JP2007094440A - 光導波路、光デバイスおよび光導波路の製造方法 - Google Patents
光導波路、光デバイスおよび光導波路の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007094440A JP2007094440A JP2007003713A JP2007003713A JP2007094440A JP 2007094440 A JP2007094440 A JP 2007094440A JP 2007003713 A JP2007003713 A JP 2007003713A JP 2007003713 A JP2007003713 A JP 2007003713A JP 2007094440 A JP2007094440 A JP 2007094440A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical waveguide
- bent portion
- optical
- ridge structure
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】チタンを拡散させて形成した光導波路1のうち、少なくとも曲がり部1a部分の両側あるいは外側の基板2を掘り下げてリッジ構造部3を形成する。リッジ構造部3の側面3aには、基板2の屈折率より小さい屈折率を有する酸化シリコン等からなる膜状のバッファ層を設ける。リッジ構造部3は、側面3aにより光のフィールドを閉じ込め、バッファ層は、散乱損を抑え、曲がり部1aにおける光損失を抑える。曲がり部1aを設けることにより、光導波路1を折り返すことができ、光導波路1が形成された光デバイスの小型化を図ることができる。
【選択図】図1
Description
実施の形態1は、この発明の光導波路に関するものである。図1は、この発明の光導波路の実施の形態1の構成を示す平面図、図2は、図1の断面図である。図1には、光導波路の要部である曲がり部を主に示している。光導波路1は、チタン拡散ニオブ酸リチウム(Ti−LiNbO3)拡散導波路である。図示の曲がり部1aは、円弧状に180°の折り返し角度を有して折り返した形状である。光導波路1のパターン幅Lは、光のモードフィールドを小さくするために5〜9μmに設定している。光導波路1を伝搬する光波は、一般にシングルモード(SM)の光であるが、この発明の光導波路1の光伝搬モードはSMに限定されるものではない。
実施の形態2では、実施の形態1により説明した光導波路1を用いた光デバイスについて説明する。光導波路1を用いた光デバイスとしては、光スイッチや光変調器などがある。
前記曲がり部の両側に位置する前記基板を、前記曲がり部の形状に沿って掘り下げ形成したリッジ構造部と、
前記リッジ構造部の少なくとも前記曲がり部に面する側面に、前記基板が有する屈折率よりも低屈折率の材質を用いて膜形成したバッファ層と、
を備えたことを特徴とする光導波路。
前記光導波路の前記曲がり部の両側に位置する前記基板を、前記曲がり部の形状に沿って掘り下げ形成したリッジ構造部と、
前記リッジ構造部の少なくとも前記曲がり部に面する側面に、前記基板が有する屈折率よりも低屈折率の材質を用いて膜形成したバッファ層と、
前記光導波路の上部に該光導波路に沿って配置された信号電極と、
を備えたことを特徴とする位相変調可能な光デバイス。
前記2つの各光導波路の上部に、それぞれの光導波路に沿って配置された信号電極と、
を備えたことを特徴とする付記17に記載の位相変調可能な光デバイス。
前記リッジ構造部は、前記光導波路の全長に渡り一定な幅を有することを特徴とする付記17または18に記載の光デバイス。
該曲がり部に連結され、前記光導波路に対する光の入出力部が同一の側面に位置する直線部と、
を有することを特徴とする付記17〜19のいずれか一つに記載の光デバイス。
を有することを特徴とする付記20に記載の光デバイス。
光導波路となる曲がり部を含むパターン形成を、チタン(Ti)を用いて行うパターン形成工程と、
前記パターン形成工程により形成された前記チタンのパターンを高温中で熱拡散させる熱拡散工程と、
前記熱拡散工程により形成された光導波路のうち、前記曲がり部の両側、あるいは外側に位置する前記基板を、前記曲がり部の形状に沿ってエッチングによりリッジ構造部を掘り下げ形成するリッジ形成工程と、
前記リッジ形成工程により形成された前記リッジ構造部の少なくとも前記曲がり部に面する側面に、前記基板が有する屈折率よりも低屈折率の材質を膜形成するバッファ層形成工程と、
を含むことを特徴とする光導波路の製造方法。
1a 曲がり部
1b 直線部
2 基板
3 リッジ構造部
3a 側面
3c,3d 延出部
4 バッファ層
5 変換部
10 光変調器
11 基板
12 信号ライン
12a,12b 信号電極
Claims (5)
- 基板上に形成される光導波路の一部が曲がった曲がり部を有する光導波路において、
前記曲がり部の両側に位置する前記基板を、前記曲がり部の形状に沿って掘り下げ形成したリッジ構造部と、
前記リッジ構造部の少なくとも前記曲がり部に面する側面に、前記基板が有する屈折率よりも低屈折率の材質を用いて膜形成したバッファ層と、
を備えたことを特徴とする光導波路。 - 前記リッジ構造部は、前記曲がり部の外側に形成したことを特徴とする請求項1に記載の光導波路。
- 基板上に形成される光導波路の一部が曲がった曲がり部を有する光導波路と、
前記光導波路の前記曲がり部の両側に位置する前記基板を、前記曲がり部の形状に沿って掘り下げ形成したリッジ構造部と、
前記リッジ構造部の少なくとも前記曲がり部に面する側面に、前記基板が有する屈折率よりも低屈折率の材質を用いて膜形成したバッファ層と、
前記光導波路の上部に該光導波路に沿って配置された信号電極と、
を備えたことを特徴とする位相変調可能な光デバイス。 - 前記光導波路は、分岐部から2分岐する形で2つ平行に配置され、
前記2つの各光導波路の上部に、それぞれの光導波路に沿って配置された信号電極と、
を備えたことを特徴とする請求項3に記載の位相変調可能な光デバイス。 - 基板上に光導波路を形成する光導波路の製造方法において、
光導波路となる曲がり部を含むパターン形成を、チタン(Ti)を用いて行うパターン形成工程と、
前記パターン形成工程により形成された前記チタンのパターンを高温中で熱拡散させる熱拡散工程と、
前記熱拡散工程により形成された光導波路のうち、前記曲がり部の両側、あるいは外側に位置する前記基板を、前記曲がり部の形状に沿ってエッチングによりリッジ構造部を掘り下げ形成するリッジ形成工程と、
前記リッジ形成工程により形成された前記リッジ構造部の少なくとも前記曲がり部に面する側面に、前記基板が有する屈折率よりも低屈折率の材質を膜形成するバッファ層形成工程と、
を含むことを特徴とする光導波路の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007003713A JP5123528B2 (ja) | 2007-01-11 | 2007-01-11 | 光導波路、光デバイスおよび光導波路の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007003713A JP5123528B2 (ja) | 2007-01-11 | 2007-01-11 | 光導波路、光デバイスおよび光導波路の製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003079116A Division JP2004287093A (ja) | 2003-03-20 | 2003-03-20 | 光導波路、光デバイスおよび光導波路の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007094440A true JP2007094440A (ja) | 2007-04-12 |
JP5123528B2 JP5123528B2 (ja) | 2013-01-23 |
Family
ID=37980142
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007003713A Expired - Lifetime JP5123528B2 (ja) | 2007-01-11 | 2007-01-11 | 光導波路、光デバイスおよび光導波路の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5123528B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8774583B2 (en) | 2009-01-13 | 2014-07-08 | Fujitsu Limited | Optical device and optical transmitter |
JP2022032257A (ja) * | 2020-08-11 | 2022-02-25 | Tdk株式会社 | 光変調素子及び光変調素子の駆動方法 |
Citations (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6015606A (ja) * | 1983-07-08 | 1985-01-26 | Hitachi Ltd | 光集積回路 |
JPS6053904A (ja) * | 1983-09-05 | 1985-03-28 | Hitachi Ltd | リッジ型光導波路 |
JPS6319620A (ja) * | 1986-07-14 | 1988-01-27 | Fujitsu Ltd | 光導波路の形成方法 |
JPS6380208A (ja) * | 1986-09-24 | 1988-04-11 | Nec Corp | 光導波路型多重分波回路 |
JPS63147111A (ja) * | 1986-12-10 | 1988-06-20 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 光導波回路 |
JPS63157109A (ja) * | 1986-12-20 | 1988-06-30 | Fujitsu Ltd | 光導波路及びその形成方法 |
JPS63306404A (ja) * | 1987-06-08 | 1988-12-14 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 反射型方向性結合器 |
JPS6413010A (en) * | 1987-07-06 | 1989-01-17 | Kanebo Ltd | Emulsion type cosmetic |
JPS6476012A (en) * | 1987-09-18 | 1989-03-22 | Nippon Telegraph & Telephone | Periodic type optical filter |
JPH03107803A (ja) * | 1989-09-21 | 1991-05-08 | Nec Corp | 光遅延回路 |
JPH052116A (ja) * | 1991-06-17 | 1993-01-08 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光導波路 |
JPH0572575A (ja) * | 1991-03-22 | 1993-03-26 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 導波路型マトリツクス光スイツチ |
JPH05232417A (ja) * | 1992-02-25 | 1993-09-10 | Fujitsu Ltd | 光変調器 |
JPH0659291A (ja) * | 1992-08-10 | 1994-03-04 | Hitachi Cable Ltd | 4波多重伝送用導波路型光合分波器および8波多重伝送用導波路型光合分波器 |
JPH08327837A (ja) * | 1995-05-30 | 1996-12-13 | Hitachi Cable Ltd | 光カプラ及びこれを用いた光フィルタ |
JPH0915545A (ja) * | 1995-06-26 | 1997-01-17 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 偏波無依存光制御素子 |
JPH0954291A (ja) * | 1995-08-11 | 1997-02-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光位相シフタ及びこれを用いた光スイッチ |
JPH1114849A (ja) * | 1997-06-23 | 1999-01-22 | Oki Electric Ind Co Ltd | 光学素子の製造方法 |
JPH1114850A (ja) * | 1997-06-23 | 1999-01-22 | Oki Electric Ind Co Ltd | 光学素子の製造方法 |
JPH1152155A (ja) * | 1997-08-05 | 1999-02-26 | Oki Electric Ind Co Ltd | リッジ構造を有する光導波路およびその製造方法 |
JPH1164664A (ja) * | 1997-08-27 | 1999-03-05 | Oki Electric Ind Co Ltd | 光導波路の製造方法 |
JPH11167032A (ja) * | 1997-12-03 | 1999-06-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 曲がり光導波路回路 |
JP2000162057A (ja) * | 1998-11-26 | 2000-06-16 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 光導波路応力センサ |
JP2001125157A (ja) * | 1999-10-26 | 2001-05-11 | Oki Electric Ind Co Ltd | 波長変換装置 |
JP2002350915A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-04 | Ngk Insulators Ltd | 波長変換素子、波長変換用光導波路デバイス、高調波発生装置および波長変換素子の製造方法 |
JP2003057470A (ja) * | 2001-07-30 | 2003-02-26 | Agilent Technol Inc | 小型の光学スプリッタ/コンバイナ及びその製造方法 |
JP2004287093A (ja) * | 2003-03-20 | 2004-10-14 | Fujitsu Ltd | 光導波路、光デバイスおよび光導波路の製造方法 |
-
2007
- 2007-01-11 JP JP2007003713A patent/JP5123528B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6015606A (ja) * | 1983-07-08 | 1985-01-26 | Hitachi Ltd | 光集積回路 |
JPS6053904A (ja) * | 1983-09-05 | 1985-03-28 | Hitachi Ltd | リッジ型光導波路 |
JPS6319620A (ja) * | 1986-07-14 | 1988-01-27 | Fujitsu Ltd | 光導波路の形成方法 |
JPS6380208A (ja) * | 1986-09-24 | 1988-04-11 | Nec Corp | 光導波路型多重分波回路 |
JPS63147111A (ja) * | 1986-12-10 | 1988-06-20 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 光導波回路 |
JPS63157109A (ja) * | 1986-12-20 | 1988-06-30 | Fujitsu Ltd | 光導波路及びその形成方法 |
JPS63306404A (ja) * | 1987-06-08 | 1988-12-14 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 反射型方向性結合器 |
JPS6413010A (en) * | 1987-07-06 | 1989-01-17 | Kanebo Ltd | Emulsion type cosmetic |
JPS6476012A (en) * | 1987-09-18 | 1989-03-22 | Nippon Telegraph & Telephone | Periodic type optical filter |
JPH03107803A (ja) * | 1989-09-21 | 1991-05-08 | Nec Corp | 光遅延回路 |
JPH0572575A (ja) * | 1991-03-22 | 1993-03-26 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 導波路型マトリツクス光スイツチ |
JPH052116A (ja) * | 1991-06-17 | 1993-01-08 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光導波路 |
JPH05232417A (ja) * | 1992-02-25 | 1993-09-10 | Fujitsu Ltd | 光変調器 |
JPH0659291A (ja) * | 1992-08-10 | 1994-03-04 | Hitachi Cable Ltd | 4波多重伝送用導波路型光合分波器および8波多重伝送用導波路型光合分波器 |
JPH08327837A (ja) * | 1995-05-30 | 1996-12-13 | Hitachi Cable Ltd | 光カプラ及びこれを用いた光フィルタ |
JPH0915545A (ja) * | 1995-06-26 | 1997-01-17 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 偏波無依存光制御素子 |
JPH0954291A (ja) * | 1995-08-11 | 1997-02-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光位相シフタ及びこれを用いた光スイッチ |
JPH1114849A (ja) * | 1997-06-23 | 1999-01-22 | Oki Electric Ind Co Ltd | 光学素子の製造方法 |
JPH1114850A (ja) * | 1997-06-23 | 1999-01-22 | Oki Electric Ind Co Ltd | 光学素子の製造方法 |
JPH1152155A (ja) * | 1997-08-05 | 1999-02-26 | Oki Electric Ind Co Ltd | リッジ構造を有する光導波路およびその製造方法 |
JPH1164664A (ja) * | 1997-08-27 | 1999-03-05 | Oki Electric Ind Co Ltd | 光導波路の製造方法 |
JPH11167032A (ja) * | 1997-12-03 | 1999-06-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 曲がり光導波路回路 |
JP2000162057A (ja) * | 1998-11-26 | 2000-06-16 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 光導波路応力センサ |
JP2001125157A (ja) * | 1999-10-26 | 2001-05-11 | Oki Electric Ind Co Ltd | 波長変換装置 |
JP2002350915A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-04 | Ngk Insulators Ltd | 波長変換素子、波長変換用光導波路デバイス、高調波発生装置および波長変換素子の製造方法 |
JP2003057470A (ja) * | 2001-07-30 | 2003-02-26 | Agilent Technol Inc | 小型の光学スプリッタ/コンバイナ及びその製造方法 |
JP2004287093A (ja) * | 2003-03-20 | 2004-10-14 | Fujitsu Ltd | 光導波路、光デバイスおよび光導波路の製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8774583B2 (en) | 2009-01-13 | 2014-07-08 | Fujitsu Limited | Optical device and optical transmitter |
JP2022032257A (ja) * | 2020-08-11 | 2022-02-25 | Tdk株式会社 | 光変調素子及び光変調素子の駆動方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5123528B2 (ja) | 2013-01-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2004287093A (ja) | 光導波路、光デバイスおよび光導波路の製造方法 | |
JP4485218B2 (ja) | 光変調器 | |
JP5374882B2 (ja) | 光デバイス | |
EP1530736B1 (en) | Improved optical splitter with taperd multimode interference waveguide | |
JP2011257634A (ja) | 光導波路、光変調器、および、光カプラ | |
WO2012074134A1 (ja) | 光分岐素子、光分岐素子を用いた光導波路デバイス、並びに光分岐素子の製造方法、光導波路デバイスの製造方法 | |
JP2010072129A (ja) | 電子デバイス | |
JP3967356B2 (ja) | 光導波路デバイス | |
WO2010082673A1 (ja) | 分岐型光導波路、光導波路基板および光変調器 | |
JP2001318253A (ja) | 光導波路型方向性結合器およびこの光導波路型方向性結合器を用いた光導波回路 | |
JP3795821B2 (ja) | 光分岐器 | |
JP2008026374A (ja) | 光導波路、光デバイスおよび光導波路の製造方法 | |
JP5123528B2 (ja) | 光導波路、光デバイスおよび光導波路の製造方法 | |
JP2007328257A (ja) | 光導波路、光デバイスおよび光導波路の製造方法 | |
JP4468397B2 (ja) | 光導波路デバイス | |
JP5467414B2 (ja) | 光機能導波路 | |
JP6084177B2 (ja) | 光導波路デバイス | |
JP5195998B2 (ja) | 光デバイス | |
JP6260631B2 (ja) | 光導波路デバイス | |
WO2018123709A1 (ja) | 方向性結合器とその設計方法 | |
JP2011107412A (ja) | 半導体光素子の製造方法 | |
WO2014156959A1 (ja) | 端面光結合型シリコン光集積回路 | |
Shrestha et al. | Silicon nitride waveguide router enabling directional power transmission | |
JP2011112670A (ja) | マッハツェンダ光導波路とそれを用いた光変調器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070208 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070208 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20100119 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100316 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100517 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110308 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110421 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110517 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110728 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20110803 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20110930 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120702 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120926 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121026 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151102 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5123528 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |