JP2007115949A - 電解コンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 中高圧用の電解コンデンサ用アルミニウム電極箔を製造するにあたって、電解エッチング処理を三段以上行う。第二段目から最終段の電解エッチング処理では、エッチング液における塩素イオンの濃度を0.10〜1.00mol/Lの範囲とするとともに、電流密度を10〜100mA/cm2の範囲とする。また、第二段目から最終段に向けて電流密度を高くしていく比率を第二段目から最終段に向けてエッチング液中の塩素イオンの濃度を低下させる比率の逆数と等しくする。
【選択図】 なし
Description
電解エッチングは、反応を電気によって高度に制御しやすいという利点からエッチング箔の生産において現在主流に使われている手法であり、中高圧用の電解コンデンサ用アルミニウム電極箔を製造するためのエッチングは、前処理工程と、電気化学反応によりトンネル状のエッチングピットを形成、拡大させるエッチング工程とに大別される。そのうち、エッチング工程においては、表面積をより効率的に拡張することを目的に電解エッチング処理を多段に分けて行うことが提案されている(例えば、特許文献1、2、非特許文献1参照)。
このように構成すると、化学反応性が徐々に低下する分、電解によるエッチングが進行しやすくなるので、表面溶解を抑えながらエッチングピットの孔径を効率よく拡大することができ、静電容量をより向上させることができる。
すなわち、初段の電解エッチング処理ではアルミニウム箔に多数のエッチングピットを形成するように電解条件が設定され、第二段目以降の電解エッチング処理ではエッチングピットの孔径を効率よく拡大されるように電解条件が設定される。しかも、第二段目以降の電解エッチング処理では、表面付近での溶解を抑えながら、エッチングピットの孔径を効率よく拡大するように設定されている。
また、第二段目から最終段の電解エッチング処理では、エッチング液におけるイオン種の濃度を0.10〜1.00mol/Lの範囲とし、電流密度を10〜100mA/cm2の範囲としてある。
さらに、第二段目から最終段に向けて電流密度を高くしていく比率を第二段目から最終段に向けて前記エッチング液中のイオン種の濃度を低下させる比率の逆数と等しくしてある。例えば、実施例1〜5では、第二段目から第三段目にかけて、電流密度が2.0倍になっている一方、塩素イオンの濃度は0.5倍になっている。また、実施例6〜9では、第二段目から第三段目にかけて、電流密度が1.33倍になっている一方、塩素イオンの濃度は0.75倍になっている。
なお、いずれの例でも、第二段目から最後段の電解エッチング処理における総電気量は25C/cm2となる電解時間である。
ここで、比較例1〜14は、第二段目から最終段に向けて電流密度を高くしていく比率を第二段目から最終段に向けて前記エッチング液中のイオン種の濃度を低下させる比率の逆数と等しくしてあるが、第二段目から最終段のいずれかにおいて、イオン種の濃度が0.10〜1.00mol/Lの範囲を外れる場合、電流密度が10〜100mA/cm2の範囲を外れる場合のいずれかまたは両者について、比較したものである。
また、比較例15〜22は、第二段目から最終段に向けて、イオン種の濃度および電流密度がともに低下する場合、比較例23、24は第二段目から最終段に向けてイオン種の濃度は低下しているが、電流密度は微増するか、または第三段でピークになる場合について、比較したものである。
また、比較例1〜14に係る条件(第二段目から最終段に向けて電流密度を高くしていく比率を第二段目から最終段に向けてエッチング液中のイオン種の濃度を低下させる比率の逆数と等しくしてあるが、イオン種の濃度および/または電流密度が本発明の条件を外れる場合)で製造したものは、比較例15〜22と比較して、静電容量は同等以上であり、仕上がり厚さは同等の結果であったが、実施例1〜24より劣る結果であった。
なお、上記実施例は、いずれもエッチング液中のイオン種として塩素イオンを用いた例であったが、塩素イオン以外の硝酸イオン、リン酸イオン、シュウ酸イオンをイオン種として含むエッチング液を用いた場合、あるいは塩素イオン、硝酸イオン、リン酸イオン、シュウ酸イオンをイオン種として二種以上含むエッチング液を用いた場合でも、同様な傾向が得られた。
Claims (3)
- アルミニウム箔に対して電解エッチング処理を多段に行う電解コンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法において、
電解条件を変えて前記電解エッチング処理を三段以上行うとともに、第二段目以降の電解エッチング処理では塩素イオン、硝酸イオン、リン酸イオン、シュウ酸イオンのうち少なくとも1種以上のイオン種を含むエッチング液を用い、かつ、
第二段目から最終段に向けて前記エッチング液中のイオン種の濃度を低下させる一方、第二段目から最終段に向けて電流密度を高くしていくことを特徴とする電解コンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法。 - 請求項1において、第二段目から最終段の電解エッチング処理では、前記エッチング液におけるイオン種の濃度を0.10〜1.00mol/Lの範囲とするとともに、電流密度を10〜100mA/cm2の範囲とすることを特徴とする電解コンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法。
- 請求項1または請求項2において、第二段目から最終段の電解エッチング処理では、第二段目から最終段に向けて電流密度を高くしていく比率を第二段目から最終段に向けて前記エッチング液中のイオン種の濃度を低下させる比率の逆数と等しくすることを特徴とする電解コンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法。
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