図であり、図13において140は下地電極層である。実施の形態8(図12)と実施の形態9(図13)の違いは、フィルム表面の下地電極層140の有無である。
実施の形態10では、絶縁層に無機フィラーが添加されてなる樹脂フィルムを用いた場合について説明する。実施の形態2(ガラスエポキシ系プリプレグ)や実施の形態6(アラミド入りプリプレグ)と、実施の形態9(無機フィラー入り)との違いは、プレプリグの内容物(添加物である)。同様に樹脂フィルムとしては、熱硬化性樹脂フィルム(本硬化前のプレプリグ状態)を使うことができる。なお実施の形態10は、実施の形態2や実施の形態9と共通する部分が多いため、図2や図13を参照できる。
実施の形態11では、貫通接続層に熱硬性樹脂を用いる場合について説明する。実施の形態10で説明するように、貫通接続層を構成する絶縁部材はプリプレグに限定する必要はない。熱硬性の樹脂フィルムでも良いが、LCP(液晶ポリマー樹脂)等の高機能性、高強度を有した熱可塑性樹脂も使うことができる。このような高強度な熱可塑性樹脂を用いることで、高精度な多層基板を製造できる。
104 第1の配線
106 第2の配線
108 絶縁層
110 貫通バンプ
112 層間接続部
114 両面基板
116 貫通接続層
118 第1の基板材
120 第2の基板材
122 金属板
124 導電性ペースト
126 矢印
128 バンプ
130 プリプレグ
132 多層基板
134 層間絶縁層
136 ブラインドビア
138 金属膜
140 下地電極層
Claims (16)
- 3層の絶縁層を有し、表層から数えて2層目に形成された2層目絶縁層は、それを貫通する電気的接続が貫通バンプである貫通接続層となっており、
表層から数えて2層目に形成された2層目配線と、表層から数えて3層目に形成された3層目配線とが、前記貫通接続層に埋設されていることを特徴とする多層プリント配線基板。 - 4層以上の絶縁層を有し、少なくとも一方の表層から数えて2層目に形成された2層目絶縁層は、それを貫通する電気的接続が貫通バンプである貫通接続層となっており、
少なくとも一方の表層から数えて2層目に形成された2層目配線と、表層から数えて3層目に形成された3層目配線とが、前記貫通接続層に埋設されていることを特徴とする多層プリント配線基板。 - 貫通接続層は、プリプレグと、貫通バンプとからなる請求項1もしくは2のいずれか一つに記載の多層プリント配線基板。
- 貫通接続層は、熱硬性樹脂と、貫通バンプとからなる請求項1もしくは2のいずれか一つに記載の多層プリント配線基板。
- 貫通接続層は、熱可塑性樹脂と、貫通バンプとからなる請求項1もしくは2のいずれか一つに記載の多層プリント配線基板。
- 表層から数えて1層目の1層目絶縁層は樹脂フィルムであり、前記樹脂フィルムの表面には接着剤を介することなく所定の配線が形成されている請求項1もしくは2のいずれか一つに記載の多層プリント配線基板。
- 前記プリプレグは、ガラスエポキシもしくはアラミドエポキシである請求項3記載の多層プリント配線基板。
- 前記樹脂中には、無機フィラーが10wt%以上85wt%の割合で充填されている請求項4もしくは5のいずれか一つに記載の多層プリント配線基板。
- 表層から数えて1層目に形成された1層目配線と、表層から数えて2層目に形成された2層目配線の少なくとも一方以上は、スパッタ膜を介して、表層から数えて1層目の1層目絶縁層に固定されている請求項1もしくは2のいずれか一つに記載の多層プリント配線基板。
- 表層から数えて1層目に形成された1層目配線と、表層から数えて2層目に形成された2層目配線の少なくとも一方以上は、めっき膜を介して、表層から数えて1層目の1層目絶縁層に固定されている請求項1もしくは2のいずれか一つに記載の多層プリント配線基板。
- 表層から数えて1層目に形成された1層目絶縁層を貫通する電気的接続が、めっきで行われている請求項1もしくは2のいずれか一つに記載の多層プリント配線基板。
- 貫通バンプは、熱硬性ペーストが硬化されたものである請求項1もしくは2のいずれか一つに記載の多層プリント配線基板。
- 配線上に貫通バンプを形成するバンプ形成工程と、
絶縁層を貫通バンプで貫通して貫通接続層を形成する貫通接続層形成工程と、
両面基板を作成する両面基板作成工程と、
前記貫通接続層の表裏面に前記両面基板を積層する積層工程と、
前記積層体を熱プレス加工する熱プレス工程と、を少なくとも備えた多層プリント配線基板の製造方法。 - 配線上に貫通バンプを形成するバンプ形成工程と、
絶縁層を貫通バンプで貫通して貫通接続層を形成する貫通接続層形成工程と、
2層以上の層数を有する多層基板を作成する多層基板作成工程と、
前記貫通接続層の表裏面に前記両面基板を積層する積層工程と、
前記積層体を熱プレス加工する熱プレス工程と、
を少なくとも備えた多層プリント配線基板の製造方法。 - 前記両面基板の表裏面の配線を電気的に接続する為の層間接続を形成する層間接続形成工程を、熱プレス工程以降にも有する請求項13もしくは14のいずれか一つに記載の多層プリント配線基板の製造方法。
- 前記層間接続形成工程は、少なくともブラインドビアを形成するビア加工工程と、ブラインドビアにめっきを施すめっき工程と、からなる請求項13もしくは14のいずれか一つに記載の多層プリント配線基板の製造方法。
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